CN107475690A - 玻璃基板承载装置、加工辅助机构以及辅助加工的方法 - Google Patents
玻璃基板承载装置、加工辅助机构以及辅助加工的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107475690A CN107475690A CN201710765133.1A CN201710765133A CN107475690A CN 107475690 A CN107475690 A CN 107475690A CN 201710765133 A CN201710765133 A CN 201710765133A CN 107475690 A CN107475690 A CN 107475690A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass substrate
- drive division
- supporting
- plummer
- supporting bodies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
- C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
- C23C16/4583—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially horizontally
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
本发明提供一种玻璃基板承载装置，用于承载玻璃基板，包括承载台及连接承载台的第一驱动部，玻璃基板置于承载台上，承载台分成三个承载体，所述第一驱动部带动三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成有间隙，且所述第一驱动部带动所述三个承载体相对合并以支撑所述玻璃基板。本发明了解决了玻璃基板成膜过程中，为避开支撑杆而导致玻璃基板的有效利用面积低，整体收益低的问题。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是一种玻璃基板承载装置、玻璃基板加工辅助机构以及玻璃基板辅助加工的方法。
背景技术
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子化学气相沉积)是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。在成膜过程中，成膜腔室会产生等离子体来进行辅助成膜，为了使所成的膜具有均一性，承载台必须具有好的温度均一性。
由于真空机台取放玻璃基板是通过支撑杆的升降和机械手臂的移动进行。当放玻璃基板时，支撑杆升起，机械手臂将玻璃基板放置在支撑杆上，然后机械手臂收回，支撑杆开始下降使玻璃基板与承载台贴合后开始成膜，所以承载台中间分布一定量的支撑杆，而支撑杆是独立于承载台存在，会导致支撑杆区域的温度与承载台有差异，最终会形成膜厚不均匀，进而出现由膜厚不均匀导致的光学现象，此情况最终会导致产品异常，所以设计产品排布时会避开有支撑杆的区域，但为避开支撑杆区域，会使玻璃基板的利用面积降低，降低整体收益。
发明内容
本发明提供一种玻璃基板承载装置、玻璃基板加工辅助机构以及一种玻璃基板辅助加工的方法，用以解决成膜过程中，为避开支撑杆区域，玻璃基板的利用面积降低，整体收益降低的问题。
为解决上述问题，本发明提供、一种玻璃基板承载装置，用于承载玻璃基板，其特征在于，包括承载台及连接所述承载台的第一驱动部，所述玻璃基板置于所述承载台上，所述承载台分成三个承载体，所述第一驱动部带动所述三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成有间隙，且所述第一驱动部带动所述三个承载体相对合并以支撑所述玻璃基板。
其中，所述所述第一驱动部为气缸、马达或者丝杠机构。
其中，所述玻璃基板承载装置还包括支撑底座，所述支撑底座支撑所述承载台。
本发明还提供了一种玻璃基板加工辅助机构，其特征在于，包括玻璃基板承载装置和机械手，所述玻璃基板承载装置包括承载台及连接所述承载台的第一驱动部，所述玻璃基板置于所述承载台上，所述承载台分成三个承载体，所述第一驱动部带动所述三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成有间隙，所述间隙供所述机械手将所述玻璃基板放置在所述承载体后的通过，所述第一驱动部在所述机械手通过所述间隙后带动所述三个承载体相对合并以支撑所述玻璃基板。
其中，所述机械手包括机械手臂和第二驱动部，所述第二驱动部用于驱动所述机械手臂移动。
其中，所述第二驱动部为气缸、马达或者丝杠机构。
其中，所述玻璃基板加工辅助机构还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述第一驱动部和所述第二驱动部的启动与关闭。
本发明还提供了一种玻璃基板辅助加工的方法，包括：
提供机械手以及玻璃基板承载装置；
驱动所述玻璃基板承载装置中的三个承载体的位于两侧的承载体远离中间的承载体；
