CN107250105B - 新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物 - Google Patents

新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物 Download PDF

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Abstract

本发明涉及新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物，详细而言，根据本发明的肟酯衍生物化合物由于敏感度、耐热性、耐光性、耐化学性和耐显影性优异，因此即使以少量使用也能够提供对TFT‑LCD制造工序中的曝光和后烘工序等有效的光聚合引发剂和光致抗蚀剂组合物。

Description

新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀 剂组合物
技术领域
本发明涉及新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物。
背景技术
作为光致抗蚀剂组合物中使用的光聚合引发剂的典型例子，已知苯乙酮衍生物、二苯甲酮衍生物、三嗪衍生物、联咪唑衍生物、酰基氧化膦衍生物和肟酯衍生物等各种类型，其中，肟酯衍生物具有如下优点：吸收紫外线而几乎不带色，自由基产生效率高，与光致抗蚀剂组合物材料的相容性和稳定性优异。然而，在早期开发的肟衍生物化合物由于光引发效率低，特别是在图案曝光工序中敏感度低而需要增加曝光量，由此存在产量降低的问题。
因此，感光度优异的光聚合引发剂的开发可以以少量实现充分的敏感度，具有节省成本的效果以及优异的敏感度，由此能够降低曝光量而能够提高产量。
已知能够在光致抗蚀剂组合物中作为光聚合引发剂使用的下述化学式A所表示的各种肟酯化合物。
[化学式A]
在上述化学式A所表示的肟酯化合物的情况下，通过在R、R'和R"处分别导入合适的取代基，能够调节包含该化合物的光聚合引发剂的光吸收区域。
就肟酯化合物而言，通过对光致抗蚀剂组合物照射365至435nm的光，能够使具有不饱和键的聚合性化合物聚合和固化，因此利用于黑矩阵、滤色器、柱状间隔物、柔性绝缘膜、保护层用光致抗蚀剂组合物等。
由此，就光引发剂而言，持续要求能够满足如下产业现场要求的适合于各种用途的新型光引发剂：对于365至435nm等长波长光源具有高敏感度，光聚合反应性良好，制造容易，热稳定性和储藏稳定性高，处理容易，对于溶剂(PGMEA；丙二醇单甲基醚乙酸酯)的令人满意的溶解度等。
因此，近年来，对于液晶显示元件和OLED等薄膜显示器等中使用的光致抗蚀剂组合物，更详细而言对于利用碱显影液来显影而能够形成TFT-LCD之类的液晶显示元件的有机绝缘膜、柱状间隔物、UV保护层、R.G.B.彩色抗蚀剂和黑矩阵等的图案的含有高敏感度光聚合引发剂的光致抗蚀剂组合物进行着大量研究。
作为以往用于形成图案的光致抗蚀剂组合物，优选为含有粘合剂树脂、具有烯键式不饱和键的多官能性单体和光聚合引发剂等的光致抗蚀剂组合物，但利用这样的以往光致抗蚀剂组合物形成图案的情况下，存在如下缺点：由于用于形成图案的曝光工序中敏感度低而需要增加光聚合引发剂的用量或者增加曝光量，由此曝光工序中会污染掩模，因高温交联时光聚合引发剂分解后产生的副产物而收率降低，并且存在如下问题：曝光工序时间随着曝光量增加而增加，从而产量降低等。
因此，本申请人为了改善如上所述的以往光致抗蚀剂组合物的问题，提供新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物，从而完成本发明，所述新型肟酯衍生物化合物对光的敏感度优异而反应转化率高，热稳定性和光稳定性优秀而光引发后不会被分解，从而能够实现高图案稳定性和残膜率。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本公开专利公报2001-302871(2001.10.31)
专利文献2：国际公开专利公报WO/2002-100903(2002.12.19)
专利文献3：日本公开专利公报2006-160634(2006.06.22)
专利文献4：日本公开专利公报2005-025169(2005.01.27)
专利文献5：日本公开专利公报2005-242279(2005.09.08)
专利文献6：国际公开专利公报WO/2007-071497(2007.06.28)
专利文献7：国际公开专利公报WO/2008-138733(2008.11.20)
专利文献8：国际公开专利公报WO/2008-078686(2008.07.03)
专利文献9：国际公开专利公报WO/2009-081483(2009.07.02)
专利文献10：韩国公开专利公报2013-0049811(2013.11.13)
专利文献11：韩国公开专利公报2013-0115272(2013.10.21)
发明内容
本发明的目的在于，提供敏感度、耐热性、耐光性、耐化学性和耐显影性优异的新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物。
本发明的另一个目的在于，提供包含含有上述肟酯衍生物化合物的光致抗蚀剂组合物的固化物的成型物。
本发明的另一个目的在于，提供包含上述成型物的显示装置。
为了达成上述目的，本发明提供下述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物。
[化学式1]
上述化学式1中，
R1至R3各自独立地为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C1-C20)烷氧基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷氧基(C1-C20)烷基、(C3-C20)环烷基或(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基；
A为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、氨基、硝基、氰基或羟基；
L1为直接键合、-CO-或上述R4和R5各自独立地为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C1-C20)烷氧基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷氧基(C1-C20)烷基、(C3-C20)环烷基或(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基，m为选自0至2中的整数；
n为1或2的整数。
本发明的用语“芳基”是从芳香族烃去除一个氢而衍生的有机自由基，包括在各环上适宜包含4至7个、优选包含5或6个环原子的单环或稠环系，也包括多个芳基通过直接键合而连接而成的形态。作为具体例，包括苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基(indenyl)、芴基、菲基等，但不限于此。
本发明的用语“芳基烷基”是被上述定义的芳基取代的烷基，可以例示苄基等。
本发明的用语“羟基烷基”是被羟基取代的烷基，可以例示羟基甲基、羟基乙基、羟基丙基、羟基丁基、羟基戊基、羟基己基等。
本发明的用语“羟基烷氧基烷基”是被羟基烷氧基取代的烷基，可以例示羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基乙基、羟基乙氧基丙基、羟基乙氧基丁基、羟基乙氧基戊基、羟基乙氧基己基等。
本发明的用语“环烷基”是指碳环原子数3至7的单环烷基、以及两个以上的单环烷基稠合而成的多环烷基。作为具体例，可举出环丙基、环丁基、环戊基、环己基等，但不限于此。
本发明的用语“环烷基烷基”是指被上述定义的环烷基取代的烷基，可以例示环丙基甲基、环丁基甲基、环戊基甲基、环丙基乙基等。
此外，本发明中记载的“(C1-C20)烷基”优选为(C1-C10)烷基，更优选为(C1-C7)烷基。“(C6-C20)芳基”优选为(C6-C18)芳基。“(C1-C20)烷氧基”优选为(C1-C10)烷氧基，更优选为(C1-C7)烷氧基。“(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基”优选为(C6-C18)芳基(C1-C10)烷基，更优选为(C6-C18)芳基(C1-C7)烷基。“羟基(C1-C20)烷基”优选为羟基(C1-C10)烷基，更优选为羟基(C1-C7)烷基。“羟基(C1-C20)烷氧基(C1-C20)烷基”优选为羟基(C1-C10)烷氧基(C1-C10)烷基，更优选为羟基(C1-C7)烷氧基(C1-C7))烷基。“(C3-C20)环烷基”优选为(C3-C10)环烷基。“(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基”优选为(C3-C10)环烷基(C1-C10)烷基，更优选为(C3-C10)环烷基(C1-C7)烷基。
上述化学式1中，当n为2时，各肟酯基中所含的R2和R3可以彼此相同或不同，当m为2时，同样地各R5可以彼此相同或不同。
从对于365至435nm波长的光具有优异的敏感度的方面出发，根据本发明的一个实施方式的上述肟酯衍生物化合物可以为如下述化学式2至4所表示的肟酯衍生物化合物那样具有2个或4个肟酯基的化合物，但不限于此。
[化学式2]
[化学式3]
[化学式4]
上述化学式2至4中，
R1至R5各自独立地为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C1-C20)烷氧基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷氧基(C1-C20)烷基、(C3-C20)环烷基或(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基；
A为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、氨基、硝基、氰基或羟基；
m为选自0至2中的整数；
a和b为0或1的整数。
此时，上述化学式3或化学式4所表示的肟酯衍生物化合物的A导入至芴的第4位位置为佳。
作为根据本发明的一个实施方式的肟酯衍生物化合物的一个方式，R1至R5各自独立地可以为(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷基、羟基(C1-C20)烷氧基(C1-C20)烷基、(C3-C20)环烷基或(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基；A可以为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、(C6-C20)芳基(C1-C20)烷基、硝基或氰基，或者作为另一个方式，R1至R3各自独立地可以为(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基或(C3-C20)环烷基；R4为氢、(C1-C20)烷基、(C3-C20)环烷基或(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基；R5可以为氢、(C1-C20)烷基、(C3-C20)环烷基或(C3-C20)环烷基(C1-C20)烷基；A为氢、卤素、(C1-C20)烷基、(C6-C20)芳基、硝基或氰基，但不限于此。
根据本发明的一个实施方式的肟酯衍生物化合物中，优选地，R1至R5各自独立地可以选自氢、溴、氯、碘、甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、苄基、羟基甲基、羟基乙基、羟基丙基、羟基丁基、羟基戊基、羟基己基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基乙基、羟基乙氧基丙基、羟基乙氧基丁基、羟基乙氧基戊基、羟基乙氧基己基、环丙基、环戊基、环己基、环丙基甲基、环戊基甲基和环己基甲基等；A可以选自氢、溴、氯、甲基、乙基、丙基、丁基、苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基、菲基、苄基、氨基、硝基、氰基和羟基，但不限于此。
作为根据本发明的肟酯衍生物化合物，代表性地举出下述化合物，但下述化合物并不限定本发明。
根据本发明的上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物可以如下述反应式1所示那样制造。
[反应式1]
[反应式2]
[反应式3]
反应式1至3中，
R1至R5、A和m与化学式2至3中的定义相同，X1至X4各自独立地为卤素。
此外，本发明提供包含上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物的光聚合引发剂。
此外，本发明提供包含上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物的光致抗蚀剂组合物。
本发明中，上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物可以作为光聚合引发剂包含在光致抗蚀剂组合物中。
本发明的光致抗蚀剂组合物包含上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物、粘合剂树脂、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物和溶剂等，且图案特性调节、耐热性和耐化学性等薄膜物性优秀。
此外，本发明的光致抗蚀剂组合物除了上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物以外可以进一步包含选自噻吨酮系化合物、苯乙酮系化合物、联咪唑系化合物、三嗪系化合物、硫醇系化合物和O-酰基肟系化合物等中的1种或2种以上公知的光聚合引发剂。
作为上述噻吨酮系化合物，有噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等，它们可以分别单独使用或2种以上混合使用。作为上述苯乙酮系化合物，有2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮等，它们可以分别单独使用或2种以上混合使用。作为上述联咪唑系化合物，有2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-联咪唑、2,2'-双(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-联咪唑、2,2'-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-联咪唑等，它们可以分别单独使用或2种以上混合使用。作为上述三嗪系化合物，有2,4,6-三(三氯甲基)-均三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪等，它们可以分别单独使用或2种以上混合使用。作为上述O-酰基肟系化合物，例如有1,2-辛二酮-1-[4-(苯基硫代)苯基]-2-(O-苯甲酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧戊环基)甲氧基苯甲酰r-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等，它们可以分别单独使用或2种以上混合使用。关于上述公知的光聚合引发剂，为了赋予用于更加灵活地形成薄膜图案的特性，相对于光致抗蚀剂组合物100重量％，可以使用0.1至5.0重量％。
