CN1929107A - 可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置 - Google Patents

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Abstract

一种衬底处理装置包括：至少一个加工腔室，其处理一衬底；一可移动转移腔室，其可邻近加工腔室进行移动；一驱动构件，其移动可移动转移腔室；和一连接构件，其组合并分离加工腔室和可移动转移腔室。

Description

可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置
本发明主张2005年9月8日递交的韩国专利申请案第10-2005-0083650号和2005年11月28日递交的韩国专利申请案第10-2005-0114011号的利益，所述申请案以引用的方式并入本文中。
技术领域
本发明涉及一种可移动转移腔室，且更明确地说，涉及一种用于显示设备和半导体设备的大型衬底的可移动转移腔室和一种包括所述可移动转移腔室的衬底处理装置。
背景技术
一般来说，用于显示设备和半导体设备的制造方法包括：沉积步骤，其中在例如玻璃和晶片的衬底上形成指定材料的薄膜；光刻步骤，其中通过感光材料选择性地曝露薄膜的一部分；和蚀刻步骤，其中选择性地去除薄膜的一部分。这些步骤是在针对相应步骤的最优加工状态下在腔室中执行的。近来，丛类型(cluster type)的衬底处理装置(其中集成有加工腔室、负载锁定腔室和转移腔室)已广泛用于处理大量衬底以达成较短的加工时间。在加工腔室中处理衬底，且通过负载锁定腔室输入和输出衬底。另外，通过转移腔室使衬底在加工腔室与负载锁定腔室之间进行转移。
图1是显示根据相关技术的丛类型衬底处理装置的示意平面图。在图1中，丛类型衬底处理装置包括转移腔室70、复数个加工腔室80、第一负载锁定腔室40、第二负载锁定腔室50、传输单元10、第一负载端口20和第二负载端口30。复数个加工腔室80以及第一和第二负载锁定腔室40和50连接到转移腔室70的侧部。另外，传输单元10连接到第一和第二负载锁定腔室40和50的侧部，且第一和第二负载端口20和30连接到传输单元10的侧部。
在高度真空状态下在每个加工腔室80中将薄膜沉积在衬底上，或蚀刻衬底上的薄膜。转移腔室70包括转移机器人72，且通过转移机器人72在加工腔室80之间或在加工腔室80与第一和第二负载锁定腔室40和50中的一者之间转移衬底。转移腔室70还具有真空状态。一沟槽阀安置在加工腔室80与转移腔室70之间以打开和关闭转移路径。因为转移腔室70具有真空状态且传输单元10具有大气压力状态，所以第一和第二负载锁定腔室40和50用作转移腔室70与传输单元10之间的缓冲空间。当输入和输出衬底时，第一和第二负载锁定腔室40和50在真空状态与大气压力状态之间交替。沟槽阀还安置在转移腔室70与负载锁定腔室40和50之间，且安置在负载锁定腔室40和50与传输单元10之间。
复数个加工腔室80以及负载锁定腔室40和50沿着转移腔室70的圆周而安置。另外，转移机器人72在转移腔室70中旋转。因此，需要转移腔室70具有很大的体积。衬底处理装置的占地面积和成本因此增加。另外，因为复数个加工腔室80以及负载锁定腔室40和50连接到转移腔室70的侧部，所以限制了衬底处理装置的布署并制约了空间利用。
图2是根据相关技术的直线型(in-line type)衬底处理装置的示意平面图。在图2中，直线型衬底处理装置包括转移腔室70、复数个加工腔室80和负载锁定腔室40。成直线的复数个加工腔室80和负载锁定腔室40连接到转移腔室70的侧部。另外，转移机器人72沿着直线移动以转移衬底。具有真空状态的转移腔室70包括转移机器人72、用于转移机器人72的驱动构件和引导转移机器人72的平直移动的导轨74。转移机器人72沿着导轨74相对于复数个加工腔室80和负载锁定腔室40而平直移动。转移机器人72在负载锁定腔室40与加工腔室80之间交换衬底。
在直线型衬底处理装置中，随着复数个加工腔室80的数目的增加，转移腔室70的尺寸也会增加。由于转移腔室70具有真空状态，所以会限制转移腔室70在尺寸上的增加。连接到转移腔室70的复数个加工腔室80的数目因此受到制约，且限制了处理直线型衬底处理装置的衬底的能力。
