CN107305856A - 晶圆放置装置及放置晶圆的方法 - Google Patents

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Abstract

一种晶圆放置装置及放置晶圆的方法，其中晶圆放置装置包括：盒体，所述盒体侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端；引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。所述晶圆放置装置包括引导装置，晶圆能够通过引导装置中的引导槽滑入卡槽中，能够避免人工放置晶圆到晶圆放置装置中的过程中发生刮伤。

Description

晶圆放置装置及放置晶圆的方法
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种晶圆放置装置及放置晶圆的方法。
背景技术
在半导体制备过程中，晶圆需要在各个制程之间以及同一制程的不同区域进行流转，晶圆的运输和保管过程都需要用到晶圆放置装置(cassette)。晶圆放置装置的使用可以为晶圆提供一种洁净度较高的环境，避免晶圆受到洁净度相对于晶圆放置装置低的制作环境内污染源的污染。
为了提高晶圆放置装置的利用率，通常一个晶圆放置装置中会存储多片晶圆。晶圆放置装置中设置有多个卡槽，所述卡槽将晶圆分割开并起到支撑作用，使得晶圆的底部悬空并有序地放置于晶圆放置装置中。当制程中的设备发生故障或者晶圆需要维修时，需要工作人员手动操作将晶圆放置于晶圆放置装置中。
然而，人工放置晶圆到现有的晶圆放置装置的过程中，容易发生刮伤晶圆的现象。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种晶圆放置装置及放置晶圆的方法，避免人工放置晶圆到晶圆放置装置的过程中发生刮伤。
为解决上述问题，本发明提供一种晶圆放置装置，包括：盒体，所述盒体侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端；引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。
可选的，每一组卡槽位于同一层；每一组引导槽位于同一层。
可选的，每一组卡槽的数量为两个，每一组卡槽两两相对；每一组引导槽的数量为两个，每一组引导槽两两相对。
可选的，所述引导槽适于在所述卡槽的长度方向上对接于所述晶圆输入端。
可选的，所述引导槽的长度为所述卡槽长度的0.5倍～1.5倍。
可选的，相邻层的引导槽之间的距离等于相邻层卡槽之间的距离。
可选的，所述引导槽的组数等于所述卡槽的组数。
可选的，所述引导槽具有相对的前引导端和后引导端，后引导端适于对接于所述晶圆输入端。
可选的，所述前引导端贴有标签，同一组引导槽的前引导端所贴的标签相同，不同组引导槽的前引导端所贴的标签不同。
可选的，所述盒体包括盒体底层、与所述盒体底层相对设置的盒体顶层、位于盒体底层和盒体顶层之间且与盒体底层和盒体顶层相连接的盒体侧壁，所述盒体底层、盒体顶层、盒体侧壁构成一个半封闭的盒体，使所述盒体具有窗口，所述窗口位于盒体底层和盒体顶层之间。
可选的，所述引导装置还包括底板，所述底板适于容置所述盒体，所述底板的上表面适于与盒体底层相接触。
可选的，所述引导装置还包括第一引导板，所述第一引导板位于底板上方，第一引导板适于和窗口侧部的盒体侧壁对接，所述引导槽位于所述第一引导板的内侧壁。
可选的，所述引导装置还包括侧板，所述侧板位于底板上方，适于固定盒体，所述侧板的内侧壁适于与盒体侧壁相接触。
可选的，所述盒体呈方体，盒体侧壁包括第一盒体侧壁和第二盒体侧壁，第一盒体侧壁分别位于第二盒体侧壁两侧且与所述第二盒体侧壁垂直，第一盒体侧壁位于窗口侧部，第二盒体侧壁与窗口相对。
可选的，所述侧板包括第一侧板，所述第一侧板位于底板上方，所述第一侧板的内侧壁适于与第一盒体侧壁相接触。
可选的，所述侧板还包括第二侧板，所述第二侧板位于底板上方，所述第二侧板的内侧壁适于与第二盒体侧壁相接触。
可选的，所述引导装置还包括支撑板，所述支撑板位于底板下方，底板容置盒体后，所述支撑板适于使朝向窗口一侧的底板高于背向窗口一侧的底板。
