CN107589632A - 感光性组合物及硬化膜 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种耐热性良好且相对于显影液渗透的干燥温度裕度广的保护膜用感光性组合物，及由该感光性组合物所获得的硬化膜。本发明的感光性组合物含有：聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2‑醌二叠氮化合物(C)，所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元，所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物，所述聚合性化合物(b2)包含选自下述式(3)所表示的化合物及下述式(4)所表示的化合物中的一种以上。

Description

感光性组合物及硬化膜

技术领域

本发明涉及一种在电子零件中的绝缘材料、半导体装置中的钝化膜、缓冲涂膜、层间绝缘膜或平坦化膜，或者显示元件中的层间绝缘膜或彩色滤光片用保护膜等的形成中所使用的感光性组合物、利用该感光性组合物的硬化膜及具有该硬化膜的电子零件。

背景技术

在仅于所需部分形成保护膜的情况下或在绝缘膜中形成孔图案的情况下，一直使用感光性组合物。作为感光性组合物的例子，可列举丙烯酸系的正型感光性组合物(专利文献1)。伴随着提高显示器所要求的可靠性的要求特性，而提高显示器构件所要求的耐热性中，专利文献1中记载的材料的问题在于进一步的高耐热性化。为了解决该问题，提出有耐热性良好的聚酯酰胺酸系的正型感光性组合物(专利文献2)。进而，伴随着近年来的显示器的大型化，而成为容易产生保护膜形成步骤的干燥步骤中的面内的干燥不均的状态。该状态中，专利文献2中记载的正型感光性组合物中，在干燥不充分且残存溶剂多的部位中，有在局部的孔图案中产生显影液渗透的情况。如果产生该显影液渗透，则面板显示品质会降低。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平5-165214

[专利文献2]日本专利特开2008-102351

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明的问题在于提供一种耐热性良好且相对于显影液渗透的干燥温度裕度广的保护膜用感光性组合物。

[解决问题的技术手段]

本发明者为了解决所述问题而进行了努力研究，结果发现通过如下的组合物、及使该组合物硬化所获得的硬化膜可达成所述目的，从而完成了本发明，所述组合物包含聚酯酰胺酸、含环氧基的共聚物及1,2-醌二叠氮化合物。

本发明包含以下的构成。

[1]一种感光性组合物，其包含：聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)；

所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元；

所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物；

所述聚合性化合物(b2)包含选自下述式(3)所表示的化合物及下述式(4)所表示的化合物中的一种以上，

在式(1)中，R¹是碳数2～1000的有机基，R²是碳数2～1000的有机基；

在式(2)中，R³是碳数2～1000的有机基，R⁴是碳数2～100的有机基；

在式(3)中，R⁵为氢或碳数1～7的有机基，R⁶为碳数1～6的亚烷基，R⁷为碳数1～20的有机基，n1为1～100的整数；

在式(4)中，R⁸为氢或碳数1～7的有机基，R⁹及R¹⁰分别独立地为碳数1～7的有机基或-OSi(R¹²)₃，R¹¹为碳数1～7的有机基或-Si(R¹³)₃，n2为2～10的整数，n3为1～100的整数，R¹²及R¹³分别独立地为氢或碳数1～7的有机基。

[2]根据项[1]所述的感光性组合物，其中所述式(1)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及二胺(a2)设为原料的构成单元；

所述式(2)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及多元羟基化合物(a3)设为原料的构成单元。

[3]根据项[2]所述的感光性组合物，其中所述具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)为选自四羧酸二酐及苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物中的一种以上的化合物；

所述聚酯酰胺酸(A)为以使下述式(5)及式(6)的关系成立的比率包含X摩尔的四羧酸二酐、Y摩尔的二胺及Z摩尔的多元羟基化合物的原料的反应产物，

0.2≦Z/Y≦8.0···(5)

0.2≦(Y+Z)/X≦5.0···(6)。

[4]根据项[1]所述的感光性组合物，其中所述具有环氧基的聚合性化合物(b1)为选自具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯中的一种以上；

所述式(3)所表示的化合物为下述式(7)所表示的化合物；

所述式(4)所表示的化合物为选自下述式(8)所表示的化合物、下述式(9)所表示的化合物及下述式(10)所表示的化合物中的一种以上；

在式(7)中，R¹⁴为氢或甲基，R¹⁵为碳数1～40的有机基，n4为1～40的整数；

在式(8)中，R¹⁶为氢或甲基，R¹⁷为碳数1～10的有机基，n5为1～100的整数；

在式(9)中，R¹⁸为氢或甲基；

在式(10)中，R¹⁹为氢或甲基，R²⁰、R²¹及R²²分别独立地为碳数1～7的有机基。

[5]根据项[4]所述的感光性组合物，其中所述具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯为(甲基)丙烯酸缩水甘油酯；

所述式(7)所表示的化合物为选自(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯及(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯中的一种以上；

所述式(10)所表示的化合物为(甲基)丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯。

[6]根据项[1]所述的感光性组合物，其中聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量％中，含环氧基的共聚物(B)的含有率为20重量％～90重量％，且相对于聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量份，1,2-醌二叠氮化合物(C)为5重量份～40重量份。

[7]一种硬化膜，其是由根据项[1]至项[6]中任一项所述的感光性组合物而获得。

[发明的效果]

本发明的优选的实施方式的感光性组合物为耐热性良好且相对于显影液渗透的干燥温度裕度广的材料，在用作彩色显示元件的彩色滤光片保护膜的情况下，可提高可靠性及显示品质，且可提高彩色滤光片保护膜制造时的生产性。而且，还可用作各种光学材料的保护膜及绝缘膜。

附图说明

图1是对无显影液渗透的状态进行拍摄而得的光学显微镜照片。

图2是对有显影液渗透的状态进行拍摄而得的光学显微镜照片。

具体实施方式

本说明书中，为了表示“丙烯酸”及“甲基丙烯酸”的一个或两个，有时表述为“(甲基)丙烯酸”。同样地，为了表示“丙烯酸酯”及“甲基丙烯酸酯”的一个或两个，有时表述为“(甲基)丙烯酸酯”，为了表示“丙烯酰氧基”及“甲基丙烯酰氧基”的一个或两个，有时表述为“(甲基)丙烯酰氧基”。

＜1.感光性组合物＞

本发明的感光性组合物为包含聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)的组合物。

关于聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)的优选的组成比，聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量％中，含环氧基的共聚物(B)的含有率为20重量％～90重量％，且相对于聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量份，1,2-醌二叠氮化合物(C)为5重量份～40重量份。

此外，本发明的感光性组合物还可在获得本发明的效果的范围内进一步包含所述以外的其他成分。

＜1-1.聚酯酰胺酸(A)＞

聚酯酰胺酸(A)具有式(1)所表示的构成单元及式(2)所表示的构成单元。

聚酯酰胺酸(A)可通过以具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)为必需成分来进行反应而获得。该情况下，在式(1)及式(2)中，R¹及R³是自具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)除去两个-CO-O-CO-而成的残基，R²是自二胺(a2)除去两个-NH₂而成的残基，R⁴是自多元羟基化合物(a3)除去两个-OH而成的残基。

在聚酯酰胺酸(A)的合成中至少需要溶剂。可使该溶剂直接残留而使用考虑到操作性等的液状或凝胶状的聚酯酰胺酸溶液来制造感光性组合物，而且也可将该溶剂除去而使用考虑到搬运性等的固体状聚酯酰胺酸来制造感光性组合物。

而且，在聚酯酰胺酸(A)的合成中，也可在不损及本发明的目的的范围内，包含所述以外的其他化合物。作为其他原料的例子，可列举单羟基化合物及具有烷氧基硅烷基的单胺。

＜1-1-1.具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)＞

本发明中，作为用以获得聚酯酰胺酸(A)的原料，使用具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)。