发明内容
因此本发明针对转移腔室和包括转移腔室的装置，其基本上排除了由于相关技术中的限制和缺点而引起的一个或一个以上问题。
本发明的目的是提供转移腔室，其中在不增加衬底处理装置的腔室体积和占地面积的情况下连接复数个加工腔室和负载锁定腔室。
本发明的另一目的是提供衬底处理装置，其中衬底处理能力得到改进，且转移腔室、复数个加工腔室和负载锁定腔室的布署得到改进。
本发明的附加特征和优点将在以下描述中陈述，且部分将从描述中明了，或可通过本发明的实践来了解。通过在书面描述和其权利要求书以及附图中特定指出的结构可实现并获得本发明的目的和其它优点。
为了实现这些和其它优点，且根据具体和广泛描述的本发明的目标，一种衬底处理装置包括：至少一个加工腔室，其处理衬底；可移动转移腔室，其可邻近加工腔室进行移动；驱动构件，其移动可移动转移腔室；和连接构件，其组合并分离加工腔室和可移动转移腔室。
在另一方面，衬底处理装置包括：第一和第二导轨，其彼此平行；第一和第二可移动转移腔室，其可分别沿着第一和第二导轨进行移动；第一加工腔室，其在第一与第二导轨之间，第一加工腔室包括面向第一导轨的第一门；第二加工腔室，其在第一与第二导轨之间，第二加工腔室包括面向第二导轨的第二门，第一和第二加工腔室具有共同的与第一和第二门相对的空间；第一负载锁定腔室，其沿着第一导轨而安置；第二负载锁定腔室，其沿着第二导轨而安置；和传输单元，其在第一与第二负载锁定腔室之间。
在另一方面，可移动转移腔室包括：腔室主体，其具有用于衬底的门；和衬底转移单元，其在腔室主体中，其中可移动转移腔室可相对于加工腔室进行移动，且在真空状态下与加工腔室组合以转移衬底。
应了解，前述一般性描述和下文详细描述是示范性和说明性的，且希望提供对如所主张的本发明的进一步解释。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解且并入本说明书中并构成本说明书的一部分，附图说明本发明的实施例，并连同描述内容一起来解释本发明的原理。附图中：
图1是显示根据相关技术的丛型衬底处理装置的示意平面图；
图2是显示根据相关技术的直线型衬底处理装置的示意平面图；
图3是显示根据本发明的第一实施例的衬底处理装置的示意平面图；
图4是显示用于根据本发明的第一实施例的衬底处理装置的可移动转移腔室和驱动构件的示意横截面图；
图5A到图5D是显示根据本发明的第一实施例的衬底处理装置的操作的示意平面图；
图6A和图6B是分别显示根据本发明的第一实施例的衬底处理装置的可移动转移腔室和加工腔室的分离状态和连接状态的示意横截面图；
图7是显示根据本发明的第二实施例的衬底处理装置的可移动转移腔室和驱动构件的示意横截面图；
图8A到图8D是显示根据本发明的第二实施例的衬底处理装置的操作的示意平面图；
图9是显示根据本发明的第三实施例的衬底处理装置的示意平面图；和
图10是显示根据本发明的第四实施例的衬底处理装置的示意平面图。
具体实施方式
现将具体参照在附图中说明其实例的优选实施例。
图3是显示根据本发明的第一实施例的衬底处理装置的示意平面图。
在图3中，衬底处理装置包括两个加工腔室200、负载锁定腔室300和可移动转移腔室100。两个加工腔室200和负载锁定腔室300沿着y轴“y”成直线安置，且转移腔室100沿着安置在两个加工腔室200和负载锁定腔室300的侧部处的导轨90而移动。两个处理腔室200和负载锁定腔室300的门(未图示)面向导轨90，且可移动转移腔室100的门(未图示)面向两个加工腔室200和负载锁定腔室300。因此，在可移动转移腔室100沿着导轨90平直移动之后，可移动转移腔室100在加工腔室200的前方停止以与加工腔室200交换衬底，或在负载锁定腔室300的前方停止以与负载锁定腔室300交换衬底。
因为可移动转移腔室100、两个加工腔室200和负载锁定腔室300的外部具有大气压力状态，所以可移动转移腔室100的内部在气压上与外部隔离以保持真空状态。另外，在使用连接构件保持真空状态的同时，在可移动转移腔室100与加工腔室200之间以及在可移动转移腔室100与负载锁定腔室300之间交换衬底。需要附加驱动构件来移动可移动转移腔室100。
图4是显示根据本发明的第一实施例的衬底处理装置的可移动转移腔室和驱动构件的示意横截面图。
