CN107532298B - 气化供给装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。

Description

气化供给装置
技术领域
本发明涉及一种在半导体制造装置、化学产业设备或药品产业设备等上使用的、使液体原料气化而进行供给的气化供给装置。
背景技术
以往，使用例如向利用有机金属气相成长法(MOCVD：Metal Organic ChemicalVapor Deposition)的半导体制造装置供给原料流体的液体原料气化供给装置(例如专利文献1～4)。
例如图8所示，这种的液体原料气化供给装置，先将TEOS(Tetraethylorthosilicate)等的液体原料L储存于储液槽100，向储液槽100供给加压后的不活泼气体FG，通过不活泼气体FG的加压，以一定压力来推出储液槽100内的液体原料L并供给至气化器101，通过气套加热器(jacket heater)等的加热单元102，在气化器101内加热而使液体原料L气化，通过流量控制装置103将气化后的气体控制成预定流量，供给至半导体制造装置104。图8中，符号110表示停止阀(Stop Valve)，符号111表示真空泵。
为了填补因使气化器101内的液体原料L气化所造成气化器101内的液体原料L的减少，需要检测出液体原料L的减少，将减少量补给至气化器101。
为了检测出气化器101内的液体原料的减少而补给，以往是在向气化器101的供给路径106上设置用于控制向气化器101的液体原料L的供给的控制阀105，且配设用于检测出连通气化器101与流量控制装置103的气体流路107内的气体的压力的压力检测器108，通过压力检测器108来监视气化器101内的气体压力，一旦因气化器101内的液体原料L气化减少而压力检测器101的检测压力变为预定值(规定值)以下，则在将控制阀105开启预定时间后关闭，向气化器101内供给预定量的液体原料，若再度因气化器101内的液体原料L气化减少而检测压力到达预定值，则在将控制阀105开启一定时间后控制阀105，反复进行如此顺序的控制。
现有技术文献
专利文献
【专利文献1】日本专利特开2009-252760号公报
【专利文献2】日本专利特开2010-180429号公报
【专利文献3】日本专利特开2013-77710号公报
【专利文献4】日本专利特开2014-114463号公报
然而，若因某些的事故等而产生从气化器通往流量控制装置的气体流路内被液体原料充满的不良，则会有无法通过流量控制装置来控制气体流量而供给的问题。
发明内容
因此，本发明的主要目的是，提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体原料充满的不良的气化供给装置。
为了达成上述目的，本发明所涉及的气化供给装置具备：气化器，其将液体加热而使其气化；流量控制装置，其控制从所述气化器送出的气体的流量；第一控制阀，其介入设置于液体向所述气化器的供给路径中；压力检测器，其用于检测出在所述气化器被气化并被送往所述流量控制装置的气体的压力；液体检测部，其测定所述气化器内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置，其按照如下方式进行控制：以根据所述压力检测器检测出的压力值向所述气化器供给预定量的液体的方式控制所述第一控制阀，且在所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，关闭所述第一控制阀。
在一方式中，还具备：介入设置于所述气化器与所述流量控制装置之间的气体流路中的第二控制阀，在所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，所述控制装置按照关闭所述第一控制阀，且关闭所述第二控制阀的方式进行控制。
并且，为了达成上述目的，本发明的气化供给装置具备：气化器，其将液体加热而使其气化；流量控制装置，其控制从所述气化器送出的气体的流量；第一控制阀，其介入设置于液体向所述气化器的供给路径中；压力检测器，其用于检测出在所述气化器被气化并被送往所述流量控制装置的气体的压力；第二控制阀，其介入设置于所述气化器与所述流量控制装置之间的气体流路中；液体检测部，其测定超过所述气化器内的预定量的液体的参数；以及控制装置，其按照如下方式进行控制：以根据所述压力检测器的检测出的压力值向所述气化器供给预定量的液体的方式控制所述第一控制阀，且当所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，关闭所述第二控制阀。