作为具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)的优选的化合物的例子，可列举：芳香族四羧酸二酐、脂环式四羧酸二酐、脂肪族四羧酸二酐以及顺丁烯二酸酐及其他化合物的共聚物。

作为具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)的具体例，优选为实施例中所使用的化合物，且可列举：作为芳香族四羧酸二酐的3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐(3,3',4,4'-diphenylether tetracarboxylic dianhydride，以下略记为“ODPA”)、作为脂肪族四羧酸二酐的1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐(以下略记为“BT-100”)及作为顺丁烯二酸酐与其他化合物的共聚物的苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物。

此外，作为具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)的具体例，除所述化合物以外，作为芳香族四羧酸二酐，可列举3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基砜四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基砜四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基醚四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[双(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐及乙二醇双(脱水偏苯三酸酯)；作为脂环式四羧酸二酐，可列举环丁烷四羧酸二酐、甲基环丁烷四羧酸二酐、环戊烷四羧酸二酐及环己烷四羧酸二酐；作为脂肪族四羧酸二酐，可列举乙烷四羧酸二酐，可使用所述具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)的具体例中的至少一种。

这些具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)的具体例中，作为获取容易且提供与含环氧基的共聚物(B)具有良好的相容性的聚酯酰胺酸(A)的化合物，更优选为3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、ODPA、2,2-[双(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、BT-100、乙二醇双(脱水偏苯三酸酯)及苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物，特别优选为3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、ODPA、BT-100及苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物。

此外，作为市售的苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物的具体例，可列举：SMA3000P(苯乙烯/顺丁烯二酸酐的摩尔比：3，重量平均分子量9,500，数量平均分子量3,800)、SMA2000P(苯乙烯/顺丁烯二酸酐的摩尔比：2，重量平均分子量7,500，数量平均分子量3,000)及SMA1000P(苯乙烯/顺丁烯二酸酐的摩尔比：1，重量平均分子量5,500，数量平均分子量2,000)(均为商品名；川原油化股份有限公司，值为目录记载值)。如果根据目录记载值的苯乙烯/顺丁烯二酸酐的摩尔比及数量平均分子量来计算，则SMA3000P每一分子的平均碳数为330，SMA2000P每一分子的平均碳数为240，SMA1000P每一分子的平均碳数为120。

＜1-1-2.二胺(a2)＞

本发明中，作为用以获得聚酯酰胺酸(A)的原料，使用二胺(a2)。

作为二胺(a2)的优选的化合物的例子，可列举具有两个苯环的二胺及具有四个苯环的二胺。

作为二胺(a2)的具体例，优选为实施例中所使用的化合物，可列举作为具有两个苯环的二胺的3,3'-二氨基二苯基砜(3,3'-diamino diphenyl sulfone，以下略记为“DDS”)。

此外，作为所述二胺(a2)的具体例，除所述化合物以外，作为具有两个苯环的二胺，可列举4,4'-二氨基二苯基砜及3,4'-二氨基二苯基砜；作为具有四个苯环的二胺，可列举双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、双[3-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、[4-(4-氨基苯氧基)苯基][3-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、[4-(3-氨基苯氧基)苯基][3-(4-氨基苯氧基)苯基]砜及2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷，可使用所述二胺(a2)的具体例中的至少一种。

这些二胺(a2)的具体例中，作为获取容易且提供与含环氧基的共聚物(B)具有良好的相容性的聚酯酰胺酸(A)的化合物，更优选为DDS及双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜，特别优选为DDS。

＜1-1-3.多元羟基化合物(a3)＞

本发明中，作为用以获得聚酯酰胺酸(A)的原料，使用多元羟基化合物(a3)。

作为多元羟基化合物(a3)的优选的化合物的例子，可列举：脂肪族二醇、下述式(H-1)所表示的化合物、下述式(H-2)所表示的化合物及具有异氰脲环的多元醇。

在式(H-1)中，R¹⁰¹为单键或碳数1～10的有机基；

在式(H-2)中，R¹⁰²为碳数1～10的有机基。

作为多元羟基化合物(a3)的具体例，优选为实施例中所使用的化合物，可列举作为脂肪族二醇的1,4-丁二醇。

此外，作为所述多元羟基化合物(a3)的具体例，除所述化合物以外，作为脂肪族二醇，可列举乙二醇、丙二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇及1,8-辛二醇；作为式(H-1)所表示的化合物，可列举2,2-双(4-羟基环己基)丙烷、4,4'-二羟基二环己基；作为式(H-2)所表示的化合物，可列举2-羟基苄醇及4-羟基苄醇、2-(4-羟基苯基)乙醇；作为具有异氰脲环的多元醇，可列举异氰脲酸三(2-羟基乙基)酯，可使用所述多元羟基化合物(a3)的具体例中的至少一种。

这些多元羟基化合物(a3)的具体例中，作为获取容易且提供与含环氧基的共聚物(B)具有良好的相容性的聚酯酰胺酸(A)的化合物，更优选为1,4-丁二醇及1,6-己二醇，特别优选为1,4-丁二醇。

＜1-1-4.单羟基化合物＞

在聚酯酰胺酸(A)的原料中，还可在不损及本发明的目的的范围内，视需要包含所述以外的其他原料，作为其他原料的例子，可列举单羟基化合物。

作为单羟基化合物的优选的化合物的例子，可列举：脂肪族一元醇、下述式(H-3)所表示的化合物、脂环式一元醇及芳香族一元醇。

在式(H-3)中，R¹⁰³～R¹⁰⁶分别独立地为氢或甲基，R¹⁰⁷为碳数1～10的有机基，m为1～10的整数。

作为单羟基化合物的具体例，优选为实施例中所使用的化合物，可列举作为芳香族一元醇的苄醇。

此外，作为所述单羟基化合物的具体例，除所述化合物以外，作为脂肪族一元醇，可列举异丙醇；作为式(H-3)所表示的化合物，可列举苄醇、丙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚、松油醇(terpineol)及3-乙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷；作为芳香族一元醇，可列举二甲基苄基甲醇(dimethyl benzyl carbinol)。

这些单羟基化合物的具体例中，作为获取容易且提供与含环氧基的共聚物(B)具有良好的相容性的聚酯酰胺酸(A)的化合物，更优选为苄醇、丙二醇单乙醚及3-乙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷，特别优选为苄醇。

在将单羟基化合物用于聚酯酰胺酸(A)的原料中的情况下，相对于具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)的总量100重量份，单羟基化合物的使用量优选为100重量份以下，更优选为50重量份以下。

＜1-1-5.具有烷氧基硅烷基的单胺＞

在聚酯酰胺酸(A)的合成中，还可在不损及本发明的目的的范围内，视需要包含所述以外的其他原料作为原料，作为其他原料的例子，可列举具有烷氧基硅烷基的单胺。

作为本发明中所使用的具有烷氧基硅烷基的单胺的具体例，可列举：3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、4-氨基丁基三甲氧基硅烷、4-氨基丁基三乙氧基硅烷、4-氨基丁基甲基二乙氧基硅烷、对氨基苯基三甲氧基硅烷、对氨基苯基三乙氧基硅烷、对氨基苯基甲基二甲氧基硅烷、对氨基苯基甲基二乙氧基硅烷、间氨基苯基三甲氧基硅烷及间氨基苯基甲基二乙氧基硅烷。可使用这些中的至少一种。

这些具有烷氧基硅烷基的单胺的具体例中，作为获取容易且提供与含环氧基的共聚物(B)具有良好的相容性的聚酯酰胺酸(A)的化合物，更优选为3-氨基丙基三乙氧基硅烷及对氨基苯基三甲氧基硅烷，特别优选为3-氨基丙基三乙氧基硅烷。