在图4中，可移动转移腔室100包括作为衬底转移单元的转移机器人110。穿过可移动转移腔室100的侧壁形成衬底的第一门102，且在第一门102的外表面处形成第一沟槽阀120以打开和关闭第一门102。转移机器人110包括两个机械臂111和112以同时转移两个衬底。转移机器人110连接到机器人驱动单元130，且机器人驱动单元130连接到可移动转移腔室100的底部。机器人驱动单元130沿着z轴“z”垂直移动两个机械臂111和112，或沿着x轴“x”水平移动两个机械臂111和112以通过第一门102转移衬底。
使用包括支撑单元140、第一导轨90和第二导轨150的驱动构件使可移动转移腔室100移动。由支撑单元140支撑可移动转移腔室100，且支撑单元140与第一导轨90组合。通过第一驱动单元(未图示)，支撑单元140沿着y轴“y”在第一导轨90上移动。因此，可移动转移腔室100沿着第一导轨90与支撑单元140一起移动。第一导轨90包括第一轨道90a和支撑第一轨道90a的第一轨道支撑单元90b。
当可移动转移腔室100沿着导轨90移动时，并不减少可移动转移腔室100与加工腔室200之间或可移动转移腔室100与负载锁定腔室300之间的距离。因此，需要第二驱动单元来沿着x轴“x”移动可移动转移腔室100，使得可移动转移腔室100可与加工腔室200和负载锁定腔室300中的一者组合。在可移动转移腔室100与支撑单元140之间形成第二导轨150，且第二驱动单元(未图示)沿着x轴“x”在第二导轨150上移动可移动转移腔室100。第一和第二导轨90和150并不彼此交叉，且可彼此垂直安置。
图5A到图5D是显示根据本发明第一实施例的衬底处理装置的示意平面图。
图5A中，可移动转移腔室100与负载锁定腔室300组合以交换衬底。支撑单元140在第一导轨90上沿着y轴“y”移动，并在负载锁定腔室300前方停止。支撑单元140的第一驱动单元(未图示)可包括对准构件(例如，传感器)以使可移动转移腔室100停止在准确位置处。当支撑单元140固定到第一导轨90时，可移动转移腔室100在第二导轨150上沿着x轴“x”移动，且与负载锁定腔室300组合。可移动转移腔室100与负载锁定腔室300在不破坏真空状态的情况下使用连接构件进行组合。
图5B中，在可移动转移腔室100与负载锁定腔室300之间交换衬底之后，可移动转移腔室100在第二导轨150上沿着x轴“x”移动以与负载锁定腔室300分离。
图5C中，支撑单元140和可移动转移腔室100在第一导轨90上沿着y轴“y”移动，并在加工腔室200前方停止。
图5D中，当支撑单元140被固定时，可移动转移腔室100在第二导轨150上沿着x轴“x”移动，且与加工腔室200组合。接着，在可移动转移腔室100与加工腔室200之间交换衬底。在完成交换衬底之后，使用第二导轨150使可移动转移腔室100与加工腔室200彼此分离，且可移动转移腔室100在第一导轨90上沿着y轴“y”移动以到达负载锁定腔室300从而进行下一衬底交换。
由于在不破坏真空状态的情况下交换衬底，所以当可移动转移腔室100与负载锁定腔室300和加工腔室200中的一者组合时，需要连接构件来保持真空状态。图6A和图6B是分别显示根据本发明第一实施例的衬底处理装置的可移动转移腔室与加工腔室的分离状态和连接状态的示意横截面图。
图6A和图6B中，可移动转移腔室100和加工腔室200分别包括第一门102和第二门202以转移衬底。第一沟槽阀120形成在可移动转移腔室100的外表面上，对应于第一门102，第二沟槽阀220形成在加工腔室200的外表面上，对应于第二门202。当可移动转移腔室100靠近加工腔室200时，第一与第二沟槽阀120与220彼此组合。
第一沟槽阀120包括外壳121和外壳121中的阻断构件123。穿过外壳121形成第一开口部分122，且阻断构件123通过第一沟槽阀驱动单元(未图示)来打开和关闭第一开口部分122。阻断构件123可上下移动以打开和关闭第一开口部分122。第一开口部分122对应于第一门102。第二沟槽阀220的结构类似于第一沟槽阀120的结构。尽管图6A和图6B中未显示，但第三沟槽阀形成在负载锁定腔室300的外表面上。