所述液体检测部可设为温度检测器。
所述液体检测部可设为液面计。
所述液体检测部可设为称载元件。
所述气化器可具备气化室，且可在该气化室配设所述液体检测部。
所述气化器可具备气化室和与该气化室连通的气体加热室，且在所述气体加热室可配设所述液体检测部。
发明效果
若根据本发明所涉及的气化供给装置，通过液体检测部来测定气化器内的超过预定量的液体原料的参数，当所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，关闭第一控制阀，由此停止向气化器供给过剩的液体原料，能够将液体原料浸入气体流路防患于未然。
并且，当所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，关闭第一控制阀，由此若气化器内的原料液体消失，则向流量控制装置的气体供给会停止，因此能够确认在压力检测器产生因产品寿命或经年劣化等所造成的异常。
并且，当液体检测部检测到气化器内的超过预定量的液体原料时，关闭第二控制阀，由此防止液体原料从气化器的流出，能够将液体原料浸入气体流路防患于未然。
一旦超过预定量的液体原料流入气化器内，液体流入应作为气体状态存在的部位，则该部位的温度会降低，因此通过将液体检测部设为温度检测器来测定该温度下降，能够检测气化器内的超过预定量的液体原料。
并且，一旦超过预定量的液体原料流入气化器内，液体流入应作为气体状态存在的部位，则该部位的液面会上升，因此通过将液体检测部设为液面计来测定此液面上升，能够检测气化器内的超过预定量的液体原料。
并且，一旦超过预定量的液体原料流入气化器内，液体流入应作为气体状态存在的部位，则气化器内的液体的重量会增加，因此通过将液体检测部设为称载元件来检测该重量增加，能够检测气化器内的超过预定量的液体原料。
附图说明
图1是表示本发明所涉及的气化供给装置的第一实施方式的局部纵剖主视图。
图2是图1的局部放大图。
图3是表示本发明所涉及的气化供给装置的第二实施方式的局部纵剖主视图。
图4是热式液面计的说明图。
图5是热式液面计的检测电路图。
图6是表示本发明所涉及的气化供给装置的第三实施方式的局部纵剖主视图。
图7是表示本发明所涉及的气化供给装置的第四实施方式的局部纵剖主视图。
图8是表示现有的气化供给装置的概略构成图。
符号说明
1A、1B、1C、1D：气化供给装置
2：气化器
2a2：气化室
2b1：第一气体加热室
2c1：第二气体加热室
3：流量控制装置
5：第一控制阀
6：压力检测器
7A、7B、7C：液体检测部
8：控制装置
70：第二控制阀
具体实施方式
以下一面参照附图一面说明本发明所涉及的气化供给装置的实施方式。另外，所有的实施方式中，对相同或类似的构成部分标注相同的标号。
图1表示本发明所涉及的气化供给装置的第一实施方式。如图1所示，气化供给装置1A具备：气化器2，其将液体原料L加热而使其气化；流量控制装置3，其控制从气化器2送出的气体G的流量；第一控制阀5，其介入设置于液体原料L向气化器2的供给路径4中；压力检测器6，其用于检测出在气化器2被气化并送往流量控制装置3的气体G的压力；液体检测部7A，其测定超过气化器2内的预定量(规定量)的液体原料L的参数；以及控制装置8，其以根据压力检测器6检测出的压力值，对气化器2供给预定量的液体原料L的方式控制第一控制阀5，并且在液体检测部7A检测到液体时，控制为关闭第一控制阀5。
气化器2具备由不锈钢形成的主体2A。主体2A被虚线所示的加热用的气套加热器等的加热单元H包围。主体2A是连接第一块体2a、第二块体2b以及第三块体2c而构成的。第一块体2a在上部形成有液供给口2a1，在内部形成有气化室2a2。在第二块体2b上，形成有与第一块体2a的气化室2a2的上部连通的第一气体加热室2b1。第三块体2c在内部形成有与第一气体加热室2b1连通的第二气体加热室2c1，在上部形成有气体排出口2c2。第一气体加热室2b1及第二气体加热室2c1在圆筒状空间内设置有圆柱状的加热促进体2b3、2c3，该圆筒状空间与加热促进体2b3、2c3的间隙成为气体流路。在第一块体2a与第二块体2b之间、以及第二块体2b与第三块体2c之间的各个气体连通部上，存在带通孔的衬垫9、10，通过气体通过这些带通孔的衬垫9、10的通孔，防止气体的脉动。