在将具有烷氧基硅烷基的单胺用于聚酯酰胺酸(A)的原料中的情况下，相对于具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)的总量100重量份，具有烷氧基硅烷基的单胺的使用量优选为50重量份以下，更优选为30重量份以下。

＜1-1-6.聚酯酰胺酸(A)的合成反应中所使用的溶剂＞

作为用以获得聚酯酰胺酸(A)的合成反应中所使用的溶剂的具体例，可列举：3-甲氧基丙酸甲酯(methyl 3-methoxy propionate，以下略记为“MMP”)、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯(propylene glycol monomethyl etheracetate，以下略记为“PGMEA”)及环己酮。这些中，优选为MMP、二乙二醇甲基乙基醚及PGMEA。

＜1-1-7.聚酯酰胺酸(A)的合成方法＞

本发明中所使用的聚酯酰胺酸(A)的合成方法是以具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)为必需成分而在所述合成反应中所使用的溶剂中进行反应。

聚酯酰胺酸(A)的优选的原料比率为对于X摩尔的四羧酸二酐、Y摩尔的二胺及Z摩尔的多元羟基化合物而言，使所述式(5)及式(6)的关系成立的比率。如果是该范围，则聚酯酰胺酸(A)在溶剂中的溶解性高，且感光性组合物在基材上的涂布性良好。

在式(5)中，优选为0.7≦Z/Y≦7.0，更优选为1.0≦Z/Y≦5.0。而且，在式(6)中，优选为0.5≦(Y+Z)/X≦4.0，更优选为0.6≦(Y+Z)/X≦2.0。

在聚酯酰胺酸(A)的合成中，认为：在所述式(6)的范围内，相对于Y+Z而过剩使用X的条件下，比在末端具有氨基或羟基的分子更过剩地生成在末端具有酸酐基(-CO-O-CO-)的分子。另一方面，在以此种单体的构成进行反应的情况下，如果添加单羟基化合物及具有烷氧基硅烷基的单胺，则与分子末端的酸酐基进行反应，并可对末端分别进行酯化及酰胺化。通过添加单羟基化合物来进行反应而获得的聚酯酰胺酸(A)可进一步提高感光性组合物的涂布性，通过添加具有烷氧基硅烷基的单胺来进行反应而获得的聚酯酰胺酸(A)可提高硬化膜及基材的密接性。

如果相对于具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)的总量100重量份，使用100重量份以上的合成反应中所使用的溶剂，则反应顺利地进行，因此优选。反应以在40℃～200℃下反应0.2小时～20小时为宜。

原料向反应系统中的添加顺序并无特别限定。即，可使用以下方法中的任一种方法：将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)同时添加于反应溶剂中的方法；使二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)溶解于反应溶剂中后，添加具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)的方法；使具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及多元羟基化合物(a3)预先进行反应后，向包含其反应产物的溶液中添加二胺(a2)的方法；或者使具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及二胺(a2)预先进行反应后，向包含其反应产物的溶液中添加多元羟基化合物(a3)的方法等。

在使单羟基化合物反应的情况下，可在反应的任意时间点添加。

在使所述具有烷氧基硅烷基的单胺反应的情况下，在具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)的反应后，将包含其反应产物的溶液冷却至40℃以下后，添加具有烷氧基硅烷基的单胺，在10℃～40℃下反应0.1小时～6小时为宜。

以所述方式而合成的聚酯酰胺酸(A)包含式(1)所表示的构成单元及式(2)所表示的构成单元，且其末端包含源自作为原料的具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)、多元羟基化合物(a3)、单羟基化合物及具有烷氧基硅烷基的单胺中任一个的酸酐基、氨基、羟基及烷氧基硅烷基，或者这些化合物以外的添加物。

所获得的聚酯酰胺酸(A)的重量平均分子量优选为1,000～200,000，更优选为3,000～50,000。如果处于这些范围，则感光性组合物在基材上的涂布性良好。

本说明书中的重量平均分子量是通过凝胶渗透色谱(Gel PermeationChromatography，GPC)法(管柱温度：35℃，流速：1mL/min)而求出的以聚苯乙烯换算计的值。标准的聚苯乙烯使用分子量为645～132,900的聚苯乙烯(例如，安捷伦科技(AgilentTechnologies)股份有限公司的聚苯乙烯校准套组(calibration kit)PL2010-0102)，管柱使用PLgel MIXED-D(安捷伦科技(Agilent Technologies)股份有限公司)，可使用四氢呋喃(Tetrahydrofuran，THF)作为流动相而进行测定。此外，本说明书中的市售品的重量平均分子量为目录记载值。

＜1-2.含环氧基的共聚物(B)＞

含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物。

在含环氧基的共聚物(B)的合成中至少需要溶剂。可使该溶剂直接残留而使用考虑到操作性等的液状或凝胶状的含环氧基的共聚物溶液来制造感光性组合物，而且也可将该溶剂除去而使用考虑到搬运性等的固体状含环氧基的共聚物来制造感光性组合物。

＜1-2-1.具有环氧基的聚合性化合物(b1)＞

本发明中，作为用以获得含环氧基的共聚物(B)的原料，使用具有环氧基的聚合性化合物(b1)。

本发明中所使用的具有环氧基的聚合性化合物(b1)为在一分子中具有至少一个环氧基，且具有至少一个聚合性基的化合物。

本发明中所使用的具有环氧基的聚合性化合物(b1)中所含的聚合性基优选为自由基聚合性基。

作为具有环氧基的聚合性化合物(b1)的具体例，优选为可列举实施例中所使用的甲基丙烯酸缩水甘油酯。

此外，作为具有环氧基的聚合性化合物(b1)的具体例，除所述化合物以外，也可列举丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧基环己酯，可使用所述具有环氧基的聚合性化合物(b1)的具体例中的至少一种。

这些具有环氧基的聚合性化合物(b1)的具体例中，作为获取容易且提供与聚酯酰胺酸(A)具有良好的相容性的含环氧基的共聚物(B)的化合物，更优选为(甲基)丙烯酸缩水甘油酯，特别优选为甲基丙烯酸缩水甘油酯。

＜1-2-2.聚合性化合物(b2)＞

本发明中，作为用以获得含环氧基的共聚物(B)的原料，使用(b1)以外的聚合性化合物(b2)。

本发明中所使用的聚合性化合物(b2)为在一分子中具有至少一个聚合性基的化合物中的将所述具有环氧基的聚合性化合物(b1)除外的化合物。

本发明中所使用的聚合性化合物(b2)中所含的聚合性基优选为自由基聚合性基。

本发明的含环氧基的共聚物(B)的原料必须包含选自所述式(3)所表示的化合物及所述式(4)所表示的化合物中的至少一种作为聚合性化合物(b2)。

＜1-2-2-1.式(3)所表示的化合物＞

作为式(3)所表示的化合物的具体例，优选为可列举实施例中所使用的甲基丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、甲基丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯。

此外，作为式(3)所表示的化合物的具体例，除所述化合物以外，也可列举(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-(正丙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(异丙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(正丁氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(异丁氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(仲丁氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(叔丁氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基丙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙二醇酯及丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯，可使用所述式(3)所表示的化合物的具体例中的至少一种。

这些式(3)所表示的化合物的具体例中，作为获取容易且提供与聚酯酰胺酸(A)具有良好的相容性的含环氧基的共聚物(B)的化合物，更优选为(甲基)丙烯酸2-(正丁氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二乙二醇酯及(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯，特别优选为(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二乙二醇酯及(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯。

此外，关于市售的甲基丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯的具体例，作为式(3)的n4为约9的化合物，可列举莱特酯(Light Ester)130MA(商品名；共荣社化学股份有限公司)及范克力(Fancryl)FA-400M(100)(商品名；日立化成股份有限公司)，作为式(3)的n4为约30的化合物，可列举莱特酯041MA(商品名；共荣社化学股份有限公司)。