所述玻璃基板置于相对分离的所述三个承载体上；
驱动相对分离的所述三个承载体相对合并。
其中，所述玻璃基板置于相对分离的所述三个承载体上的步骤进一步包括通过所述机械手将所述玻璃基板置于相对分离的所述三个承载体上。
其中，驱动相对分离的所述三个承载体相对合并前还包括所述机械手退出。
综上所述，本发明通过将现有技术的支撑杆取消，将承载台分成三个承载体，通过所述三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体以及相对分离的所述三个承载体相对合并来增加玻璃基板的有效面积，从而提高产出，增加效益。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种玻璃基板加工辅助机构的俯视示意图，其中包括了玻璃基板。
图2是图1中的玻璃基板承载装置的截面示意图，其中包括了玻璃基板。
图3是图1中承载体处于相对分离状态的俯视示意图。
图4是图1所示的一种玻璃基板加工辅助机构处于另一种状态的截面示意图，其中包括了玻璃基板。
图5是图1中承载体处于相对合并状态的俯视示意图。
图6是图1中承载体处于相对合并状态的俯视示意图，其中包括了玻璃基板。
图7是本发明实施例中一种玻璃基板辅助加工方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供一种玻璃基板承载装置、一种玻璃基板加工辅助机构以及一种玻璃基板辅助加工的方法，用以解决成膜过程中，为避开支撑杆区域，玻璃基板的利用面积降低，整体收益降低的问题。
请参阅图1，本发明提供了一种玻璃基板承载装置，用于承载玻璃基板1，包括承载台及连接所述承载台的第一驱动部，所述玻璃基板1置于所述承载台上，所述承载台分成三个承载体2，所述第一驱动部带动所述三个承载体2中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成有间隙3，且所述第一驱动部带动所述三个承载体2相对合并以支撑所述玻璃基板1。本实施例中，所述三个承载体2包括第一承载体21、第二承载体22和第三承载体22，所述第一承载体21以及所述第三承载体23位于所述第二承载体22相对两侧。
进一步地，所述第一驱动部为气缸、马达或者丝杠机构。
请参阅图2，所述玻璃基板1包括第一表面11以及与所述第一表面相对的第二表面12，所述第一表面11用于与所述载台2的顶面贴合，所述第二表面12位于所述第一表面11的正上方，用于成膜。进一步地，所述玻璃基板2的横向尺寸小于所述载台2的横向尺寸，所述玻璃基板2的纵向尺寸小于所述载台2的纵向尺寸，便于所述玻璃基板2可以全部置于所述载台2上，进一步增加玻璃基板1的有效面积，增加效益。
所述玻璃基板承载装置还包括支撑底座4，所述支撑底座4支撑所述承载台，所述支撑底座4位于反应器内，与所述反应器固定连接。
请参阅图3，进一步地，所述三个承载体2相对分离时，形成的间隙3为两个，分别为第一间隙31和第二间隙32，所述第一间隙31由所述第一承载体21与第二承载体22构成，所述第二间隙42由所述第二承载体22与所述第三承载体23构成，且所述第一间隙31与所述第二间隙32平行对称于所述第二承载体22的两侧。
请参阅图4，本发明还提供了一种玻璃基板加工辅助机构，包括玻璃基板承载装置和机械手5，所述玻璃基板承载装置包括承载台及连接所述承载台的第一驱动部，所述玻璃基板1置于所述承载台上，所述承载台分成三个承载体2，所述第一驱动部带动所述三个承载体2中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成间隙3，所述间隙3供所述机械手5将所述玻璃基板1放置在所述三个承载体2后的通过，所述第一驱动部在所述机械手5通过所述间隙3后带动所述三个承载体2相对合并以支撑所述玻璃基板1。
进一步地，所述机械手5包括机械手臂51和第二驱动部，所述第二驱动部用于驱动所述机械手臂51移动。本实施例中，所述第一驱动部和第二驱动部可以为气缸、马达或者丝杠机构。
请继续参阅图1，当所述三个承载体2处于相对分离状态时，2所述间隙3用于收纳所述机械手臂51，且所述机械手臂51将所述玻璃基板1放置在所述三个承载体2上后，可以通过所述间隙3退出所述反应器。
进一步地，所述机械手臂51设置为两组，分别为第一机械手臂511和第二机械手臂512，所述第一机械手臂511以及所述第二机械手臂512分别与所述第一间隙31以及第二间隙32一一对应。具体为，所述第一机械手臂511可收纳于所述第一间隙31并通过所述第一间隙31退出所述反应器，所述第二机械手臂512可收纳于所述第二间隙32并通过所述第二间隙32退出所述反应器。
请继续参阅图3，所述第一间隙31包括第一间隙壁311和第二间隙壁312，且所述第一间隙壁311和所述第二间隙壁312之间的距离大于所述第一机械手臂511自身的宽度，方便所述第一机械手臂511在所述第一间隙31内的进入与退出；相应地，所述第二间隙32包括第三间隙壁321和第四间隙壁322，且所述第三间隙壁321和所述第四间隙壁322之间的距离大于所述第二机械手臂512自身的宽度，方便所述第二机械手臂512在所述第二间隙31内的进入与退出。在本实施例中，所述第一间隙壁311、所述第二间隙壁312、所述第三间隙壁321以及所述第四间隙壁322的形状均为矩形。