可选的，所述底板具有相对设置的前沿和后沿，所述窗口朝向所述前沿放置；所述支撑板位于底板下方且与底板的前沿连接。
可选的，所述底板与水平面的倾斜角度为25度～35度。
本发明还提供一种采用上述晶圆放置装置放置晶圆的方法，包括：提供若干片待放置晶圆；将一片待放置晶圆放置于一组引导槽上，并使该片待放置晶圆通过所述一组引导槽滑入对应的一组卡槽上；重复将待放置晶圆放置于引导槽、至待放置晶圆滑入对应卡槽的步骤，直至将若干片待放置晶圆放置于卡槽上。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：
本发明提供的晶圆放置装置包括引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，由于所述引导槽适于对接于卡槽的晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层，使得晶圆能够通过引导槽而滑入卡槽上。由于晶圆能够通过所述引导槽而滑入卡槽上，一方面，在晶圆正确放置于引导槽上的情况下，使得晶圆滑入卡槽前能够保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圆到晶圆放置装置的过程中，晶圆和放置该晶圆的卡槽之间出现较大夹角，从而避免该层卡槽上的晶圆触碰到相邻层卡槽上的晶圆而相互刮伤；另一方面，当晶圆放置于相对错位的不同层的引导槽上时，由于晶圆仅在引导槽上时不会触碰到卡槽上已经放置的晶圆，能够提供重新放置晶圆的机会，避免晶圆互相刮伤。
本发明提供的放置晶圆的方法中，每片晶圆通过一组引导槽滑入对应的一组卡槽上，使得晶圆滑入卡槽前能够保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圆到晶圆放置装置的过程中，晶圆和放置该晶圆的卡槽出现较大夹角，从而避免该层卡槽上的晶圆触碰到相邻层卡槽上的晶圆而相互刮伤。
附图说明
图1是一实施例中晶圆放置装置的结构示意图；
图2为一实施例中晶圆放置装置中晶圆异常放置的示意图；
图3至图5是本发明一实施例中晶圆放置装置的结构示意图。
具体实施方式
正如背景技术所述，人工放置晶圆到现有的晶圆放置装置中的过程中，容易发生刮伤晶圆的现象。
一实施例中，晶圆放置装置，参考图1，包括，盒体100，所述盒体100的两侧侧壁具有设置有多对卡槽，各对卡槽两两相对位于同一层上，所述卡槽适于固定待放置的晶圆。
图1中以所述卡槽包括第一对卡槽101、位于第一对卡槽101上的第二对卡槽102、位于第二对卡槽102上的第三对卡槽103和位于第三对卡槽103上的第四对卡槽104为例进行说明。
当制程中的设备发生故障或者晶圆需要维修时，需要工作人员手动操作将晶圆放置于晶圆放置装置中。
研究发现，人工放置晶圆到上述晶圆放置装置的过程中，容易发生刮伤现象，原因在于：
一方面，相邻层的卡槽之间的距离过小，一般为5mm～10mm，容易将晶圆放在不同层相互错位的卡槽上，从而容易将相邻的晶圆放置在同一侧的卡槽中，如图2所示，图2为一实施例中晶圆放置装置中晶圆异常放置的示意图，晶圆110的一侧放在第二对卡槽102的一侧，晶圆110的另一侧放在第一对卡槽103的一侧，晶圆111放置于第一对卡槽103上，晶圆110和晶圆111发生摩擦碰撞，容易导致晶圆相互刮伤。
另一方面，即使晶圆放置于同一层没有错位的卡槽上，但是由于采用人工放置晶圆的方式，在晶圆滑入卡槽的过程中，容易出现晶圆与放置该晶圆的卡槽的延伸方向之间具有较大夹角，相邻晶圆容易接触而发生刮伤。
在此基础上，本发明提供一种晶圆放置装置，包括：盒体，所述盒体侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端；引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。所述晶圆放置装置包括引导装置，晶圆能够通过引导装置中的引导槽滑入卡槽中，从而避免人工放置晶圆到晶圆放置装置中的过程中发生刮伤。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图3至图5是本发明一实施例中晶圆放置装置的结构示意图。