＜1-2-2-2.式(4)所表示的化合物＞

作为式(4)所表示的化合物的具体例，优选为可列举实施例中所使用的单甲基丙烯酰氧基丙基改性聚二甲基硅氧烷、甲基丙烯酸3-[三(三甲基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯及甲基丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯。

此外，作为式(4)所表示的化合物的具体例，除所述化合物以外，也可列举单丙烯酰氧基丙基改性聚二甲基硅氧烷、丙烯酸3-[三(三甲基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯、(甲基)丙烯酸3-[三(三乙基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯、丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯及(甲基)丙烯酸3-(三乙氧基硅烷基)丙酯，可使用所述式(4)所表示的化合物的具体例中的至少一种。

这些式(4)所表示的化合物的具体例中，作为获取容易且提供与聚酯酰胺酸(A)具有良好的相容性的含环氧基的共聚物(B)的化合物，更优选为单(甲基)丙烯酰氧基丙基改性聚二甲基硅氧烷、(甲基)丙烯酸3-[三(三甲基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯及(甲基)丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯，特别优选为单甲基丙烯酰氧基丙基改性聚二甲基硅氧烷、甲基丙烯酸3-[三(三甲基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯及甲基丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯。

此外，式(4)所表示的化合物的具体例中，单(甲基)丙烯酰氧基丙基改性聚二甲基硅氧烷为式(8)所表示的化合物，(甲基)丙烯酸3-[三(三甲基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯为式(9)所表示的化合物，(甲基)丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯为式(10)所表示的化合物。

＜1-2-2-3.聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物＞

作为聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物的具体例，优选为可列举实施例中所使用的甲基丙烯酸、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸苄酯、N-环己基顺丁烯二酰亚胺。

此外，作为聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物的具体例，除所述化合物以外，也可列举甲基丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯、甲基苯乙烯、N-苯基顺丁烯二酰亚胺，可使用聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物的具体例中的至少一种。

这些聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物的具体例中，作为获取容易且提供与聚酯酰胺酸(A)具有良好的相容性的含环氧基的共聚物(B)的化合物，更优选为(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯、N-环己基顺丁烯二酰亚胺及N-苯基顺丁烯二酰亚胺，特别优选为甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸苄酯、N-环己基顺丁烯二酰亚胺及N-苯基顺丁烯二酰亚胺。

而且，这些聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物的具体例中，作为获取容易且提供当制造含环氧基的共聚物(B)时在显影液中的良好的溶解性的化合物，更优选为(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯及(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯，特别优选为(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯。

＜1-2-3.含环氧基的共聚物(B)的聚合反应中所使用的溶剂＞

作为用以获得含环氧基的共聚物(B)的聚合反应中所使用的溶剂的具体例，优选为乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸丙酯、丙酸丁酯、乳酸乙酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-氧基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、MMP、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、4-羟基-4-甲基-2-戊酮、1,4-丁二醇、丙二醇单甲醚、PGMEA、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、环己酮、环戊酮、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚及二乙二醇甲基乙基醚。

＜1-2-4.含环氧基的共聚物(B)的聚合方法＞

本发明中所使用的含环氧基的共聚物(B)的聚合方法是以具有环氧基的聚合性化合物(b1)以及聚合性化合物(b2)中的选自式(3)所表示的化合物及式(4)所表示的化合物中的一种以上的化合物为必需原料，而在所述聚合反应中所使用的溶剂中进行反应。

关于含环氧基的共聚物(B)的优选的原料比率，在具有环氧基的聚合性化合物(b1)及聚合性化合物(b2)的总量100重量％中，具有环氧基的聚合性化合物为20重量％～90重量％，选自式(3)所表示的化合物及式(4)所表示的化合物中的化合物为0.5重量％～50重量％。如果是该范围，则感光性组合物的相对于显影液渗透的感光温度裕度特别良好。

如果相对于具有环氧基的聚合性化合物(b1)及聚合性化合物(b2)的总量100重量份，使用100重量份以上的聚合反应中所使用的溶剂，则反应顺利地进行，因此优选。反应以在40℃～200℃下反应0.2小时～20小时为宜。

含环氧基的共聚物(B)的聚合方法并无特别限定，优选为在使用溶剂的溶液中的自由基聚合。聚合温度只要是由所使用的聚合引发剂来充分产生自由基的温度，则并无特别限定，通常为50℃～150℃的范围。聚合时间也无特别限定，通常为1小时～24小时的范围。而且，该聚合可在加压、减压或大气压的任意压力下进行。

＜1-3.1,2-醌二叠氮化合物(C)＞

本发明中所使用的1,2-醌二叠氮化合物(C)为在一分子中具有至少一个1,2-醌二叠氮基的化合物。

作为1,2-醌二叠氮化合物(C)，由于具有酚性羟基的化合物及具有1,2-醌二叠氮基的磺酰氯的缩合物容易获取，因此适于使用。

作为具有酚性羟基的化合物的具体例，可列举：2,3,4-三羟基二苯甲酮、2,4,6-三羟基二苯甲酮、2,2',4,4'-四羟基二苯甲酮、2,3,3',4-四羟基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮、双(2,4-二羟基苯基)甲烷、双(对羟基苯基)甲烷、三(对羟基苯基)甲烷、1,1,1-三(对羟基苯基)乙烷、双(2,3,4-三羟基苯基)甲烷、2,2-双(2,3,4-三羟基苯基)丙烷、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷、4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚、双(2,5-二甲基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺双茚-5,6,7,5',6',7'-己醇(3,3,3',3'-tetramethyl-1,1'-spirobiinden-5,6,7,5',6',7'-hexanol)、2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羟基黄烷(2,2,4-trimethyl-7,2',4'-trihydroxyflavan)。

作为具有1,2-醌二叠氮基的磺酰氯的具体例，可列举1,2-萘醌二叠氮-4-磺酰氯及1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯。

作为使用这些具有酚性羟基的化合物的具体例及具有1,2-醌二叠氮基的磺酰氯的具体例的1,2-醌二叠氮化合物(C)的具体例，优选为可列举实施例中所使用的4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚及1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯的缩合物。

关于使用这些具有酚性羟基的化合物的具体例及具有1,2-醌二叠氮基的磺酰氯的具体例的1,2-醌二叠氮化合物(C)，作为获取容易且与聚酯酰胺酸(A)具有良好的相容性的化合物，更优选为4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚及1,2-萘醌二叠氮-4-磺酰氯的缩合物以及4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚及1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯的缩合物，特别优选为4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚及1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯的缩合物。

＜1-4.添加剂＞

为了提高涂布均匀性、密接性、耐热性、硬化性及紫外线劣化耐性，在本发明的感光性组合物中可添加各种添加剂。添加剂主要可列举：阴离子系、阳离子系、非离子系、氟系或硅系的流平剂/表面活性剂，硅烷偶联剂等偶联剂，受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化剂，环氧硬化剂，紫外线吸收剂，防凝聚剂，热交联剂及除含环氧基的共聚物(B)以外的环氧化合物。

