CN102842649A - 真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送；以及一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备；其优点在于不但解决了反应时不能进行装片取片的问题，而且可以解决反应腔室进行反复多次抽真空占用时间的问题，可以大大提高生产效率、节省人力。

Description

真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备
技术领域
本发明涉及真空制程领域，特别是涉及真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备。
 
背景技术
在一些制造行业中，对很多工件的加工都需要在真空环境下进行。不可避免地，需将工件从常温常压环境送入真空以及从真空取出至常温常压下，其整个反应过程需要多次抽真空、破真空，不仅流程繁琐而且消耗能源、磨耗设备。
如太阳能电池片制造行业，干法制绒设备是用于太阳能电池片刻蚀工艺的一种专用设备，其原理是在真空状态下，通过射频电源辉光放电，使反应气体电离成等离子体，气体离子通过电势的作用，轰击硅片，对硅片进行腐蚀，与硅片发生化学反应和物理反应，达到刻蚀效果。
整个过程是在真空腔室进行的，在进行反应前，需要将电池片通过传动机构将电池片放置到腔室内。通常的传送方法有两种，第一种如图1所示。料盘2放置在工作台A1上，首先进行装片，即将电池片4放置在料盘2上；再进行送片，即将料盘2送至反应腔室3内进行反应；待反应完毕后，再从原来的入口处进行出片，即料盘2由反应腔室3内出来；最后回到工作台A1进行取片，由此完成一个太阳能片进出作业的整个流程。整个工作过程占用时间较长。
另外一种传动方式如图2示。其反应腔室3两侧分别设置工作台A1和工作台B5，与第一种方式区别在于，送片口与出片口不同，其采用流水作业方式，在反应的同时，可以进行装片及取片，从一定程度上节约了时间。但是在反应过程需抽真空，然后通入气体进行辉光放电，反应结束后，为保证人身安全需将腔室内具有腐蚀性的工艺气体排除掉，重新抽真空，为保证腔室内外压力相同，还需重新对腔室内使用惰性气体破真空。以上整个反应过程需要多次抽真空、破真空，不仅流程繁琐而且消耗能源、磨耗设备；同时太阳能电池片一直在反应腔室3内，浪费了时间，降低了工作效率。
此外，以上两种传动方式所需人力较多，设备占用空间大。
 