根据本发明的一个实施方式，作为上述光致抗蚀剂组合物中使用的粘合剂树脂，可以使用丙烯酸聚合物或在侧链具有丙烯酸不饱和键的丙烯酸聚合物，为了调节图案特性以及赋予耐热性和耐化学性等薄膜物性，相对于光致抗蚀剂组合物100重量％，粘合剂树脂优选使用3至50重量％，优选使用丙烯酸聚合物的基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算重均分子量为2000至300000、分散度为1.0至10.0的粘合剂树脂，更优选使用重均分子量为4000至100000的粘合剂树脂。
上述丙烯酸聚合物为包含下述单体的单体的共聚物，作为单体的例子，可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸异冰片基酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、马来酸酐、马来酸单烷基酯、衣康酸单烷基酯、富马酸单烷基酯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧丁基(甲基)丙烯酸酯、2,3-环氧环己基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3-甲基氧杂环丁烷-3-甲基(甲基)丙烯酸酯、3-乙基氧杂环丁烷-3-甲基(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-丙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酰胺、N-甲基(甲基)丙烯酰胺等，它们可以分别单独使用或2种以上一同使用。
在侧链具有丙烯酸不饱和键的丙烯酸聚合物为将含有羧酸的丙烯酸共聚物与环氧树脂进行加成反应而成的共聚物，可以使用将含有羧酸的丙烯酸共聚物与环氧树脂在40至180℃的温度下进行加成反应而得到的粘合剂树脂，所述含有羧酸的丙烯酸共聚物是将丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、马来酸单烷基酯等含有羧酸的丙烯酸单体与(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸环己基酯、(甲基)丙烯酸异冰片基酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-丙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酰胺、N-甲基(甲基)丙烯酰胺等单体的2种以上共聚而得到的，所述环氧树脂为丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧丁基(甲基)丙烯酸酯、2,3-环氧环己基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯等。
作为在侧链具有丙烯酸不饱和键的丙烯酸聚合物的其他例子，是将含有环氧基的丙烯酸共聚物与羧酸进行加成反应而成的共聚物，可以使用将含有环氧基的丙烯酸共聚物与含有羧酸的丙烯酸单体在40至180℃的温度下进行加成反应而得到的粘合剂树脂，所述含有环氧基的丙烯酸共聚物是将丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧丁基(甲基)丙烯酸酯、2,3-环氧环己基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯等含有环氧基的丙烯酸单体与(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片基酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-丙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酰胺、N-甲基(甲基)丙烯酰胺等单体的2种或2种以上共聚而得到的，所述含有羧酸的丙烯酸单体为丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、马来酸单烷基酯等。
本发明的光致抗蚀剂组合物中具有烯键式不饱和键的聚合性化合物发挥在形成图案时通过光反应进行交联而形成图案的作用，高温加热时进行交联而赋予耐化学性和耐热性。上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物相对于光致抗蚀剂组合物100重量％优选使用0.001至40重量％。如果添加过量的具有烯键式不饱和键的聚合性化合物，则交联度变得过高而可能产生图案的柔性下降的缺点。
关于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物，具体可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯等(甲基)丙烯酸的烷基酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、环氧乙烷基数为2至14的聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷基数为2至14的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷基数为2至14的丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、双酚A二缩水甘油醚丙烯酸加成物、β-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯的邻苯二甲酸二酯、β-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯的甲苯二异氰酸酯加成物、如三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯之类的多元醇与α,β-不饱和羧酸进行酯化而得到的化合物、如三羟甲基丙烷三缩水甘油醚丙烯酸加成物之类的多价缩水甘油基化合物的丙烯酸加成物等，它们可以分别单独使用或2种以上一同使用。
此外，本发明的光致抗蚀剂组合物中用作光聚合引发剂的上述化学式1的肟酯衍生物化合物的添加量为用于提高透明性且使曝光量最小化的含量，相对于光致抗蚀剂组合物100重量％，可以使用0.01至10重量％，优选为0.1至5重量％。
此外，本发明的光致抗蚀剂组合物可根据需要进一步包含具有环氧基或胺基的有机硅系化合物作为粘接助剂。
本发明的光致抗蚀剂组合物中有机硅系化合物能够提高ITO电极与光致抗蚀剂组合物的粘接力且增强固化后耐热特性。作为上述具有环氧基或胺基的有机硅系化合物，有(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)二甲基甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷和氨基丙基三甲氧基硅烷等，它们可以分别单独使用或2种以上混合使用。上述具有环氧基或胺基的有机硅系化合物相对于光致抗蚀剂组合物100重量％使用0.0001至3重量％为佳。
此外，本发明的光致抗蚀剂组合物可以根据需要进一步包含光敏剂、热阻聚剂、消泡剂、流平剂等具有相容性的添加剂。
本发明的光致抗蚀剂组合物通过如下方法形成图案：加入溶剂并旋涂于基板上，然后利用掩模照射紫外线，用碱显影液进行显影，优选相对于光致抗蚀剂组合物100重量％添加10至95重量％的溶剂从而将粘度调节为1至50cps范围。
根据本发明的一个实施方式的上述光反应性化合物只要是本领域中常规使用的具有光反应性的化合物，就没有限定，作为具体例，可以为选自二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、双酚A二缩水甘油醚丙烯酸酯加成物、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚丙烯酸酯加成物、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧乙基)醚、3-甲基戊二醇二丙烯酸酯和3-甲基戊二醇二甲基丙烯酸酯等中的一种或一种以上。此时，上述光反应性化合物相对于上述光致抗蚀剂组合物100重量％优选包含1至25重量％。
作为上述溶剂，考虑与粘合剂树脂、光引发剂和其他化合物的相容性，可以将如下溶剂分别单独使用或2种以上混合使用，所述溶剂为：乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基乙基醚、甲基甲氧基丙酸酯、乙基乙氧基丙酸酯(EEP)、乳酸乙酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇甲基醚丙酸酯(PGMEP)、丙二醇甲基醚、丙二醇丙基醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二乙二醇甲基乙酸酯、二乙二醇乙基乙酸酯、丙酮、甲基异丁基酮、环己酮、二甲基甲酰胺(DMF)、N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、γ-丁内酯、二乙基醚、乙二醇二甲基醚、二甘醇二甲醚(Diglyme)、四氢呋喃(THF)、甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、二乙二醇甲基醚、二乙二醇乙基醚、二丙二醇甲基醚、甲苯、二甲苯、己烷、庚烷、辛烷等。
根据本发明的一个实施方式的光致抗蚀剂组合物可以通过旋涂机、辊涂机、棒涂机、模涂机、帘式涂布机、各种印刷和浸渍等公知的手段而应用于钠钙玻璃、石英玻璃、半导体基板、金属、纸、塑料等支撑基体上。此外，先涂覆到膜等支撑基体上，然后可以转印到另一个支撑基体，其应用方法没有限制。
根据本发明的一个实施方式的光致抗蚀剂组合物可以用于如下各种用途，其用途没有特别限制，所述用途为：光固化性涂料或漆、光固化性粘接剂、印刷基板、或彩色电视、PC监视器、移动信息终端、数码相机等彩色显示的液晶显示元件中的滤色器、等离子体显示面板用电极材料、粉末涂料、印刷油墨、印刷板、粘接剂、牙科用组合物、凝胶涂料、电子工程用光致抗蚀剂、电镀抗蚀剂、蚀刻抗蚀剂、用于液态和干燥膜这二者的阻焊剂、用于制造各种显示用途用的颜色矩阵的或在等离子体显示器面板、电致发光显示装置和LCD的制造工艺中用于形成结构的抗蚀剂、用于封装电气和电子部件的组合物、磁记录材料、精细机械部件、波导、光开关、镀敷用掩模、蚀刻掩模、测色仪、玻璃纤维电缆涂料、丝网印刷用模版、用于通过立体光刻制作三维物体的材料、全息照相记录用材料、图像记录材料、精细电子电路、脱色材料、用于图像记录材料的脱色材料、用于使用微囊的图像记录材料的脱色材料、印刷配线板用光致抗蚀剂材料、用于UV和可见激光直接成像系统的光致抗蚀剂材料、在印刷电路基板的依次层叠中用于形成介电质层的光致抗蚀剂材料或保护膜等。
此外，本发明提供在含有上述化学式1所表示的肟酯衍生物化合物的光致抗蚀剂组合物中包含着色剂的光致抗蚀剂组合物。
作为为了应用于滤色器或黑矩阵形成用抗蚀剂而包含的着色材料，可以举出红色、绿色、蓝色和藏蓝色混合体系的青色、品红、黄色、黑色颜料。作为颜料，可以举出C.I.颜料黄12、13、14、17、20、24、55、83、86、93、109、110、117、125、137、139、147、148、153、154、166、168，C.I.颜料橙36、43、51、55、59、61，C.I.颜料红9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240，C.I.颜料紫19、23、29、30、37、40、50，C.I.颜料蓝15、15:1、15:4、15:6、22、60、64，C.I.颜料绿7、36，C.I.颜料棕23、25、26，C.I.颜料黑7、钛黑和炭黑等。此时，上述着色剂相对于上述光致抗蚀剂组合物100重量％优选包含0.1至2.0重量％。
作为利用根据本发明的一个实施方式的上述着色光致抗蚀剂组合物的实例之一的滤色器可以用如下制造方法来制造，但不限于此。
使用旋涂、辊涂、喷雾涂布等适当的方法，在玻璃基板上例如以0.5至10μm的厚度涂布上述着色光致抗蚀剂组合物，然后对上述基板以形成滤色器所需的图案的方式照射光。作为照射中使用的光源，可以使用UV、电子射线或X射线，例如可以照射190至450nm、具体而言200nm至400nm区域的UV。此外，在上述照射工序中可以使用光致抗蚀剂掩模来实施。实施这样的照射工序后，将通过照射上述光源而图案化的着色光致抗蚀剂组合物层用显影液进行处理。此时，上述着色光致抗蚀剂组合物层中非曝光部分被溶解而可以形成滤色器所需的图案。按所需的颜色数量反复进行这样的工序，从而可以获得具有期望图案的滤色器。此外，如果将上述工序中通过显影而获得的图像图案再次加热或者通过光化射线照射等而使其固化，则能够实现抗裂性、耐溶剂性等得以提高的滤色器。
此外，本发明提供包含上述光致抗蚀剂组合物的固化物的成型物。
进而，根据本发明的上述成型物可以为阵列平坦化膜、绝缘膜、柱状间隔物、黑柱状间隔物、黑矩阵或滤色器等，本发明提供包含上述成型物的显示装置。
本发明的肟酯衍生物化合物具有如下优点：在以光致抗蚀剂组合物的光聚合引发剂使用时，即使使用少量，敏感度也非常优异，且残膜率、图案稳定性、耐化学性和柔性等物性优秀，因此能够使在TFT-LCD制造工序中的曝光和后烘工序中由光聚合引发剂产生的释气最小化而能够减少污染，能够使由此产生的不良最小化。
具体实施方式
以下，为了详细理解本发明，例举实施例和比较例详细说明本发明的代表化合物，根据本发明的实施例可以变形为各种其他方式，不应解释为本发明的范围受到下述实施例的限定。本发明的实施例是为了向本领域普通技术人员更完整地说明本发明而提供的。
[实施例1]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(6)的制造
反应1. 9,9-二乙基-9H-芴(2)合成
