CN107530858A - 板玻璃加工装置以及玻璃基板 - Google Patents

Abstract

板玻璃加工装置(1)具备：臂构件(3)，其将加工板玻璃(A)的端面的加工器具(B)支承为能够旋转；和伺服机构(5)，其使臂构件(3)产生加工器具(B)按压板玻璃(A)的端面的力。

Description

板玻璃加工装置以及玻璃基板

技术领域

本发明涉及利用加工器具来加工板玻璃的端面的板玻璃加工装置、以及利用该板玻璃加工装置进行加工而成的玻璃基板。

背景技术

近年来，为了响应液晶显示器等的制造效率的提高或大型化的要求，其所使用的板玻璃的尺寸存在大型化的趋势。板玻璃的尺寸越大，则从一片板玻璃取得的玻璃基板的片数越多，因此能够高效地制作与大型液晶显示器对应的玻璃基板。另外，为了增加每单位时间的处理数量并降低制造成本，正在研究板玻璃的搬运速度(加工速度)的高速化。

若板玻璃的端面具有伤痕，则会从该伤痕产生破裂等，因此为了防止该情况而对板玻璃的端面实施磨削研磨加工。对于板玻璃的端面加工装置，存在将加工器具的按压力维持恒定的被称作定压式的装置和固定加工器具来进行加工的固定式的装置。相对于在上游工序中切断的板玻璃所具有的形状，为了使用固定式端面加工装置将板玻璃的端面加工为变得均匀，必须将板玻璃的磨削研磨余量设定得偏大，因此加工时间变长，难以进一步提高板玻璃的搬运速度(加工速度)。

另一方面，作为利用定压式加工板玻璃的端面的技术，在专利文献1中公开了如下的板玻璃加工装置，其具备支承加工器具的能够转动(旋转)的臂构件、经由该臂构件产生从加工器具向板玻璃的端面作用的按压力的按压力产生要素、以及缓冲从板玻璃的端面对加工器具作用的冲击力的缓冲要素。该板玻璃加工装置利用缓冲要素来缓冲从板玻璃的端面对加工器具作用的冲击力，由此能够一边高速搬运板玻璃一边仿照板玻璃的端面的形状进行磨削研磨。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2013/187400号

发明内容

发明要解决的课题

定压式的加工器具可能在磨削开始时大幅反弹。以下，对该加工开始时的加工器具的反弹现象进行说明。

图12表示加工开始时的加工器具的举动。如该图12所示，作为加工对象的板玻璃A沿着输送方向C被搬运。另外，板玻璃A在从加工开始的端部(以下称作“始端部”)A1起到加工结束的端部(以下称作“终端部”)A2为止的全部范围内，其端面被加工器具B加工。在这种情况下，确认到如下现象：加工器具B在与板玻璃A的始端部A1接触之后，无法维持与板玻璃A的端面接触的状态而是进行反弹，并进一步反复进行该反弹。

关于以上那样的加工开始时的加工器具的反弹，与板玻璃的端面中的微小起伏的影响相比而其影响变得格外大。因此，凭借以往的板玻璃加工装置中的缓冲要素，无法防止在加工开始时产生的加工器具的反弹。因而，存在在板玻璃的始端部附近的端面残存有未加工部分这样的问题。

本发明是鉴于上述的情况而做出的，其目的在于提供一种板玻璃的加工装置，该板玻璃的加工装置在加工板玻璃的端面的情况下，能够防止加工开始时的加工器具的反弹，并且在加工中高精度地维持目标加工量。

另外，本发明的目的在于，提供一种消除端面的未加工部分并提高质量的玻璃基板。

用于解决课题的手段

本发明用于解决上述的课题，涉及一种利用加工器具来加工板玻璃的端面的板玻璃加工装置，其具备：臂构件，其将所述加工器具支承为能够旋转；和伺服机构，其使所述臂构件产生所述加工器具按压所述板玻璃的端面的力。

根据所述结构，能够利用伺服机构向臂构件赋予加工器具按压板玻璃的端面的力(按压力)。伺服机构能够通过其反馈控制来监视并调整臂构件所产生的按压力。在加工开始时，加工器具在与板玻璃的端部接触的情况下，在其冲击的作用下欲从板玻璃分离。臂构件将加工器具支承为能够旋转，因此当加工器具欲从板玻璃分离时，臂构件也欲与该加工器具一起移动。伺服机构能够检测此时的臂构件的运动，并抑制臂构件的移动，调整按压力使得加工器具无法从板玻璃分离。由此，板玻璃加工装置能够在防止加工开始时的加工器具的反弹的同时，在加工中高精度地维持目标加工量。因而，能够防止在加工开始时在板玻璃残存未加工部分，高速且高精度地加工板玻璃。