＜1-4-1.表面活性剂＞

为了提高涂布均匀性，在本发明的感光性组合物中可添加表面活性剂。作为表面活性剂的具体例，可列举：波利弗洛(Polyflow)No.45、波利弗洛(Polyflow)KL-245、波利弗洛(Polyflow)No.75、波利弗洛(Polyflow)No.90、波利弗洛(Polyflow)No.95(均为商品名；共荣社化学股份有限公司)、迪斯帕毕克(Disperbyk)161、迪斯帕毕克(Disperbyk)162、迪斯帕毕克(Disperbyk)163、迪斯帕毕克(Disperbyk)164、迪斯帕毕克(Disperbyk)166、迪斯帕毕克(Disperbyk)170、迪斯帕毕克(Disperbyk)180、迪斯帕毕克(Disperbyk)181、迪斯帕毕克(Disperbyk)182、BYK-300、BYK-306、BYK-310、BYK-320、BYK-330、BYK-342、BYK-346、BYK-361N、BYK-UV3500、BYK-UV3570(均为商品名；日本毕克化学(BYK Chemie Japan)股份有限公司)、KP-341、KP-358、KP-368、KF-96-50CS、KF-50-100CS(均为商品名；信越化学工业股份有限公司)、沙福隆(Surflon)-SC-101、沙福隆(Surflon)-KH-40、沙福隆(Surflon)-S611(均为商品名；AGC清美化学(AGC Seimi Chemical)股份有限公司)、福吉特(Ftergent)222F、福吉特(Ftergent)208G、福吉特(Ftergent)251、福吉特(Ftergent)710FL、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Ftergent)601AD、福吉特(Ftergent)602A、福吉特(Ftergent)650A、FTX-218(均为商品名；尼奥斯(Neos)股份有限公司)、艾福拓(EFTOP)EF-351、艾福拓(EFTOP)EF-352、艾福拓(EFTOP)EF-601、艾福拓(EFTOP)EF-801、艾福拓(EFTOP)EF-802(均为商品名；三菱材料(Mitsubishi Material)股份有限公司)、美佳法(Megafac)F-171、美佳法(Megafac)F-177、美佳法(Megafac)F-410、美佳法(Megafac)F-430、美佳法(Megafac)F-444、美佳法(Megafac)F-472SF、美佳法(Megafac)F-475、美佳法(Megafac)F-477、美佳法(Megafac)F-552、美佳法(Megafac)F-553、美佳法(Megafac)F-554、美佳法(Megafac)F-555、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)F-558、美佳法(Megafac)F-559、美佳法(Megafac)R-30、美佳法(Megafac)R-94、美佳法(Megafac)RS-75、美佳法(Megafac)RS-72-K、美佳法(Megafac)RS-76-NS、美佳法(Megafac)DS-21(均为商品名；迪爱生(DIC)股份有限公司)、迪高屯(TEGO Twin)4000、迪高屯(TEGO Twin)4100、迪高弗洛(TEGO Flow)370、迪高格莱德(TEGO Glide)420、迪高格莱德(TEGO Glide)440、迪高格莱德(TEGO Glide)450、迪高拉德(TEGO Rad)2200N、迪高拉德(TEGO Rad)2250N(均为商品名；日本赢创德固赛(Evonik-Degussa Japan)股份有限公司)、氟烷基苯磺酸盐、氟烷基羧酸盐、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基碘化铵、氟烷基甜菜碱、氟烷基磺酸盐、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基三甲基铵盐、氟烷基氨基磺酸盐、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯十三烷基醚、聚氧乙烯鲸蜡基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯月桂酸酯、聚氧乙烯油酸酯、聚氧乙烯硬脂酸酯、聚氧乙烯月桂基胺、山梨醇酐月桂酸酯、山梨醇酐棕榈酸酯、山梨醇酐硬脂酸酯、山梨醇酐油酸酯、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐月桂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐棕榈酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐油酸酯、聚氧乙烯萘基醚、烷基苯磺酸盐及烷基二苯基醚二磺酸盐。优选为使用选自这些中的至少一种。

这些表面活性剂的具体例中，如果是选自BYK-306、BYK-342、BYK-346、KP-341、KP-358、KP-368、沙福隆(Surflon)-S611、福吉特(Ftergent)710FL、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Ftergent)601AD、福吉特(Ftergent)650A、美佳法(Megafac)F-477、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)F-559、美佳法(Megafac)RS-72-k、美佳法(Megafac)DS-21、迪高屯(TEGO Twin)4000、氟烷基苯磺酸盐、氟烷基羧酸盐、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基磺酸盐、氟烷基三甲基铵盐及氟烷基氨基磺酸盐中的至少一种，则感光性组合物的涂布均匀性变高，因此优选。

相对于感光性组合物总量，本发明的感光性组合物中的表面活性剂的含量优选为0.01重量％～10重量％。

＜1-4-2.偶联剂＞

自进一步提高所形成的硬化膜及基板的密接性的观点考虑，本发明的感光性组合物还可进一步含有偶联剂。

作为此种偶联剂，例如可使用硅烷系、铝系或钛酸酯系的偶联剂。具体而言，可列举：3-缩水甘油氧基丙基二甲基乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷(例如，商品名；塞拉艾斯(Sila-Ace)S510，捷恩智(JNC)株式会社)、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷(例如，商品名；塞拉艾斯(Sila-Ace)S530，捷恩智(JNC)株式会社)、3-巯基丙基三甲氧基硅烷(例如，商品名；塞拉艾斯(Sila-Ace)S810，捷恩智(JNC)株式会社)、3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷的共聚物(例如，商品名；考特奥斯陆(CoatOSil)MP200，迈图高新材料(Momentive Performance Materials)股份有限公司)等硅烷系偶联剂，乙酰烷氧基二异丙醇铝等铝系偶联剂及四异丙基双(二辛基亚磷酸酯)钛酸酯等钛酸酯系偶联剂。

这些中，3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷提高密接性的效果大，因此优选。

相对于感光性组合物总量，偶联剂的含量为0.01重量％以上且10重量％以下，所述情况使所形成的硬化膜及基板的密接性提高，因此优选。

＜1-4-3.抗氧化剂＞

自提高耐热性的观点考虑，本发明的感光性组合物还可进一步含有抗氧化剂。

在本发明的感光性组合物中还可添加受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化剂。这些中，自耐候性的观点考虑，优选为受阻酚系。作为具体例，可列举：易璐佳诺斯(Irganox)1010、易璐佳诺斯(Irganox)1010FF、易璐佳诺斯(Irganox)1035、易璐佳诺斯(Irganox)1035FF、易璐佳诺斯(Irganox)1076、易璐佳诺斯(Irganox)1076FD、易璐佳诺斯(Irganox)1076DWJ、易璐佳诺斯(Irganox)1098、易璐佳诺斯(Irganox)1135、易璐佳诺斯(Irganox)1330、易璐佳诺斯(Irganox)1726、易璐佳诺斯(Irganox)1425WL、易璐佳诺斯(Irganox)1520L、易璐佳诺斯(Irganox)245、易璐佳诺斯(Irganox)245FF、易璐佳诺斯(Irganox)245DWJ、易璐佳诺斯(Irganox)259、易璐佳诺斯(Irganox)3114、易璐佳诺斯(Irganox)565、易璐佳诺斯(Irganox)565DD、易璐佳诺斯(Irganox)295(均为商品名；日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-20、艾迪科斯塔波(ADKSTAB)AO-30、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-50、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-70、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-80(均为商品名；艾迪科(ADEKA)股份有限公司)。这些中，更优选为易璐佳诺斯(Irganox)1010、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60。

相对于感光性组合物总量，添加0.1重量份～10重量份的抗氧化剂而使用。

＜1-4-4.环氧硬化剂＞

为了提高硬化性，本发明的感光性组合物还可进一步含有环氧硬化剂。作为环氧硬化剂，存在有酸酐系硬化剂、胺系硬化剂、酚系硬化剂、咪唑系硬化剂、催化剂型硬化剂及锍盐、苯并噻唑鎓盐、铵盐、鏻盐等感热性酸产生剂等，自与聚酯酰胺酸(A)的相容性的观点考虑，优选为酸酐系硬化剂或咪唑系硬化剂。

作为酸酐系硬化剂的具体例，可列举：脂肪族二羧酸酐(例如，顺丁烯二酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、六氢偏苯三酸酐等)、芳香族多元羧酸酐(例如，邻苯二甲酸酐、偏苯三酸酐等)。这些中，特别优选为可不损及感光性组合物对于溶剂的溶解性而提高硬化性的偏苯三酸酐及六氢偏苯三酸酐。