在氮气气氛下，使芴(1)200.0g(1.20mol)、氢氧化钾268.8g(4.80mol)和碘化钾19.9g(0.12mol)溶解于无水二甲基亚砜1L，将反应物保持在15℃，然后用2小时缓慢加入溴乙烷283.3g(2.60mol)，并将反应物在15℃搅拌1小时。在上述反应物中加入蒸馏水2L并搅拌30分钟后，用二氯甲烷2L提取生成物，将提取的有机层用蒸馏水2L洗涤2次，然后将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物在减压下分馏，从而获得作为粘度高的液体的淡黄色的9,9-二乙基-9H-芴(2)248.6g(93.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.31(6H,t),2.0(4H,q),7.26-7.31(6H,m),7.68(2H,d)
MS(m/e)：222
反应2. 1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)乙酮(3)的合成
使9,9-二乙基-9H-芴(2)100.5g(0.45mol)溶解于二氯甲烷1L，将反应物冷却至-5℃后，缓慢加入氯化铝72.3g(0.54mol)，然后一边注意防止反应物的温度上升一边用2小时缓慢加入稀释于二氯甲烷50mL的乙酰氯42.4g(0.54mol)，并将反应物在-5℃搅拌1小时。将上述反应物缓慢放入至冰水1L中并搅拌30分钟，分离有机层后，用蒸馏水500mL洗涤，将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物用乙醇进行再结晶，从而获得淡黄色固体1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)乙酮(3)77.6g(65.2％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.80(6H,t),1.90(4H,q),2.53(3H,s),7.35-7.36(3H,m),7.75(2H,t),7.97(2H,d)
MS(m/e):264
反应3. 1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(4)的合成
在氮气气氛下，将无水乙酸乙酯50mL保持在5℃后，加入氢化钠1.8g(在矿物油中为60％，0.045mol)，然后搅拌30分钟。加入溶解于乙酸乙酯50mL的1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-1-丙酮(3)10.0g(0.038mol)后搅拌1小时，然后将反应溶液缓慢升温并在60℃搅拌5小时而结束反应。使反应溶液冷却至室温并加入H2O 30mL后，搅拌30分钟左右，然后缓慢滴加1％HCl水溶液27mL进行中和，以使反应物的pH达到6～7。在反应溶液中加入乙酸乙酯100mL并搅拌30分钟，分离有机层后，用H2O充分洗涤，然后将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(4)7.2g(62.0％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.91(4H,q),2.09(3H,s),3.68(2H,s),7.36-7.37(3H,m),7.74-7.76(2H,m),7.87-7.89(2H,m)
MS(m/e):306
反应4. 1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(5)的合成
使1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(4)5.0g(0.016mol)分散于乙醇100mL并加入盐酸羟胺3.34g(0.048mol)和乙酸钠3.94g(0.048mol)，然后将反应溶液缓慢升温并回流反应1小时。将上述反应溶液冷却至室温并加入蒸馏水100mL和乙酸乙酯200mL后搅拌30分钟左右，分离有机层，然后将溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(5)5.05g(93.9％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.98(6H,t),1.86(3H,s)1.91(4H,m),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):336
反应5. 1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(6)的合成
在氮气气氛下，使1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(5)5.0g(0.015mol)溶解于乙酸乙酯50mL，将反应物保持在-5℃，然后加入三乙胺3.34g(0.033mol)并将反应溶液搅拌30分钟，之后缓慢加入乙酰氯2.59g(0.033mol)，一边注意防止反应物升温一边将反应溶液搅拌30分钟。将蒸馏水50mL缓慢加入上述反应溶液中并搅拌30分钟，分离有机层后，将溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(6)5.82g(92.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.08(3H,s),2.11(3H,s),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):421
[实施例2]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(10)的制造
利用实施例1的反应2条件，将9,9-二乙基-9H-芴(2)与丙酰氯进行反应而制造1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-丙烷-1-酮(7)后，利用与上述实施例1的反应3至5相同的方法，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(10)5.48g(90.2％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.31(3H,d),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.07(3H,s),2.12(3H,s),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):434
[实施例3]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二环己烷碳酰二肟(11)的制造
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(5)与环己基碳酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二环己烷碳酰二肟(11)7.36g(88.1％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.12-1.15(10H,m),1.60-1.66(10H,m),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.08(3H,s),2.27(2H,m),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):557
[实施例4]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,2-二酮O,O-二苄氧基二肟(12)的制造
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(5)与苯甲酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,2-二酮O,O-二苄氧基二肟(12)7.12g(87.1％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.08(3H,s),2.27(2H,m),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),7.90-8.01(4H,m),8.11-8.18(3H,m),8.21-8.32(6H,m)
MS(m/e):545
[实施例5]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二环己烷碳酰二肟(13)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮二肟(9)与环己基碳酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二环己烷碳酰二肟(13)7.07g(88.7％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.12-1.15(10H,m),1.31(3H,d),1.60-1.66(10H,m),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.07(3H,s),2.12(3H,s),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):571
[实施例6]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二苯甲酰二肟(14)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮二肟(9)与苯甲酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二苯甲酰二肟(14)6.69g(85.6％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.31(3H,d),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.07(3H,s),2.12(3H,s),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m),7.90-8.01(4H,m),8.11-8.18(3H,m),8.21-8.32(6H,m)
MS(m/e):559
[实施例7]1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(20)的合成
反应1. 9,9-二正丁基-2-硝基-9H-芴(16)的合成
在氮气气氛下，使2-硝基芴(15)12.66g(60mmol)、氢氧化钾21.0g(0.3mol，纯度＝80％)和碘化钾1.01g(6mmol)溶解于无水二甲基亚砜200mL，将反应温度保持在17℃后，用2小时缓慢加入正溴丁烷33mL(0.3mol)，并将反应物在17℃搅拌1小时。在上述反应物中加入蒸馏水200mL并搅拌30分钟左右后，用二氯甲烷300mL提取生成物，将提取的有机层用蒸馏水100mL洗涤3次，然后将回收的有机层的溶剂减压蒸馏。通过硅胶柱色谱(展开溶剂；二氯甲烷：正己烷＝20：1)精制，从而获得9,9-二正丁基-2-硝基-9H-芴(16)15.4g(79.5％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.52-0.61(4H,m),0.66(6H,t),1.07(4H,sex),2.00-2.06(4H,m),7.38-7.42(3H,m),7.77-7.80(2H,d),8.20(1H,d),8.26(1H,dd)
MS(m/e):323
反应2. 1-(9,9-二正丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-乙酮(17)的合成
使9,9-二正丁基-2-硝基-9H-芴(16)7.0g(21.7mmol)溶解于无水硝基苯200mL，加入无水氯化铝5.77g(43.4mmol)，然后将反应物升温至45℃，用1小时缓慢加入将乙酰氯3.40g(43.3mmol)溶解于无水硝基苯40mL而成的溶液，将反应物升温至65℃并搅拌1小时。然后，将反应物冷却至室温，加入蒸馏水100mL并搅拌30分钟左右后，用二氯甲烷200mL提取生成物。将提取的有机层依次用饱和碳酸氢钠水溶液100mL和蒸馏水100mL洗涤后，将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，使所得的固体生成物分散于少量的醚中，在室温下搅拌30分钟后过滤并干燥，从而获得1-(9,9-二正丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-乙酮(17)5.44g(68.7％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.36-0.40(4H,m),0.56(6H,t),0.96(4H,sex),2.04-2.13(4H,m),2.62(3H,s),8.00-8.05(2H,m),8.10-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.36(1H,s)
MS(m/e):365
反应3. 1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(18)的合成
在氮气气氛下，将无水乙酸乙酯50mL保持在5℃后，加入氢化钠1.64g(在矿物油中为60％，0.041mol)，然后搅拌30分钟。加入溶解于乙酸乙酯50mL的1-(9,9-二正丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-乙酮(17)10.0g(0.027mol)后，搅拌1小时，然后将反应溶液缓慢升温并在60℃搅拌5小时而结束反应。使反应溶液冷却至室温，加入H2O 30mL后搅拌30分钟左右，然后缓慢滴加1％HCl水溶液27mL进行中和，以使反应物的pH达到6～7。在反应溶液中加入乙酸乙酯100mL并搅拌30分钟，分离有机层后，用H2O充分洗涤，然后将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(18)6.63g(60.3％)。
1H NMR(δppm；DMSO-d6)：0.36-0.40(4H,m),0.56(6H,t),0.96(4H,sex),2.04-2.13(4H,m),2.09(3H,s),3.72(2H,s),8.00-8.05(2H,m),8.10-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.36(1H,s)
MS(m/e):408