参考图3，晶圆放置装置包括盒体200，所述盒体200侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端。
本实施例中，以所述盒体200侧壁设置有四组卡槽为例进行说明，所述卡槽包括第一组卡槽211、位于第一组卡槽211上的第二组卡槽212、位于第二组卡槽212上的第三组卡槽213、位于第三组卡槽213上的第四组卡槽214。在其它实施例中，所述卡槽的组数可以根据具体情况进行选择。
每一组卡槽位于同一层。具体的，本实施例中，第一组卡槽211位于同一层；第二组卡槽212位于同一层；第三组卡槽213位于同一层；第四组卡槽214位于同一层。
本实施例中，以每一组卡槽的数量为两个为例进行说明；在其它实施例中，每一组卡槽的数量可以选择三个、四个或者其它数值。
当每一组卡槽的数量为两个时，每一组卡槽两两相对。
相邻层卡槽之间的距离为5mm～10mm。
所述盒体200以及卡槽的材质可以为金属，如不锈钢。
所述卡槽适于固定待放置的晶圆。每一组卡槽上均放置一片晶圆；一片晶圆应该放置于同一层的一组卡槽上，如可以选择将一片晶圆放置于第一组卡槽211上、第二组卡槽212上、第三组卡槽213上或者第四组卡槽214上。
所述卡槽具有晶圆输入端，所述晶圆输入端作为晶圆在卡槽上滑动的起始端。具体的，对于每一组卡槽均具有对应的晶圆输入端。本实施例中，第一组卡槽211具有第一晶圆输入端，第二组卡槽212具有第二晶圆输入端，第三组卡槽213具有第三晶圆输入端，第四组卡槽214具有第四晶圆输入端。
所述盒体200包括盒体底层201、与所述盒体底层201相对设置的盒体顶层202、位于盒体底层201和盒体顶层202之间且与盒体底层201和盒体顶层202相连接的盒体侧壁，所述盒体底层201、盒体顶层202、盒体侧壁构成一个半封闭的盒体，使所述盒体200具有窗口，所述窗口位于盒体底层201和盒体顶层202之间。
本实施例中，以所述盒体200的形状为方体作为示例，所述方体可以为立方体或者长方体，所述盒体侧壁包括第一盒体侧壁203和第二盒体侧壁204，第一盒体侧壁203分别位于第二盒体侧壁204两侧且与所述第二盒体侧壁204垂直，第一盒体侧壁203位于窗口侧部，第二盒体侧壁204与窗口相对。
卡槽设置于盒体200的盒体侧壁。本实施例中，每一组卡槽的数量为两个，第一组卡槽211、第二组卡槽212、第三组卡槽213和第四组卡槽214均设置在第一盒体侧壁203。在其它实施例中，第一组卡槽、第二组卡槽、第三组卡槽和第四组卡槽均可以设置在第一盒体侧壁和第二盒体侧壁。
参考图4，所述晶圆放置装置还包括引导装置300，所述引导装置300包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。
所述引导槽的组数和所述卡槽的组数相同。
本实施例中，以所述引导槽的组数为四组作为示例。具体的，所述引导槽包括第一组引导槽321、位于第一组引导槽321上的第二组引导槽322、位于第二组引导槽322上的第三组引导槽323和位于第三组引导槽323上的第四组引导槽324。在其它实施例中，所述引导槽的组数可以根据需要进行选择。
每一组引导槽位于同一层。具体的，第一组引导槽321位于同一层，第二组引导槽322位于同一层，第三组引导槽323位于同一层，第四组引导槽324位于同一层。
相邻层的引导槽之间的距离等于相邻层卡槽之间的距离。
本实施例中，以每一组引导槽的数量为两个作为示例，在其它实施例中，每一组引导槽的数量可以选择其它数值。
当每一组引导槽的数量为两个时，每一组引导槽两两相对。
所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端。具体的，第一组引导槽321适于对接于第一晶圆输入端，第二组引导槽322适于对接于第二晶圆输入端，第三组引导槽323适于对接于第三晶圆输入端，第四组引导槽324适于对接于第四晶圆输入端。
各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。具体的，第一组卡槽211和第一组引导槽321位于同一层；第二组卡槽212和第二组引导槽322位于同一层，第三组卡槽213和第三组引导槽323位于同一层，第四组卡槽214和第四组引导槽324位于同一层。