另外，板玻璃加工装置还具备将所述臂构件支承为能够转动的支承轴构件，所述伺服机构具备：伺服马达，其具有转动轴，并且驱动所述臂构件使其能够绕所述支承轴构件转动；连杆机构，其将所述伺服马达的所述转动轴与所述臂构件连结；以及控制部，其在加工开始时所述加工器具与所述板玻璃接触了的情况下，进行所述伺服马达的所述转动轴的速度以及转矩的反馈控制。

根据所述结构，臂构件被支承轴构件支承为能够转动，由此伺服机构能够通过使该臂构件绕支承轴构件转动来调整加工器具对板玻璃的按压力。即，若在加工开始时加工器具欲从板玻璃分离，则与之相应地臂构件绕支承轴构件转动。该臂构件的转动经由连杆机构向伺服马达的转动轴传递。当伺服马达的转动轴与臂构件的转动相应地转动时，伺服机构的控制部检测该转动轴的速度、转矩的变化，执行与该变化相应的速度或者转矩的反馈控制。由此，经由臂构件来调整加工器具对板玻璃的按压力，防止加工器具在加工开始时的反弹，在加工中能够高精度地维持目标加工量。

另外，所述伺服机构还可以具备在结束所述加工器具的加工时进行所述伺服马达的所述转动轴的位置的反馈控制的控制部。

尤其是在加工结束时，加工器具从板玻璃的终端部分离，控制部为了不使加工器具过度加工该终端部而控制臂构件的位置。即，该控制部能够通过对伺服马达的转动轴的位置进行反馈控制而经由连杆机构控制臂构件的位置。因而，控制部能够通过控制臂构件的位置来控制该加工器具的位置，使得加工器具不会过度加工板玻璃的终端部。

本发明的板玻璃加工装置所使用的所述加工器具可以是磨削所述板玻璃的所述端面的砂轮。

另外，本发明涉及一种玻璃基板，其包括从一端部到另一端部的长度超过200mm的一边，所述一边在从所述一端部起到100mm为止的范围内包括倒角部和与所述倒角部相连的加工开始痕迹，在所述一边的从所述一边的所述一端部起超过100mm的范围内，任意选择的100mm的区域中的所述一边的端面的最大高度波纹度Wz超过60μm且小于1000μm。

利用本发明的板玻璃加工装置进行板玻璃的各边上的端面的加工，由此制造了在加工后的端面上残存加工开始痕迹的玻璃基板。另外，在基于板玻璃加工装置的加工前或者加工后，通过其它工序进行玻璃板的倒角。其结果是，在玻璃基板的一边的一端部，倒角部与加工开始痕迹相连地形成。需要说明的是，在本说明书中，将由板玻璃加工装置加工并且实施了倒角的板玻璃称作“玻璃基板”。

通过板玻璃加工装置的加工，加工开始痕迹形成在该玻璃基板的一边的从一端部起到100mm为止的范围内。另外，本发明的玻璃基板在从其一边的一端部起超过100mm的一边的范围内、即不包括加工开始痕迹的范围内，使任意选择的100mm的区域中的该一边的端面的最大高度波纹度Wz为超过60μm且小于1000μm。在此，玻璃基板的端面的最大高度波纹度Wz能够适用JIS B0601 2013。

这样，利用板玻璃加工装置加工而成的玻璃基板通过板玻璃加工装置的加工而不包括未加工部分，其端面强度高，与以往相比，质量提高。

另外，本发明涉及一种玻璃基板，其包括从一端部到另一端部的长度超过200mm的一边，所述一边的所述一端部包括倒角部、与所述倒角部相连并且具有始端以及终端的加工开始痕迹、以及与所述加工开始痕迹的所述终端相连并且由波纹度曲线表示的山部，所述山部包括与所述加工开始痕迹相连的顶部和成为山部的终端的基部，且在所述一边的从所述一边的所述一端部起到100mm为止的范围内仅形成有一个所述山部，所述山部的所述基部与所述加工开始痕迹的所述始端之间的厚度为1000μm以下。