液体原料L的预备加热用块体11与第一块体2a连接。预备加热用块体11在侧面上连接有液体流入口12，在内部形成有与液体流入口12连通的液体积存室13，在上表面形成有与液体积存室13连通的液体流出口14。预备加热用块体11从图外的储液槽(参照图8的符号100)将以预定压压送而来的液体原料L积存于液体积存室13，利用气套加热器等的加热单元H来预热。
以跨越第一块体2a与预备加热用块体11的上表面的方式固定第一控制阀5。第一控制阀5通过开闭或开度调整连通预备加热用块体11的液流出口14与第一块体2a的液供给口2a1的供给路径4来控制液体原料L向气化器2的供给量。图示例的第一控制阀5使用利用空气压来控制阀体5a的开闭的空气驱动阀。在第一块体2a的液体供给口2a1中，介入设置形成有细孔的衬垫15，液体原料通过衬垫15的细孔，由此调整向气化室2a2内的供给量。
图示例的流量控制装置3是被称为高温对应型的压力式流量控制装置的公知的流量控制装置。参照图1及图2，该流量控制装置3具备：阀块31；形成于阀块31内的气体流路32；介入设置于气体流路32中的金属制隔膜阀体33；固定于阀块31而立设(竖立设置)的筒状引导构件34；可滑动地插入筒状引导构件34的阀棒容器35；贯通形成于阀棒容器35的下部的孔35a、35a并通过筒状引导构件34按压固定于阀块31的桥36；容纳在阀棒容器35内且被桥36支撑的放热间隔件37及压电驱动元件38；突设于阀棒容器35的外周，贯通形成于筒状引导构件34上的孔34a而延伸的凸缘支架35b；安装于凸缘支架35b的凸缘体39；形成于筒状引导构件34的上端部的凸缘部34b；在凸缘部34b与凸缘体39之间以压缩状态配设的线圈弹簧40；介入设置于金属隔膜阀体33的下游侧的气体流路32中，形成有微细孔的空孔薄板(开孔薄板)41；以及检测金属隔膜阀体33与空孔薄板41之间的气体流路32内的压力的流量控制用压力检测器42。放热间隔件37由因瓦合金(invar)材等形成，即使高温的气体流动于气体流路32，也会防止压电驱动元件38达到耐热温度以上。
压电驱动元件38不通电时，阀棒容器35被线圈弹簧40推至图2的下方，如图2所示，金属隔膜阀体33抵接于阀座31a，关闭气体流路32。通过通电至压电驱动元件38，压电驱动元件38扩展，一旦克服线圈弹簧40的弹性力将阀棒容器35往图2的上方举起，则金属隔膜阀体33会通过自身弹性力来恢复成原来的倒碟形状而开通气体流路32。
流量控制装置3通过流量控制用压力检测器42检测空孔薄板41的至少上游侧的气体压力，根据检测出的压力信号，通过压电驱动元件38使介入设置于气体流路32中的金属制隔膜阀体33开闭而进行流量控制。一旦空孔薄板41的上游侧的绝对压力达到空孔薄板41的下游侧的绝对压力的约2倍以上(临界膨胀条件)，则通过空孔薄板41的微细孔的气体会成为音速，由于不会形成音速以上的流速，因此其流量只依赖微细孔上游侧的压力，通过空孔薄板41的微细孔的流量利用了与压力成比例的原理。另外，虽未图示，但亦可检测出空孔薄板41的微细孔下游侧的压力，根据微细孔的上游侧与下游侧的差压来控制流量。另外，空孔薄板41就图示例而言是形成有流孔的流孔板，但空孔薄板41的孔并不限于流孔，只要是缩限流体的构造的流孔即可。
第三块体2c上连接有间隔件块50，间隔件块50上连接有阀块31。以跨越第三块体2c与间隔件块50的方式被固定的流路块51内的气体流路52使第三块体2c的气体流路，即第二气体加热室2c1与间隔件块50的气体流路50a连通。间隔件块50的气体流路50a与阀块31的气体流路32连通。
在阀块31的气体流路32的金属隔膜阀体33的上游位置设有压力检测器6，在气化器2被气化并送往流量控制装置3的气体的压力通过压力检测器6进行检测。