当第一与第二沟槽阀120与220彼此组合时，使用第一和第二沟槽阀120和220的连接表面上的密封构件使组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部与外界在气压上完全隔离。O环222形成在第二沟槽阀220的外表面上用于大气隔离。在另一实施例中，O环可形成在第一沟槽阀120的外表面上。
在第一与第二沟槽阀120与220彼此组合之后，在可移动转移腔室100与加工腔室200之间转移衬底。由于第一和第二门102和202打开以转移衬底，所以组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部中的杂质会污染或氧化可移动转移腔室100和加工腔室200。因此，在第一和第二门102和202打开之前，通过抽吸单元排空组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部。抽吸管道230可连接到第二沟槽阀220以排空组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部。当抽吸管道230与连接到加工腔室200的排放管道250组合时，不需要附加的抽吸单元。
即使当组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部压力不等于加工腔室200的压力时，第二沟槽阀220也可打开。因此，当所述内部与加工腔室200之间的压力差在约1托到约1000托的范围内时，第二沟槽阀220可打开。可根据加工腔室200的压力将所述压力差确定在上述范围内。类似地，当所述内部与可移动转移腔室100之间的压力差在约1托到约1000托的范围内时，第一沟槽阀120可打开。
在通过抽吸管道230排空组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部之后，第一和第二沟槽阀120和220打开，且在可移动转移腔室100与加工腔室200之间转移衬底。接着，将组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部加压成大气压力状态以使可移动转移腔室100与负载锁定腔室300分离。因此，通风线240连接到第二沟槽阀220，且在关闭第一和第二门102和202之后，将通风气体注入到组合的第一和第二沟槽阀120和220的内部。在另一实施例中，抽吸管道230和通风线240可连接到第一沟槽阀120。
由于第一和第二沟槽阀120和220反复地彼此附接和脱离，所以可在第一和第二沟槽阀120和220的一者的外表面上进一步形成吸收冲击的弹性构件，以减少由于组合而产生的冲击。尽管图6A和图6B中弹性构件224形成在第二沟槽阀220的外表面上，但在另一实施例中，弹性构件可形成在第一沟槽阀120的外表面上，或可形成在第一和第二沟槽阀120和220两者的外表面上。
此外，由于可移动转移腔室100移动并与加工腔室200和负载锁定腔室300中的一者组合，所以需要精确地调节可移动转移腔室100的移动的对准构件。举例来说，包括传感器的对准构件可安置在第一和第二沟槽阀120和220的两者或一者上，且可通过感测结果的反馈来调节可移动转移腔室100的移动。此外，实体连接导引构件(未图示)可形成在第一和第二沟槽阀120和220中的两者或一者上，以在准确的位置组合可移动转移腔室100与加工腔室200和负载锁定腔室300中的一者。此外，可将附加的抽吸单元连接到可移动转移腔室100以排空可移动转移腔室100。可移动转移腔室100可包括连接到附加的抽吸单元(例如，真空泵)的排放装置。
图7是显示根据本发明第二实施例的用于衬底处理装置的可移动转移腔室和驱动构件的示意横截面图。
图7中，通过包括支撑单元140、第一导轨90和第二导轨92的驱动构件移动可移动转移腔室100。可移动转移腔室100由支撑单元140支撑，且支撑单元140连接到第一导轨90。可移动转移腔室100通过沿着x轴“x”移动第一导轨90而与加工腔室200和负载锁定腔室300中的一者组合。由于省略了移动转移腔室100与支撑单元140之间的附加导轨，所以支撑单元140固定到可移动转移腔室100。另外，第二导轨92形成在第一导轨90下方。第一导轨90沿着y轴“y”而安置，且第二导轨92沿着x轴“x”而安置。第一和第二导轨90和92可彼此不平行，且可彼此垂直。