当利用本发明的板玻璃加工装置进行板玻璃的一边的加工时，制造如下的玻璃基板：在加工后的端面上残存加工开始痕迹和与该加工开始痕迹相连的山部，通过其它工序形成有倒角部。山部能够作为将玻璃基板的一端部的端面设为波纹度曲线时的山部来确定。本发明的玻璃基板在从其一边的一端部起到100mm为止的范围内仅形成一个该山部，并且使该山部的基部与加工开始痕迹的始端之间的厚度为1000μm以下。由此，即便在板玻璃与加工器具的偏置量大的情况下，也能够尽量地减小该部分的波纹度。因而，本发明的玻璃基板不包含未加工部分，其端面强度高，且与以往相比而质量提高。

另外，本发明涉及一种包括从一端部起到另一端部为止的长度超过200mm的一边的玻璃基板，所述一边在从所述一端部起到100mm为止的范围内包括倒角部和与所述倒角部相连并且构成为波纹度曲线中的谷状的加工开始痕迹，所述加工开始痕迹的谷深为100μm以下。

利用本发明的板玻璃加工装置进行板玻璃的各边的端面的加工，由此制造在加工后的端面上残存加工开始痕迹的玻璃基板。另外，在基于板玻璃加工装置的加工前或者加工后，通过其它工序进行玻璃板的倒角。其结果是，在玻璃基板的一边的一端部，倒角部与加工开始痕迹相连地形成。

若使用本发明的板玻璃加工装置，则能够将该加工开始痕迹形成为波纹度曲线中的谷状。通过使该加工开始痕迹的谷深为100μm以下，玻璃基板不包括未加工部分，其端面强度高，且与以往相比而质量提高。

发明效果

根据本发明，在加工板玻璃的端面的情况下，能够在防止加工开始时的加工器具的反弹的同时，在加工中高精度地维持目标加工量。另外，玻璃基板不残存端面的未加工部分，端面强度提高，质量提高。

附图说明

图1是示出板玻璃加工装置的一实施方式的上表面示意图。

图2a是板玻璃加工装置的一部分的上表面示意图。

图2b是板玻璃加工装置的一部分的上表面示意图。

图3是伺服马达的框图。

图4是控制装置的框图。

图5是示出板玻璃的切断方法的俯视图。

图6是用于说明加工板玻璃的方法的图。

图7是示出加工开始时的加工器具的举动的上表面示意图。

图8是示出玻璃基板的一个例子的俯视图。

图9示出图8所示的玻璃基板的端面上的波纹度曲线。

图10是示出玻璃基板的其它例的俯视图。

图11示出图10所示的玻璃基板的端面上的波纹度曲线。

图12是示出以往的加工器具的加工开始时的举动的上表面示意图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体实施方式进行说明。图1至图11表示本发明的板玻璃加工装置及玻璃基板以及其制造方法的一实施方式。

成为板玻璃加工装置1的加工对象的板玻璃A具有矩形的板形状。板玻璃A的板厚例如为0.05mm～10mm。然而，本发明不限于此。本发明也能够适用于具有矩形以外的形状(例如多边形、圆形等)的板玻璃A的加工或板厚为0.05mm～10mm以外的板玻璃A的加工。

板玻璃A的端面由加工器具B加工。板玻璃A的端面加工可以是板玻璃A的端面的倒棱加工(磨削处理)。另外，基于加工器具B进行的板玻璃A的端面加工也可以是使倒棱加工后的端面的凹凸均匀的研磨处理。加工器具B例如是被驱动而旋转的砂轮，该砂轮一边旋转一边对板玻璃A的端面进行磨削加工或者研磨加工。作为磨削加工用的加工器具B，例如能够优选使用作为高刚性砂轮的利用电沉积结合剂固定金刚石磨粒而成的所谓的电沉积砂轮、利用金属质结合剂固定磨粒而成的所谓的金属砂轮。作为磨削加工用的加工器具B，使用与研磨加工用的加工器具B相比而磨削性能高的加工器具，能够以研磨加工用的加工器具B的按压力的大约三分之一的按压力来磨削板玻璃A的端面。

板玻璃A相对于加工器具B进行相对移动。例如在相对于沿着输送方向C移动的板玻璃A而固定了加工器具B的状态下进行加工。另外，能够相对于固定的板玻璃A，一边使加工器具B沿着输送方向C移动一边进行加工。

如图1所示，板玻璃加工装置1主要具备驱动加工器具B进行旋转的驱动装置2、将加工器具B支承为能够旋转的臂构件3、支承该臂构件3的支承轴构件4、产生从加工器具B对板玻璃A的端面作用的按压力的伺服机构5、卡定臂构件3的止动件6、以及控制驱动装置2、伺服机构5及止动件6的控制装置7。

