CN107513761A - 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法 - Google Patents

一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107513761A
CN107513761A CN201710537755.9A CN201710537755A CN107513761A CN 107513761 A CN107513761 A CN 107513761A CN 201710537755 A CN201710537755 A CN 201710537755A CN 107513761 A CN107513761 A CN 107513761A
Authority
CN
China
Prior art keywords
graphite boat
pallet
slide rail
lock chamber
door
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710537755.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107513761B (zh
Inventor
袁卫华
魏唯
程文进
龚杰洪
罗才旺
罗臻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC 48 Research Institute
Original Assignee
CETC 48 Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC 48 Research Institute filed Critical CETC 48 Research Institute
Priority to CN201710537755.9A priority Critical patent/CN107513761B/zh
Publication of CN107513761A publication Critical patent/CN107513761A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107513761B publication Critical patent/CN107513761B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
    • C30B19/063—Sliding boat system
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/46—Sulfur-, selenium- or tellurium-containing compounds

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

本发明公开了一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。一种石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；关闭外门，将锁腔内抽真空；达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。本发明具有自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命等优点。

Description

一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法
技术领域
本发明涉及水平液相外延炉，尤其涉及一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法，主要用于制造红外焦平面器件。
背景技术
HgCdTe红外焦平面探测器是由CZT 基碲镉汞探测器芯片、互连铟柱区、硅读出电路、低温粘接胶、引线基板（蓝宝石、陶瓷等材料）、以及金属支撑结构组成的多层材料体系。碲镉汞探测器芯片是HgCdTe红外焦平面探测器的核心，其生产的难点主要在于HgCdTe外延材料的制备，HgCdTe外延材料的制备通常采用HgCdTe液相外延生长方法。
目前承载样片、溶剂溶液的石墨舟进出负载锁是全手动操作，即先开外门，石墨舟放入负载锁腔内，关外门，负载锁腔内抽真空，然后再开内门，通过手套箱手动拉舟出负载锁。人工拉舟不够便利，效率低，劳动强度大，且人工在锁腔内拉舟时，石墨舟与托板间存在蹭磨、影响使用寿命，石墨舟运动过程中的稳定性也较差。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命的石墨舟进出过渡负载锁。
本发明进一步提供一种石墨舟进出上述负载锁的方法。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。
一种石墨舟进出上述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，包括以下步骤：
步骤一：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；