第一导轨90包括第一轨道90a和支撑第一轨道90a的第一轨道支撑单元90b，且第二导轨92包括第二轨道92a和支撑第二轨道92a的第二轨道支撑单元92b。由于第一导轨90的第一轨道支撑单元90b与第二导轨92的第二轨道92a组合，所以第一导轨90沿着x轴“x”移动。支撑单元140可通过第一驱动单元(未图示)在第一导轨90上沿着y轴“y”移动。另外，第一导轨90可通过第二驱动单元(未图示)在第二导轨92上沿着x轴“x”移动。此外，可使用连接构件(例如，沟槽阀)将可移动转移腔室100与加工腔室200和负载锁定腔室300中的一者组合。
图8A到图8D是显示根据本发明第二实施例的衬底处理装置的操作的示意平面图。
图8A中，可移动转移腔室100与负载锁定腔室300组合以交换衬底。支撑单元140在第一导轨90上沿着y轴“y”移动，并在负载锁定腔室300前方停止。支撑单元140的第一驱动单元(未图示)可包括对准构件(例如，传感器)以使可移动转移腔室100停止在准确位置处。当可移动转移腔室100和支撑单元140固定到第一导轨90时，可移动转移腔室100、支撑单元140和第一导轨90在第二导轨92上沿着x轴“x”移动，且可移动转移腔室100与负载锁定腔室300组合。可移动转移腔室100与负载锁定腔室300在不破坏真空状态的情况下使用连接构件(例如，沟槽阀)和抽吸单元(例如，真空泵)进行组合。
图8B中，在可移动转移腔室100与负载锁定腔室300之间交换衬底之后，第一导轨90、支撑单元140和可移动转移腔室100在第二导轨92上沿着x轴“x”移动，使得可移动转移腔室100可与负载锁定腔室300分离。在可移动转移腔室100与负载锁定腔室300分离之前，可使沟槽阀内部通风以获得大气压力状态。
图8C中，支撑单元140和可移动转移腔室100在第一导轨90上沿着y轴“y”移动，并在加工腔室200前方停止。
图8D中，当可移动转移腔室100和支撑单元140固定到第一导轨90时，可移动转移腔室100、支撑单元140和第一导轨90在第二导轨92上沿着x轴“x”移动，且可移动转移腔室100与加工腔室200组合。接着，在可移动转移腔室100与加工腔室200之间交换衬底。在完成交换衬底之后，通过沿着第二导轨92移动第一导轨90使可移动转移腔室100与加工腔室200彼此分离，且可移动转移腔室100和支撑单元140在第一导轨90上沿着y轴“y”移动以到达负载锁定腔室300从而进行下一衬底交换。
图9是显示根据本发明第三实施例的衬底处理装置的示意平面图。
图9中，衬底处理装置包括两个可移动转移腔室以增大衬底处理的速度。衬底处理装置包括第一和第二可移动转移腔室100a和100b。第一和第二可移动转移腔室100a和100b分别沿着彼此平行的第一和第二导轨91和92平直移动。第一和第二负载锁定腔室300a和300b以及复数个加工腔室200安置在第一和第二导轨91和92的外部。因此，包括负载锁定腔室和复数个加工腔室的腔室列安置在第一和第二导轨91和92外。
第一可移动转移腔室100a沿着第一导轨91移动，并在第一负载锁定腔室300a与对应于第一导轨91的每一加工腔室200之间转移衬底。类似地，第二可移动转移腔室100b沿着第一导轨92移动，并在第二负载锁定腔室300b与对应于第二导轨92的每一加工腔室200之间转移衬底。第一和第二可移动转移腔室100a和100b中的每一者包括用于转移面向第一和第二导轨91和92的衬底的第一门(未图示)，且每一加工腔室200包括用于转移面向第一和第二导轨91和92的衬底的第二门210。另外，第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的每一者包括用于转移面向第一和第二导轨91和92的衬底的第三门310。
由于从外部将裸露衬底供应到第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的每一者，且从第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的每一者将经处理的衬底转移到外部，所以第一和第二衬底供应单元400a和400b分别邻近第一和第二负载锁定腔室300a和300b而安置。另外，传输单元410安置在第一衬底供应单元400a与第一负载锁定腔室300a之间，且安置在第二衬底供应单元400b与第二负载锁定腔室300b之间。因此，第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的每一者包括用于通过传输单元410的第四门320。