驱动装置2是使作为加工器具B的砂轮旋转的电动马达。该电动马达支承于臂构件3。作为电动马达，能够使用同步马达、感应马达、或者伺服马达等，但不限于此。驱动装置2与控制装置7连接，能够控制其启动停止、旋转速度等。

臂构件3被支承轴构件4支承为能够转动。臂构件3利用其一方的端部支承驱动装置2，经由该驱动装置2而支承加工器具B。臂构件3的另一方的端部与伺服机构5连结。通过臂构件3的转动，加工器具B朝相对于板玻璃A的端面压接的方向(图2(a)所示的K1方向：压接方向)移动，或者朝远离板玻璃A的端面的方向(图2(b)所示的K2方向：远离方向)移动。

支承轴构件4的一端部支承臂构件3的中途部。当利用伺服机构5驱动臂构件3进行转动时，产生绕该支承轴构件4的力矩。

伺服机构5通过对臂构件3的一端部施加力偶，产生从加工器具B对板玻璃A的端面作用的按压力。如图3所示，伺服机构5包括伺服马达8、连结该伺服马达8与臂构件3的连杆机构9、以及执行伺服马达8的控制的控制部10(伺服放大器、驱动器)。伺服机构5通过控制部10执行伺服马达8的反馈控制。

如图1以及图3所示，伺服马达8具备转动轴11、能够检测该转动轴11的速度以及位置的检测器12。检测器12由旋转编码器等构成。检测器12能够检测转动轴11(转子)的速度以及位置(转动角度)。检测器12与控制部10连接，将检测出的值向该控制部10发送。

控制部10与检测器12以及控制装置7连接，能够将来自检测器12的信号向控制装置7发送。控制部10接收来自检测器12以及电力转换部14的信号，监视伺服马达8的转动轴11的速度、转矩、位置。如图3所示，控制部10具备速度转矩位置控制部13、以及电力转换部14。

速度转矩位置控制部13执行用于将伺服马达8的转动轴11的速度以及转矩维持为恒定的控制。即，在速度转矩位置控制部13中，设定用于将由检测器12以及电力转换部14检测出的伺服马达8的转动轴11的速度以及转矩维持为恒定的目标值(参照值)，执行用于维持该目标值的反馈控制(以下称作“速度转矩控制模式”)。需要说明的是，本实施方式中的速度的目标值设定为0。

该速度转矩控制模式是一边使转动轴11的速度控制与转矩控制的比例变化一边复合执行的控制模式。另外，在速度转矩控制模式中，也包括在控制开始时执行转动轴11的速度控制(以下称作“速度控制模式”)、之后执行转动轴11的转矩控制(以下称作“转矩控制模式”)的控制模式。需要说明的是，在速度转矩位置控制部13中，能够仅执行将转动轴11的速度维持为恒定的速度控制模式，或者能够仅执行将转动轴11的转矩维持为恒定的转矩控制模式。

另外，在速度转矩位置控制部13中，也能够执行用于将伺服马达8的转动轴11的位置(转动角度)维持为恒定的控制。即，在速度转矩位置控制部13中，能够设定用于将由检测器12出检测的转动轴11的位置(转动角度)的值维持为恒定的目标值(参照值)，并以维持该目标值的方式执行反馈控制(以下称作“位置控制模式”)。

电力转换部14将从速度转矩位置控制部13输入来的速度、转矩、位置的值转换为用于驱动伺服马达8的信号。

连杆机构9具备第一连杆构件15与第二连杆构件16。第一连杆构件15的一端部固定于伺服马达8的转动轴11，另一端部经由第一接头17而以转动自如的方式连结于第二连杆构件16。第二连杆构件16的一端部与第一连杆构件15连结，另一端部经由第二接头18而以转动自如的方式连结于臂构件3的端部。板玻璃加工装置1通过该连杆机构9使伺服马达8的转动轴11的转动力作为力矩作用于臂构件3，由此使加工器具B产生对板玻璃A的按压力。

止动件6构成为能够位置变更为卡定臂构件3的卡定位置和以不与臂构件3接触的方式分离开的位置处待机的待机位置。止动件6构成为通过未图示的促动器的驱动而能够相对于臂构件3接近远离。作为驱动止动件6的促动器，能够使用气缸等工作缸装置，但不限于此，也能够使用应用了电动马达的装置、螺线管以及此外的各种装置。

控制装置7包括例如安装CPU、ROM、RAM、HDD、监视器、输入输出接口等各种硬件的计算机(例如PC)。如图4所示，控制装置7具备执行各种运算的运算处理器19、存储板玻璃A的加工所需的数据或各种程序的存储部20、执行驱动装置2的控制的驱动装置控制部21、执行伺服机构5的控制的伺服机构控制部22、以及止动件控制部23。上述各要素通过总线相互连接。

