CN107359266A - Oled复合阻隔膜，及使用该oled复合阻隔膜的显示器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种OLED复合阻隔膜，包括依次贴合的粘合层、阻隔层和保护层，所述阻隔层包括m个无机层和n个有机层，其中，0≤m≤10，1≤n≤9。本发明还涉及使用该OLED复合阻隔膜的有机发光二极管显示器。本发明的OLED复合阻隔膜能够实现粘合层、阻隔层和保护层与OLED的直接贴合，而无需在OLED上依次制备各层。克服了依次制备TFE膜中的无机物薄膜和有机物薄膜时，由于制备过程中会产生表面缺陷和引入异物，降低TFE膜的机械强度的问题。

Description

OLED复合阻隔膜，及使用该OLED复合阻隔膜的显示器

技术领域

本发明涉及有机发光显示(OLED)装置，具体涉及一种OLED复合阻隔膜，及使用该OLED复合阻隔膜的有机发光二极管显示器。

背景技术

有机发光二极管(OLEDs)是具有广视角，响应时间短，轻薄和可实现任意弯曲的新一代新型显示技术，在大面积平板显示和照明方面的应用引起了工业界和学术界的广泛关注。目前采用的第三代柔性OLED的封装采用TFE(Thin film encapsulation薄膜封装)技术，即，在OLED上沉积一层或几层的薄膜层来隔绝外界水氧。这种技术的优点在于：1)进一步使OLED显示装置轻薄化，将厚度从500μm降低到30μm以内；2)提高柔韧性，可弯折，以提高手机的显示面积。

现有的TFE技术有两种方式，包括在OLED表面依次沉积ALF₃层、聚合物层、SiN层、聚合物层和SiN层，或者在OLED表面多次沉积聚合物层和Al₂O₃层。

这两种方式都是在OLED上逐层制备多层无机物薄膜和聚合物薄膜，其中，无机阻隔薄膜主要提供阻隔水氧的屏障，聚合物薄膜主要是消除无机阻隔薄膜的热残留应力和覆盖无机薄膜制程中的异物的双重作用，两者合称为TFE薄膜。但存在以下问题：1)TFE薄膜抗机械能力差，一旦TFE薄膜表面被轻微刮伤或有明显的针孔，OLED遇到水汽后，TFE薄膜立即与相邻的有机层剥离开来，导致产品失效。2)异物引发不良，TFE薄膜封装技术很容易将腔体中的异物引入到薄膜的沉积过程中，尤其是无机物薄膜的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工序，即使再制备下一层薄膜(有机聚合物薄膜)进行覆盖也无法弥补，这是因为异物的尺寸很大，往往超过有机薄膜的膜厚。当对OLED施加外界应力时，TFE薄膜便可能从异物处剥离开来。3)：不够完美的抗水氧能力，依据目前OLED柔性技术，最为关键的一道水氧阻隔屏障就是无机物薄膜。由于无机物薄膜采用PECVD、PVD、Sputter或其它气相沉积方式制作，这些工艺难以避免在薄膜形成过程中产生针孔、空位、通道等缺陷，这些缺陷正是水汽渗透的最佳路径。即使在无机物薄膜上覆盖有机物薄膜，这样的TFE设计，理论上给予水氧分子渗透更多的可能性。

因此，需要进一步增强柔性OLED出光效果，以及OLED抵抗环境中的水氧能力。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种OLED复合阻隔膜。

本发明的第二目的在于提供使用该OLED复合阻隔膜的有机发光二极管显示器。

为了实现本发明的第一目的，所述OLED复合阻隔膜包括：依次贴合的粘合层、阻隔层和保护层，所述阻隔层包括m个无机层和n个有机层，其中，0≤m≤10，1≤n≤9。

优选地，所述阻隔层的最外层均为所述无机层，且所述有机层和所述无机层在所述阻隔层内间隔设置，优选所述阻隔层包括依次贴合的第一无机层、第一有机层和第二无机层，或者所述阻隔层包括依次贴合的第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层和第三无机层。