请参阅图5，在初始状态时，所述承载台的所述三个承载体2处于相对合并的状态。
请继续参阅图3，所述第一机械手臂511和所述第二机械手臂512携带所述玻璃基板1进入所述反应器时，所述第一驱动部带动所述三个承载体2中的所述第一承载体21以及所述第三承载体23远离中间的所述第二承载体22并与中间的所述第二承载体22之间相对且间隔。
请参阅图6，当所述第一机械手臂511及所述第二机械手臂512携带所述玻璃基板1下降到所述三个承载体2的表面时，所述第一机械手臂511收纳于所述第一间隙31，所述第二机械手臂512收纳于所述第二间隙32，所述玻璃基板1置于所述所述三个承载体2表面，待所述玻璃基板1完全置于所述三个承载体2的表面时，所述第一机械手臂511退出所述第一间隙31，所述第二机械手臂512退出所述第二间隙32，所述第一驱动部带动所述第一承载体21以及所述第三承载体223靠近中间的所述第二承载体22；待相对分离的所述三个承载体2完成相对合并后，所述玻璃基板1成膜过程开始。
所述承载体2的相对分离与相对合并避免了支撑杆的使用，使得整个所述承载台2的温度均一，避免了由于膜厚不均匀出现的光学现象，进而使玻璃基板1的利用面积增加，产出提高，效益增加。
所述玻璃基板加工辅助机构还包括控制装置，用于控制所述第一驱动部和所述第二驱动部的启动与关闭。当所述玻璃基板1需要辅助加工时，所述控制装置控制所述第一驱动部与所述第二驱动部开启，待所述机械手臂51退出所述间隙3后，所述控制装置控制所述第二驱动部关闭；待所述相对分离的所述三个承载体2完成相对合并后，所述控制装置控制所述第一驱动部关闭。
请参阅图7，本发明还提供一种利用上述玻璃基板加工辅助机构进行玻璃基板辅助加工的方法，包括：
步骤1，提供机械手5以及玻璃基板承载装置；
步骤2，驱动所述玻璃基板承载装置中的三个承载体2的位于两侧的承载体远离中间的承载体；
步骤3，所述玻璃基板1置于相对分离的所述三个承载体2上；
步骤4，驱动相对分离的所述三个承载体2相对合并。
进一步地，所述玻璃基板1置于相对分离的所述三个承载体2上的步骤进一步包括通过所述机械手5将所述玻璃基板1置于相对分离的所述三个承载体2上。
进一步地，驱动相对分离的所述三个承载体2相对合并的步骤前一步还包括所述机械手5退出。
在所述玻璃基板1辅助加工过程中，当所述机械手臂51携带所述玻璃基板1进入反应器后，所述三个承载体2中的位于两侧的承载体远离中间的承载体，待所述玻璃基板1置于所述相对分离的三个承载体2上时，所述机械手臂51退出，所述相对分离的三个承载体2中位于两侧的承载体靠近中间的所述承载体，待所述相对分离的三个承载体2完成相对合并后，所述玻璃基板1成膜开始。所述三个承载体2的相对分离与相对合并可以省去支撑杆的使用，避免了支撑杆导致的膜厚不均匀，进而导致的光学现象，同时玻璃基板1的利用面积增加，产品的产出率增加，效益增加。
以上是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进与润湿，这些改进和润湿也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种玻璃基板承载装置，用于承载玻璃基板，其特征在于，包括承载台及连接所述承载台的第一驱动部，所述玻璃基板置于所述承载台上，所述承载台分成三个承载体，所述第一驱动部带动所述三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成有间隙，且所述第一驱动部带动所述三个承载体相对合并以支撑所述玻璃基板。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板承载装置，其特征在于，所述第一驱动部为气缸、马达或者丝杠机构。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板承载装置，其特征在于，所述玻璃基板承载装置还包括支撑底座，所述支撑底座支撑所述承载台。
4.一种玻璃基板加工辅助机构，其特征在于，包括玻璃基板承载装置和机械手，所述玻璃基板承载装置包括承载台及连接所述承载台的第一驱动部，所述玻璃基板置于所述承载台上，所述承载台分成三个承载体，所述第一驱动部带动所述三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体并与所述中间的承载体之间相对且间隔以形成有间隙，所述间隙供所述机械手将所述玻璃基板放置在所述承载体后的通过，所述第一驱动部在所述机械手通过所述间隙后带动所述三个承载体相对合并以支撑所述玻璃基板。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板加工辅助机构，其特征在于，所述机械手包括机械手臂和第二驱动部，所述第二驱动部用于驱动所述机械手臂移动。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板加工辅助机构，其特征在于，所述第二驱动部为气缸、马达或者丝杠机构。
7.根据权利要求4-6任一项所述玻璃基板加工辅助机构，其特征在于，所述玻璃基板加工辅助机构还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述第一驱动部和所述第二驱动部的启动与关闭。