压力检测器6所检测出的压力值的信号(P0)是通常被送往控制装置8而被监视。一旦气化室2a2内的液体原料L因气化而变少，则气化器2的内部压力会减小。一旦气化室2a2内的液体原料L减少，气化器2内的内部压力减小，压力检测器6的检测压力到达预先设定的设定值，则控制装置8会仅开启预定时间后关闭第一控制阀5，由此将预定量的液体原料L供给至气化室2a2。一旦预定量的液体原料L被供给至气化室2a2内，则液体原料L会气化，由此气化器2内的气体压力会再度上升，然后，液体原料L会变少，由此气化器2的内部压力再度减小。然后，一旦气化器2的内部压力到达设定值，则如上所述再度仅开启预定时间后关闭第一控制阀5。通过如此的控制顺序，预定量的液体原料会逐次补充至气化室2a2。
预先设定被供给至气化室2a2的液体原料L的最大水位，按照该最大水位来设定被供给至气化室2a2的液体原料L的所述预定量。图1所示的气化室2a2的液体原料L的水位表示设定最大水位。
在流量控制装置3的下游侧的气体流路55上设有停止阀56。
第一实施方式的气化供给装置1A采用测定监视第一气体加热室2b1内的温度的温度检测器，作为测定超过气化器2内的预定量的液体原料的参数的液体检测部7A。构成液体检测部7A的温度检测器可使用铂测温电阻体、热电偶、热敏电阻、或红外线温度计等的公知的温度检测器。图示例是使用保护管中插入铂测温电阻体的保护管式白金测温电阻体。
在图示例中，例如，气化室2a2内的液体原料L的温度保持在185℃，第一气体加热室2b1内的气体温度保持在195℃。假设若液体原料L从气化室2a2内溢出而流入第一气体加热室2b1内，液体原料L接触构成液体检测部7A的温度检测器，则依据该温度检测器的测定温度的降低，能够检测液体原料流入第一气体加热室2b1内的情形。
控制装置8通常监视来自构成液体检测部7A的温度检测器的检测温度，在上述温度降低的情况下，判定液体原料L流入至第一气体加热室2b1，关闭第一控制阀5。此时，以即使压力检测器6的检测信号比所述设定值低，控制装置8也会关闭第一控制阀5的方式加以程序化。
因此，在液体原料L流入第一气体加热室2b1的情况下，第一控制阀5马上关闭。由此，在液体原料L流入第一气体加热室2b1的情况下，即使检测压力值因压力检测器6误作动等的某些事故等而比设定值低，也会不开启而马上关闭第一控制阀5，因此能够将从气化器2向流量控制装置3的气体流路32内被液体原料充满的不良防患于未然。
并且，一旦液体检测部7A检测到液体原料L而关闭第一控制阀5，则气化器2内的液体原料L会被气化而消失，停止向流量控制装置3的原料气体的供给。因此，在这种情况下，判定压力检测器6异常，例如因制品寿命或经年劣化等造成发生异常。
构成液体检测部7A的温度检测器并不限于第一气体加热室2b1，亦可配设于第二气体加热室2c1，或配置在比气化室2a2的设定最大水位靠上部空间。
图3表示本发明所涉及的气化供给装置的第二实施方式。第二实施方式的气化供给装置1B，主要是以测定超过气化器2内的预定量的液体原料的参数的液体检测部7B为测定气化器2内的液面水位的变化的液面计这一点与上述第一实施方式不同，其他的构成与上述第一实施方式相同。
由于气化器2内处于高温多湿的环境下，因此构成液体检测部7B的液面计可优选使用热式液面计，该热式液面计利用了热放射常数在液相及气相不同的情形。
以下参照图4及图5来说明此种的热式液面计的原理。热式液面计设置有分别封入有铂等的测温电阻体R1、R2的2根保护管60、61，在一侧的测温电阻体R1中，为了通过自身发热来将测温电阻体R1保持于比周围温度还高温，而流动比较大的恒定电流I1(加热电流)，在另一侧的测温电阻体R2中，以能够测定周围温度的程度来流动可无视发热的程度的大小的微小恒定电流I2(周围温度测定用电流)。
于是，流动大的电流I1的测温电阻体R1虽发热，但此时测温电阻体处于液相L中的情况下的热扩散常数比处于气相V中的情况下的热扩散常数大，因此处于气相V中的情况下的测温电阻体的温度比处于液相中的情况下高。
而且，此情形意思是气相中的测温电阻体电阻值比液相中的测温电阻值更高，因此通过观察流动大的电流的测温电阻体R1的电压输出与流动微小的电流的测温电阻体R2的电压输出的差分，就能够判别测温电阻体为液面的上方或下方。即，在差分较小的情况下，可判断测温电阻体处于比液面更靠下方，在差分较大的情况下，可判断测温电阻体处于比液面更靠上方。