本实施例中，每一组引导槽的数量为两个，每一组引导槽两两相对，此时，所述引导槽适于在所述卡槽的长度方向上对接于所述晶圆输入端，具体的，第一组引导槽321适于在第一组卡槽211的长度方向上对接于第一组卡槽211的晶圆输入端，第二组引导槽322适于在第二组卡槽212的长度方向上对接于第二组卡槽212的晶圆输入端，第三组引导槽323适于在第三组卡槽213的长度方向上对接于第三组卡槽213的晶圆输入端，第四组引导槽324适于在第四组卡槽214的长度方向上对接于第四组卡槽214的晶圆输入端。
当所述引导槽适于在所述卡槽的长度方向上对接于所述晶圆输入端时，所述引导槽的长度相对于卡槽的长度需要选择合适的范围，若所述引导槽的长度相对于卡槽长度过长，造成工艺浪费，若所述引导槽的长度相对于卡槽长度过小，导致在晶圆滑入卡槽前提供给晶圆的支撑面积过小，不能主要依靠引导槽有效的支撑晶圆，故本实施例中，选择所述引导槽的长度为所述卡槽长度的0.5倍～1.5倍。
所述引导槽具有相对的前引导端和后引导端，后引导端适于对接于所述晶圆输入端。所述前引导端贴有标签，同一组引导槽的前引导端所贴的标签相同，不同组引导槽的前引导端所贴的标签不同。所述标签上具有标示符号，所述标示符号可以为数字、字母或者几何图形或者其它可用于识别的符号。
本实施例中，所述引导装置300包括底板310，所述底板310适于容置所述盒体200(参考图3)。具体的，所述底板310的上表面适于与盒体底层201相接触。
所述引导装置300还包括第一引导板311，所述第一引导板311位于底板310上方，第一引导板311适于和窗口侧部的盒体侧壁对接，具体的，第一引导板311适于与第一盒体侧壁203对接，所述引导槽位于所述第一引导板311的内侧壁。
所述引导装置300还包括侧板，所述侧板位于底板310上方，适于固定盒体200，所述侧板的内侧壁适于与盒体侧壁相接触。
所述侧板包括第一侧板312，所述第一侧板312位于底板310上方，所述第一侧板312的内侧壁适于与第一盒体侧壁203相接触。
可以设置所述第一侧板312在垂直于底板310方向上的尺寸小于盒体侧壁在垂直于底板310方向上的尺寸，使得后续在放置盒体200于底板310上的过程中第一侧板312与盒体侧壁之间的摩擦力较小。具体的，第一侧板312在垂直于底板310方向上的尺寸为80mm～120mm，如80mm、100mm、120mm。
所述侧板还包括第二侧板313，所述第二侧板313位于底板310上方，所述第二侧板313的内侧壁适于与第二盒体侧壁204相接触。
可以设置所述第二侧板313在垂直于底板310方向上的尺寸小于盒体侧壁在垂直于底板310方向上的尺寸，使得在后续放置盒体200于底板310上的过程中第二侧板313与盒体侧壁之间的摩擦力较小。且进一步的使得第二侧板313在垂直于底板310方向上的尺寸小于第一侧板312在垂直于底板310方向上的尺寸，进一步的方便后续将盒体200放置于底板310上。具体的，第二侧板313在垂直于底板310方向上的尺寸为15mm～25mm，如15mm、20mm、25mm。
所述引导装置300还包括支撑板314，所述支撑板314位于底板310下方，底板310容置盒体200后，所述支撑板314适于使朝向窗口一侧的底板310高于背向窗口一侧的底板310。
所述底板310具有相对设置的前沿和后沿。底板310容置盒体200后，所述窗口朝向所述前沿放置；所述支撑板314位于底板310下方且与底板310的前沿连接。所述支撑板314可以与所述底板310垂直，所述支撑板314与所述底板310形成的角度可以为锐角或者钝角。
所述支撑板314将底板310倾斜。图4中，所述底板310与水平面具有倾斜角度θ。
所述底板310的倾斜角度θ需要选择合适的范围，使得在人工操作将晶圆放置于晶圆放置装置300的过程中，能够具有合适的视角，便于准确的将晶圆放置于同一层的一对引导槽上。故选择所述底板310的倾斜角度θ为25度～35度，如25度、30度或者35度。