8.一种玻璃基板辅助加工的方法，其特征在于，包括：
提供机械手以及玻璃基板承载装置；
驱动所述玻璃基板承载装置中的三个承载体中的位于两侧的承载体远离中间的承载体；
所述玻璃基板置于相对分离的所述三个承载体上；
驱动相对分离的所述三个承载体相对合并。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板辅助加工的方法，其特征在于，所述玻璃基板置于相对分离的所述三个承载体上的步骤进一步包括通过所述机械手将所述玻璃基板置于相对分离的所述三个承载体上。
10.根据权利要求8所述的玻璃基板辅助加工的方法，其特征在于，驱动相对分离的所述三个承载体相对合并前还包括所述机械手退出。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710765133.1A CN107475690A (zh) | 2017-08-30 | 2017-08-30 | 玻璃基板承载装置、加工辅助机构以及辅助加工的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710765133.1A CN107475690A (zh) | 2017-08-30 | 2017-08-30 | 玻璃基板承载装置、加工辅助机构以及辅助加工的方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107475690A true CN107475690A (zh) | 2017-12-15 |
Family
ID=60604164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710765133.1A Pending CN107475690A (zh) | 2017-08-30 | 2017-08-30 | 玻璃基板承载装置、加工辅助机构以及辅助加工的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107475690A (zh) |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06212426A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-02 | Tdk Corp | スパッタリングのトレーに対する基板供給方法及び装置 |
| JP2000100787A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空処理装置 |
| US6139682A (en) * | 1998-04-09 | 2000-10-31 | Nec Corporation | Processing apparatus for manufacturing semiconductors |
| JP2001077186A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-03-23 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理方法 |
| JP2001319926A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 成膜装置 |
| CN1913098A (zh) * | 2005-08-11 | 2007-02-14 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 半导体工艺件装卸装置及其装载和卸载方法 |
| CN102677015A (zh) * | 2012-06-01 | 2012-09-19 | 福建华映显示科技有限公司 | 用于镀膜制作的玻璃基板堆栈结构、装置及方法 |
| CN202603993U (zh) * | 2012-04-13 | 2012-12-19 | 韶关市凯达木制品家具有限公司 | 一种可伸展的收纳桌子 |
| CN103156388A (zh) * | 2013-04-08 | 2013-06-19 | 济南蓝贝思特科技有限公司 | 多媒体讲台用平推式桌面 |
| JP2014138056A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
| CN204245466U (zh) * | 2014-05-21 | 2015-04-08 | 温州大学瓯江学院 | 一种可伸缩学习桌 |
-
2017
- 2017-08-30 CN CN201710765133.1A patent/CN107475690A/zh active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06212426A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-02 | Tdk Corp | スパッタリングのトレーに対する基板供給方法及び装置 |