作为咪唑系硬化剂的具体例，可列举：2-十一烷基咪唑、2-十七烷基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、2,3-二氢-1H-吡咯并[1,2-a]苯并咪唑、1-氰基乙基-2-十一烷基咪唑鎓偏苯三酸盐。这些中，特别优选为可不损及感光性组合物对于溶剂的溶解性而提高硬化性的2-十一烷基咪唑。

环氧硬化剂相对于含环氧基的共聚物(B)的比例是相对于含环氧基的共聚物(B)100重量份，环氧硬化剂为0.1重量份～60重量份。

＜1-4-5.紫外线吸收剂＞

自进一步提高所形成的硬化膜的紫外线劣化耐性的观点考虑，本发明的感光性组合物还可包含紫外线吸收剂。

作为紫外线吸收剂的具体例，可列举：帝奴彬(TINUVIN)P、帝奴彬(TINUVIN)120、帝奴彬(TINUVIN)144、帝奴彬(TINUVIN)213、帝奴彬(TINUVIN)234、帝奴彬(TINUVIN)326、帝奴彬(TINUVIN)571、帝奴彬(TINUVIN)765(均为商品名；日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)。

相对于感光性组合物总量，添加0.01重量份～10重量份的紫外线吸收剂而使用。

＜1-4-6.防凝聚剂＞

自不使固体成分与溶剂融合、防止凝聚的观点考虑，本发明的感光性组合物还可包含防凝聚剂。

作为防凝聚剂的具体例，可列举：迪斯帕毕克(Disperbyk)-145、迪斯帕毕克(Disperbyk)-161、迪斯帕毕克(Disperbyk)-162、迪斯帕毕克(Disperbyk)-163、迪斯帕毕克(Disperbyk)-164、迪斯帕毕克(Disperbyk)-182、迪斯帕毕克(Disperbyk)-184、迪斯帕毕克(Disperbyk)-185、迪斯帕毕克(Disperbyk)-2163、迪斯帕毕克(Disperbyk)-2164、BYK-220S、迪斯帕毕克(Disperbyk)-191、迪斯帕毕克(Disperbyk)-199、迪斯帕毕克(Disperbyk)-2015(均为商品名；日本毕克化学(BYK Chemie Japan)股份有限公司)、FTX-218、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS(均为商品名；尼奥斯(Neos)股份有限公司)、弗洛伦(Flowlen)G-600、弗洛伦(Flowlen)G-700(均为商品名；共荣社化学股份有限公司)。

相对于感光性组合物总量，添加0.01重量份～10重量份的防凝聚剂而使用。

＜1-4-7.热交联剂＞

自进一步提高硬化性及耐热性的观点考虑，本发明的感光性组合物还可包含热交联剂。

作为热交联剂的具体例，可列举：尼卡拉克(Nikalac)MW-30HM、尼卡拉克(Nikalac)MW-100LM、尼卡拉克(Nikalac)MW-270、尼卡拉克(Nikalac)MW-280、尼卡拉克(Nikalac)MW-290、尼卡拉克(Nikalac)MW-390、尼卡拉克(Nikalac)MW-750LM(均为商品名；三和化学股份有限公司)。

相对于感光性组合物总量，添加0.1重量份～10重量份的热交联剂而使用。

＜1-4-8.含环氧基的共聚物(B)以外的环氧化合物＞

为了提高硬化性，本发明的感光性组合物还可进一步含有含环氧基的共聚物(B)以外的环氧化合物。

相对于聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量份，添加0.1重量份～50重量份的含环氧基的共聚物(B)以外的环氧化合物而使用。

作为含环氧基的共聚物(B)以外的环氧化合物的例子，可列举：双酚A型环氧化合物、双酚F型环氧化合物、缩水甘油醚型环氧化合物、联苯型环氧化合物、苯酚酚醛清漆型环氧化合物、甲酚酚醛清漆型环氧化合物、双酚A酚醛清漆型环氧化合物及脂环式环氧化合物。

作为市售的双酚A型环氧化合物的具体例，可列举jER 828、jER 1004、jER 1009(均为商品名；三菱化学股份有限公司)；作为市售的双酚F型环氧化合物的具体例，可列举jER806、jER 4005P(均为商品名；三菱化学股份有限公司)；作为市售的缩水甘油醚型环氧化合物的具体例，可列举特克摩阿(Tecmoa)VG3101L(商品名；普林泰科(Printec)股份有限公司)、EPPN-501H、EPPN-502H(均为商品名；日本化药股份有限公司)、JER 1032H60(商品名；三菱化学股份有限公司)；作为市售的联苯型环氧化合物的具体例，可列举jER YX4000、jER YX4000H、jER YL6121H(均为商品名；三菱化学股份有限公司)；作为市售的苯酚酚醛清漆型环氧化合物的具体例，可列举EPPN-201(商品名；日本化药股份有限公司)、jER 152、jER 154(均为商品名；三菱化学股份有限公司)；作为市售的甲酚酚醛清漆型环氧化合物的具体例，可列举EOCN-102S、EOCN-103S、EOCN-104S、EOCN-1020(均为商品名；日本化药股份有限公司)；作为市售的双酚A酚醛清漆型环氧化合物的具体例，可列举jER 157S65、jER157S70(均为商品名；三菱化学股份有限公司)；作为市售的脂环式环氧化合物的具体例，可列举赛罗西德(Celloxide)2021P、赛罗西德(Celloxide)EHPE-3150(均为商品名；大赛璐股份有限公司)。此外，作为缩水甘油醚型环氧化合物的特克摩阿(Tecmoa)VG3101L为2-[4-(2,3-环氧基丙氧基)苯基]-2-[4-[1,1-双[4-([2,3-环氧基丙氧基]苯基)]乙基]苯基]丙烷及1,3-双[4-[1-[4-(2,3-环氧基丙氧基)苯基]-1-[4-[1-[4-(2,3-环氧基丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇的混合物。

＜1-5.感光性组合物中所任意添加的溶剂＞

在本发明的感光性组合物中，除聚酯酰胺酸(A)的合成反应中所使用的溶剂及含环氧基的共聚物(B)的聚合反应中所使用的溶剂以外，还可添加溶剂。本发明的感光性组合物中所任意添加的溶剂(以下记载为“稀释用溶剂”)优选为可溶解聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)等的溶剂。作为该稀释用溶剂的具体例，可列举乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸丙酯、丙酸丁酯、乳酸乙酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-氧基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、MMP、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、4-羟基-4-甲基-2-戊酮、1,4-丁二醇、丙二醇单甲醚、PGMEA、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、环己酮、环戊酮、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚及二乙二醇甲基乙基醚，可使用所述稀释用溶剂的具体例中的至少一种。

＜1-6.感光性组合物的保存＞

本发明的感光性组合物如果在-30℃～25℃的范围内保存，则组合物的经时稳定性变良好而优选。如果保存温度为-20℃～10℃，则并无析出物而更优选。

＜2.感光性组合物的硬化膜＞

本发明的感光性组合物可通过如下方式而获得：将聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)、1,2-醌二叠氮化合物(C)及添加剂加以混合，进一步视需要而选择添加稀释用溶剂，将这些均匀地混合溶解。作为添加剂，根据目标特性，可视需要而选择使用偶联剂、表面活性剂及其他添加剂。

如果将以所述方式而制备的感光性组合物(在并无溶剂的固体状态的情况下，溶解于溶剂中后)涂布于基体表面上，通过例如加热等而将溶剂除去，则可形成涂膜。在基体表面上涂布感光性组合物可使用旋涂法、辊涂法、浸渍法、柔版印刷法、喷雾法及狭缝涂布法等现有公知的方法。其次，利用加热板(hot plate)或烘箱(oven)等对该涂膜进行加热(预烘烤)。加热条件因各成分的种类及调配比例而异，通常为70℃～150℃，如果是烘箱则为5分钟～15分钟，如果是加热板则为1分钟～5分钟。