优选地，所述无机层的材料选自氮化物、氧化物、氮氧化物、碳氮化物、碳氧化物、金属硫化物、金属氟化物中的至少一种，优选选自SiN、SiC、SiO₂、Al₂O₃、TiO₂中的至少一种。

优选地，所述有机层包括可固化高分子材料、偶联剂和纳米颗粒，所述纳米颗粒与所述偶联剂耦合，在所述有机层内均匀分布。

优选所述可固化高分子材料选自含有羟基和/或羰基的高分子材料，更优选选自聚乙烯及其衍生物、环氧树脂及其衍生物、聚丙烯及其衍生物、酚醛树脂及其衍生物、聚苯乙烯及其衍生物、聚氨酯及其衍生物、聚氯乙烯及其衍生物、不饱和聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、聚砜及其衍生物、聚酰胺及其衍生物、聚醚砜及其衍生物、聚碳酸酯及其衍生物、聚醚醚酮及其衍生物、聚甲醛及其衍生物、聚苯硫醚及其衍生物、聚对苯二甲酸丁二醇酯及其衍生物、聚四氟乙烯及其衍生物、丙烯晴-丁二烯-苯乙烯及其衍生物中的至少一种。

优选所述偶联剂为可固化硅烷，其含有至少一个硫醇基、羟基、胺基、烷氧基、烯基、炔基和/或羰基，更优选所述可固化硅烷选自3-氨丙基三甲基硅烷、(3-巯丙基)三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

优选地，所述纳米颗粒为中值粒径在1-1000nm的无机材料，优选为氧化物、氮化物、硫化物、碳化物纳米颗粒，更优选为γ-Al₂O₃。

优选地，所述纳米颗粒的含量为所述有机层总重量的1-20％。

优选地，所述无机层的厚度小于所述有机层的厚度，优选所述无机层的厚度为1A-10μm，所述有机层的厚度为100nm-20μm。

优选地，所述保护层采用高分子材料，优选所述高分子材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚砜树脂中的至少一种；和/或所述粘合层的材料为光学胶或固化胶，优选压感胶或3M胶材。

优选地，所述OLED复合阻隔膜还包括离型层，所述离型层与所述粘合层贴合，优选所述离型层的材料为高分子塑料。

为了实现本发明的第二目的，所述有机发光二极管显示器包括依次贴合的基板、OLED和本发明的OLED复合阻隔膜，所述OLED复合阻隔膜包括粘合层、阻隔层和保护层。

优选地，所述有机发光二极管显示器，通过将所述的OLED复合阻隔膜中的离型层剥离后，将所述粘合层与OLED和基板依次贴合得到。

本发明至少具有以下有益效果：

本发明的OLED复合阻隔膜能够实现粘合层、阻隔层和保护层与OLED的直接贴合，而无需在OLED上依次制备各层。克服了依次制备TFE膜中的无机物薄膜和有机物薄膜时，由于制备过程中会产生表面缺陷和引入异物，降低TFE膜的机械强度的问题。

附图说明

图1为本发明的OLED显示器的结构图。

其中，1-基板；

2-OLED；

3-粘合层；

4-阻隔层；

5-保护层。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

本发明涉及一种OLED复合阻隔膜，包括依次贴合的粘合层、阻隔层和保护层，阻隔层包括m个无机层和n个有机层，其中，m≥0，n≥1。本申请中优选0≤m≤10，1≤n≤9，原因在如果阻隔层中的无机层和/或有机层的层数太少，会使含有该OLED复合阻隔膜的有机发光二极管显示器的厚度达不到实际商用要求，或者用户体验差(但实际上性能也可能达标)。如果无机层和/或有机层的层数太多，会使制备工艺更加复杂，需要在无机层成膜腔体和有机层成膜腔体中反复成膜，延长工艺时间，不利于实际生产。