发明内容
为了解决以上技术问题，本发明提供了一种节省人力物力、减少耗能、提高工作效率的真空反应腔室进出料的传送方法。
本发明所述真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于：工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送。
为达到更好的效果，所述转换 腔室在大气与真空之间切换以及工件在转换腔室内三个工作位之间切换具体包括以下步骤：
（1）、打开转换腔室的阀门，将工件送至转换腔室内的上传送机构，此时上传动机构处于与外界及真空反应腔室内放置工件的工作台同一平面的位置，即零位；
（2）、上传送机构与下传送机构同步上升，当下传送机构上升至零位，将下传送机构上的已反应完毕的工件送至工作台；
（3）、关闭转换腔室的阀门，将转换腔室内抽真空，其真空度与反应腔室内反应完毕后抽完的真空度相当；
（4）、打开反应腔室的阀门，将反应腔室内的工件送至转换腔室内的下传送机构；
（5）、上传送机构与下传送机构同步下降，当上传送机构下降至零位，将上传送机构的工件送至反应腔室内；
（6）、关闭反应腔室的阀门，使其内的工件进行反应，反应的同时在转换腔室内进行大气与真空状态的切换；
（7）、打开转换腔室的阀门，将工作台上已换好的装有下一个工件的工件送至换腔室内的上传送机构，从而开始下一循环。
本发明所述真空反应腔室进出料的传送方法，不但解决了反应时不能进行装片取片的问题，而且可以解决反应腔室进行反复多次抽真空占用时间的问题；通过此进出片传送方法，可以大大提高生产效率，节省人力。
本发明还提供了一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，包括真空反应腔室和至少设有两个可开闭密封件的转换腔室，其中真空反应腔室与转换腔室之间通过一个可开闭密封件连接，转换腔室内设置有可进行同步位移的A传送机构和B传送机构，以及分别与A传送机构、B传送机构相连的驱动系统。
为达到更好的效果，本发明所述传送设备还可以采用以下措施：
1、所述驱动系统具体为升降驱动系统，包括电机、十字转向器、螺旋升降机，电机通过减速器、联轴器分别与两个十字转向器相连，十字转向器通过联轴器与螺旋升降机相连，螺旋升降机与上传送机构及下传送机构上设置的推杆相连。
2、所述A传送机构和B传送机构具体为上传送机构和下传送机构，二者结构相同，分别包括电机、伞形齿轮与传动轴，电机通过减速器、联轴器与磁流体相连，伞形齿轮设置在磁流体的转轴上，伞形齿轮通过联轴器与传动轴相连，传动轴由支撑座固定在传动机构的平台上，传动轴上设置有滚轮。
3、本发明所述传送设备还包括固定在反应腔室外表面上的焊接波纹管，其位于上传送机构和下传送机构的推杆外部。作为真空密封结构，焊接波纹管在满足真空要求的基础上，具有反复拉伸与压缩不损坏的优点。
4、所述上传送机构和下传送机构为一体的。这样可以最简便的保证其二者同步上升与下降。
工作时，升降驱动系统的电机经过减速器通过联轴器、十字转向器将动力传递给螺旋升降机，通过螺旋升降机使转换腔体内部上传送机构和下传送机构的上升与下降，到达预定位置后，传动机构的电机驱动磁流体转动，在伞形齿轮的换向作用下，驱动传动轴、滚轮转动从而达到水平传送目的。
本发明所述的传送设备采用了十字转向器、螺旋升降机，达到了使用一个电机驱动四个不同点的同时上下运动，而且上下位置可精确控制；采用磁流体作为中间环节达到了动力传递与真空密封要求。 
本发明所述真空反应腔室进出料的传送方法，所述转换腔室内的三个工作位可以为竖直方向，也可以为水平方向，甚至为节省空间可以为圆周方向，只要保持零位与外界及真空反应腔室内放置工件的工作台同一直线或平面相对应，便可达到相同的效果。相应地，所述实现真空反应腔室进出料的传送设备中，上传送机构与下传送机构也可以改变运动方向及轨迹。无论如何，其围绕零位进行工作位切换的模式及结构，都属于与本发明所述技术方案的相似的变形，属于本发明的保护范围。
本发明所述真空反应腔室进出料的传送方法及实现该方法的传送设备，不但可用于干法制绒设备进出料系统，而且可应用到众多生产线中。
 
附图说明
图1为现有技术中第一种传送方法的示意图。
图2为现有技术中第二种传送方法的示意图。
图3为本发明所述的传送方法。
图4为升降系统俯视图。
图5为带有上传送机构或下传送机构的升降系统的主视图。
图6为上传动机构或下传送机构的俯视图。
图7为上传动机构和下传送机构的主视图。
图中各件号说明：
1-工作台A；2-料盘；3-反应腔室；4-电池片；5-工作台B；6-上传动机构；7-下传送机构；8-转换腔室；9-反应腔室阀门；10-转换腔室阀门；11-电机；12-减速器；13-联轴器；14-连接轴；15-十字转向器；16-螺旋升降机；17-焊接波纹管；18-推杆；19-支撑座；20-伞形齿轮； 21-传动轴；22-滚轮；23-磁流体。
 