举例来说，在衬底处理装置中，衬底可通过第四门320从第一衬底供应单元400a转移到第一负载锁定腔室300a。接着，衬底可通过第三门310从第一负载锁定腔室300a转移到第一可移动转移腔室100a。类似地，同时衬底可从第二衬底供应单元400b转移到第二可移动转移腔室100b。
此外，第一和第二导轨91和92中的每一者可对应于一个或一个以上负载锁定腔室以改进衬底的转移。当至少两个负载锁定腔室对应于单个导轨时，所述两个负载锁定腔室可沿着单个导轨水平安置，或可垂直安置以具有不同高度。另外，当所述两个负载锁定腔室相对于单个导轨垂直安置时，两个负载锁定腔室可通过垂直移动构件而上下移动，使得可移动转移腔室100可连接到两个负载锁定腔室。
在图9的衬底处理装置中，由于第一和第二导轨91和92安置在两个腔室列之间，所以第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的每一者需要衬底供应单元400a和400b以及传输单元410。因此，衬底处理装置的元件加倍，且转移衬底的效率减小。此外，每一加工腔室200需要与第二门210相对的用于维护的空间。由于图9的两个腔室列中的复数个加工腔室个别地需要用于维护的空间，所以限制了空间的利用。
图10是显示根据本发明第四实施例的衬底处理装置的示意平面图。
图10中，衬底处理装置包括复数个加工腔室200、第一负载锁定腔室300a、第二负载锁定腔室300b、第一导轨91和第二导轨和92。复数个加工腔室200以及第一和第二负载锁定腔室300a和300b在第一与第二导轨91与92之间安置成两个腔室列。第一和第二可移动转移腔室100a和100b中的每一者具有面向第一和第二负载锁定腔室300a和300b的第一门(未图示)。另外，复数个加工腔室200中的每一者具有面向第一和第二可移动转移腔室100a和100b的第二门210。由于两个腔室列中的复数个加工腔室200具有与第二门210相对的共同的用于维护的空间，所以改进了空间的利用。
第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的每一者包括面向第一和第二导轨91和92的第三门310和与第三门310相对的第四门320。由于第一和第二负载锁定腔室300a和300b的第四门320彼此面对，且传输单元410安置在第一与第二负载锁定腔室300a与300b之间，所以第一和第二负载锁定腔室300a和300b中的衬底可通过单个传输单元410而转移。衬底供应单元400邻近传输单元410而安置。因此，可从单个衬底供应单元400将裸露衬底供应到第一和第二负载锁定腔室300a和300b，且从第一和第二负载锁定腔室300a和300b将经处理的衬底转移到单个衬底供应单元400。因此，衬底处理装置的占地面积得到改进。
因此，在根据本发明的衬底处理装置中，可移动转移腔室与负载锁定腔室和加工腔室中的一者组合或分离。处于分离状态的可移动转移腔室在负载锁定腔室与加工腔室之间移动并转移衬底。另外，处于分离状态的可移动转移腔室在真空状态下移动，且在不破坏真空状态下的情况下在可移动转移腔室与负载锁定腔室和加工腔室中的一者之间转移衬底。此外，即使当加工腔室的数目增加时，也不需要增大可移动转移腔室的尺寸。因此，不需要用于排空可移动转移腔室的附加的抽吸单元，且通过增加加工腔室的数目改进了装置的衬底处理能力。
由于需要根据衬底尺寸的增大来增大可移动转移腔室的尺寸，所以不管衬底尺寸的增大，可移动转移腔室、负载锁定腔室和加工腔室的总体积经最小化，且用于衬底处理装置的抽吸单元经最小化。可省略用于可移动转移腔室的抽吸单元。作为替代，可使用用于负载锁定腔室和加工腔室中的一者的抽吸单元来排空可移动转移腔室。因此，可移动转移腔室得以简化以易于移动。由于即使当加工腔室的数目增加时可移动转移腔室的尺寸也不会增大，所以对于大型衬底来说，与具有径向安置的加工腔室的装置相比，改进了空间的利用。
所属领域的技术人员将了解，可在不脱离本发明精神或范围的情况下在包括可移动转移腔室的衬底处理装置中作出各种修改和变化。因此，希望本发明涵盖在所附权利要求书及其等效物范围内的对本发明的修改和变化。