其后，介隔所期望的图案形状的掩模对涂膜照射紫外线。紫外线照射量以i射线计适宜为5mJ/cm²～1,000mJ/cm²。经紫外线照射的部分的感光性组合物因1,2-醌二叠氮化合物的碱可溶性提高而可溶于碱性显影液中。

其次，通过喷淋显影、喷雾显影、覆液显影、浸渍显影等而将涂膜浸渍于碱性显影液中，将不需要的部分溶解除去。碱性显影液的具体例为碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾等无机碱类的水溶液，以及氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵等有机碱类的水溶液。而且，也可在所述碱性显影液中添加适量的甲醇、乙醇及表面活性剂等而使用。

最后，为了使涂膜完全硬化，可通过加热处理而获得硬化膜，所述加热处理为在180℃～250℃、优选为200℃～250℃下，如果是烘箱则进行30分钟～90分钟，如果是加热板则进行5分钟～30分钟。

以所述方式而获得的硬化膜在加热时，进而1)聚酯酰胺酸(A)的聚酰胺酸部分脱水环化而形成酰亚胺键，2)聚酯酰胺酸的羧基与含环氧基的共聚物反应而高分子量化，因此非常强韧，且耐热性优异。因此，本发明的硬化膜如果用作彩色滤光片用的保护膜则有效，可使用彩色滤光片来制造液晶显示元件或固体摄像元件。除彩色滤光片用的保护膜以外，本发明的硬化膜如果用作形成于薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)与透明电极之间的透明绝缘膜或形成于透明电极与取向膜之间的绝缘膜则有效。进而，本发明的硬化膜即便用作LED发光体的保护膜也有效。

[实施例]

其次，通过合成例、比较合成例、实施例及比较例对本发明加以具体说明，但本发明并不受这些实施例的任何限定。

对于合成例、比较合成例、实施例及比较例中所使用的化合物，针对每一成分而预先记载。

具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)中的四羧酸二酐：

a1-1：ODPA：3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐

a1-2：BT-100：1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐

具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)中的苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物：

a1-3：商品名SMA-1000P，沙多玛(Sartomer)股份有限公司，以下略记为“SMA-1000P”

二胺(a2)：

a2-1：DDS：3,3'-二氨基二苯基砜

多元羟基化合物(a3)：

a3-1：1,4-丁二醇

单羟基化合物：

a4-1：苄醇

聚酯酰胺酸(A)的合成反应中所使用的溶剂：

MMP：3-甲氧基丙酸甲酯

PGMEA：丙二醇单甲醚乙酸酯

具有环氧基的聚合性化合物(b1)：

b1-1：甲基丙烯酸缩水甘油酯

聚合性化合物(b2)中的式(3)所表示的化合物：

b2-1：甲基丙烯酸二环戊烯氧基乙酯

b2-2：甲基丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯(商品名莱特酯(Light Ester)041MA，共荣社化学股份有限公司，以下略记为“041MA”)

聚合性化合物(b2)中的式(4)所表示的化合物：

b2-3：单甲基丙烯酰氧基丙基改性聚二甲基硅氧烷(商品名塞拉普兰(Silaplane)FM0711(数量平均分子量目录记载值：1,000)，捷恩智(JNC)股份有限公司，以下略记为“FM0711”)

b2-4：甲基丙烯酸3-[三(三甲基硅烷基氧基)硅烷基]丙酯(商品名塞拉普兰(Silaplane)TM0701T，捷恩智(JNC)股份有限公司，以下略记为“TM0701T”)

b2-5：甲基丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯(商品名塞拉艾斯(Sila-Ace)S710，捷恩智(JNC)股份有限公司，以下略记为“S710”)

聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物：

b2-6：甲基丙烯酸

b2-7：甲基丙烯酸2-羟基乙酯

b2-8：甲基丙烯酸苄酯

b2-9：N-环己基顺丁烯二酰亚胺

含环氧基的共聚物(B)的聚合反应中所使用的聚合引发剂：

2,2'-偶氮双(2-甲基丙酸)二甲酯(商品名V-601，和光纯药工业股份有限公司，以下略记为“V-601”)

含环氧基的共聚物(B)的聚合反应中所使用的溶剂：

PGMEA：丙二醇单甲醚乙酸酯

1,2-醌二叠氮化合物(C)：

4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚及1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯的缩合物(平均酯化率58％，以下略记为“PAD”)

稀释用溶剂：

PGMEA：丙二醇单甲醚乙酸酯

添加剂-1：作为硅烷系偶联剂的3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷(商品名；塞拉艾斯(Sila-Ace)S510，捷恩智(JNC)股份有限公司，以下略记为“S510”)

添加剂-2：作为氟系表面活性剂的美佳法(Megafac)F-556(商品名，迪爱生(DIC)股份有限公司，以下略记为“F-556”)

以如下所示的方式合成包含四羧酸二酐、二胺、多元羟基化合物等反应产物的聚酯酰胺酸溶液(合成例1及合成例2)。

[合成例1]聚酯酰胺酸溶液(A1)的合成

在具备温度计、搅拌机、原料投入添加口及氮气导入口的1,000mL四口烧瓶中，添加446.96g的作为合成反应中所使用的溶剂的MMP、31.93g的作为多元羟基化合物的1,4-丁二醇、25.54g的作为单羟基化合物的苄醇、183.20g的作为四羧酸二酐的ODPA，在干燥氮气流下且在130℃下搅拌3小时。其后，将反应后的溶液冷却至25℃，投入29.33g的作为二胺的DDS、183.04g的MMP，在20℃～30℃下搅拌2小时后，在115℃下搅拌1小时，冷却至30℃以下，由此获得淡黄色透明的聚酯酰胺酸的30重量％溶液(A1)。而且，以GPC测定的重量平均分子量为4,200。

[Z/Y＝3、(Y+Z)/X＝0.8]

此外，此处所谓“聚酯酰胺酸的30重量％溶液(A1)”，是表示视为如上所述所添加的化合物全部进行反应来求出的由固体成分的重量与溶剂的重量换算而得的浓度为30重量％。以下的合成例及比较合成例也相同。

[合成例2]聚酯酰胺酸溶液(A2)的合成

在具备温度计、搅拌机、原料投入添加口及氮气导入口的1,000mL四口烧瓶中，添加604.80g的作为合成反应中所使用的溶剂的PGMEA、34.47g的作为四羧酸二酐的BT-100、164.11g的作为苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物的SMA-1000P、50.17g的作为单羟基化合物的苄醇、10.45g的作为多元羟基化合物的1,4-丁二醇，在干燥氮气流下且在130℃下搅拌3小时。其后，将反应后的溶液冷却至25℃，投入10.80g的作为二胺的DDS、25.20g的PGMEA，在20℃～30℃下搅拌2小时后，在115℃下搅拌1小时，冷却至30℃以下，由此获得淡黄色透明的聚酯酰胺酸的30重量％溶液(A2)。以GPC测定的重量平均分子量为10,000。

[Z/Y＝2.7、(Y+Z)/X＝0.9]

以如下所示的方式合成包含具有环氧基的聚合性化合物(b1)及聚合性化合物(b2)的反应产物的含环氧基的共聚物溶液(合成例3～合成例12及比较合成例1～比较合成例2)。

[合成例3]含环氧基的共聚物溶液(B1)的合成

在带有搅拌器的四口烧瓶中，以下述组成添加作为聚合反应中所使用的溶剂的PGMEA、作为具有环氧基的聚合性化合物(b1)的甲基丙烯酸缩水甘油酯、作为聚合性化合物(b2)中的式(3)所表示的化合物的甲基丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、作为聚合性化合物(b2)中的不由式(3)及式(4)的任一个所表示的化合物的甲基丙烯酸、以及作为聚合引发剂的V-601，在80℃下加热3小时后，在90℃下加热1小时。