运算处理器19通过存储于存储部20的各种数据以及各种程序的运算处理，执行驱动装置2、伺服机构5以及止动件6的控制所需的程序。另外，运算处理器19根据加工器具B的种类和/或旋转速度、板玻璃A的输送速度、加工器具B相对于板玻璃A的加工余量D等，通过运算来求出臂构件3对加工器具B的按压力，将用于产生该按压力的目标值的信号发送至伺服机构5的控制部10。

存储部20对板玻璃A的尺寸和/或输送速度的数据、加工器具B的种类和/或旋转速度的数据、从伺服机构5取得的数据等进行存储。除此之外，存储部20对用于控制驱动装置2、伺服机构5以及止动件6的各种程序进行存储。

驱动装置控制部21与运算处理器19协同工作而向驱动装置2发送控制信号。由此，驱动装置控制部21执行驱动装置2中的电动马达的启动停止、旋转速度的变更等控制。伺服机构控制部22与运算处理器19协同工作而向伺服机构5的控制部10发送反馈控制所需的信号。另外，伺服机构控制部22将从控制部10接收的数据输入到运算处理器19。止动件控制部23与运算处理器19协同工作而向止动件6发送控制信号，并控制其进退。

以下，对玻璃基板的制造方法、特别是使用上述结构的板玻璃加工装置1加工板玻璃A的方法进行说明。

首先，利用公知的浮动法、压延法、溢流下拉法、再拉法等成形法而成形大型的板玻璃E。之后，通过将该板玻璃E按照规定尺寸切断，从而获得成为板玻璃加工装置1的加工对象的板玻璃A。该板玻璃E的切断例如通过刻划切断来进行。

以下，针对该刻划切断而参照图5进行说明。如图5所示，使刻划轮H沿着大型的板玻璃E的切断预定线CL行进。由此，在板玻璃E上，沿着切断预定线CL刻有具有规定深度的刻划线。之后，在该刻划线的周边作用弯曲力矩，将板玻璃E沿着该刻划线折断。通过该折断而获得多个板玻璃A。之后，对板玻璃A实施基于板玻璃加工装置1的磨削研磨加工。根据本发明的板玻璃加工装置1，能够进行仿照板玻璃A的端面形状那样的加工，不追求高切断精度，关于切断精度，例如能够设定为，后述的最大高度波纹度Wz超过60μm且小于1000μm。

接下来，板玻璃加工装置1对板玻璃A中的各边的端面进行磨削加工(倒棱加工)。图6(a)～图6(e)表示基于板玻璃加工装置1的板玻璃A的磨削加工的工序。图6(a)表示加工开始之前的板玻璃加工装置1的状态。如图6(a)所示，在加工开始前的状态下，通过控制装置7的控制，从而止动件6处于卡定位置，与臂构件3的一部分接触而卡定该臂构件3，速度转矩位置控制部13的控制模式切换为速度转矩控制模式。

另外，控制装置7驱动伺服机构5的伺服马达8而向臂构件3赋予逆时针的力矩。即，伺服机构5如图2(a)所示使转动轴11朝逆时针的方向转动，使该力经由连杆机构9作用于臂构件3。由此，使臂构件3朝逆时针的方向(压接方向K1)产生绕支承轴构件4的力矩。臂构件3借助该力矩使加工器具B产生对板玻璃A的按压力。另外，控制装置7对驱动装置2进行驱动而使加工器具B旋转。

图6(b)表示加工器具B与板玻璃A接触时的板玻璃加工装置1的状态。另外，图7表示加工器具B与板玻璃A接触之后相对移动规定的距离(以下称作“初始加工距离”)L为止的期间的举动。需要说明的是，在该图7中，为了明确显示加工器具B的举动，将板玻璃A的端面表示为平坦面(俯视直线状)。在本实施方式中，初始加工距离L能够设定为100mm以下。需要说明的是，加工器具B的加工余量D(参照图7)能够设定为0.03mm以上且0.05mm以下。

如图6(b)所示，止动件6处于远离臂构件3的退避位置，没有卡定臂构件3。另外，如图6(b)以及图7所示，加工器具B通过与板玻璃A的始端部A1的碰撞而欲远离板玻璃A。于是，作用于加工器具B的力使臂构件3产生顺时针的方向的力矩(参照图2(b))。该力矩经由连杆机构9传递至伺服马达8的转动轴11。由此，当转动轴11朝顺时针的方向转动时(参照图2(b))，通过伺服马达8的检测器12和电力转换部14，将与速度、位置、转矩相关的信号输入到速度转矩位置控制部13，基于该信号来执行速度转矩控制模式。