图4是液面检测电路的一例，经由定电流电路S1、S2从电源Vcc向测温电阻体R1、R2供给恒定电流。设定成，在测温电阻体R2中，以能够测定周围温度的程度流动可无视发热的大小的微小电流，在测温电阻体R1中，流动电流值比测温电阻体R2大的电流，且为了将测温电阻体R1加热成高温的比较大的电流，在恒定电流电路S1中，流动比定电流电路S2大的电流。测温电阻体R1的端子电压V1和测温电阻体R2的端子电压V2会分别被输入至差动放大电路D的反相输入和非反相输入，从差动放大电路D向比较器C输入相当于端子电压V1、V2的差电压(V1-V2)的电压信号。比较器C将通过分压电阻器R3，R4所设定的基准电压V3与所述差电压作比较。
测温电阻体R1处于液相中时，测温电阻体R1相对于周围温度的温度上升比气相中的温度上升小。其结果是，相当于与从同处于液相中的测温电阻体R2发出的对应于周围温度的大小的电压信号的差的来自作动放大电路D的输出电压比基准电压小，比较器C的输出为低电平。另一方面，一旦液面下降，测温电阻体R1露出于气相中，则因为相对于周围温度的温度上升会形成气相中的温度上升，所以相当于与从同处于气相中的测温电阻体R2发出的对应于周围温度的大小的电压信号的差的差动放大电路D的输出电压会比基准电压大，比较器C的输出为高电平。判断为，比较器C的输出为高电平时，测温电阻体R1、R2为处于气相中，比较器C的输出为低电平时，测温电阻体R1、R2为处于液相中。
只要测定端子电压V1、V2，便可通过欧姆的法则从电流值I1、I2求取测温电阻体R1、R2的电阻值，只要得知测温电阻体R1、R2的电阻值，且若测温电阻体R1、R2相对于温度的电阻变化率已知，则便可导出测温电阻体R1、R2的温度。因此，在液面检测电路中，取代测温电阻体R1、R2的电压输出的比较，而通过比较测温电阻体R1、R2的电阻值也可判断，或利用测温电阻体R1、R2相对于温度的电阻变化率，由各个的电阻值来测定测温电阻体R1、R2的温度，通过比较它们的温度也可判断。另外，铂的情况下，为0℃，100Ω，每上升1℃，电阻值上升0.39Ω。
若再度参照图3，则在第二实施方式的气化供给装置1B中，构成液体检测部7B的液面计的2根保护管60、61配设于第一气体加热室2b1内。另外，在第二实施方式中，通过将保护管60、61设置在第一气体加热室2b1内，加热促进体2b3形成为比上述第一实施方式还短。
被封入保护管60、61的测温电阻体可优选使用铂测温电阻体，但亦可使用其他公知的测温电阻体。保护管60、61在第二实施方式中被设置于铅直方向，但亦可设置于水平方向。
在构成液体检测部7B的液面计检测到液体原料L流入第一气体加热室2b1内的情形的情况下，控制装置8与上述第一实施方式相同，不管来自压力检测器6的检测压力值如何，控制成关闭第一控制阀5。
构成液体检测部7B的液面计并不限于第一气体加热室2b1内，亦可设在气化室2a2或第二气体加热室2c1。并且，液面计并不限于热式液面计，亦可采用激光液面计、超声波液面计、其他公知的液面计。另外，在本发明中，液面计的“测定”除了如上述第二实施方式般测定液体原料L的液面水位从最大设定水位向保护管60、61的检测水位移动的变化的情况以外，还包含测定液体原料L的液面水位与液面计的距离的情况。
接着，参照图6来说明本发明所涉及的气化供给装置的第三实施方式。第三实施方式的气化供给装置1C，在测定气化器2内的超过预定量的液体原料的参数的液体检测部7C为测定重量的称载元件(loadcell：载荷传感器、载荷元件、荷重元、测压元件)这一点与上述第一实施方式不同，其他的构成与上述第一实施方式相同。
构成液体检测部7C的称载元件可采用内置有压电元件的板状的称载元件，设置于第一气体加热室2b1的底部。另外，在第三实施方式中，省略了第一实施方式的设在第一气体加热室2b1内的加热促进体2b3。一旦液体原料L流入第一气体加热室2b1内，则由称载元件构成的液体检测部7C的检测重量会增加，可检测出液体原料L流入至第一气体加热室2b1内的情形。一旦由称载元件构成的液体检测部7C检测出流入第一气体加热室2b1内的液体原料L，则控制装置8与上述第一实施方式相同，不管来自压力检测器6的检测压力值如何，按照关闭第一控制阀5的方式加以控制。