步骤二：关闭外门，将锁腔内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述驱动机构包括齿条、齿轮、密封磁流体、第一联轴器以及步进电机，所述滑轨与所述齿条固定连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述密封磁流体设于所述锁腔上，所述步进电机依次通过所述第一联轴器和密封磁流体与所述齿轮驱动连接。
所述齿条和所述齿轮的齿均为人字形齿。
所述滑轨上设有梯形滑槽，所述滑块为梯形并嵌设于所述梯形滑槽内。
一种石墨舟进出上述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，包括以下步骤：
步骤一：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；
步骤二：关闭外门，将锁腔内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，打开内门，步进电机通过第一联轴器和密封磁流体带动齿轮旋转，齿轮带动齿条向内门移动，齿条带动滑轨、滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述内门与所述锁腔铰接并配设有自动开关门机构，所述自动开关门机构包括摆动气缸、第二联轴器、连接块、旋转气缸以及锁紧块，所述摆动气缸通过所述第二联轴器与所述连接块相连，所述连接块固设于所述内门上，所述锁紧块设于所述旋转气缸的活塞杆上并与所述内门外侧紧靠。
所述连接块和所述锁紧块相对布置于所述内门两侧。
一种石墨舟进出上述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，包括以下步骤：
步骤一：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；
步骤二：关闭外门，将锁腔内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，旋转气缸带动锁紧块旋转使锁紧块与内门分离，然后摆动气缸通过第二联轴器和连接块将内门打开，最后步进电机通过第一联轴器和密封磁流体带动齿轮旋转，齿轮带动齿条向内门移动，齿条带动滑轨、滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的石墨舟进出过渡负载锁，在锁腔内设置由滑块和滑轨构成的双向滑动副，石墨舟通过托盘、滑块滑设于滑轨上，滑轨由驱动机构驱动，托盘拉出锁腔顺畅、省力，也避免了托盘的磨损，石墨舟由驱动机构通过滑轨、滑块及托盘带出锁腔，自动化程度高、效率高，石墨舟与托盘之间基本无磨损，锁腔外也无需设置手套箱，操作便利。
本发明公开的石墨舟进出上述负载锁的方法，步骤简单、操作方便，提高了作业效率。
附图说明
图1是本发明石墨舟进出过渡负载锁的结构示意图。
图2本发明石墨舟进出过渡负载锁的剖视结构示意图。
图3本发明中的锁腔内部的立体结构示意图。
图4是本发明中的滑轨和滑块的主视结构示意图。
图5是本发明中的滑轨和滑块横截面的结构示意图。
图中各标号表示：1、锁腔；11、抽真空管路；12、充气管路；2、外门；3、内门；4、滑轨；41、梯形滑槽；5、石墨舟；6、托盘；7、滑块；8、驱动机构；81、齿条；82、齿轮；83、密封磁流体；84、第一联轴器；85、步进电机；9、自动开关门机构；91、摆动气缸；92、第二联轴器；93、连接块；94、旋转气缸；95、锁紧块。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
实施例一
如图1、图2和图3所示，本实施例的石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔1、以及用于密封锁腔1的外门2和内门3，其中锁腔1为筒状结构，外门2设置于锁腔1左端，内门3设置于锁腔1右端，锁腔1上设置有抽真空管路11和用来破坏锁腔1内真空的充气管路12。锁腔1内设有滑轨4以及用于承载石墨舟5的托盘6，滑轨4位于外门2和内门3之间，托盘6通过一滑块7装设于滑轨4上，锁腔1上设有用于驱动滑轨4的驱动机构8。
该石墨舟进出过渡负载锁，在锁腔1内设置由滑块7和滑轨4构成的双向滑动副，石墨舟5通过托盘6、滑块7滑设于滑轨4上，滑轨4由驱动机构8驱动，托盘6向左拉出锁腔1顺畅、省力，也避免了托盘6的磨损，石墨舟5由驱动机构8通过滑轨4、滑块7及托盘6向右移动带出锁腔，自动化程度高、效率高，石墨舟5与托盘6之间基本无磨损，锁腔1外也无需设置手套箱，操作便利。
本实施例的石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：
步骤一：打开外门2，将托盘6沿着滑轨4拉出锁腔1，将石墨舟5放置于托盘6上，然后将托盘6反向推回锁腔1内；
步骤二：关闭外门2，将锁腔1内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，打开内门3，驱动机构8带动滑轨4向内门3移动，滑轨4带动滑块7、托盘6及石墨舟5整体移动直至石墨舟5移出锁腔1。其中，外门2因不涉及锁腔1内的真空，其打开和关闭采用现有的手动操作模式。
实施例二
作为进一步优选的技术方案，本实施例中，驱动机构8包括齿条81、齿轮82、密封磁流体83、第一联轴器84以及步进电机85，滑轨4与齿条81固定连接，齿轮82与齿条81啮合，密封磁流体83设于锁腔1上，步进电机85依次通过第一联轴器84和密封磁流体83与齿轮82驱动连接。