在速度转矩控制模式下，根据速度(位置)的变化，变更速度控制与转矩控制的比率。比率的切换程度能够通过增益设定来变更。另外，在速度转矩控制模式下，在速度(位置)的变化激烈的加工开始时的情况下，速度控制比率变大，向接近板玻璃A的方向(压接方向K1)使臂构件3产生绕支承轴构件4的力矩(参照图2(a))。臂构件3在该力矩的作用下，产生用于对加工器具B欲远离板玻璃A的情况进行抑制的力(按压力)。由此，加工器具B能够在维持与板玻璃A的接触的状态下继续进行磨削。即，防止加工开始时的加工器具B的反弹。

在速度转矩控制模式下，转矩控制比率因速度(位置)的变化变小而变大，产生遵照设定转矩的转矩。当然，也可以切换为转矩控制模式而进行磨削加工。

伺服机构5的控制部10在如图6(d)所示那样加工器具B接近板玻璃A的终端部A2时将控制模式向位置控制模式切换。控制装置7向控制部10发送该切换所需的触发信号。由此，板玻璃加工装置1在从如图6(d)所示的板玻璃A的一边的中途部起、到如图6(e)所示的板玻璃A的终端部A2为止的范围内进行基于位置控制模式的磨削加工。

在位置控制模式下，设定用于将由检测器12检测出的伺服马达8的转动轴11的位置(角度)维持为恒定的目标值(参照值)，执行用于维持该目标值的反馈控制。在加工器具B通过板玻璃A的终端部A2之前的期间内，持续执行位置控制模式。因而，该加工器具B即便在到达板玻璃A的终端部A2并欲远离该终端部A2的情况下，也不会过度切削该终端部A2。

在进行上述那样的对板玻璃A的端面的磨削处理之后，对板玻璃A的各边的端面实施研磨处理。该研磨处理利用具备研磨用的加工器具B(砂轮)的板玻璃加工装置1来进行。当研磨处理结束时，对板玻璃A的角部实施倒角处理。该倒角处理也可以在基于板玻璃加工装置1的磨削处理之前进行。

通过对板玻璃A实施上述那样的加工，制造具有规定尺寸的玻璃基板G。根据本发明的板玻璃加工装置1，能够将板玻璃A的端面的磨削量、研磨量保持为恒定，因此对板玻璃A造成的负担小。除此之外，由于以仿照板玻璃A的端面的形状的方式加工，因此切断后的板玻璃A的端面形状保持不变地残存。换言之，上述的板玻璃A的切断精度保持不变地残存。

图8以及图9表示通过本实施方式的板玻璃加工装置1加工而成的玻璃基板G的一个例子。在图8中，作为矩形的玻璃基板G的四边中的任意的两边而示出第一边24以及第二边25。在第一边24上，从其一端部朝向另一端部(未图示)实施磨削研磨加工，图8示出该第一边24的一端部。需要说明的是，第一边24中的一端部相当于通过板玻璃加工装置1加工的板玻璃A的始端部A1。

在该例中，玻璃基板G的第一边24的全长(从一端部到另一端部为止的长度)为大约1500mm，但不限于此。第一边24中的一端部包括通过倒角处理来形成的倒角部26、与该倒角部26相连的加工开始痕迹27、以及与该加工开始痕迹27相连的山部28。

倒角部26通过切除(磨削研磨)玻璃基板G的第一边24与第二边25之间的一部分而形成为俯视直线状。倒角部26具有与第二边25相连的第一端部26a以及与加工开始痕迹27相连的第二端部26b。倒角部28的长度(从第一端部26a到第二端部26b为止的距离)为大约2mm，但不限于此。

加工开始痕迹27是在板玻璃加工装置1的磨削加工开始时加工器具B与板玻璃A的始端部A1接触时形成的，在研磨加工后也使其轮廓残存于玻璃基板G。如图8所示，加工开始痕迹27具有始端27a和终端27b，在俯视下形成为曲线状。加工开始痕迹27的始端27a与倒角部26的第二端部26b一致。加工开始痕迹27的终端27b与山部28相连。加工开始痕迹27以及山部28在从第一边24的一端部起到100mm为止的范围内形成于该第一边24的一端部的端面。