对于m和n的优选取值，发明人经研究发现：当n＝1，m＝0时，为单独使用本发明的有机层的情况，此时复合阻隔膜已经能够较好的阻隔水氧分子，这也是一种理想化的产品模式：轻薄，仅有一层，兼具有无机材料的阻隔性和有机材料的柔软性。但对于目前的产品，仅使用一层有机层无法达到最佳性能。为提升柔性OLED的抗水氧能力，需要向复合阻隔膜中加入无机层。

作为对OLED复合阻隔膜的一种改进，复合阻隔膜的最外层均为无机层，且有机层和无机层在阻隔层内间隔设置。可采用无机层/有机层/无机层的三层、五层、七层或九层的奇数多层结构。优选阻隔层包括依次贴合的第一无机层、第一有机层和第二无机层，或者包括依次贴合的第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层和第三无机层。将无机层设置在阻隔层的两面，作用是使阻隔层的表面较为致密，更好地隔绝外界的水蒸汽和氧气(以下简称水氧)在复合阻隔膜内的渗透。且每一有机层位于两个无机层之间，能够消除无机层的应力。因此，更为优选的m和n的取值为：当m＝2时n＝1，m＝3时n＝2，m＝4时n＝3，m＝5时n＝4，……，m＝10时n＝9。这里的m值和n值不可能一直增加，因为随着m和n值增大，制备无机层和有机层的次数增加，生产周期延长，复合阻隔膜整体的厚度也会增加，整体柔性下降，不满足真正的生产要求和用户体验。因此，本发明中优选m＝3，n＝2，或者m＝2，n＝1。

作为对OLED复合阻隔膜的一种改进，保护层采用高分子材料制备得到，高分子材料优选选自聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、PES(聚醚砜树脂)中的至少一种，作用为对阻隔层和OLED提供保护。

作为对OLED复合阻隔膜的一种改进，在阻隔层中，

无机层的材料为致密陶瓷，选自氮化物、氧化物、氮氧化物、碳氮化物、碳氧化物、金属硫化物、金属氟化物中的至少一种，优选为SiN、SiC、SiO₂、Al₂O₃或TiO₂。无机层可以采用物理气相沉积或化学气相沉积等方式成膜。例如，等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积SiN或SiO₂薄膜，ALD(原子层沉积法)沉积更为致密的Al₂O₃或TiO₂薄膜。

有机层包括可固化高分子材料、偶联剂和纳米颗粒，纳米颗粒耦合在偶联剂上，在有机层内均匀分布。

可固化高分子材料，为含有羟基、羰基、或其它可以发生光固化或热固化的官能团的高分子材料，优选选自聚乙烯(PE)及其衍生物、环氧树脂(EP)及其衍生物、聚丙烯(PP)及其衍生物、酚醛树脂(PF)及其衍生物、聚苯乙烯(PS)及其衍生物、聚氨酯(PU)及其衍生物、聚氯乙烯(PVC)及其衍生物、不饱和聚酯(UP)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)及其衍生物、聚砜(PSU)及其衍生物、聚酰胺(PA)及其衍生物、聚醚砜(PES)及其衍生物、聚碳酸酯(PC)及其衍生物、聚醚醚酮(PEEK)及其衍生物、聚甲醛(POM)及其衍生物、聚苯硫醚(PPS)及其衍生物、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)及其衍生物、聚四氟乙烯(PTFE)及其衍生物、丙烯晴-丁二烯-苯乙烯(ABS)及其衍生物中的至少一种。更优选为聚乙烯醇缩丁醛(PVB)或聚氨酯(PU)。

