KR20090059903A - 보강구조체를 이용한 기판합착장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 보강구조체를 이용한 기판합착장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 보강구조체를 이용한 기판합착장치는 상부기판을 지지하는 상부챔버;상기 상부기판과 대향되도록 하부기판을 지지하는 하부챔버;및 상기 상부챔버와 상기 하부챔버의 사이에 배치되며, 상기 상부챔버와 상기 하부챔버와 함께, 상기 상부기판과 상기 하부기판의 합착공간을 제공하는 챔버측벽;를 구비하되, 상기 상부챔버는 서로 대향되는 한 쌍의 평판과, 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되어 한 쌍의 상기 평판에 결합되는 보강구조체를 구비함으로써, 원소재 비용을 절감할 수 있으며, 장비의 대면적화에 의한 기판의 평탄도를 유지시킬 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 보강구조체를 이용한 기판합착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 두 기판을 합착하는 기판합착장치에 관한 것이다.
최근들어, 정보통신의 발달과 더불어, 디스플레이 장치의 수요증가에 따라, 디스플레이 장치에 대한 연구와, 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 디스플레이 장치 중 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display ; LCD)는 소비전력이 적고, 휴대용으로 편리해 가장 주목받고 있다.
이러한 액정 표시 장치에 채택되는 액정 표시 패널의 대표적인 예로써, TFT-LCD(Thin film Transistor Liquid Crystal Displa) 패널이 있다. TFT-LCD 패널은, 복수의 TFT(Thin Film Transistor)가 매트릭스형으로 형성된 TFT 기판과, 컬러 필터나 차광막 등이 형성된 컬러 필터 기판을, 수 ㎛ 정도의 간격을 가지고 서로 대향시켜 합착시킨 후에, 액정을 주입하는 방식으로 제조된다.
이와 같은 TFT-LCD 패널의 합착을 수행하는 종래의 기판합착장치는 두 기판의 합착이 진행되는 합착공간을 형성하는 챔버와, 합착공간으로 반입되는 기판을 흡착하기 위한 척(chuck)과, 척을 고정시키기 위한 정반을 구비할 수 있다.
종래의 기판합착장치는 정반의 평탄도를 조절함으로써, 두 기판의 평탄도를 유지시키며, 두 기판의 합착을 진행한다.
한편, TFT-LCD 패널(이하, '패널' 이라 함.)은 1세대 270mmㅧ360mm, 2세대 370mmㅧ470mm, 3세대 550mmㅧ650mm, 4세대 680mmㅧ880mm, 5세대 680mmㅧ880mm, 4.5세대 730mmㅧ920mm, 5세대 1,100mmㅧ1,250mm, 7세대 1,870mmㅧ2,200mm, 1,950mmㅧ2,250mm, 2,160mmㅧ2,400mm, 8세대 2,300mmㅧ2,600mm와 같이 세대가 진행될 수록 패널의 대면적화가 진행되고 있다.
또한, 종래의 기판합착장치는 패널의 생산효율을 높이기 위해, 하나의 장치에서 여러 장의 패널 면적에 해당되는 기판을 합착 한 후, 각 단위 면적으로 절단하는 방식을 채택하기도 한다.
이에 따라, 패널 생산을 위한 기판합착장치의 규모 또한 대형화 되고 있는 추세이다.
종래의 기판합착장치는 장비의 대형화에 따라 정반 및 챔버의 자중에 의한 쳐짐이 발생된다. 이는 기판의 평탄도를 보장하기 곤란하여, 패널의 불량생산의 원 인이 되는 문제점이 있다.
또한, 패널의 대면적화에 따라 두 기판을 지지하는 정반의 두께 또한 두꺼워지고 있어, 원소재 비용의 증가와, 원소재 수급에 곤란한 문제점이 있다.
이에 따른 본 발명의 목적은, 장비의 대형화에 따라 정반 및 챔버의 자중에 의한 쳐짐을 방지하며, 원소재 비용을 절감도록 한 보강보강구조체를 이용한 기판합착장치를 제공함에 있다.