进一步地，齿条81和齿轮82的齿均为人字形齿，齿条81和齿轮82啮合更平稳、可靠；如图4和图5所示，滑轨4上设有梯形滑槽41，滑块7为梯形并嵌设于梯形滑槽41内，使得滑块7与滑轨4之间的相对运动更平稳、顺畅。
本实施例的石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：
步骤一：打开外门2，将托盘6沿着滑轨4拉出锁腔1，将石墨舟5放置于托盘6上，然后将托盘6反向推回锁腔1内；
步骤二：关闭外门2，将锁腔1内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，打开内门3，步进电机85通过第一联轴器84和密封磁流体83带动齿轮82旋转，齿轮82带动齿条81向内门3移动，齿条81带动滑轨4、滑块7、托盘6及石墨舟5整体移动直至石墨舟5移出锁腔1。
实施例三
本实施例中，内门3与锁腔1铰接并配设有自动开关门机构9，自动开关门机构9包括摆动气缸91、第二联轴器92、连接块93、旋转气缸94以及锁紧块95，摆动气缸91通过第二联轴器92与连接块93相连，连接块93固设于内门3上，锁紧块95设于旋转气缸94的活塞杆上并与内门3外侧紧靠。该实施例与实施例一、实施例二相比，进一步提高了设备的自动化程度，且内门3的自动开关门机构9结构紧凑便于布局，摆动气缸91、旋转气缸94共同作用下，使得内门3密封性能好，能够保证锁腔1的真空环境。
连接块93和锁紧块95相对布置于内门3两侧，有利于保证内门3整体受力均衡，使内门3整体与锁腔1紧贴，保证密封性。本实施例中，连接块93位于内门3的下侧，锁紧块95位于内门3的上侧。
本实施例的石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：
步骤一：打开外门2，将托盘6沿着滑轨4拉出锁腔1，将石墨舟5放置于托盘6上，然后将托盘6反向推回锁腔1内；
步骤二：关闭外门2，将锁腔1内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，旋转气缸94带动锁紧块95旋转使锁紧块95与内门3分离，然后摆动气缸91通过第二联轴器92和连接块93将内门3打开，最后步进电机85通过第一联轴器84和密封磁流体83带动齿轮82旋转，齿轮82带动齿条81向内门3移动，齿条81带动滑轨4、滑块7、托盘6及石墨舟5整体移动直至石墨舟5移出锁腔1。
需要关闭内门3时，摆动气缸91反向摆动，使内门3与锁腔1贴合、关闭，然后旋转气缸94反向旋转，带动锁紧块95与内门3紧贴，使内门3紧扣在锁腔1上（具体为锁腔1端部的法兰），保证密封性能。
其中，旋转气缸94安装于锁腔1上，步进电机85、摆动气缸91则通过支板安装于机架（图中未示出）上。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (9)

1.一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔（1）、以及用于密封锁腔（1）的外门（2）和内门（3），其特征在于：所述锁腔（1）内设有滑轨（4）以及用于承载石墨舟（5）的托盘（6），所述滑轨（4）位于所述外门（2）和内门（3）之间，所述托盘（6）通过一滑块（7）装设于所述滑轨（4）上，所述锁腔（1）上设有用于驱动所述滑轨（4）的驱动机构（8）。
2.根据权利要求1所述的石墨舟进出过渡负载锁，其特征在于：所述驱动机构（8）包括齿条（81）、齿轮（82）、密封磁流体（83）、第一联轴器（84）以及步进电机（85），所述滑轨（4）与所述齿条（81）固定连接，所述齿轮（82）与所述齿条（81）啮合，所述密封磁流体（83）设于所述锁腔（1）上，所述步进电机（85）依次通过所述第一联轴器（84）和密封磁流体（83）与所述齿轮（82）驱动连接。
3.根据权利要求2所述的石墨舟进出过渡负载锁，其特征在于：所述齿条（81）和所述齿轮（82）的齿均为人字形齿。
4.根据权利要求1所述的石墨舟进出过渡负载锁，其特征在于：所述滑轨（4）上设有梯形滑槽（41），所述滑块（7）为梯形并嵌设于所述梯形滑槽（41）内。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的石墨舟进出过渡负载锁，其特征在于：所述内门（3）与所述锁腔（1）铰接并配设有自动开关门机构（9），所述自动开关门机构（9）包括摆动气缸（91）、第二联轴器（92）、连接块（93）、旋转气缸（94）以及锁紧块（95），所述摆动气缸（91）通过所述第二联轴器（92）与所述连接块（93）相连，所述连接块（93）固设于所述内门（3）上，所述锁紧块（95）设于所述旋转气缸（94）的活塞杆上并与所述内门（3）外侧紧靠。
6.根据权利要求5所述的石墨舟进出过渡负载锁，其特征在于：所述连接块（93）和所述锁紧块（95）相对布置于所述内门（3）两侧。
7.一种石墨舟进出权利要求1所述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：打开外门（2），将托盘（6）沿着滑轨（4）拉出锁腔（1），将石墨舟（5）放置于托盘（6）上，然后将托盘（6）反向推回锁腔（1）内；
步骤二：关闭外门（2），将锁腔（1）内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，打开内门（3），驱动机构（8）带动滑轨（4）向内门（3）移动，滑轨（4）带动滑块（7）、托盘（6）及石墨舟（5）整体移动直至石墨舟（5）移出锁腔（1）。