Claims (18)

1.一种衬底处理装置，包含：
至少一个加工腔室，其处理一衬底；
一可移动转移腔室，其可邻近所述加工腔室进行移动；
一驱动构件，其移动所述可移动转移腔室；和
一连接构件，其组合并分离所述加工腔室和所述可移动转移腔室。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个加工腔室是复数个加工腔室，且所述复数个加工腔室沿着所述驱动构件安置成单个腔室列和两个腔室列中的一者。
3.根据权利要求2所述的装置，进一步包含至少一个负载锁定腔室，其沿着所述驱动构件安置成所述单个腔室列和所述两个腔室列中的一者。
4.根据权利要求3所述的装置，进一步包含一对准构件，其相对于所述至少一个加工腔室和所述至少一个负载锁定腔室中的一者而对准所述可移动转移腔室。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述可移动转移腔室在移动时维持一真空状态。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述可移动转移腔室包括一同时转移至少两个衬底的转移机器人。
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述可移动转移腔室包含：
一第一门，通过所述第一门而交换所述衬底；和
一第一沟槽阀，其打开和关闭所述第一门。
8.根据权利要求1所述的装置，其中所述驱动构件包含：
一第一导轨，其邻近所述至少一个加工腔室；
一支撑单元，其支撑所述至少一个加工腔室并沿着所述第一导轨移动；和
一第一驱动单元，其沿着所述第一导轨移动所述支撑单元。
9.根据权利要求8所述的装置，其中所述驱动构件进一步包含：
一第二导轨，其位于所述可移动转移腔室与所述支撑单元之间；和
一第二驱动单元，其沿着所述第二导轨移动所述可移动转移腔室。
10.根据权利要求8所述的装置，其中所述驱动构件进一步包含：
一第一轨道支撑单元，其支撑所述第一导轨；
一第二导轨，其支撑所述第一轨道支撑单元；和
一第二驱动单元，其沿着所述第二导轨移动所述第一轨道支撑单元。
11.根据权利要求1所述的装置，其中所述连接构件包含：
一第一沟槽阀，其连接到所述至少一个加工腔室，所述第一沟槽阀打开并关闭所述至少一个加工腔室的一第一门；
一第二沟槽阀，其连接到所述可移动转移腔室，所述第二沟槽阀打开并关闭所述可移动转移腔室的一第二门；
一阻断构件，其在气压上隔离由所述第一和第二沟槽阀的一连接界定的一内部空间；
一抽吸管道，其排空所述内部空间；和
一通风管道，其使所述内部空间通风。
12.根据权利要求11所述的装置，进一步包含所述第一和第二沟槽阀的外表面中的一者上的一对准构件。
13.根据权利要求11所述的装置，进一步包含所述第一和第二沟槽阀的外表面中的一者上的一连接导引构件。
14.根据权利要求11所述的装置，进一步包含一弹性构件，其吸收所述第一和第二沟槽阀的外表面中的一者上的一冲击。
15.根据权利要求11所述的装置，其中当所述内部空间与所述至少一个加工腔室之间的一压力差在约1托到约1000托的一范围内时，所述第一沟槽阀打开。
16.根据权利要求11所述的装置，其中当所述内部空间与所述至少一个加工腔室之间的一压力差在约1托到约1000托的一范围内时，所述第二沟槽阀打开。
17.一种衬底处理装置，包含：
第一和第二导轨，其彼此平行；
第一和第二可移动转移腔室，其可分别沿着所述第一和第二导轨移动；
一第一加工腔室，其在所述第一与第二导轨之间，所述第一加工腔室包括面向所述第一导轨的一第一门；
一第二加工腔室，其在所述第一与第二导轨之间，所述第二加工腔室包括面向所述第二导轨的一第二门，所述第一和第二加工腔室具有共同的与所述第一和第二门相对的一空间；
一第一负载锁定腔室，其沿着所述第一导轨而安置；
一第二负载锁定腔室，其沿着所述第二导轨而安置；和
一传输单元，其在所述第一与第二负载锁定腔室之间。
18.一种可移动转移腔室，包含：
一腔室主体，其具有用于一衬底的一门；和
一衬底转移单元，其在所述腔室主体中，
其中所述可移动转移腔室可相对于一加工腔室移动，且在一真空状态下与所述加工腔室组合以转移所述衬底。
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