构成液体检测部7的称载元件并不限于设置在第一气体加热室2b1内，亦可配设在气化室2a2的底部、或第二气体加热室2c1的底部。
接着，参照图7来说明本发明所涉及的气化供给装置的第四实施方式。第四实施方式的气化供给装置1D中，取代第一实施方式的流路块51，而具备介入设置于气化器2与流量控制装置3之间的气体流路52中的第二控制阀70。
当液体检测部7A检测到液体原料L时，控制装置8控制成关闭第二控制阀70。
在一方式中，当液体检测部7A检测到液体原料L时，控制装置8与上述第一实施方式相同不管压力检测器6的检测压力如何，将第一控制阀5也关闭。即，在这种情况下，当液体检测部7A检测到液体原料L时，控制装置8控制成马上关闭第一控制阀5及第二控制阀70两者。
或者，在另一方式中，当液体检测部7A检测到液体原料L时，控制装置8不向第一控制阀5发送基于液体检测部7A的检测信号的控制指令，只将第二控制阀70控制成关闭。即，在这种情况下，液体检测部7A的检测信号只被用在第二控制阀70的开闭控制。在这种情况下，第一控制阀5根据压力检测器6的检测信号与以往一样地被控制。
第二控制阀70被配置于气化器2的下游部，由此在有超过向气化器2内的液体原料L的设定限度的流入的情况，能够将液体原料L从气化器2流入至外侧的气体流路32的情形防患于未然。
在上述第四实施方式中，采用上述第一实施方式的温度检测器的液体检测部7A，但亦可取代温度检测器，而采用由上述第二实施方式的液面计构成的液体检测部7B、或者由上述第三实施方式的称载元件构成的液体检测部7C。
在上述第一～第四实施方式中，作为液体检测部所测定的液体的参数，例示了温度、液面水位、以及重量，但液体检测部所测定的液体的参数只要为能够检测超过预定量而流入气化器内的液体的参数即可，亦可为其他的参数。
本发明并不限于上述实施方式，亦可在不脱离本发明的主旨范围内采用各种方式。

Claims (7)

1.一种气化供给装置，其特征在于，具备：
气化器，所述气化器将液体加热而使该液体气化；
流量控制装置，所述流量控制装置控制从所述气化器送出的气体的流量；
第一控制阀，所述第一控制阀介入设置于液体向所述气化器的供给路径中；
压力检测器，所述压力检测器用于检测出在所述气化器被气化并被送往所述流量控制装置的气体的压力；
液体检测部，所述液体检测部测定所述气化器内的超过预定量的液体的参数；
第二控制阀，介入设置于所述气化器与所述流量控制装置之间的气体流路中；以及
控制装置，所述控制装置按照如下方式进行控制：以根据所述压力检测器检测出的压力值向所述气化器供给预定量的液体的方式控制所述第一控制阀，且在所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，按照关闭所述第一控制阀且关闭所述第二控制阀的方式进行控制。
2.一种气化供给装置，其特征在于，具备：
气化器，所述气化器将液体加热而使该液体气化；
流量控制装置，所述流量控制装置控制从所述气化器送出的气体的流量；
第一控制阀，所述第一控制阀介入设置于液体向所述气化器的供给路径中；
压力检测器，所述压力检测器用于检测出在所述气化器被气化并被送往所述流量控制装置的气体的压力；
第二控制阀，所述第二控制阀介入设置于所述气化器与所述流量控制装置之间的气体流路中；
液体检测部，所述液体检测部测定所述气化器内的超过预定量的液体的参数；以及
控制装置，所述控制装置按照如下方式进行控制：以根据所述压力检测器检测出的压力值向所述气化器供给预定量的液体的方式控制所述第一控制阀，且当所述液体检测部检测到超过预定量而流入所述气化器内的液体时，关闭所述第二控制阀。
3.根据权利要求1或2所述的气化供给装置，其特征在于，所述液体检测部为温度检测器。
4.根据权利要求1或2所述的气化供给装置，其特征在于，所述液体检测部为液面计。
5.根据权利要求1或2所述的气化供给装置，其特征在于，所述液体检测部为称载元件。
6.根据权利要求1或2所述的气化供给装置，其特征在于，所述气化器具备气化室，且在该气化室配设有所述液体检测部。
7.根据权利要求1或2所述的气化供给装置，其特征在于，所述气化器具备气化室和与该气化室连通的气体加热室，在所述气体加热室配设有所述液体检测部。
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