8.一种石墨舟进出权利要求2至4中任一项所述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：打开外门（2），将托盘（6）沿着滑轨（4）拉出锁腔（1），将石墨舟（5）放置于托盘（6）上，然后将托盘（6）反向推回锁腔（1）内；
步骤二：关闭外门（2），将锁腔（1）内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，打开内门（3），步进电机（85）通过第一联轴器（84）和密封磁流体（83）带动齿轮（82）旋转，齿轮（82）带动齿条（81）向内门（3）移动，齿条（81）带动滑轨（4）、滑块（7）、托盘（6）及石墨舟（5）整体移动直至石墨舟（5）移出锁腔（1）。
9.一种石墨舟进出权利要求5或6所述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：打开外门（2），将托盘（6）沿着滑轨（4）拉出锁腔（1），将石墨舟（5）放置于托盘（6）上，然后将托盘（6）反向推回锁腔（1）内；
步骤二：关闭外门（2），将锁腔（1）内抽真空；
步骤三：达到设计指标要求后，旋转气缸（94）带动锁紧块（95）旋转使锁紧块（95）与内门（3）分离，然后摆动气缸（91）通过第二联轴器（92）和连接块（93）将内门（3）打开，最后步进电机（85）通过第一联轴器（84）和密封磁流体（83）带动齿轮（82）旋转，齿轮（82）带动齿条（81）向内门（3）移动，齿条（81）带动滑轨（4）、滑块（7）、托盘（6）及石墨舟（5）整体移动直至石墨舟（5）移出锁腔（1）。
CN201710537755.9A 2017-07-04 2017-07-04 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法 Active CN107513761B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710537755.9A CN107513761B (zh) 2017-07-04 2017-07-04 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710537755.9A CN107513761B (zh) 2017-07-04 2017-07-04 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107513761A true CN107513761A (zh) 2017-12-26
CN107513761B CN107513761B (zh) 2019-08-16

Family

ID=60722104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710537755.9A Active CN107513761B (zh) 2017-07-04 2017-07-04 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107513761B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115507756A (zh) * 2022-11-16 2022-12-23 烟台云盛自动化科技有限公司 一种石墨舟尺寸检测装置及其使用方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1929107A (zh) * 2005-09-08 2007-03-14 周星工程股份有限公司 可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置
CN200999259Y (zh) * 2006-12-18 2008-01-02 中国电子科技集团公司第四十八研究所 自动炉门开启装置
CN101586252A (zh) * 2009-03-17 2009-11-25 中国科学院上海技术物理研究所 一种防止母液大面积残留的液相外延石墨舟
CN102061456A (zh) * 2010-10-29 2011-05-18 华南理工大学 一种用于pecvd装置的悬臂式推拉舟系统
CN102187430A (zh) * 2008-10-20 2011-09-14 应用材料公司 用于真空腔室的进/出门
CN202382553U (zh) * 2011-11-21 2012-08-15 山东博大集团有限公司 全封闭氮气保护推舟式隧道炉
CN102677162A (zh) * 2012-05-09 2012-09-19 中国科学院上海技术物理研究所 一种全自动控制的液相外延设备及控制方法
CN102842649A (zh) * 2012-09-04 2012-12-26 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备
CN103088410A (zh) * 2012-06-25 2013-05-08 中国科学院上海技术物理研究所 一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟及其生长方法
CN103526281A (zh) * 2013-09-29 2014-01-22 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 立式液相外延炉