偶联剂优选为可固化硅烷，其结构式可写作SiR₁R₂R₃R₄，在R₁～R₄中至少有一个取代或未取代的烷基官能团或环烷基，和一个可固化官能团，可固化官能团选自硫醇基、羟基、胺基、烷氧基、烯基、炔基、羰基等不饱和基团。本发明中的可固化硅烷选自3-氨丙基三甲基硅烷、(3-巯丙基)三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

纳米颗粒为中值粒径在1-1000nm的无机材料。进一步而言，为提高柔性OLED的出光效率，纳米颗粒优选为具有高折射率的氧化物、氮化物、硫化物、碳化物纳米颗粒，密度≥2g/cm²，折射率≥1.5。优选使用的纳米颗粒为γ-Al₂O₃，其具有致密晶体结构，高折射率能够与OLED匹配，得到良好的出光效果。纳米颗粒的形状可以为棒状、球状、半球状、椭圆、圆柱或其它不规则形状。

本发明在有机层中加入纳米颗粒，可以延长水氧分子在阻隔层内的渗透路径和渗透时间，且纳米颗粒表面游离的极性基团能够与渗透进入的水氧分子发生范德华力作用，阻碍水氧分子进一步渗透。本发明进一步将纳米颗粒均匀有序分布在高分子材料体系内，均匀有序分布是通过偶联剂与纳米颗粒的相互作用力进行耦合到偶联剂上，而偶联剂进一步与可固化高分子材料发生化学耦合。纳米颗粒与偶联剂之间的相互作用力，进一步而言是纳米颗粒(化学式简写为M_xO_y)表面与硅烷成键，例如M-O-Si,M-(OH)_y。另外，纳米颗粒表面游离有大量的羟基(-OH)，羟基是一类极性基团，能够与渗透进入的H₂O分子进行-OH^^^H₂O吸附，延长水氧分子的渗透路径，增加延迟时间(Lag time)。

并且在上述有机膜中，高折射率的纳米颗粒是通过化学键(范德华共价键)与偶联剂连接，偶联剂与可固化高分子材料通过化学键链接，这样纳米颗粒在有机层内形成有序阵列，而不会像传统的物理分散产生的无机纳米颗粒间聚合现象，有效延长了水氧在有机层中的渗透路径。

评价有机层对于水氧分子的阻隔能力，采用测试透过率的方式评估。透过率P＝S*D，其中S为有机层对于水氧分子的溶解度，D为有机层对于水氧分子的扩散系数。即P与S和D成正比，S或D越小，P越小。透过率的单位为g/m²/天，表示每天在每平方米的有机层上透过水氧分子的质量。透过率越小越好，如果P<10^-5g/m²/天，则满足在OLED中的使用要求。

评价有机层对可见光的透过能力，采用测试透光率的方式评估。透光率T通过测试得到，T越大越好。本发明要求T﹥80％@380-780nm或T﹥80％@550nm，即有机层对380-780nm区域的可见光的透过率大于80％，或对波长为550nm的可见光的透过率大于80％。

作为对阻隔层的一种改进，纳米颗粒的含量为有机层总重量的1-20％。或者说，可固化高分子材料与偶联剂的用量之和与纳米颗粒的重量比为(80-99)：(1-20)。如果纳米颗粒的含量比例过小，有机层的水氧阻隔效果下降；如果纳米颗粒的含量比例过多，有机层的柔韧性变差，光学透光性也变差。

本发明中，优选无机层的厚度小于有机层的厚度。例如，无机层的厚度可以为1A-10μm，有机层的厚度可以为100nm-20μm。

阻隔层可以采用以下方式制备：

步骤一、采用气相沉积方式制备第一无机层，

步骤二、将纳米颗粒分散在偶联剂中，可采用在加热条件下回流等方式，加入可固化高分子材料，使纳米颗粒通过偶联剂耦合到可固化高分子材料上，将这一混合物涂布在第一无机层表面，通过光固化或热固化形成第一有机层。