反应4. 1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(19)的合成
使1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(18)5.0g(0.012mol)分散于乙醇100mL，加入盐酸羟胺2.50g(0.036mol)和乙酸钠2.95g(0.036mol)，然后将反应溶液缓慢升温并回流反应1小时。将反应物冷却至室温，加入蒸馏水100mL和乙酸乙酯200mL后，搅拌30分钟左右，然后将有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(19)4.72g(89.9％)。
1H NMR(δppm；DMSO-d6)：0.38-0.41(4H,m),0.58(6H,t),0.96(4H,sex),2.04-2.13(4H,m),2.11(3H,s),3.74(2H,s),8.00-8.10(2H,m),8.12-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):438
反应5. 1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(20)的合成
在氮气气氛下，使1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(19)5.0g(0.011mol)溶解于乙酸乙酯50mL，将反应物保持在-5℃后，加入三乙胺2.54g(0.025mol)并将反应溶液搅拌30分钟，然后缓慢加入乙酰氯1.96g(0.025mol)，一边注意防止反应物升温一边搅拌30分钟。然后将蒸馏水50mL缓慢加入至反应物并搅拌30分钟，分离有机层后，将回收的有机层用无水硫酸镁干燥，将溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(20)5.82g(92.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.35-0.41(4H,m),0.60(6H,t),0.95(4H,sex),1.90(3H,s),2.00(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.11(3H,s),3.74(2H,s),8.00-8.10(2H,m),8.12-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):522
[实施例8]1-(7-溴-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(26)的合成
利用实施例7的反应1条件，将2-溴芴(21)与正溴丁烷进行反应，合成2-溴-9,9-二正丁基-9H-芴(22)后，利用实施例7的反应3至5的条件，获得1-(7-溴-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(26)5.49g(89.9％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.36-0.41(4H,m),0.58(6H,t),0.96(4H,sex),1.91(3H,s),2.02(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.14(3H,s),3.78(2H,s),8.01-8.10(2H,m),8.12-8.19(2H,m),8.26-8.30(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):556
[实施例9]1-(7-氰基-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(32)的合成
反应1. 2-氰基-9H-芴(27)的合成
将2-溴芴(21)30.0g(0.12mol)加入至二甲基甲酰胺300mL后，加入氰化亚铜16.44g(0.18mol)，然后加热回流6小时。在反应物中加入蒸馏水300mL和乙酸乙酯300mL并搅拌30分钟左右，然后分离有机层，将分离的有机层用饱和氯化铵水溶液200mL洗涤后，用蒸馏水100mL洗涤3次，然后将回收的有机层的溶剂减压蒸馏。通过硅胶柱色谱(展开溶剂；二氯甲烷：正己烷＝1：5)精制，从而获得2-氰基-9H-芴(27)11.77g(51.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：7.35-7.42(3H,m),7.75-7.80(2H,d),8.21(1H,d),8.26(1H,dd)
MS(m/e):191
反应2. 1-(7-氰基-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(32)的合成
利用实施例7的反应1条件，将2-氰基-9H-芴(27)与正溴丁烷进行反应，合成2-氰基-9,9-二正丁基-9H-芴(28)后，利用实施例7的反应2至5的条件，获得1-(7-氰基-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(32)5.49g(89.9％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.33-0.39(4H,m),0.56(6H,t),0.97(4H,sex),1.90(3H,s),2.01(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.19(3H,s),3.76(2H,s),8.00-8.09(2H,m),8.12-8.20(2H,m),8.24-8.30(1H,m),8.37(1H,s)
MS(m/e):502
[实施例10]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮O,O-二乙酰二肟(35)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮二肟(34)与乙酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮O,O-二乙酰二肟(35)5.48g(90.2％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.97(6H,t),1.59(4H,q),1.90(3H,s),2.08(3H,s),2.20(3H,s),2.66(2H,t),2.91(2H,t),7.34-7.37(3H,m),7.74-7.78(2H,m),7.87-7.90(2H,m)
MS(m/e):434
[实施例11]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮O,O-二环己烷碳酰二肟(36)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮二肟(34)与环己基碳酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮O,O-二环己烷碳酰二肟(36)6.84g(85.6％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.97(6H,t),1.11-1.14(5H,m),1.33-1.38(5H,m),1.59(1H,m),1.90(3H,s),2.66(2H,t),3.45(2H,t),7.30-7.35(3H,m),7.70-7.76(2H,m),7.82-7.86(2H,m)
MS(m/e):571
[实施例12]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮O,O-二苯甲酰二肟(37)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮二肟(34)与苯甲酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)戊烷-1,4-二酮O,O-二苯甲酰二肟(37)6.90g(88.2％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.97(6H,t),1.90(3H,s),2.66(2H,t),3.45(2H,t),7.30-7.35(3H,m),7.70-7.76(2H,m),7.82-7.86(2H,m)
MS(m/e):559
[实施例13]2-环己基-1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(41)的合成
利用实施例1的反应5条件，将2-环己基-1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(40)与乙酰氯进行反应，获得2-环己基-1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(41)2.78g(92.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.89-0.92(5H,m),0.98(6H,t),1.32-1.36(6H,m),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.08(3H,s),2.11(3H,s),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):503
[实施例14]2-环戊基甲基-1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(45)的合成
利用实施例1的反应5条件，将2-环戊基甲基-1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(44)与乙酰氯进行反应，获得2-环戊基甲基-1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(45)2.75g(91.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.90(3H,t),1.20-1.66(11H,m),1.91(4H,q),2.01(3H,s),2.12(3H,s),3.25(1H,t),7.36-7.38(3H,m),7.77-7.81(2H,m),8.01-8.12(2H,d)
MS(m/e):503
[实施例15]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二丙酰二肟(46)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(5)与丙酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二丙酰二肟(46)5.99g(89.1％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.91(6H,t),1.09(6H,t),1.92(3H,s),2.01(4H,q),2.21(4H,m),2.89(2H,s),7.32-7.35(3H,m),7.68-7.75(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):449
[实施例16]1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(50)的合成
利用实施例7的反应2条件，将9,9-二正丁基-2-硝基-9H-芴(16)与丙酰氯进行反应，合成1-(9,9-二正丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-丙烷-1-酮(47)后，利用实施例7的反应3至5的条件，获得1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(50)2.67g(90.1％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.38-0.41(4H,m),0.60(6H,t),0.94(4H,sex),1.21(3H,t),1.84-1.92(4H,m),1.95(3H,s),2.08(3H,s),2.55(1H,q),7.88-7.92(2H,m),8.10-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.36(1H,s)
MS(m/e):534
[实施例17]1-(7-溴-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(54)的合成
利用实施例7的反应2条件，将2-溴-9,9-二正丁基-9H-芴(22)与丙酰氯进行反应，合成1-(7-溴-9,9-二正丁基-9H-芴-2-基)-丙烷-1酮(51)后，利用实施例7的反应3至5的条件，获得1-(7-溴-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(54)2.93g(90.5％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.37-0.40(4H,m),0.56(6H,t),0.92(4H,sex),1.20(3H,t),1.80-1.85(4H,m),1.92(3H,s),2.05(3H,s),2.50(1H,q),7.80-7.84(2H,m),8.02-8.08(2H,m),8.20-8.23(1H,m),8.30(1H,s)
MS(m/e):570
[实施例18]1-(7-氰基-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(58)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(7-氰基-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮二肟(57)与乙酰氯进行反应，获得1-(7-氰基-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)-2-甲基丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(58)2.65g(88.8％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.37-0.40(4H,m),0.55(6H,t),0.95(4H,sex),1.21(3H,t),1.80-1.85(4H,m),1.91(3H,s),2.04(3H,s),2.45(1H,q),7.76-7.80(2H,m),8.00-8.06(2H,m),8.15-8.20(1H,m),8.31(1H,s)