본 발명의 실시예에 따른 보강구조체를 이용한 기판합착장치는 상부기판을 지지하는 상부챔버;상기 상부기판과 대향되도록 하부기판을 지지하는 하부챔버;및 상기 상부챔버와 상기 하부챔버의 사이에 배치되며, 상기 상부챔버와 상기 하부챔버와 함께, 상기 상부기판과 상기 하부기판의 합착공간을 제공하는 챔버측벽;를 구비하되, 상기 상부챔버는 서로 대향되는 한 쌍의 평판과, 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되어 한 쌍의 상기 평판에 결합되는 보강구조체를 구비한다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제1 보강판을 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 제1 보강판과 교차되는 방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제2 보강판을 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 경사지게 결합되는 제1 경사판;및 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 상기 제1 경사판과 꼭지점을 이루도록 결합되는 제2 경사판;을 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되고, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 중공 형상의 기둥을 복수 개로 구비하며, 상기 기둥은 서로 이웃하는 기둥과 측면 결합될 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시에에 따른 보강구조체를 이용한 기판합착장치는 합착공간을 제공하는 챔버;상기 합착공간에 구비되어 상부기판을 지지하며, 서로 대향되는 한 쌍의 평판과, 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되는 보강구조체를 구비하는 상부정반;및 상기 합착공간에서 상기 상부기판과 대향되도록 하부기판을 지지하는 하부정반;을 구비할 수 있다.
상기 상부정반은 상기 보강구조체의 테두리부를 감싸며, 한 쌍의 상기 평판과 결합되는 보강측벽을 더 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제1 보강판을 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 제1 보강판과 교차되는 방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제2 보강판을 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 경사지게 결합되는 제1 경사판;및 한 쌍의 상기 평 판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 상기 제1 경사판과 꼭지점을 이루도록 결합되는 제2 경사판;을 구비할 수 있다.
상기 보강구조체는 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되고, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 중공 형상의 기둥을 복수 개로 구비하며, 상기 기둥은 서로 이웃하는 기둥과 측면 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 보강보강구조체를 이용한 기판합착장치는 장비의 원소재 비용을 절감할 수 있으며, 장비의 대면적화에도 의한 기판의 평탄도를 유지시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치를 간략하게 나타낸 단면도이다. 도 1을 참조하면, 기판합착장치(100)는 상부챔버(110)와, 챔버측벽(120) 및 하부챔버(130)를 구비한다. 상부챔버(110)는 상부기판(S1)을 지지하며, 하부챔버(130)는 하부기판(S2)을 지지한다.
챔버측벽(120)은 상부챔버(110), 하부챔버(130)와 함께 두 기판(S1, S2)의 합착공간(101)을 형성한다. 도 1에서는 챔버측벽(120)이 하부챔버(130)의 테두리부 로부터 돌출되는 것으로 도시하고 있으나, 다른 실시예로 챔버측벽(120)은 상부챔버(110)의 테두리부로부터 돌출되도록 형성될 수 있다.
상부챔버(110)와 하부챔버(130) 중 어느 하나는 두 기판(S1, S2)의 합착을 위해 나머지 하나 측으로 승강되도록 구비될 수 있다. 상부챔버(110)는 한 쌍의 평판(111, 113)과, 한 쌍의 평판(111, 113)의 사이에 배치되는 보강구조체(115)를 구비한다.
보강구조체(115)는 격자(lattice)구조, 트러스(truss)구조, 벌집(honeycomb)구조 중 어느 하나의 구조를 가질 수 있다.
도 2는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판합착장치의 보강구조체를 간략하게 나타낸 사시도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 보강구조체(115a)는 격자구조를 가질 수 있다. 즉, 보강구조체(115a)는 평판(111, 113)의 길이방향으로 마련되는 제1 보강판(115aa)과, 제1 보강판(115aa)과 교차되는 방향으로 마련되는 제2 보강판(115ab)을 구비한다.