然后重复步骤一和步骤二，得到无机层和有机层交替分布的阻隔层。

粘合层的材料为光学胶或固化胶，例如压感胶或3M胶材。作用为与OLED基板粘合，实现OLED复合阻隔膜与OLED之间的固定。

优选地，OLED复合阻隔膜还包括离型层，离型层与粘合层贴合。离型层的材料为高分子塑料，作为为在OLED复合阻隔膜与OLED结合前，对OLED复合阻隔膜提供临时保护。在OLED装置制备过程中，将离型层从OLED复合阻隔膜表面剥离，使粘合层与OLED贴合，因此离型层最终不出现在柔性OLED显示器的产品结构中。

为了实现本发明的第二目的，有机发光二极管显示器包括依次贴合的基板、OLED和OLED复合阻隔膜，OLED复合阻隔膜包括粘合层、阻隔层和保护层。

基板可以包括多个像素，每个像素对应所显示图像的最小单元。

安装于基板上的OLED可采用常规的设计方式，包括依次叠加的阳极、HTL(空穴传输层)、EML(发光层)、ETL(电子传输层)和阴极。以上各层通过真空热蒸镀工艺沉积。的OLED还可以进一步包括HIL(空穴注入层)、EIL(电子注入层)、HBL(空穴阻挡层)，以及覆盖在阴极上的CPL(光萃取层)。

在贴合的基板1和OLED2上贴合除去离型层的OLED复合阻隔膜，得到在OLED2表面依次复合粘合层3、阻隔层4以及保护层5的有机发光二极管显示器，如图1所示。

本发明的有机发光二极管显示器可采用R2R(Roll to Roll)工艺制造，即采用卷对卷工艺，在薄膜或玻璃基板上形成电路，可用于触摸面板、显示面板、太阳能电池面板和有机EL照明等用途。采用R2R工艺制作柔性OLED显示器，步骤艺为将本发明的OLED复合阻隔膜设置在薄膜载体(Film carrier)上，在驱动轮的带动下，OLED复合阻隔膜移动到剥离滚轮位置，通过下CCD监控剥离滚轮剥离OLED复合阻隔膜的位置精度。剥离完成后，剥离滚轮将OLED复合阻隔膜带到OLED基板位置，通过上CCD监控，实现OLED复合阻隔膜与OLED基板的精确对位，完成压合和贴附。

在上述工艺中，Film carrier与离型层之间的粘度，大于离型层与粘合层之间的粘度，以便于剥离滚轮进行剥离。剥离滚轮表面具有一定的粘度，能够轻易与OLED复合阻隔膜的保护层粘附，将其带动到与OLED贴合的位置。粘合层是一种粘度胶材或压感胶或其他光学胶材，剥离滚轮将气体阻隔膜转印到OLED基板后，粘合层能够与OLED基板进行粘合。

对本发明OLED复合阻隔膜的效果进行验证：

(一)制备OLED复合阻隔膜

1、制备无机层；可采用本领域公知的方法，本发明以SiN薄膜为例简单说明工艺流程。通过PECVD(等离子增强化学气相沉积法)，以SiH₄和NH₃气体作为前驱体，在沉积室内利用辉光放电，使前驱体电离后在衬底上进行化学反应沉积。在此期间SiH和与NH₃反应生成SiN，副产物被直接抽走。本发明中，无机层不宜太薄或太厚，厚度范围在10nm-1000nm为宜。如无机层太厚，薄膜在机械测试时容易破裂；如无机层太薄，薄膜阻隔效果不佳。测试发现当无机层的厚度为300nm时，SiN薄膜的热应力最小，用热应力测试仪测试得到的应力值为50MPa。

2、制备有机层：将纳米颗粒与偶联剂充分混合，可以将两者加入无水有机溶剂，如苯、甲苯、乙醇中进行回流，使偶联剂在纳米颗粒表面充分分散，二者通过氢键进行连接。将上述混合物在抽真空条件下进行过滤，将过滤后得到的固体产物进行烘烤以除去溶剂，得到表面连接有偶联剂的纳米颗粒；最后将表面连接有偶联剂的纳米颗粒与可固化高分子材料进行充分混合，旋涂在无机层表面固化形成薄膜。