MS(m/e):516
[实施例19]1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)己烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(61)的制造
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)己烷-1,3-二酮二肟(60)与乙酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)己烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(61)5.79g(92.3％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.00(3H,t),1.61(2H,m),1.88(3H,s)1.91(4H,m),2.08(3H,s),2.11(2H,t),2.89(2H,s),7.34-7.38(3H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(3H,m)
MS(m/e):449
[实施例20]1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-3-苯基丙烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(64)的合成
利用实施例16的反应2条件，将1-(9,9-二正丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-乙酮(17)与无水苯甲酸乙酯进行反应，合成1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-3-苯基丙烷-1,3-二酮(62)后，利用实施例16的反应3至4条件，获得1-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-3-苯基丙烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(64)4.28g(91.7％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.35-0.41(4H,m),0.60(6H,t),0.95(4H,sex),2.00(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.11(3H,s),3.74(2H,s),7.52-7.62(3H,m),7.80(2H,d),8.00-8.10(2H,m),8.12-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):584
[实施例21]1-环己基-3-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丙烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(67)的合成
利用实施例16的反应2条件，将1-(9,9-二正丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)-乙酮(17)与环己烷羧酸甲酯进行反应，合成1-环己基-3-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丙烷-1,3-二酮(65)后，利用实施例16的反应3至4条件，获得1-环己基-3-(9,9-二丁基-7-硝基-9H-芴-2-基)丙烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(67)4.23g(89.7％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.35-0.41(4H,m),0.60(6H,t),0.95(4H,sex),1.01-1.11(6H,m),1.45-1.51(5H,m),2.00(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.11(3H,s),3.74(2H,s),8.00-8.10(2H,m),8.12-8.18(2H,m),8.24-8.27(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):590
[实施例22]1-(9,9-二丁基-7-甲基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(73)的合成
利用实施例7的反应1条件，将2-甲基芴(68)与乙酰氯进行反应，合成2-甲基-9,9-二正丁基-9H-芴(69)后，利用实施例7的反应2至5条件，获得1-(9,9-二丁基-7-溴-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(73)2.59g(85.9％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.36-0.41(4H,m),0.58(6H,t),0.96(4H,sex),1.91(3H,s),2.02(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.14(3H,s),2.40(3H,s),3.78(2H,s),8.01-8.10(2H,m),8.12-8.19(2H,m),8.26-8.30(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):491
[实施例23]1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(76)的合成
反应1. 1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(74)的合成
在反应器中加入苯基硼酸10.0g(0.082mol)、1-(7-溴-9,9-二丁基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(24)30.01g(0.068mol)和四(三苯基膦)钯(0)8.09g(0.007mol)，然后加入四氢呋喃300mL。在反应混合物中滴加2M-碳酸钾水溶液100mL。将反应混合物升温至60℃后搅拌。如果反应结束，则冷却至常温后加入乙酸乙酯200mL。加入精制水100mL将有机层洗涤，分离有机层后，将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(74)15.48g(51.9％)。
1H NMR(δppm；DMSO-d6)：0.38-0.42(4H,m),0.60(6H,t),0.91(4H,sex),2.05-2.13(4H,m),2.10(3H,s),3.75(2H,s),7.40-7.42(3H,m),7.72-7.75(2H,m),8.01-8.05(2H,m),8.12-8.20(2H,m),8.24-8.28(1H,m),8.37(1H,s)
MS(m/e):437
反应2. 1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(75)的合成
使1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮(74)10.00g(0.023mol)分散于乙醇100mL，加入盐酸羟胺4.80g(0.069mol)和乙酸钠5.66g(0.069mol)，然后将反应溶液缓慢升温进行回流反应1小时。将反应物冷却至室温，加入蒸馏水100mL和乙酸乙酯200mL后，搅拌30分钟左右分离有机层后，将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(75)9.37g(86.9％)。
1H NMR(δppm；DMSO-d6)：0.36-0.41(4H,m),0.60(6H,t),0.97(4H,sex),2.01-2.10(4H,m),2.12(3H,s),3.70(2H,s),7.38-7.40(3H,m),7.70-7.73(2H,m),8.02-8.10(2H,m),8.12-8.18(2H,m),8.25-8.28(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):469
反应3. 1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(76)的合成
在氮气气氛下，使1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮二肟(75)7.50g(0.016mol)溶解于乙酸乙酯100mL，将反应物保持在-5℃后，加入三乙胺3.54g(0.035mol)，将反应溶液搅拌30分钟，然后缓慢加入乙酰氯2.75g(0.035mol)，一边注意防止反应物升温一边搅拌30分钟。然后，将蒸馏水100mL缓慢加入至反应物并搅拌30分钟，分离有机层后，将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二丁基-7-苯基-9H-芴-2-基)丁烷-1,3-二酮O,O-二乙酰二肟(76)8.04g(90.9％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.36-0.41(4H,m),0.58(6H,t),0.96(4H,sex),1.91(3H,s),2.02(3H,s),2.06-2.13(4H,m),2.14(3H,s),3.78(2H,s),7.38-7.40(3H,m),7.70-7.73(2H,m),8.01-8.10(2H,m),8.12-8.19(2H,m),8.26-8.30(1H,m),8.38(1H,s)
MS(m/e):553
[实施例24]1-(9,9-二乙基-7-苯基-9H-芴-2-基)丙烷-1,2-二酮O,O-二乙酰二肟(79)的合成
利用实施例1的反应5条件，将1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-1,2-丙二酮二肟(78)与乙酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-苯基-9H-芴-2-基)丙烷-1,2-二酮O,O-二乙酰二肟(79)8.93g(70.9％)。
1H NMR(δppm；CDCl3)：0.33(6H,t),2.01(4H,q),2.09(3H,s),2.13(3H,s),2.42(3H,s),7.26(2H,t),7.31-7.36(3H,m),7.75(2H,d)
MS(m/e):406
[实施例25]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(84)的制造
反应1. 9,9-二乙基-9H-芴(81)合成
在氮气气氛下，使芴(80)200.0g(1.20mol)、氢氧化钾268.8g(4.80mol)和碘化钾19.9g(0.12mol)溶解于无水二甲基亚砜1L，将反应物保持在15℃，然后用2小时缓慢加入溴乙烷283.3g(2.60mol)，将反应物在15℃搅拌1小时。然后，在反应物中加入蒸馏水2L并搅拌30分钟后，用二氯甲烷提取生成物，将提取的有机层用蒸馏水洗涤，然后将回收的有机层用无水硫酸镁干燥，将溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得9,9-二乙基-9H-芴(81)248.6g(93.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.31(6H,t),2.0(4H,q),7.26-7.31(6H,m),7.68(2H,d)
MS(m/e)：222
反应2. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮(82)的合成
使9,9-二乙基-9H-芴(81)100.5g(0.45mol)溶解于二氯甲烷1L，将反应物冷却至-5℃后，缓慢加入氯化铝151.8g(1.14mol)，然后一边注意防止反应物的温度上升一边用2小时缓慢加入稀释于二氯甲烷100mL的乙酰氯88.8g(1.14mol)，并将反应物在-5℃搅拌1小时。然后，将反应物缓慢放入冰水中并搅拌30分钟，分离有机层后，用蒸馏水洗涤，将回收的有机层减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮(82)81.6g(59.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.82(6H,t),1.91(4H,q),2.53(6H,s),7.35-7.36(2H,m),7.75(2H,t),7.97(2H,d)
MS(m/e):306
反应3. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(83)的合成
使1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮(82)10.0g(0.033mol)分散于乙醇100mL，加入盐酸羟胺5.77g(0.083mol)和乙酸钠6.81g(0.083mol)后，将反应溶液缓慢升温并回流反应1小时。将反应物冷却至室温，加入蒸馏水100mL和乙酸乙酯200mL后，搅拌30分钟左右，分离有机层后，用无水硫酸镁干燥，将溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(83)7.58g(68.3％)。
1H-NMR(δppm；DMSO-d6)：0.98(6H,t),1.86(6H,s)1.91(4H,m),2.89(2H,s),7.34-7.38(2H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(2H,m),11.05(2H,s)
MS(m/e):336
反应4. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(84)的合成