具体实施方式
以太阳能电池片制造行业中干法制绒进出片的传送方法为例，结合图3，对本发明所述的传送方法进行详细说明。
本发明在工作台1与反应腔室3的传动之间增加了一个转换过程，该过程中包括2#、3#和4#工作位，如图所示，其位置为自下而上依次分布；工作台1为1#位，反应腔室为5#位。
上传送机构6和下传送机构7连接为一体，通过升降系统2#、3#位可切换至3#、4#位。
具体工作步骤如下图3示：整个系统中有1#、2#、3#、4#、5#共5个工作位置，其中假设初始位置为：料盘2分别在1#、4#（上传送机构）、5#位置，此时转换腔室8、反应腔室3均处在真空状态下，当5#位置做完工艺后，打开反应腔室阀门9，将5#位置的料盘移送至下传送机构7上，通过升降系统将3#、4#位置切换至2#、3#位置，将上传送机构6上的料盘2送至5#位置，关闭反应腔室阀门9进行再次反应，反应的同时在转换腔室8内一次进行破真空-抽真空-破真空的过程，打开转换腔室阀门10，将1#位置料盘2送至上传送机构6上、通过升降系统将2#、3#位置切换至3#、4#位置，将下传送机构7的料盘2送出至1#工作位置以备下一步的取片与装片，关闭挡板阀1，装片的过程中，转换腔室重新抽真空达到与反应腔室接近，此时反应腔室3 内的电池片4已反应完毕，打开反应腔室9，将5#位置料盘2送出，进行下一工作循环。
本发明所述干法制绒进出片的传送方法达到了装取片、转换、反应的同时进行，大大的提高了工作效率，并且整个过程进行自动化作业，所占用的人力减小一倍。
结合图4至图7对本发明所述传送设备进行详细说明。
如图4所示，电机11与减速器12配套使用，通过连接轴14及联轴器13与十字转向器15连接，然后再通过联轴器13与螺旋升降机16连接，达到一个电机驱动四个不同点同时上升与下降。
如图5所示，螺旋升降机16通过支承座与转换腔室8内部上传送机构6或下传送机构7的推杆18连接，为达到密封要求，在推杆18外部，支承座与转换腔室8腔体之间增加了焊接波纹管17。
如图6所示，上传送机构6或下传送机构7是电机11、减速器12与磁流体23通过联轴器13相连接，达到密封要求，磁流体23特殊定制，伞形齿轮20安装在磁流体23的转轴上，可以在转轴上上下移动。
上传送机构6或下传送机构7可为一整体，同时上升与下降，其二者分别由电机11驱动，可独立完成进出料过程，如图7所示。
工作时，电机11经过减速器12通过联轴器13、连接轴14、十字转向器15将动力传递给螺旋升降机16，螺旋升降机16的作用是带动上传送机构6和下传送机构7的上升与下降，到达预定位置后，电机11驱动磁流体23转动，通过伞形齿轮20换向，再通过联轴器、传动轴21、滚轮22达到传动目的。
本发明所述的传送设备，其升降系统采用了十字转向器、螺旋升降机，达到了使用一个电机驱动四个不同点的同时上下运动，而且上下位置可精确控制；为满足真空度要求，采用了焊接波纹管密封作为真空密封结构，既满足了反复拉伸与压缩不损坏，又满足了真空要求；上传送机构及下传送机构直接采用了磁流体作为中间环节达到了动力传递与真空密封要求，同时伞形齿轮可在磁流体转轴上进行上下移动。

Claims (7)