山部28由于抑制加工开始时的反弹得到抑制而仅为一个，在进行基于板玻璃加工装置1的磨削加工时，在形成加工开始痕迹27后形成该山部28，在研磨加工后，也使其轮廓残存于玻璃基板G。山部28具有与加工开始痕迹27相连的顶部28a以及成为该山部28的终端的基部28b。山部28的顶部28a与加工开始痕迹27的终端27b一致。山部28的基部28b在由波纹度曲线W表示第一边24时，与该波纹度曲线W用的平均线AL一致。该山部28在从第一边24的一端部(倒角部26的第一端部26a)起到100mm为止的一边的范围内仅形成一个。另外，除加工开始痕迹27以外的山部28的高度、即从山部28的基部28b到顶部28a为止的高度h优选为超过50μm且为1000μm以下。

玻璃基板G的端面中的波纹度曲线W以及粗糙度曲线以JIS B0601 2013为基准来表示，例如使用株式会社东京精密制的表面粗糙度轮廓形状综合测定机“SURFCOM”(注册商标)来取得。图9示出第一边24的一端部的端面的波纹度曲线W的一个例子。

在该例中，在从第一边24的一端部(倒角部26的第一端部26a)起超过100mm的一边的范围内，任意选择的100mm的区域(基准长度)中的第一边24的端面的最大高度波纹度Wz优选超过60μm且小于1000μm。若最大高度波纹度Wz为60μm以下，则玻璃基板G的成本有可能增加，若为1000μm以上，则在后续工序中玻璃基板G的对准有可能变得困难。另外，如图9所示，在利用波纹度曲线W表示山部28以及加工开始痕迹27时，山部28的基部28b与加工开始痕迹27的始端27a之间的高度方向上的距离(以下称作“厚度”)T1优选为100μm以上且1000μm以下。

图10以及图11示出玻璃基板G的其它例。在该例的玻璃基板G中，加工开始痕迹27的形状与图8以及图9的例子不同。在本例中，与倒角部26相连的加工开始痕迹27在由波纹度曲线W表示时构成为谷状，没有形成山部28，也没有产生加工器具B的反弹。即，如图11所示，加工开始痕迹27的始端27a表示于比波纹度曲线W用的平均线AL低的位置，加工开始痕迹27的终端27b与该平均线AL一致。从加工开始痕迹27的始端27a到终端27b为止的谷深(或者厚度)T2优选为100μm以下。

根据以上说明的本实施方式的板玻璃加工装置1，能够通过伺服机构5向臂构件3赋予加工器具B按压板玻璃A的端面的力(按压力)。伺服机构5能够通过其反馈控制经由臂构件3监视并调整加工器具B的按压力。在加工开始时，加工器具B当与板玻璃A的始端部A1接触时，因其冲击欲远离板玻璃A。臂构件3将加工器具B支承为能够旋转，因此当加工器具B欲远离板玻璃A时，臂构件3也欲与该加工器具B一起移动。伺服机构5将此时的臂构件3的运动经由连杆机构9检测为伺服马达8中的转动轴11的速度以及转矩的变化。伺服机构5通过执行转动轴11的反馈控制，控制臂构件3的移动(转动)，以使加工器具B不远离板玻璃A的方式调整其按压力。由此，板玻璃加工装置1能够防止加工开始时的加工器具B的反弹。因而，能够防止在加工开始时板玻璃A残存未加工部分，从而高速且高精度地加工板玻璃A。

另外，在加工结束时，加工器具B远离板玻璃A的终端部A2，但伺服马达8的控制部10控制臂构件3的位置，使得加工器具B不过度加工该终端部A2。即，该控制部10能够通过对伺服马达8的转动轴11的位置进行反馈控制而经由连杆机构9控制臂构件3的位置。由此，控制部10能够通过控制臂构件3的位置来控制该加工器具B的位置，使得加工器具B不过度加工板玻璃A的终端部A2。

另外，通过利用板玻璃加工装置1进行板玻璃A的各边的端面的磨削加工，制造在加工后的端面上残存加工开始痕迹27的玻璃基板G。另外，在基于板玻璃加工装置1的加工前或者加工后，通过其它工序进行玻璃板的倒角，其结果是，玻璃基板G在一边(例如第一边24)的一端部形成有倒角部26、以及与该倒角部26相连的加工开始痕迹27。本发明的玻璃基板G在从其一边的一端部起超过100mm的一边的范围内、即不包含加工开始痕迹27的范围内，任意选择的100mm的区域中的该一边的端面的最大高度波纹度Wz为超过60μm且小于1000μm。