제1 보강판(115aa)과 제2 보강판(115ab)은 한 쌍의 평판(111, 113)의 사이에 배치되며, 한 쌍의 평판(111, 113)과 수직 결합된다.
여기서, 상술된 설명에서, 보강구조체(115a)는 제1 보강판(115aa)과 제2 보강판(115ab)을 구비하는 것으로 설명하고 있으나, 다른 실시예로, 보강구조체(115a)는 제1 보강판(115aa)과 제2 보강판(1115ab) 중 어느 하나의 구성을 생략하더라도, 한 쌍의 평판(111, 113)을 수직 지지할 수 있을 것이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치의 보강구조체를 간략하게 나 타낸 사시도이다. 도 1 및 도 3을 참조하면, 보강구조체(115b)는 트러스구조를 가질 수 있다. 즉, 보강구조체(115b)는 평판(111, 113)의 길이방향으로 배치되는 제1 경사판(115ba)과 제2 경사판(115bb)을 구비한다.
제1 경사판(115ba)은 한 쌍의 평판(111, 113) 사이에 마련되어, 한 쌍의 평판(111, 113)과 경사지게 결합된다. 제2 경사판(115bb)은 한 쌍의 평판(111, 113) 사이에 마련되어, 제1 경사판(115ba)과 꼭지점을 이루도록 결합된다.
이때, 제1 경사판(115ba)과 제2 경사판(115bb)은 한 쌍의 평판(111, 113)을 수직 지지하기 위해, 평판(111, 113)에 대해 기울어지는 각도가 서로 대칭되도록, 한 쌍의 평판(111, 113) 사이에 결합되는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판합착장치의 보강구조체를 간략하게 나타낸 사시도이다. 도 1 및 도 4를 참조하면, 보강구조체(115c)는 벌집구조를 가질 수 있다. 즉, 보강구조체(115c)는 한 쌍의 평판(111, 113) 사이에 배치되고, 한 쌍의 평판(111, 113)과 수직 결합되는 복수 개의 육각기둥(115ca)을 구비한다. 복수 개의 육각기둥(115ca)은 각각 중공 형상의 기둥으로 마련되며, 각 육각기둥(115ca)은 6개의 각 측면에, 이웃하는 육각기둥(115ca)이 각각 접하도록 구비된다.
여기서, 상술된 설명에서 보강구조체(115c)는 육각기둥(115ca)을 가지는 벌집구조를 예를 들어 설명하고 있으나, 다른 실시예로 보강구조체(115c)는 이웃하는 기둥과 접하는 다각형의 기둥 또는, 원 기둥 형상을 가지도록 변형실시 가능할 것이다.
다시, 도 1을 참조하면, 상부챔버(110)는 보강구조체(115)의 테두리부를 감싸며, 하부면이 평판(111)에 결합되고 상부면이 덮개(113)에 결합되는 보강측벽(117)을 더 구비하는 것이 바람직하다. 보강측벽(117)은 상술된 각 보강구조체(115)로 이물질 등이 침투하는 것을 방지하여, 장비관리의 편의를 도모한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판합착장치를 간략하게 나타낸 단면도이다. 도 5를 참조하면, 기판합착장치(200)는 하부기판(S2)과 상부기판(S1)의 합착공간(201)을 제공하는 챔버(210)를 구비한다. 기판합착장치(200)는 합착공간(201)에서, 상부기판(S1)을 지지하는 상부정반(230)과, 하부기판(S2)을 지지하는 하부기판(210)을 구비한다.
상부정반(230)과 하부정반(250) 중 어느 하나는 두 기판(S1, S2)의 합착을 위해 나머지 하나 측으로 승강되도록 구비될 수 있다. 상부정반(230)은 한 쌍의 평판(231, 233)과, 한 쌍의 평판(231, 233)의 사이에 배치되는 보강구조체(235)를 구비한다.