1.一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于：工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送。
2.根据权利要求1所述真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于所述转换腔室在大气与真空之间切换以及工件在转换腔室内三个工作位之间切换具体步骤：
（1）、打开转换腔室的阀门，将工件送至转换腔室内的上传送机构，此时上传动机构处于与工作台同一平面的位置，即零位；
（2）、上传送机构与下传送机构同步上升，下传送机构上升至零位，将下传送机构上的已反应完毕的工件送至工作台；
（3）、关闭转换腔室的阀门，将转换腔室内抽真空，其真空度与反应腔室内反应完毕后抽完的真空度相当；
（4）、打开反应腔室的阀门，将反应腔室内的工件送至转换腔室内的下传送机构；
（5）、上传送机构与下传送机构同步下降，当上传送机构下降至零位，将上传送机构的工件送至反应腔室内；
（6）、关闭反应腔室的阀门，使其内的电池片进行反应，反应的同时在转换腔室内一次进行破真空-抽真空-破真空的过程；
（7）、打开转换腔室的阀门，将工作台上已换好的装有下一个太阳能片的工件送至换腔室内的上传送机构，从而开始下一循环。
3. 一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于它包括真空反应腔室和至少设有两个可开闭密封件的转换腔室，其中真空反应腔室与转换腔室之间通过一个可开闭密封件连接，转换腔室内设置有可进行同步位移的A传送机构和B传送机构，以及分别与A传送机构、B传送机构相连的驱动系统。
4.根据权利要求3所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，，其特征在于所述驱动系统具体为升降驱动系统，它包括电机、十字转向器、螺旋升降机，电机通过减速器、联轴器分别与两个十字转向器相连，十字转向器通过联轴器与螺旋升降机相连，螺旋升降机与上传送机构及下传送机构上设置的推杆相连。
5. 根据权利要求3或4所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于所述A传送机构和B传送机构具体为上传送机构和下传送机构结构相同，分别包括电机、伞形齿轮与传动轴，电机通过减速器、联轴器与磁流体相连，伞形齿轮设置在磁流体的转轴上，伞形齿轮通过联轴器与传动轴相连，传动轴由支撑座固定在传动机构的平台上，传动轴上设置有滚轮。
6.根据权利要求5所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于所述传送设备还包括固定在反应腔室外表面上的焊接波纹管，其位于上传送机构和下传送机构的推杆外部。
7. 根据权利要求5所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于所述上传送机构和下传送机构为一体的。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104835767A (zh) * 2015-05-20 2015-08-12 合肥鑫晟光电科技有限公司 湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法
CN106425749A (zh) * 2015-08-26 2017-02-22 成都森蓝光学仪器有限公司 三工位循环离子束抛光装置及加工方法
CN107513761A (zh) * 2017-07-04 2017-12-26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6742977B1 (en) * 1999-02-15 2004-06-01 Kokusai Electric Co., Ltd. Substrate processing device, substrate conveying device, and substrate processing method
CN101143414A (zh) * 2007-10-12 2008-03-19 无锡华联科技集团有限公司 拼板焊接中心立柱升降装置
CN102181839A (zh) * 2011-06-03 2011-09-14 浙江大学 同端进出式连续溅射镀膜设备
CN102446787A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 上海凯世通半导体有限公司 真空传输制程设备及方法
CN202839567U (zh) * 2012-09-04 2013-03-27 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 真空反应腔室进出料的传送设备

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6742977B1 (en) * 1999-02-15 2004-06-01 Kokusai Electric Co., Ltd. Substrate processing device, substrate conveying device, and substrate processing method
CN101143414A (zh) * 2007-10-12 2008-03-19 无锡华联科技集团有限公司 拼板焊接中心立柱升降装置
CN102446787A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 上海凯世通半导体有限公司 真空传输制程设备及方法
CN102181839A (zh) * 2011-06-03 2011-09-14 浙江大学 同端进出式连续溅射镀膜设备
CN202839567U (zh) * 2012-09-04 2013-03-27 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 真空反应腔室进出料的传送设备

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104835767A (zh) * 2015-05-20 2015-08-12 合肥鑫晟光电科技有限公司 湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法
CN104835767B (zh) * 2015-05-20 2019-12-31 合肥鑫晟光电科技有限公司 湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法
US10643866B2 (en) 2015-05-20 2020-05-05 Boe Technology Group Co., Ltd. Wet etching machine and etching method using the same
CN106425749A (zh) * 2015-08-26 2017-02-22 成都森蓝光学仪器有限公司 三工位循环离子束抛光装置及加工方法
CN107513761A (zh) * 2017-07-04 2017-12-26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法
CN107513761B (zh) * 2017-07-04 2019-08-16 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

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