在氮气气氛下，使1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(83)5.0g(0.015mol)溶解于乙酸乙酯50mL，将反应物保持在-5℃后加入三乙胺3.84g(0.038mol)并将反应溶液搅拌30分钟，然后缓慢加入乙酰氯3.01g(0.038mol)，一边注意防止反应物升温一边搅拌30分钟。然后将蒸馏水缓慢加入至反应物，搅拌30分钟，分离有机层后，将回收的有机层用无水硫酸镁干燥，将溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(84)4.87g(77.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(6H,s)1.91(4H,m),2.08(6H,s),2.11(6H,s),2.89(2H,s),7.34-7.38(2H,m),7.80-7.86(2H,m),8.01-8.12(2H,m)
MS(m/e):421
[实施例26]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(87)的制造
反应1. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(85)的合成
利用实施例25的反应2条件，将9,9-二乙基-9H-芴(81)与丙酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(85)(58.6％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.28(6H,s)1.91(4H,m),3.06(4H,q),7.35-7.36(2H,m),7.76(2H,t),7.98(2H,d)
MS(m/e):334
反应2. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(86)的合成
使1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(85)15.0g(0.045mol)溶解于四氢呋喃(THF)200mL，依次加入溶解于1,4-二烷的4N HCl50mL和亚硝酸异丁酯13.9g(0.135mol)，将反应物在25℃搅拌6小时。然后在反应溶液中加入乙酸乙酯并搅拌30分钟，分离有机层后，用蒸馏水洗涤，然后将回收的有机层的溶剂减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(86)8.67g(49.1％)。
1H-NMR(δppm；DMSO-d6)：0.92(6H,t),1.26(6H,s)1.88(4H,m),7.34-7.36(2H,m),7.75(2H,t),7.98(2H,d),10.91(2H,s)
MS(m/e)：392
反应3. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(87)的合成
利用实施例25的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(86)与乙酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(87)(75.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.92(6H,t),1.26(6H,s)1.88(4H,m),2.05(6H,s),7.35(2H,m),7.79(2H,t),8.00(2H,d)
MS(m/e):477
[实施例27]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-苯甲酰肟)(88)的制造
利用实施例25的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(83)与苯甲酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-苯甲酰肟)(88)(76.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.92(6H,t),1.26(6H,s)1.88(4H,m),2.05(6H,s),7.35(2H,m),7.45(4H,t),7.66(2H,t),7.79(2H,t),8.00(2H,d),8.11(4H,d)
MS(m/e):544
[实施例28]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-环己烷碳酰肟)(89)的制造
利用实施例25的反应4条件，使用1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(83)和环己基碳酰氯，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-环己烷碳酰肟)(89)(70.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.21(6H,s)1.50-1.80(10H,m),1.7(5H,m),1.89-2.20(11H,m),8.01-8.12(4H,m),8.20(2H,s)
MS(m/e):557
[实施例29]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-苯甲酰肟)(90)的制造
利用实施例25的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'双(肟)(86)与苯甲酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-苯甲酰肟)(90)(65.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(6H,s)1.92(4H,m),7.65-7.7(4H,m),7.90-7.93(2H,m),8.10-8.15(6H,m)
MS(m/e):601
[实施例30]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-环己烷碳酰肟)(91)的制造
利用实施例25的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'双(肟)(86)与环己基碳酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-环己烷碳酰肟)(91)(61.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.2(6H,s)1.52-1.82(10H,m),1.60-1.93(5H,m),1.89-2.31(11H,m),7.90-7.94(2H,m),8.01-8.04(2H,m),8.12(2H,s)
MS(m/e):613
[实施例31]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-乙酰肟)(93)的制造
反应1. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(92)的合成
利用实施例1的反应3条件，由1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(86)获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(92)(58.3％)。
1H-NMR(δppm；DMSO-d6)：0.98(6H,t),1.88-1.92(10H,m),8.01-8.10(4H,m),8.15-8.19(2H,m),11.04(2H,s),11.08(2H,s)
MS(m/e):422
反应2. 1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-乙酰肟)(93)的合成
利用实施例1的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(92)与乙酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-乙酰肟)(93)(65.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88-1.91(10H,m),2.08(12H,s),8.0-8.10(4H,m),8.18-8.21(2H,m)
MS(m/e):591
[实施例32]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-苯甲酰肟)(94)的制造
利用实施例31的反应2条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(92)与苯甲酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-苯甲酰肟)(94)(56.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.89-1.92(10H,m),7.62-7.68(8H,m),7.75-7.80(4H,m),8.01-8.16(12H,m),8.19-8.22(2H,m)
MS(m/e):839
[实施例33]1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-环己烷碳酰肟)(95)的制造
利用实施例31的反应2条件，将1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(92)与环己基碳酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-环己烷碳酰肟)(95)(55.9％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.98(6H,t),1.2(12H,s)1.38-1.55(20H,m),1.60-1.63(10H,m),1.88-2.30(12H,m),8.02-8.08(4H,m),8.18(2H,s)
MS(m/e):863
[实施例34]1-(9,9-二乙基-7-(1-(乙酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-乙酰肟(99)的制造
反应1. 1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-1-丙酮(96)的合成
使9,9-二乙基-9H-芴(81)100.5g(0.45mol)溶解于二氯甲烷1L，将反应物冷却至-5℃后，缓慢加入氯化铝72.3g(0.54mol)，然后一边注意防止反应物的温度上升一边用2小时缓慢加入稀释于二氯甲烷50mL的丙酰氯50.1g(0.54mol)，并将反应物在-5℃搅拌1小时。然后，将反应物缓慢放入冰水1L中并搅拌30分钟，分离有机层后，用蒸馏水500mL洗涤，将回收的有机层减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得淡黄色固体1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-1-丙酮(96)75.8g(60.6％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.20(3H,t),1.93(4H,q),2.54(2H,q),7.25-7.35(2H,m),7.52-7.54(1H,m),7.84-7.92(2H,m),8.03-8.15(2H,m)
MS(m/e):278
反应2. 1-(9,9-二乙基-7-丙酰-9H-芴-2-基)-1-庚酮(97)的合成
使1-(9,9-二乙基-9H-芴-2-基)-1-丙酮(96)10.0g(0.036mol)溶解于二氯甲烷100mL，将反应物冷却至-5℃后，缓慢加入氯化铝5.76g(0.043mol)，然后一边注意防止反应物的温度上升一边缓慢加入稀释于二氯甲烷10mL的庚酰氯6.39g(0.043mol)，并将反应物在-5℃搅拌1小时。然后，将反应物缓慢放入冰水100mL中并搅拌30分钟，分离有机层后，用蒸馏水50mL洗涤，将回收的有机层减压蒸馏，并将所得的生成物通过硅胶柱色谱(展开溶剂；乙酸乙酯：正己烷＝1：4)精制，从而获得1-(9,9-二乙基-7-丙酰-9H-芴-2-基)-1-庚酮(97)7.83g(55.7％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.08(3H,t),1.28-1.35(6H,m),1.46-1.48(2H,m),1.92(4H,q),2.60(2H,q),2.96(2H,t),7.89-7.92(2H,m),8.03-8.13(4H,m)
MS(m/e):390
反应3. 1-(9,9-二乙基-7-(1-(羟基亚氨基)丙基)-9H-芴-2-基)-1-庚酮肟(98)的合成
利用实施例1的反应3条件，由1-(9,9-二乙基-7-丙酰-9H-芴-2-基)-1-庚酮(97)获得1-(9,9-二乙基-7-(1-(羟基亚氨基)丙基)-9H-芴-2-基)-1-庚酮肟(98)(65.3％)。
1H-NMR(δppm；DMSO-d6)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.09(3H,t),1.29-1.33(6H,m),1.48-1.50(2H,m),1.92(4H,q),2.72-2.76(4H,m),8.02-8.08(4H,m),8.18(2H,s),11.01(1H,s),11.09(1H,s)
MS(m/e):420
反应4. 1-(9,9-二乙基-7-(1-(乙酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-乙酰肟(99)的合成
利用实施例1的反应4条件，将1-(9,9-二乙基-7-(1-(羟基亚氨基)丙基)-9H-芴-2-基)-1-庚酮肟(98)与乙酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-(1-(乙酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-乙酰肟(99)(71.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.08(3H,t),1.29-1.33(6H,m),1.51(2H,m),1.92(4H,q),2.20(4H,s),2.72-2.76(4H,m),8.02-8.08(4H,m),8.18(2H,s)
MS(m/e):504
