CN107368100A - 调整悬臂探针卡针迹的方法 - Google Patents

调整悬臂探针卡针迹的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107368100A
CN107368100A CN201710493534.6A CN201710493534A CN107368100A CN 107368100 A CN107368100 A CN 107368100A CN 201710493534 A CN201710493534 A CN 201710493534A CN 107368100 A CN107368100 A CN 107368100A
Authority
CN
China
Prior art keywords
grid
fixing device
needle
probe
needle tracking
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710493534.6A
Other languages
English (en)
Inventor
王玉龙
叶建明
凌俭波
熊忠应
王锦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sino IC Technology Co Ltd
Original Assignee
Sino IC Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sino IC Technology Co Ltd filed Critical Sino IC Technology Co Ltd
Priority to CN201710493534.6A priority Critical patent/CN107368100A/zh
Publication of CN107368100A publication Critical patent/CN107368100A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00—Control of position or direction
    • G05D3/12—Control of position or direction using feedback
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

本发明涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分，来达到精确调整针迹的目的，降低了操作的难度性，节省了时间和成本，提高了效率。

Description

调整悬臂探针卡针迹的方法
技术领域
本发明涉及一种测试调整方法，特别涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法。
背景技术
晶圆测试是使用测试设备测试在晶圆上的待测芯片。探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口。悬臂探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，用于固定带探针的环氧树脂环，探针尾部焊接到探针卡的固定焊盘上。在晶圆测试中，对于悬臂探针卡针迹的控制是非常严格的，首先对于针迹的面积需要控制在芯片总面积的1/4以内，其次距离芯片四周要有5um的间距，避免针尖的偏移或探针台的偏移导致针迹扎到芯片边缘或芯片外，一旦针迹出现问题，会影响后续的封装和成测测试，严重的导致这颗芯片报废。
在测试厂内悬臂探针卡的针迹由专业人员进行手动调整，误差较大。在测试过程中，悬臂探针卡如遇到铝屑、沾污等异物可能就会使针尖的位置发生变化，影响针迹指标，也可能影响测试结果，这时需要请针卡公司来协助改善针迹的问题，针卡公司人员在测试厂内通过放大镜手动进行调整，会存在一定的误差，需要不断的验证和调整。悬臂探针卡可以在针卡公司内通过精密仪器进行调整，成本高并且周期长。在测试厂内针卡公司人员只能进行手动的简单调整，如果将针卡送回针卡公司可以通过精密的仪器进行调整，但是调整针迹的成本就会变高，并且来回运送针卡的时间会变长，从而影响测试厂的测试效率。
发明内容
本发明是针对晶圆测试所用悬臂探针卡在使用过程中调整针迹困难的问题，提出了一种调整悬臂探针卡针迹的方法，，在原有悬臂探针卡的环氧树脂固定部分使用新型的固定结构，使悬臂探针卡的针尖能够精确的前后左右移动，保证针迹在允许范围内。
本发明的技术方案为：一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，探针卡板焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中的网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，调整到位后，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。
所述网格固定装置中网格数量和大小根据测试芯片的尺寸来决定。
所述针臂上凸出为三角形或菱形，对应的网格固定装置中的各个网格形状与其对应，达到固定作用。
本发明的有益效果在于：本发明调整悬臂探针卡针迹的方法，网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分，来达到精确调整针迹的目的，降低了操作的难度性，节省了时间和成本，提高了效率。
附图说明
图1为现有悬臂探针卡使用示意图；
图2为本发明改造后的悬臂探针卡使用示意图；
图3为本发明悬臂探针卡固定仰视图；
图4为本发明悬臂探针卡固定立体示意图。
具体实施方式
如图1为现有悬臂探针卡使用示意图，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，此焊点和测试机的通道资源相连，从而达到测试设备资源和晶圆芯片管脚互通，中间针臂部分用环氧树脂与探针卡板PCB固定住。现在的悬臂探针卡针臂部分是固定在环氧树脂里的，无调整功能。
如图2所示本发明改造后的悬臂探针卡使用示意图，在悬臂探针卡设计制作时，对针臂进行一定的改造，如图3所示悬臂探针卡固定仰视图，用绝缘网格固定装置替换环氧树脂，网格固定装置与PCB板固定，针臂部分有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中的任意一个网格中，以此来固定探针，该网格固定装置类似9宫格，根据芯片的尺寸来决定相应的格数和大小，该网格固定装置里的网格可以上下移动，往针尖方向移动时可以调整针的位置，往针尾方向移动用以固定针臂，左右也可移动。调整时借以放大镜的辅助，通过原有的格子位置和调整后的格子位置即可知道调整的幅度，能够精确的调整到理想位置。
通过简单的格子位置变化达到调整针臂和针尖的位置，大大降低了调针的难度，并且能够一次性精确的调整到想要的位置，节省了大量维修的时间。
在悬臂探针卡制作时采用本发明的结构，将每根针采用独立的网格固定装置，并且针臂中间一段改造成矩形用于固定在网格固定装置的网格中，当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断前后左右如何调整，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，使得针臂上矩形所处网格位置调整到相应的移动网格里，重新盖上盖板。即做到了不需要专业人员来调整，节省了大量时间，也大大提高了调整针迹的精确度。
针臂上凸出矩形也可以设计成三角形或菱形，只要对应的网格固定装置中的各个网格形状与其对应，达到固定作用即可。

Claims (3)

1.一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，探针卡板焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，其特征在于，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中的网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，调整到位后，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。
2.根据权利要求1所述调整悬臂探针卡针迹的方法，其特征在于，所述网格固定装置中网格数量和大小根据测试芯片的尺寸来决定。
3.根据权利要求1所述调整悬臂探针卡针迹的方法，其特征在于，所述针臂上凸出为三角形或菱形，对应的网格固定装置中的各个网格形状与其对应，达到固定作用。
CN201710493534.6A 2017-06-26 2017-06-26 调整悬臂探针卡针迹的方法 Pending CN107368100A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710493534.6A CN107368100A (zh) 2017-06-26 2017-06-26 调整悬臂探针卡针迹的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710493534.6A CN107368100A (zh) 2017-06-26 2017-06-26 调整悬臂探针卡针迹的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107368100A true CN107368100A (zh) 2017-11-21

Family

ID=60305675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710493534.6A Pending CN107368100A (zh) 2017-06-26 2017-06-26 调整悬臂探针卡针迹的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107368100A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112731116A (zh) * 2021-01-06 2021-04-30 上海华岭集成电路技术股份有限公司 一种控制针卡在线复用增减针的方法
CN112986634A (zh) * 2021-02-20 2021-06-18 上海华虹宏力半导体制造有限公司 晶圆测试的探针卡

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101203767A (zh) * 2005-06-24 2008-06-18 佛姆法克特股份有限公司 用于调整多基片探针结构的方法和装置
CN101368990A (zh) * 2007-08-14 2009-02-18 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种消除探针针迹偏移的方法
CN101629808A (zh) * 2008-07-14 2010-01-20 京元电子股份有限公司 探针卡校正设备
CN103869270A (zh) * 2012-12-12 2014-06-18 颀中科技（苏州）有限公司 探针卡自动维修设备及方法
CN204188668U (zh) * 2014-11-07 2015-03-04 上海依然半导体测试有限公司 芯片探针卡十字校准模板
CN105277755A (zh) * 2015-11-23 2016-01-27 上海华岭集成电路技术股份有限公司 一种悬臂式探针系统
CN106124964A (zh) * 2016-07-01 2016-11-16 上海华岭集成电路技术股份有限公司 探针卡高温测试装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101203767A (zh) * 2005-06-24 2008-06-18 佛姆法克特股份有限公司 用于调整多基片探针结构的方法和装置
CN101368990A (zh) * 2007-08-14 2009-02-18 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种消除探针针迹偏移的方法
CN101629808A (zh) * 2008-07-14 2010-01-20 京元电子股份有限公司 探针卡校正设备
CN103869270A (zh) * 2012-12-12 2014-06-18 颀中科技（苏州）有限公司 探针卡自动维修设备及方法
CN204188668U (zh) * 2014-11-07 2015-03-04 上海依然半导体测试有限公司 芯片探针卡十字校准模板
CN105277755A (zh) * 2015-11-23 2016-01-27 上海华岭集成电路技术股份有限公司 一种悬臂式探针系统
CN106124964A (zh) * 2016-07-01 2016-11-16 上海华岭集成电路技术股份有限公司 探针卡高温测试装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112731116A (zh) * 2021-01-06 2021-04-30 上海华岭集成电路技术股份有限公司 一种控制针卡在线复用增减针的方法
CN112731116B (zh) * 2021-01-06 2024-04-05 上海华岭集成电路技术股份有限公司 一种控制针卡在线复用增减针的方法
CN112986634A (zh) * 2021-02-20 2021-06-18 上海华虹宏力半导体制造有限公司 晶圆测试的探针卡

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107368100A (zh) 调整悬臂探针卡针迹的方法
CN106768574B (zh) 基于磁通量法修正的拉索锚固后线性模型索力测量方法
CN105548853A (zh) 功率器件的高温反偏和高温栅偏测试系统
KR101338332B1 (ko) 연성회로기판의 전기적 검사를 위한 비비티 지그
CN106546894B (zh) 一种重离子微束定位方法及用于该方法的芯片
CN105445643A (zh) 一种全自动探针台图像定位系统
KR100787829B1 (ko) 프로브 카드 테스트 장치 및 테스트 방법
CN205656250U (zh) 一种天线测试治具
CN103575996A (zh) 天线检测装置
CN101373336B (zh) 一种优化曝光装置监控的方法
CN105093155A (zh) 微机电系统mems磁通门磁强计测试系统及其控制方法
KR102332431B1 (ko) 탐측 장치 및 그 동작 방법
CN104375077A (zh) 功能测试fct测试工装和测试系统、方法
CN207817018U (zh) 一种射频检测治具
CN206270455U (zh) 一种功率半导体模块测试治具
JP2003084029A (ja) 逆回復時間特性測定装置
CN204314428U (zh) 功能测试fct测试工装和测试系统
CN210230705U (zh) 一种芯片级的霍尔器件测试分选装置
US20040249595A1 (en) Method of calibrating a component placement machine, device suitable for carrying out such a method, and calibration component suitable for use in such a method or device
CN109844550B (zh) 检查装置及检查方法
CN208902862U (zh) 一种电流互感器检定二次接线装置
CN209167385U (zh) 多功能厚膜混合电路的调阻探针卡
CN111797582A (zh) 一种基于逻辑特征的自动耦合方法及系统
CN106371040B (zh) 一种芯片测试装置及系统
CN205049601U (zh) 集成电路的检测装置及检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20171121