这样，通过板玻璃加工装置1加工而成的玻璃基板G通过板玻璃加工装置1的加工而不包含未加工部分，其端面强度高，与以往相比而质量提高。

另外，玻璃基板G在从其一边的一端部起到100mm为止的范围内仅形成一个山部28，并且，使该山部28的基部28b与加工开始痕迹27的始端27a之间的厚度T1为1000μm以下。这样，玻璃基板G能够尽可能地减小残存加工开始痕迹27的一端部的波纹度，该端部的质量提高。

另外，通过使用板玻璃加工装置1进行板玻璃A的加工，从而在玻璃基板G的其它例中，在第一边24的一端部，能够呈谷状地形成加工开始痕迹27。使该加工开始痕迹27中的谷深T2为100μm以下。这样，玻璃基板G能够尽可能地减小残存加工开始痕迹27的一端部的波纹度。因而，通过板玻璃加工装置1加工而成的玻璃基板G不包含未加工部分，其端面强度高，与以往相比而质量提高。

通过利用本实施方式的定压式的板玻璃加工装置1来加工板玻璃A，从而与使用固定式的装置进行加工的情况相比较，能够防止板玻璃A的损伤，提高加工速度。因而，能够通过提升生产节拍来尽可能地降低玻璃基板G的制造成本。

需要说明的是，本发明不限于上述实施方式的结构，不限于上述的作用效果。本发明能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。

在上述的实施方式中，作为加工器具B而例示砂轮，加工器具B对板玻璃A的端面进行磨削研磨加工，但本发明不限于此。只要能够加工板玻璃A的端面，也能够应用砂轮以外的加工器具B。

在上述的实施方式中，伺服机构5包括驱动转动轴11进行转动的伺服马达8，但不限于此，也可以由线性伺服马达或滚珠丝杠机构来构成。

附图标记说明：

1 板玻璃加工装置

3 臂构件

4 支承轴构件

5 伺服机构

8 伺服马达

9 连杆机构

10 控制部

26 倒角部

27 加工开始痕迹

27a 加工开始痕迹的始端

27b 加工开始痕迹的终端

28 山部

A 板玻璃

B 加工器具

G 玻璃基板。

Claims (7)

1.一种板玻璃加工装置，其利用加工器具来加工板玻璃的端面，其中，

所述板玻璃加工装置具备：臂构件，其将所述加工器具支承为能够旋转；和伺服机构，其使所述臂构件产生所述加工器具按压所述板玻璃的端面的力。

2.根据权利要求1所述的板玻璃加工装置，其中，

所述板玻璃加工装置还具备将所述臂构件支承为能够转动的支承轴构件，

所述伺服机构具备：伺服马达，其具有转动轴，并且驱动所述臂构件使其能够绕所述支承轴构件转动；连杆机构，其将所述伺服马达的所述转动轴与所述臂构件连结；以及控制部，其在加工开始时所述加工器具与所述板玻璃接触的情况下，进行所述伺服马达的所述转动轴的速度以及转矩的反馈控制。

3.根据权利要求2所述的板玻璃加工装置，其中，

所述伺服机构还具备在结束所述加工器具的加工时进行所述伺服马达的所述转动轴的位置的反馈控制的控制部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的板玻璃加工装置，其中，

所述加工器具是磨削所述板玻璃的所述端面的砂轮。

5.一种玻璃基板，其包括从一端部到另一端部的长度超过200mm的一边，其中，

所述一边在从所述一端部起到100mm为止的范围内包括倒角部和与所述倒角部相连的加工开始痕迹，

在所述一边的从所述一边的所述一端部起超过100mm的范围内，任意选择的100mm的区域中的所述一边的端面的最大高度波纹度Wz超过60μm且小于1000μm。

6.一种玻璃基板，其包括从一端部到另一端部的长度超过200mm的一边，其中，

所述一边的所述一端部包括倒角部、与所述倒角部相连并且具有始端以及终端的加工开始痕迹、以及与所述加工开始痕迹的所述终端相连并且由波纹度曲线表示的山部，

所述山部包括与所述加工开始痕迹相连的顶部和成为山部的终端的基部，且在所述一边的从所述一边的所述一端部起到100mm为止的范围内仅形成有一个所述山部，

所述山部的所述基部与所述加工开始痕迹的所述始端之间的厚度为1000μm以下。

7.一种玻璃基板，其包括从一端部到另一端部的长度超过200mm的一边，其中，

所述一边在从所述一端部起到100mm为止的范围内包括倒角部和与所述倒角部相连并且构成为波纹度曲线中的谷状的加工开始痕迹，

所述加工开始痕迹的谷深为100μm以下。