进一步地，本发明将纳米颗粒在100-150℃，优选110℃的真空条件下(例如30mmHg)干燥5-10小时，优选6小时，以除去纳米颗粒表面的水汽。然后将除去水汽的纳米颗粒分散在盛有无水甲苯溶液的长颈烧瓶中，分散的具体步骤为：

首先进行10-60分钟，优选30分钟的超声分散，以防止纳米颗粒聚集。

然后向长颈烧瓶内缓缓加入偶联剂，再进行10-60分钟，优选30分钟的超声分散，使纳米颗粒、有机溶剂和偶联剂充分混合。由于在后续处理过程中，未与纳米颗粒成键的偶联剂会通过过滤除去，因此偶联剂的加入量无需严格限定，可以为有机层总重量的1-5％。

最后在100-150℃，优选110℃下回流10-30小时，优选20小时，使纳米颗粒表面与偶联剂成键。

分散完成后，将得到的混合液进行离心过滤，并用甲苯冲洗以除去未反应的偶联剂。将滤纸上的混合物(表面连接有偶联剂的纳米颗粒)转移到真空环境下烘干，优选130℃下加热5小时，以除去剩余的甲苯。将干燥后的混合物与高分子材料，例如PVB进行充分混合，然后旋涂在无机层表面，最后经光固化或热固化形成薄膜。

光固化的条件可以为在波长为360nm的紫外光下照射1-3min，热固化的条件可以为在100-150℃下烘烤1-30min。实施例中的离型膜采用无机层/有机层/无机层三层复合的形式。

本发明的实施例和对比例中，阻隔层的参数如表1所示。

表1

其中，“-”表示未加入该物质或不存在。

3、在保护层和阻隔层之间加入压感胶，然后将保护层、阻隔层、粘合层和离型层压合，得到OLED复合阻隔膜。其中，离型膜1对应OLED复合阻隔膜1，离型膜2对应OLED复合阻隔膜2，以此类推。上述OLED复合阻隔膜中，粘合层采用压感胶，保护层采用聚酰亚胺。

(二)制备OLED显示器

采用R2R工艺，在驱动轮的带动下，将OLED复合阻隔膜移动到剥离滚轮位置，通过下CCD监控剥离滚轮剥离OLED复合阻隔膜的位置精度。剥离完成后，剥离滚轮将OLED复合阻隔膜带到OLED基板位置，通过上CCD监控，实现OLED复合阻隔膜与OLED基板的精确对位，完成压合和贴附。

(三)对OLED复合阻隔膜的效果进行评价

采用MOCON(膜康)水蒸气透过率测试仪，测试OLED复合阻隔膜的透过率P。

采用德国Autronic-Melchers DMS 803显示屏光电测量系统，测试OLED显示器对波长为550nm的可见光的透光率T。

实验结果如表2所示：

表2：

表2中的数据，为满足OLED显示器的要求，通常要求T＞80％，P的范围在10^-4至10^-5。

比较OLED复合阻隔膜1-3说明，在其它条件相同的情况下，随着有机层中纳米颗粒含量的升高，透过率逐渐降低，说明对水氧的阻隔越来越好。但透光率逐渐下降，当有机层中纳米颗粒含量为40％时，透光率降至80％以下。