| US6139682A (en) * | 1998-04-09 | 2000-10-31 | Nec Corporation | Processing apparatus for manufacturing semiconductors |
| JP2000100787A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空処理装置 |
| JP2001077186A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-03-23 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理方法 |
| JP2001319926A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 成膜装置 |
| CN1913098A (zh) * | 2005-08-11 | 2007-02-14 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 半导体工艺件装卸装置及其装载和卸载方法 |
| CN202603993U (zh) * | 2012-04-13 | 2012-12-19 | 韶关市凯达木制品家具有限公司 | 一种可伸展的收纳桌子 |
| CN102677015A (zh) * | 2012-06-01 | 2012-09-19 | 福建华映显示科技有限公司 | 用于镀膜制作的玻璃基板堆栈结构、装置及方法 |
| JP2014138056A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
| CN103156388A (zh) * | 2013-04-08 | 2013-06-19 | 济南蓝贝思特科技有限公司 | 多媒体讲台用平推式桌面 |
| CN204245466U (zh) * | 2014-05-21 | 2015-04-08 | 温州大学瓯江学院 | 一种可伸缩学习桌 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2005062819A5 (zh) | ||
| KR100938874B1 (ko) | 유리기판 지지용 서셉터 및 그 제조 방법, 그리고 그유리기판 지지용 서셉터를 구비한 화학 기상 증착장치 | |
| US20130065333A1 (en) | Method and apparatus for forming alignment film | |
| WO2015021622A1 (zh) | 玻璃基板支撑装置以及液晶面板加工工艺 | |
| KR20130074145A (ko) | 트레이교환모듈, 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
| CN107475690A (zh) | 玻璃基板承载装置、加工辅助机构以及辅助加工的方法 | |
| CN100385612C (zh) | 不用中心提升针来提升玻璃衬底的方法 | |
| CN103866295A (zh) | 一种用于反应腔的基板加热及传输装置 | |
| KR20120047414A (ko) | 기판처리장치 및 그에 사용되는 커버부재 및 기판처리방법 | |
| CN101963760A (zh) | 具有涂布机夹盘的涂布装置 | |
| CN101989005B (zh) | 结构基板、传送装置和对盒装置 | |
| CN205982927U (zh) | 加热设备 | |
| KR101003580B1 (ko) | 기판공급장치 | |
| CN217459255U (zh) | 薄化装置 | |
| KR20110009358A (ko) | 보트 | |
| KR101304093B1 (ko) | 진공 플라즈마 공정챔버 및 이를 이용한 기판처리방법 | |
| CN103165503A (zh) | 翘曲片工装、使用方法及其交接片装置 | |
| KR100920420B1 (ko) | 평판표시소자 제조장치 | |
| CN203007417U (zh) | 等离子体增强化学气相沉积电极板装置及沉积装置 | |
| KR101062683B1 (ko) | 공정챔버의 측벽을 통하여 공정가스를 분사하고 배출하는 플라즈마 공정장비 및 이를 이용한 기판의 처리방법 | |
| KR100905394B1 (ko) | 평판표시소자 제조장치 | |
| KR20130054608A (ko) | 필름 이송용 로봇핸드의 주름방지장치 | |
| KR20090059903A (ko) | 보강구조체를 이용한 기판합착장치 | |
| KR20080080775A (ko) | 진공척 | |
| KR20110010925A (ko) | 세정 장치 및 이를 갖는 세정 라인 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20171215 |