将聚合反应结束后的溶液冷却至室温，获得含环氧基的共聚物的30重量％溶液(B1)。通过GPC分析而求出的重量平均分子量为12,000。

[合成例4～合成例12及比较合成例1～比较合成例2]

依据合成例3的方法，以表1中所记载的比例(单位：g)将各成分设为原料，并进行聚合反应，由此获得含环氧基的共聚物溶液。此外，在合成例9中，变更聚合条件，自“在80℃下加热3小时后，在90℃下加热1小时”变更为“在110℃下加热2小时”。所获得的含环氧基的共聚物的重量平均分子量也一并示于表1中。

表1

[实施例1]

以下述组成混合溶解作为聚酯酰胺酸(A)的聚酯酰胺酸溶液(A1)、作为含环氧基的共聚物(B)的含环氧基的共聚物溶液(B2)、作为1,2-醌二叠氮化合物(C)的PAD、作为添加剂的S510及F-556、以及作为稀释用溶剂的PGMEA，从而获得感光性组合物。

此外，该组合物中所含的溶剂的总量为聚酯酰胺酸溶液(A1)中所含的MMP、含环氧基的共聚物溶液(B2)中所含的PGMEA及稀释用溶剂PGMEA的总量，该步骤中将固体成分浓度调整为约28重量％。在实施例2以下及比较例中也相同。

以700rpm历时10秒将感光性组合物旋涂于玻璃基板上，在100℃的加热板上进行2分钟预烘烤。其次，在空气中，介隔20μm见方的具有正方形图案的掩模，使用接近式曝光机TME-150PRC(商品名；拓普康(Topcon)股份有限公司)，透过波长截止滤波器将350nm以下的光截止，而取出g射线、h射线、i射线，并进行曝光。曝光量是利用累计光量计UIT-102(商品名；牛尾(USHIO)股份有限公司)、光接收器UVD-365PD(商品名；牛尾(USHIO)股份有限公司)进行测定而设为200mJ/cm²。利用2.38重量％氢氧化四甲基铵水溶液对曝光后的涂膜进行60秒覆液显影后，利用纯水对涂膜进行20秒清洗后，利用100℃的加热板进行2分钟干燥。进一步在烘箱中以230℃下进行30分钟后烘烤，获得带有膜厚3.0μm且具有图案宽度为大致20μm的孔图案的硬化膜的玻璃基板。

[耐热性的评价方法]

将所获得的带有具有孔图案的硬化膜的玻璃基板在240℃下进行1小时再加热后，测定加热前的膜厚及加热后的膜厚，通过下述计算式而算出残膜率。膜厚的测定中使用阶差/表面粗糙度/微细形状测定装置(商品名；P-16+，科磊(KLA TENCOR)股份有限公司)。将加热后的残膜率为95％以上的情况评价为○，将加热后的残膜率不足95％的情况评价为×。

残膜率＝(加热后的膜厚/加热前的膜厚)×100％

[相对于显影液渗透的干燥温度裕度的评价方法]

除所获得的带有具有孔图案的硬化膜的玻璃基板以外，还将加热板的温度自100℃变更为60℃，除此以外，同样地制造，从而获得带有膜厚3.0μm的具有孔图案的硬化膜的玻璃基板。针对100℃与60℃的干燥温度不同的两种玻璃基板的图案端，分别使用光学显微镜来观察有无显影液渗透。图1是无显影液渗透的状态，图2是有显影液渗透的状态。将加热板的温度为100℃的情况及60℃的情况中均无显影液渗透的情况评价为○，将在任一个以上的情况下观察到显影液渗透的情况评价为×。

[实施例2～实施例11及比较例1～比较例2]

依据实施例1的方法，以表2中所记载的比例(单位：g)将各成分混合溶解而获得感光性组合物。

以下，将使用实施例1～实施例11的感光性组合物的耐热性的评价结果及相对于显影液渗透的干燥温度裕度的评价结果记载于表2中。

表2

根据表2中所示的结果，明确得知：实施例1～实施例10的感光性组合物的耐热性及相对于显影液渗透的干燥温度裕度优异。另一方面，得知：关于在含环氧基的共聚物(B)的原料中不含选自式(3)所表示的化合物及式(4)所表示的化合物中的一种以上的感光性组合物的比较例1，相对于显影液渗透的干燥温度裕度狭窄。而且，得知：关于不含聚酯酰胺酸(A)的感光性组合物的比较例2，耐热性不良。

[产业上的可利用性]

由本发明的感光性组合物而获得的硬化膜的耐热性高且相对于显影液渗透的干燥温度裕度广，自此方面考虑，可用作彩色滤光片、LED发光元件及光接收元件等的各种光学材料等的保护膜、以及形成于TFT与透明电极之间及透明电极与取向膜之间的绝缘膜。

Claims (7)

1.一种感光性组合物，其包含聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)，且所述感光性组合物的特征在于：

所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元；

所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物；而且

所述聚合性化合物(b2)包含选自下述式(3)所表示的化合物及下述式(4)所表示的化合物中的一种以上，

在式(1)中，R¹为碳数2～1000的有机基，R²为碳数2～100的有机基；

在式(2)中，R³为碳数2～1000的有机基，R⁴为碳数2～100的有机基；

在式(3)中，R⁵为氢或碳数1～7的有机基，R⁶为碳数1～6的亚烷基，R⁷为碳数1～20的有机基，n1为1～100的整数；

在式(4)中，R⁸为氢或碳数1～7的有机基，R⁹及R¹⁰分别独立地为碳数1～7的有机基或-OSi(R¹²)₃，R¹¹为碳数1～7的有机基或-Si(R¹³)₃，n2为2～10的整数，n3为1～100的整数，R¹²及R¹³分别独立地为氢或碳数1～7的有机基。

2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中所述式(1)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及二胺(a2)设为原料的构成单元；

所述式(2)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及多元羟基化合物(a3)设为原料的构成单元。

3.根据权利要求2所述的感光性组合物，其中所述具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)为选自四羧酸二酐及苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物中的一种以上的化合物；

所述聚酯酰胺酸(A)为以使下述式(5)及式(6)的关系成立的比率包含X摩尔的四羧酸二酐、Y摩尔的二胺及Z摩尔的多元羟基化合物的原料的反应产物，

0.2≦Z/Y≦8.0···(5)

0.2≦(Y+Z)/X≦5.0...(6)。

4.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中所述具有环氧基的聚合性化合物(b1)为选自具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯中的一种以上；

所述式(3)所表示的化合物为下述式(7)所表示的化合物；

所述式(4)所表示的化合物为选自下述式(8)所表示的化合物、下述式(9)所表示的化合物及下述式(10)所表示的化合物中的一种以上，

在式(7)中，R¹⁴为氢或甲基，R¹⁵为碳数1～40的有机基，n4为1～40的整数；

在式(8)中，R¹⁶为氢或甲基，R¹⁷为碳数1～10有机基，n5为1～100的整数；

在式(9)中，R¹⁸为氢或甲基；

在式(10)中，R¹⁹为氢或甲基，R²⁰、R²¹及R²²分别独立地为碳数1～7的有机基。

5.根据权利要求4所述的感光性组合物，其中所述具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯为(甲基)丙烯酸缩水甘油酯；

所述式(7)所表示的化合物为选自(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯及(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯中的一种以上；

所述式(10)所表示的化合物为(甲基)丙烯酸3-(三甲氧基硅烷基)丙酯。

6.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量％中，含环氧基的共聚物(B)的含有率为20重量％～90重量％，且相对于聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量份，1,2-醌二叠氮化合物(C)为5重量份～40重量份。

7.一种硬化膜，其特征在于：其是由根据权利要求1至6中任一项所述的感光性组合物而获得。