复合阻隔膜4-7说明，在其它条件相同的情况下，随着无机层或有机层的厚度增加，透过率和透光率均同步降低。

复合阻隔膜8说明，当不设置无机层时，透过率急剧下降，但具有较好的透光率，说明无机层对水氧的阻隔性具有重要作用，在优选的方案中应在复合阻隔膜的两面设置无机层。

将复合阻隔膜9和5比较，说明采用Al₂O₃和SiN作为无机层，透过率和透光率比较接近，性能差异不大。

对比例1说明，不设置无机层，并且有机层中不加入纳米颗粒和偶联剂，透过率远不能满足使用需要。对比例2说明当向有机层中同时添加纳米颗粒和偶联剂，得到兼有致密度和柔韧性的有机层，才能够同时满足透过率和透光率的要求。如果只采用高分子材料作为有机层，很难获得理想的P值，即使存在无机层。

本发明虽然以较佳实施例公开如上，但并不是用来限定权利要求。任何本领域技术人员在不脱离本发明构思的前提下，都可以做出若干可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种OLED复合阻隔膜，其特征在于，

包括依次贴合的粘合层、阻隔层和保护层，

所述阻隔层包括m个无机层和n个有机层，其中，0≤m≤10，1≤n≤9。

2.根据权利要求1所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述阻隔层的最外层均为所述无机层，且所述有机层和所述无机层在所述阻隔层内间隔设置，

优选所述阻隔层包括依次贴合的第一无机层、第一有机层和第二无机层，

或者所述阻隔层包括依次贴合的第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层和第三无机层。

3.根据权利要求1所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述无机层的材料选自氮化物、氧化物、氮氧化物、碳氮化物、碳氧化物、金属硫化物、金属氟化物中的至少一种，优选选自SiN、SiC、SiO₂、Al₂O₃、TiO₂中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述有机层包括可固化高分子材料、偶联剂和纳米颗粒，所述纳米颗粒与所述偶联剂耦合，在所述有机层内均匀分布，

优选所述可固化高分子材料选自含有羟基和/或羰基的高分子材料，更优选选自聚乙烯及其衍生物、环氧树脂及其衍生物、聚丙烯及其衍生物、酚醛树脂及其衍生物、聚苯乙烯及其衍生物、聚氨酯及其衍生物、聚氯乙烯及其衍生物、不饱和聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、聚砜及其衍生物、聚酰胺及其衍生物、聚醚砜及其衍生物、聚碳酸酯及其衍生物、聚醚醚酮及其衍生物、聚甲醛及其衍生物、聚苯硫醚及其衍生物、聚对苯二甲酸丁二醇酯及其衍生物、聚四氟乙烯及其衍生物、丙烯晴-丁二烯-苯乙烯及其衍生物中的至少一种；

优选所述偶联剂为可固化硅烷，其含有至少一个硫醇基、羟基、胺基、烷氧基、烯基、炔基和/或羰基，更优选所述可固化硅烷选自3-氨丙基三甲基硅烷、(3-巯丙基)三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

所述纳米颗粒为中值粒径在1-1000nm的无机材料，优选为氧化物、氮化物、硫化物、碳化物纳米颗粒，更优选为γ-Al₂O₃。

5.根据权利要求1至4任一项所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述纳米颗粒的含量为所述有机层总重量的1-20％。

6.根据权利要求1至4任一项所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述无机层的厚度小于所述有机层的厚度，优选所述无机层的厚度为1A-10μm，所述有机层的厚度为100nm-20μm。

7.根据权利要求1所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述保护层采用高分子材料，优选所述高分子材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚砜树脂中的至少一种；和/或

所述粘合层的材料为光学胶或固化胶，优选压感胶或3M胶材。

8.根据权利要求1所述的OLED复合阻隔膜，其特征在于，所述OLED复合阻隔膜还包括离型层，所述离型层与所述粘合层贴合，优选所述离型层的材料为高分子塑料。

9.一种有机发光二极管显示器，其特征在于，其包括依次贴合的基板、OLED和权利要求1至7任一项所述的OLED复合阻隔膜。

10.一种有机发光二极管显示器，其特征在于，其通过将权利要求8所述的OLED复合阻隔膜中的离型层剥离后，将所述粘合层与OLED和基板依次贴合得到。