由于采用支撑板314将底板310倾斜，使得引导槽的前引导端高于引导槽的后引导端，便于人工操作人员识别引导槽的位置，便于将晶圆放置于引导槽上；后续将盒体200放置于引导装置300的底板310上后，盒体200的窗口后仰倾斜，晶圆从倾斜的引导槽滑入倾斜的卡槽上，从而便于将晶圆放置于卡槽上。
所述底板310、第一引导板311、第一侧板312、第二侧板313、引导槽的材料可以为金属，如不锈钢。
在使用过程中，需要将引导装置300和盒体200组合在一起。具体的，参考图5，将盒体200(参考图3)放置于底板310上。
引导装置300和盒体200组合在一起后，所述引导槽对接于所述卡槽的晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。
具体的，本实施例中，第一组引导槽321对接于第一晶圆输入端，第二组引导槽322对接于第二晶圆输入端，第三组引导槽323对接于第三晶圆输入端，第四组引导槽324对接于第四晶圆输入端。第一组卡槽211和第一组引导槽321位于同一层；第二组卡槽212和第二组引导槽322位于同一层，第三组卡槽213和第三组引导槽323位于同一层，第四组卡槽214和第四组引导槽324位于同一层。
引导装置300和盒体200组合在一起后，第一引导板311与第一盒体侧壁203对接；所述侧板的内侧壁与盒体侧壁相接触，将盒体200在底板310上的位置固定，具体的，第一侧板312的内侧壁与第一盒体侧壁203相接触，第二侧板313的内侧壁与第二盒体侧壁204相接触。
由于所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于卡槽的晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层，使得晶圆能够通过引导槽而滑入卡槽上。由于晶圆能够通过所述引导槽而滑入卡槽上，一方面，在晶圆正确放置于引导槽上的情况下，使得晶圆滑入卡槽前能够保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圆到晶圆放置装置的过程中，晶圆和放置该晶圆的卡槽之间出现较大夹角，从而避免该层卡槽上的晶圆触碰到相邻层卡槽上的晶圆而相互刮伤；另一方面，当晶圆放置于相对错位的不同层的引导槽上时，由于晶圆仅在引导槽上时不会触碰到卡槽上已经放置的晶圆，能够提供重新放置晶圆的机会，避免晶圆互相刮伤。
相应的，本发明还提供了一种采用上述实施例提供的晶圆放置装置放置晶圆的方法，包括：提供若干片待放置晶圆；将一片待放置晶圆放置于一组引导槽上，并使该片待放置晶圆通过所述一组引导槽滑入对应的一组卡槽上；重复将待放置晶圆放置于引导槽上、至待放置晶圆滑入对应卡槽的步骤，直至将若干片待放置晶圆放置于卡槽上。
本发明提供的放置晶圆的方法中，每片晶圆通过一组引导槽滑入对应的一组卡槽上，使得晶圆滑入卡槽前能够保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圆到晶圆放置装置的过程中，晶圆和放置该晶圆的卡槽出现较大夹角，从而避免该层卡槽上的晶圆触碰到相邻层卡槽上的晶圆而相互刮伤。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (20)

1.一种晶圆放置装置，其特征在于，包括：
盒体，所述盒体侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端；
引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。
2.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，每一组卡槽位于同一层；每一组引导槽位于同一层。
3.根据权利要求2所述的晶圆放置装置，其特征在于，每一组卡槽的数量为两个，每一组卡槽两两相对；每一组引导槽的数量为两个，每一组引导槽两两相对。
4.根据权利要求3所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导槽适于在所述卡槽的长度方向上对接于所述晶圆输入端。
5.根据权利要求4所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导槽的长度为所述卡槽长度的0.5倍～1.5倍。