CN105951059A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN106567912A (zh) * 2016-11-07 2017-04-19 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于平板pecvd设备的带传动装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1929107A (zh) * 2005-09-08 2007-03-14 周星工程股份有限公司 可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置
CN200999259Y (zh) * 2006-12-18 2008-01-02 中国电子科技集团公司第四十八研究所 自动炉门开启装置
CN102187430A (zh) * 2008-10-20 2011-09-14 应用材料公司 用于真空腔室的进/出门
CN101586252A (zh) * 2009-03-17 2009-11-25 中国科学院上海技术物理研究所 一种防止母液大面积残留的液相外延石墨舟
CN102061456A (zh) * 2010-10-29 2011-05-18 华南理工大学 一种用于pecvd装置的悬臂式推拉舟系统
CN202382553U (zh) * 2011-11-21 2012-08-15 山东博大集团有限公司 全封闭氮气保护推舟式隧道炉
CN102677162A (zh) * 2012-05-09 2012-09-19 中国科学院上海技术物理研究所 一种全自动控制的液相外延设备及控制方法
CN103088410A (zh) * 2012-06-25 2013-05-08 中国科学院上海技术物理研究所 一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟及其生长方法
CN102842649A (zh) * 2012-09-04 2012-12-26 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备
CN103526281A (zh) * 2013-09-29 2014-01-22 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 立式液相外延炉
CN105951059A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN106567912A (zh) * 2016-11-07 2017-04-19 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于平板pecvd设备的带传动装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115507756A (zh) * 2022-11-16 2022-12-23 烟台云盛自动化科技有限公司 一种石墨舟尺寸检测装置及其使用方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107513761B (zh) 2019-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207016150U (zh) 一种玻璃工厂用便捷式搬运装置
CN107513761A (zh) 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法
CN109737265A (zh) 一种cipp修复管道用树脂检测装置
CN107026602A (zh) 一种基于物联网的高效稳固的光伏发电装置
CN107280173A (zh) 一种大型自动开启固定遮雨伞
CN104007609B (zh) 一种掩膜板盒
WO2023035530A1 (zh) 一种旋转抓斗小车
CN202966086U (zh) 一种带有顶盖装置的货车车厢
CN207348100U (zh) 一种市政用下水道井盖更换装置
CN101328606B (zh) 多晶硅铸锭炉同步提升装置
CN206887276U (zh) 一种新型抓棉机伸缩管装置
CN202898531U (zh) 金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置
CN116674003A (zh) 可拆卸视窗面板的高密封性手套箱结构
CN206068896U (zh) 旋转式吸盘取料装置
CN217375368U (zh) 一种带有自动移出功能的样本传递机构
CN109854271A (zh) 一种用于隧道裂缝修补的机动性强的高效型注胶设备
CN109518670B (zh) 清污机
CN105089446B (zh) 一种多方向外开窗
CN104018881A (zh) 一种地铁隧道门的小门机构
CN107816133B (zh) 一种内置伸缩通道的气膜
CN211355250U (zh) 一种用于玻璃幕墙高楼外墙清洁的多功能攀爬智能装置
CN203939369U (zh) 一种多方向外开窗
CN209682743U (zh) 一种非沥青基自粘胶膜防水卷材生产用冷却设备
CN207271232U (zh) 一种带有视窗的反应釜
CN221579722U (zh) 幕布开合装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant