CN204188668U - 芯片探针卡十字校准模板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种芯片探针卡十字校准模板,属于芯片检测工具技术领域。采用了该结构的芯片探针卡十字校准模板,其包括金属模板和胶片模板,胶片模板贴合于所述的金属模板上,该胶片模板上设置有校准方格,在利用其进行探针卡对准时,在探针卡固定后,先将光绘胶片吸附在调针机底板上,再将该实用新型的芯片探针卡十字校准模板固定在调针机上平台上,转动底板角度,使十字校准模板与光绘胶片对齐,再将十字校准模板取下,将探针卡装在调针机上平台上,即可开始展开调针的动作。从而能有效减少探针卡对准的角度误差,降低探针卡返工率,从而提升芯片测试精度,且本实用新型的芯片探针卡十字校准模板结构简单,成本低廉,应用范围也较为广泛。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片检测工具技术领域,特别涉及芯片探针卡技术领域,具体是指一种芯片探针卡十字校准模板。
背景技术
现有的利用探针卡进行芯片检测的工艺中,在调整探针卡针位置时不能够将探针卡的θ角度对准,在探针卡使用中,探针卡与芯片PAD对位不准,上下左右位置偏移。影响芯片测试良率,芯片测试偏差约在0.2至0.3度。在校准十字基准时耗费时间。同时探针卡水平度不垂直,导致芯片对位位置偏移,针卡返工率高,返工率约2%。因此,提供一种能够提高探针卡θ角度精准度,进而提高芯片测试精准性的探针卡校准工具成为本领域亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服了上述现有技术中的缺点,提供一种能有效减少探针卡对准的角度误差,降低探针卡返工率,从而提升芯片测试精度,且结构简单,成本低廉,应用范围广泛的芯片探针卡十字校准模板。
为了实现上述的目的,本实用新型的芯片探针卡十字校准模板具有如下构成:
该芯片探针卡十字校准模板包括金属模板和胶片模板,所述的金属模板的面积大于所述的胶片模板,所述的胶片模板贴合于所述的金属模板上,该胶片模板上设置有校准方格。
该芯片探针卡十字校准模板中,所述的金属模板和胶片模板均为正方形,所述的金属模板和胶片模板贴合时二者中心重合。
该芯片探针卡十字校准模板中所述的金属模板的尺寸为114mm×114mm。
该芯片探针卡十字校准模板中所述的胶片模板的尺寸范围为50mm×50mm至74mm×74mm。
该芯片探针卡十字校准模板中所述的胶片模板的尺寸为60mm×60mm。
采用了该实用新型的芯片探针卡十字校准模板,其包括金属模板和胶片模板,所述的金属模板的面积大于所述的胶片模板,所述的胶片模板贴合于所述的金属模板上,该胶片模板上设置有校准方格,从而在利用其进行探针卡对准时,在探针卡固定后,先将光绘胶片吸附在调针机底板上,再将该实用新型的芯片探针卡十字校准模板固定在调针机上平台上,转动底板角度,使十字校准模板与光绘胶片对齐,再将十字校准模板取下,将探针卡装在调针机上平台上,即可开始展开调针的动作。从而能有效减少探针卡对准的角度误差,降低探针卡返工率,从而提升芯片测试精度,且本实用新型的芯片探针卡十字校准模板结构简单,成本低廉,应用范围也较为广泛。
附图说明
图1为本实用新型的芯片探针卡十字校准模板的结构示意图。
图2为利用本实用新型的芯片探针卡十字校准模板进行探针卡对准的示意图。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本实用新型的技术内容,特举以下实施例详细说明。
请参阅图1所示,为本实用新型的芯片探针卡十字校准模板的结构示意图。
在一种实施方式中,该芯片探针卡十字校准模板包括金属模板1和胶片模板2,所述的金属模板1的面积大于所述的胶片模板2,所述的胶片模板2贴合于所述的金属模板1上,该胶片模板2上设置有校准方格3。
在一种较优选的实施方式中,所述的金属模板1和胶片模板2均为正方形,所述的金属模板1和胶片模板2贴合时二者中心重合。
在进一步优选的实施方式中,所述的金属模板1的尺寸为114mm×114mm。所述的胶片模板2的尺寸范围为50mm×50mm至74mm×74mm。
在更优选的实施方式中,所述的胶片模板的尺寸为60mm×60mm。
在本实用新型的应用中,先加工一个正方形114mm×114mm尺寸的金属模板,再设计一张60mm×60mm的“十字”胶片模板。金属模板的外形为114mm×114mm,与测试机夹具匹配。十字胶片模板需要保持在50mm×50mm至74mm×74mm,金属膜版需要每边的宽度不小于20mm,以保证强度。太小不利于对准位置。十字胶片模板需要与金属膜板用胶水固定,组成十字校准模板。
在利用本实用新型进行探针卡对准时,如图2所示,在探针卡固定后,先将光绘胶片4吸附在调针机底板5上,再将该实用新型的芯片探针卡十字校准模板固定在调针机上平台6上,转动底板5角度,使十字校准模板与光绘胶片4对齐,再将十字校准模板取下,将探针卡装在调针机上平台6上,即可开始展开调针的动作。
利用本实用新型进行探针卡对准的优点在于,节省了操作时间提高了工作效率,将θ角度精度提高到0.05度至0.1度。加强产品可靠性,减少产品返工率达100%,同时提高了工作效率。
采用了该实用新型的芯片探针卡十字校准模板,其包括金属模板和胶片模板,所述的金属模板的面积大于所述的胶片模板,所述的胶片模板贴合于所述的金属模板上,该胶片模板上设置有校准方格,从而在利用其进行探针卡对准时,在探针卡固定后,先将光绘胶片吸附在调针机底板上,再将该实用新型的芯片探针卡十字校准模板固定在调针机上平台上,转动底板角度,使十字校准模板与光绘胶片对齐,再将十字校准模板取下,将探针卡装在调针机上平台上,即可开始展开调针的动作。从而能有效减少探针卡对准的角度误差,降低探针卡返工率,从而提升芯片测试精度,且本实用新型的芯片探针卡十字校准模板结构简单,成本低廉,应用范围也较为广泛。
在此说明书中,本实用新型已参照其特定的实施例作了描述。但是,很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本实用新型的精神和范围。因此,说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。
Claims (5)
1.一种芯片探针卡十字校准模板,其特征在于,包括金属模板和胶片模板,所述的金属模板的面积大于所述的胶片模板,所述的胶片模板贴合于所述的金属模板上,该胶片模板上设置有校准方格。
2.根据权利要求1所述的芯片探针卡十字校准模板,其特征在于,所述的金属模板和胶片模板均为正方形,所述的金属模板和胶片模板贴合时二者中心重合。
3.根据权利要求1或2所述的芯片探针卡十字校准模板,其特征在于,所述的金属模板的尺寸为114mm×114mm。
4.根据权利要求3所述的芯片探针卡十字校准模板,其特征在于,所述的胶片模板的尺寸范围为50mm×50mm至74mm×74mm。
5.根据权利要求4所述的芯片探针卡十字校准模板,其特征在于,所述的胶片模板的尺寸为60mm×60mm。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107368100A (zh) * | 2017-06-26 | 2017-11-21 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 | 调整悬臂探针卡针迹的方法 |
CN108872917A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-11-23 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 一种用于探针接触类测试设备的测试装置 |
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- 2014-11-07 CN CN201420664439.XU patent/CN204188668U/zh not_active Expired - Fee Related
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