6.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，相邻层的引导槽之间的距离等于相邻层卡槽之间的距离。
7.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导槽的组数等于所述卡槽的组数。
8.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导槽具有相对的前引导端和后引导端，后引导端适于对接于所述晶圆输入端。
9.根据权利要求8所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述前引导端贴有标签，同一组引导槽的前引导端所贴的标签相同，不同组引导槽的前引导端所贴的标签不同。
10.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述盒体包括盒体底层、与所述盒体底层相对设置的盒体顶层、位于盒体底层和盒体顶层之间且与盒体底层和盒体顶层相连接的盒体侧壁，所述盒体底层、盒体顶层、盒体侧壁构成一个半封闭的盒体，使所述盒体具有窗口，所述窗口位于盒体底层和盒体顶层之间。
11.根据权利要求10所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导装置还包括底板，所述底板适于容置所述盒体，所述底板的上表面适于与盒体底层相接触。
12.根据权利要求11所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导装置还包括第一引导板，所述第一引导板位于底板上方，第一引导板适于和窗口侧部的盒体侧壁对接，所述引导槽位于所述第一引导板的内侧壁。
13.根据权利要求11所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导装置还包括侧板，所述侧板位于底板上方，适于固定盒体，所述侧板的内侧壁适于与盒体侧壁相接触。
14.根据权利要求13所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述盒体呈方体，盒体侧壁包括第一盒体侧壁和第二盒体侧壁，第一盒体侧壁分别位于第二盒体侧壁两侧且与所述第二盒体侧壁垂直，第一盒体侧壁位于窗口侧部，第二盒体侧壁与窗口相对。
15.根据权利要求14所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述侧板包括第一侧板，所述第一侧板位于底板上方，所述第一侧板的内侧壁适于与第一盒体侧壁相接触。
16.根据权利要求15所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述侧板还包括第二侧板，所述第二侧板位于底板上方，所述第二侧板的内侧壁适于与第二盒体侧壁相接触。
17.根据权利要求11所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述引导装置还包括支撑板，所述支撑板位于底板下方，底板容置盒体后，所述支撑板适于使朝向窗口一侧的底板高于背向窗口一侧的底板。
18.根据权利要求17所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述底板具有相对设置的前沿和后沿，所述窗口朝向所述前沿放置；所述支撑板位于底板下方且与底板的前沿连接。
19.根据权利要求17或18所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述底板与水平面的倾斜角度为25度～35度。
20.一种采用权利要求1至19任意一项晶圆放置装置放置晶圆的方法，包括：
提供若干片待放置晶圆；
将一片待放置晶圆放置于一组引导槽上，并使该片待放置晶圆通过所述一组引导槽滑入对应的一组卡槽上；
重复将待放置晶圆放置于引导槽、至待放置晶圆滑入对应卡槽的步骤，直至将若干片待放置晶圆放置于卡槽上。
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