[实施例35]1-(9,9-二乙基-7-(1-(苯甲酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-苯甲酰肟(100)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(9,9-二乙基-7-(1-(羟基亚氨基)丙基)-9H-芴-2-基)-1-庚酮肟(98)与苯甲酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-(1-(苯甲酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-苯甲酰肟(100)(60.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.08(3H,t),1.29-1.33(6H,m),1.51(2H,m),1.92(4H,q),2.72-2.76(4H,m),7.60-7.65(4H,m),7.76-7.79(2H,m),8.02-8.08(4H,m),8.18-8.22(6H,m)
MS(m/e):628
[实施例36]1-(9,9-二乙基-7-(1-(环己烷碳酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-环己烷碳酰肟(101)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(9,9-二乙基-7-(1-(羟基亚氨基)丙基)-9H-芴-2-基)-1-庚酮肟(98)与环己基碳酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-(1-(环己烷碳酰氧基亚氨基)丙基)-9H-芴-2基)-1-庚酮-O-环己烷碳酰肟(101)(58.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.08(3H,t),1.12-1.14(6H,m),1.29-1.33(6H,m),1.38-1.50(6H,m),1.52-1.54(2H,m),1.59-1.62(5H,m),1.76-1.79(4H,m),1.92-2.23(5H,m),2.72-2.76(4H,m)8.02-8.08(4H,m),8.18-8.22(2H,m)
MS(m/e):641
[实施例37]1-(9,9-二乙基-7-(2-(乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-2-O-乙酰肟(103)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(9,9-二乙基-7-(2-(羟基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2-基)-1,2-庚二酮-2-肟(102)与乙酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-(2-(乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-2-O-乙酰肟(103)(65.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.29-1.33(6H,m),1.45-1.50(2H,m),1.88-1.92(7H,m),2.09(6H,s),7.90-7.93(2H,m),8.02-8.10(4H,m)
MS(m/e):532
[实施例38]1-(9,9-二乙基-7-(2-(苯甲酰氧基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-2-O-苯甲酰肟(104)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(9,9-二乙基-7-(2-(羟基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2-基)-1,2-庚二酮-2-肟(102)与苯甲酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-(2-(苯甲酰氧基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-2-O-苯甲酰肟(104)(55.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.90(3H,t),0.97(6H,t),1.29-1.35(6H,m),1.47-1.50(2H,m),1.88-1.93(7H,m),7.63-7.67(4H,m),7.75-7.78(2H,m),7.93-8.03(4H,m),8.10-8.15(6H,m)
MS(m/e):657
[实施例39]1-(9,9-二乙基-7-(2-(环己烷碳酰氧基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-2-O-环己烷碳酰肟(105)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(9,9-二乙基-7-(2-(羟基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2-基)-1,2-庚二酮-2-肟(102)与环己基碳酰氯进行反应，获得1-(9,9-二乙基-7-(2-(环己烷碳酰氧基亚氨基)丙酰)-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-2-O-环己烷碳酰肟(105)(55.0％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.12-1.14(6H,m),1.29-1.33(6H,m),1.52-1.54(2H,m),1.59-1.62(5H,m),1.69-1.81(10H,m),1.92-2.23(8H,m),7.91-7.93(2H,m),8.02-8.10(4H,m)
MS(m/e):669
[实施例40]1-(7-(1,2-(双乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(O-乙酰肟)(107)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(7-(1,2-(双乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(肟)(27)与乙酰氯进行反应，获得1-(7-(1,2-(双乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(O-乙酰肟)(28)(66.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.98(6H,t),1.29-1.35(6H,m),1.49-1.51(2H,m),1.89-1.92(7H,m),2.10(12H,s),8.01-8.10(4H,m),8.19(2H,s)
MS(m/e):647
[实施例41]1-(7-(1,2-(双苯甲酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(O-苯甲酰肟)(108)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(7-(1,2-(双乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(肟)(106)与苯甲酰氯进行反应，获得1-(7-(1,2-(双苯甲酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(O-苯甲酰肟)(108)(52.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.97(6H,t),1.29-1.35(6H,m),1.49-1.51(2H,m),1.89-1.92(7H,m),7.63-7.66(8H,m),7.78-7.80(4H,m),8.01-8.10(4H,m),8.14-8.20(10H,m)
MS(m/e):895
[实施例42]1-(7-(1,2-(双环己烷碳酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(O-环己烷碳酰肟)(109)的制造
利用实施例34的反应4条件，将1-(7-(1,2-(双乙酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(肟)(106)与环己基碳酰氯进行反应，获得1-(7-(1,2-(双环己烷碳酰氧基亚氨基)丙酰)-9,9-二乙基-9H-芴-2基)-1,2-庚二酮-1,2-双(O-环己烷碳酰肟)(109)(50.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.91(3H,t),0.96(6H,t),1.12-1.14(12H,m),1.29-1.33(6H,m),1.52-1.54(2H,m),1.59-1.62(10H,m),1.69-1.81(20H,m),1.92-2.23(9H,m),7.91-7.93(2H,m),8.02-8.10(4H,m)
MS(m/e):919
[实施例43]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(114)的制造
反应1. 9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴(111)合成
利用实施例1的反应1条件，将4-硝基芴(110)与溴乙烷进行反应，获得9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴(111)(88.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),2.0(4H,q),7.26-7.30(2H,m),7.54-7.55(2H,m),7.84-7.93(3H,m)
MS(m/e)：267
反应2. 1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮(112)的合成
利用实施例1的反应2条件，将9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴(111)与乙酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮(112)(59.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.90(4H,q),2.55(6H,s),7.94-7.95(2H,m),8.15(1H,s),8.54(1H,s),8.91(1H,s)
MS(m/e):351
反应3. 1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(113)的合成
利用实施例1的反应3条件，由1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮(112)获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(113)(61.3％)。
1H-NMR(δppm；DMSO-d6)：0.96(6H,t),1.89(6H,s),1.92(4H,q),8.02-8.08(2H,m),8.19(1H,s),8.58(1H,s),8.91(1H,s),11.01(1H,s),11.03(2H,s)
MS(m/e):381
反应4. 1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(114)的合成
利用实施例1的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(113)与乙酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(114)(70.7％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.89(6H,s),1.92(4H,q),2.08(6H,s),8.02-8.08(2H,m),8.19(1H,s),8.58(1H,s),8.91(1H,s)
MS(m/e):465
[实施例44]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-苯甲酰肟)(115)的制造
利用实施例43的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(113)与苯甲酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-苯甲酰肟)(115)(63.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.89(6H,s),1.92(4H,q),7.64-7.66(4H,m),7.78-7.80(2H,m),8.02-8.05(2H,m),8.14-8.19(5H,s),8.58(1H,s),8.91(1H,s)
MS(m/e):590
[实施例45]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-环己烷碳酰肟)(116)的制造
利用实施例43的反应4条件，将1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(肟)(113)与环己基碳酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-乙酮-1,1'-双(O-环己烷碳酰肟)(116)(61.3％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.1-1.2(6H,m),1.39-1.54(5H,m),1.60-1.62(5H,m),1.89-1.91(7H,m),2.25-2.27(1H,m),8.02-8.05(2H,m),8.19(1H,s),8.58(1H,s),8.91(1H,s)
MS(m/e):602
[实施例46]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(119)的制造
利用实施例26的反应1条件，将9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴(111)与丙酰氯进行反应，合成1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(117)后，利用实施例26的反应2至3条件，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(119)(67.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(6H,s),1.91(4H,q),2.08(6H,s),7.92(1H,d),8.01(1H,d),8.18(1H,s),8.57(1H,s),8.94(1H,s)