여기서, 상부정반(230)에 구비되는 보강구조체(235)는 상술한 바와 같은 격자(lattice)구조, 트러스(truss)구조, 벌집(honeycomb)구조 중 어느 하나의 구조를 가질 수 있다. 따라서, 상부정반(230)에 구비되는 보강구조체(235)에 대한 상세한 설명은 생략하도록 하며, 상부정반(230)에 구비되는 보강구조체(235)에 대해서는 상술된 설명을 참조하여 이해해야 할 것이다.
한편, 상부정반(230)은 구조체(235)의 테두리부를 감싸며, 한 쌍의 평 판(231, 233)에 마련되는 측벽(237)을 더 구비하는 것이 바람직하다. 측벽(237)은 두 기판(S1, S2)의 합착을 위한 합착공간(201)의 진공배기시, 합착공간(201)의 체적을 줄여, 진공효율을 높일 수 있도록 한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 기판합착장치(100, 200)는 한 쌍의 평판(111, 113)(231, 233)와, 보강구조체(115, 235)를 가지는 상부챔버(110) 또는, 상부정반(230)을 구비함으로써, 상부챔버(110) 또는, 상부정반(230)를 경량화시킬 수 있으며, 자중에 의한 정반 또는, 챔버의 쳐짐을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치를 간략하게 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치의 보강구조체를 간략하게 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판합착장치의 보강구조체를 간략하게 나타낸 사시도이다.
도 4은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판합착장치의 보강구조체를 간략하게 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판합착장치를 간략하게 나타낸 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
100 : 기판합착장치 110 : 상부챔버
115 : 보강구조체
Claims (11)
- 상부기판을 지지하는 상부챔버;상기 상부기판과 대향되도록 하부기판을 지지하는 하부챔버;및상기 상부챔버와 상기 하부챔버의 사이에 배치되며, 상기 상부챔버와 상기 하부챔버와 함께, 상기 상부기판과 상기 하부기판의 합착공간을 제공하는 챔버측벽;를 구비하되,상기 상부챔버는 서로 대향되는 한 쌍의 평판과, 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되어 한 쌍의 상기 평판에 결합되는 보강구조체를 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제1 보강판을 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제2 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 제1 보강판과 교차되는 방향으로 배치되 며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제2 보강판을 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 경사지게 결합되는 제1 경사판;및한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 상기 제1 경사판과 꼭지점을 이루도록 결합되는 제2 경사판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되고, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 중공 형상의 기둥을 복수 개로 구비하며,상기 기둥은 서로 이웃하는 기둥과 측면 결합되는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 합착공간을 제공하는 챔버;상기 합착공간에 구비되어 상부기판을 지지하며, 서로 대향되는 한 쌍의 평판과, 한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되는 보강구조체를 구비하는 상부정반;상기 합착공간에서 상기 상부기판과 대향되도록 하부기판을 지지하는 하부정반;을 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제6 항에 있어서, 상기 상부정반은상기 보강구조체의 테두리부를 감싸며, 한 쌍의 상기 평판과 결합되는 보강측벽을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제6 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제1 보강판을 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 제1 보강판과 교차되는 방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 제2 보강판을 구비하는 것을 특징으로 하 는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
- 제6 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 경사지게 결합되는 제1 경사판;및한 쌍의 상기 평판의 사이에 상기 평판의 길이방향으로 배치되며, 한 쌍의 상기 평판과 상기 제1 경사판과 꼭지점을 이루도록 결합되는 제2 경사판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치..
- 제6 항에 있어서, 상기 보강구조체는한 쌍의 상기 평판의 사이에 배치되고, 한 쌍의 상기 평판과 수직 결합되는 중공 형상의 기둥을 복수 개로 구비하며,상기 기둥은 서로 이웃하는 기둥과 측면 결합되는 것을 특징으로 하는 보강구조체를 이용한 기판합착장치.
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---|---|
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---|---|---|---|---|
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2007
- 2007-12-07 KR KR1020070126994A patent/KR100915693B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR100915693B1 (ko) | 2009-09-04 |
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A201 | Request for examination | ||
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FPAY | Annual fee payment |
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