MS(m/e):522
[实施例47]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-苯甲酰肟)(120)的制造
利用实施例46的反应3条件，将1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(118)与苯甲酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-苯甲酰肟)(120)(61.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(6H,s),1.91(4H,q),7.63-7.65(4H,m),7.78-7.80(2H,m),7.93-8.03(2H,m),8.03-8.14(5H,m),8.49(1H,m),8.84(1H,s)
MS(m/e):646
[实施例48]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-环己烷碳酰肟)(121)的制造
利用实施例46的反应3条件，1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(118)与环己基碳酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-环己烷碳酰肟)(121)(56.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.11-1.13(6H,m),1.39-1.54(10H,m),1.59-1.61(5H,m),1.88(6H,s),1.91(4H,q),2.27(1H,m),7.93-8.03(2H,m),8.14(1H,m),8.49(1H,m),8.84(1H,s)
MS(m/e):658
[实施例49]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-乙酰肟)(123)的制造
利用实施例26的反应2条件，由1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(118)合成1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(122)后，利用实施例26的反应3条件，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-乙酰肟)(123)(66.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(6H,s),1.91(4H,q),2.08(12H,s),8.01-8.08(2H,m),8.18(1H,s),8.57(1H,s),8.94(1H,s)
MS(m/e):636
[实施例50]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-苯甲酰肟)(124)的制造
利用实施例49的反应2条件，将1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(122)与苯甲酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-苯甲酰肟)(124)(56.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.88(6H,s),1.91(4H,q),7.63-7.65(8H,m),7.77-7.79(4H,m),8.01-8.08(2H,m),8.14-8.19(9H,m),8.57(1H,s),8.94(1H,s)
MS(m/e):884
[实施例51]1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-环己烷碳酰肟)(125)的制造
利用实施例49的反应2条件，将1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(肟)(122)与环己基碳酰氯进行反应，获得1,1'-(9,9-二乙基-4-硝基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-1,1',2,2'-四(O-环己烷碳酰肟)(125)(55.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.12-1.14(12H,m),1.59-1.62(10H,m),1.69-1.81(20H,m),1.87-1.89(6H,s),1.90-1.92(4H,q),2.25-2.28(2H,m),8.01-8.08(2H,m),8.18(1H,s),8.57(1H,s),8.94(1H,s)
MS(m/e):908
[实施例52]1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(131)的制造
反应1. 4-溴-9,9-二乙基-9H-芴(127)的合成
利用实施例25的反应1条件，将4-溴芴(126)与溴乙烷进行反应，获得4-溴-9,9-二乙基-9H-芴(127)(78.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.96(6H,t),1.92(4H,q),7.17-7.28(2H,m),7.54-7.55(2H,m),7.84-7.93(3H,m)
MS(m/e):301
反应2. 4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴(128)的合成
使4-溴-9,9-二乙基-9H-芴(127)30.1g(0.10mol)溶解于N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)200mL，加入氰化亚铜13.43g(0.15mol)，然后将反应溶液缓慢升温，进行回流反应3小时。在反应物中加入蒸馏水和乙酸乙酯并搅拌30分钟左右后，分离有机层，将分离的有机层依次用饱和氯化铵水溶液和蒸馏水洗涤3次后，将回收的有机层用无水硫酸镁干燥，将溶剂减压蒸馏后，通过硅胶柱色谱(展开溶剂；二氯甲烷：正己烷＝1：4)精制，从而获得4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴(128)12.66g(51.6％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.95(6H,t),1.91(4H,q),7.17-7.28(2H,m),7.64-7.69(2H,m),7.84-7.93(3H,m)
MS(m/e):247
反应3. 1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(129)的合成
利用实施例25的反应2条件，将4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴(128)与丙酰氯进行反应，获得1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(129)(51.2％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.94(6H,t),1.19(6H,t),1.91(4H,q),2.52(4H,q),7.92(1H,d),8.01(1H,d),8.18(1H,s),8.57(1H,s),8.94(1H,s)
MS(m/e):359
反应4. 1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(130)的合成
利用实施例25的反应3条件，由1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1-丙酮(129)获得1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(130)(46.3％)。
1H-NMR(δppm；DMSO-d6)：0.95(6H,t),1.89(6H,s),1.91(4H,q),7.93(1H,d),8.00(1H,d),8.17(1H,s),8.55(1H,s),8.92(1H,s),10.96(1H,s),11.00(1H,s)
MS(m/e)：417
反应5. 1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(131)的合成
利用实施例25的反应4条件，将1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(肟)(130)与乙酰氯进行反应，获得1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-1,2-丙二酮-2,2'-双(O-乙酰肟)(131)(60.1％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.95(6H,t),1.88(6H,s),1.90(4H,q),2.08(6H,s),7.92(1H,d),8.02(1H,d),8.17(1H,s),8.55(1H,s),8.92(1H,s)
MS(m/e):501
[实施例53]1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-丙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(133)的制造
利用实施例52的反应5条件，将1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-丙酮-1,1'-双(肟)(132)与乙酰氯进行反应，获得1,1'-(4-氰基-9,9-二乙基-9H-芴-2,7-二基)双-丙酮-1,1'-双(O-乙酰肟)(133)(71.7％)。
1H-NMR(δppm；CDCl3)：0.95(6H,t),1.05(6H,t),1.89(6H,s),2.08(6H,s),2.73(4H,q),8.02-8.08(2H,m),8.19(1H,s),8.58(1H,s),8.91(1H,s)
MS(m/e):473
(粘合剂树脂的制造)
a)粘合剂树脂1的制造
在500mL聚合容器中添加丙二醇甲醚乙酸酯(Propylene Glycol Methyl EtherAcetate；PGMEA)200mL和AIBN(azobisisobutyronitrile；偶氮二异丁腈)1.5g后，添加将甲基丙烯酸、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸甲酯和丙烯酸二环戊基酯分别以20:20:40:20的摩尔比含有的丙烯酸单体的固体成分40重量％，然后在氮气气氛下，在70℃搅拌5小时而使其聚合，从而制造作为丙烯酸聚合物的粘合剂树脂1。确认到，这样制造的共聚物的平均分子量为25000，分散度为1.9。
b)粘合剂树脂2的制造
在500mL聚合容器中添加丙二醇甲醚乙酸酯200mL和AIBN 1.0g后，添加将甲基丙烯酸、苯乙烯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环己酯分别以40:20:20:20的摩尔比含有的丙烯酸单体的固体成分40重量％，然后在氮气气氛下，在70℃搅拌5小时而使其聚合，合成共聚物。在该反应器中添加N,N-二甲基苯胺0.3g、以及相对于全部单体的固体成分100摩尔为20摩尔的甲基丙烯酸缩水甘油酯，然后在100℃搅拌10小时，从而制造作为在侧链具有丙烯酸不饱和键的丙烯酸聚合物的粘合剂树脂2。确认到，这样制造的共聚物的平均分子量为20000，分散度为2.0。
c)粘合剂树脂3的制造
在500mL聚合容器中添加丙二醇甲醚乙酸酯200mL和AIBN 1.0g后，添加将甲基丙烯酸缩水甘油酯、苯乙烯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环己酯分别以40:20:20:20的摩尔比含有的丙烯酸单体的固体成分40重量％，然后在氮气气氛下，在70℃搅拌5小时而使其聚合，合成共聚物。在该反应器中添加N,N-二甲基苯胺0.3g、以及相对于全部单体的固体成分100摩尔为20摩尔的丙烯酸，然后在100℃搅拌10小时，从而制造作为在侧链具有丙烯酸不饱和键的丙烯酸聚合物的粘合剂树脂3。确认到，这样制造的共聚物的平均分子量为18000，分散度为1.8。
[实施例54至88]光致抗蚀剂组合物的制造
在设置有紫外线屏蔽膜和搅拌器的反应混合槽中，按照下述表1中记载的成分和含量，依次添加粘合剂树脂1至3、光反应性化合物、根据本发明的光聚合引发剂、以及作为添加剂的FC-430(3M公司的流平剂)，在常温(23℃)下搅拌后，以组合物总量达到100重量％的方式加入作为溶剂的PGMEA(丙二醇单甲基醚乙酸酯)，制造光致抗蚀剂组合物。
[实施例89至90]黑矩阵(Black Matrix)光致抗蚀剂组合物的制造
如表1中所记载，在设置有紫外线屏蔽膜和搅拌器的反应混合槽中，依次添加20重量％粘合剂树脂1、二季戊四醇六丙烯酸酯10重量％、根据本发明的光聚合引发剂0.5重量％、以固体成分25重量％分散于PGMEA的炭黑50重量％和FC-430(3M公司的流平剂，0.1重量％)，在常温搅拌后，以组合物总量达到100重量％的方式加入作为溶剂的PGMEA，制造黑矩阵光致抗蚀剂组合物。
此外，利用上述方法制造的黑矩阵光致抗蚀剂组合物的评价是在玻璃基板上实施的，测定其敏感度、残膜率、图案稳定性、耐化学性和柔性等性能，并将该评价结果示于下述表2。
[实施例91至92]红色光致抗蚀剂组合物的制造
如表1中所记载，上述实施例46中，代替炭黑而使用固体成分25重量％的颜料红177(P.R.177)分散液50重量％，除此之外，利用相同的方法，制造红色光致抗蚀剂组合物。
[表1]
[比较例1]光致抗蚀剂组合物的制造
作为光聚合引发剂，代替实施例1而使用述化学式B的光聚合引发剂，除此之外，利用与上述实施例54相同的方法，制造光致抗蚀剂组合物。
[化学式B]
[比较例2]光致抗蚀剂组合物的制造
作为光聚合引发剂，代替实施例1而使用“3-(乙酰氧基亚氨基)-1-(6-硝基-9H-芴-3-基)丙烷-1-酮”，除此之外，利用与上述实施例54相同的方法，制造光致抗蚀剂组合物。
[试验例]光致抗蚀剂组合物评价
上述实施例54至92以及比较例1至2中制造的光致抗蚀剂组合物的评价是在玻璃基板上实施的，测定光致抗蚀剂组合物的敏感度、残膜率、图案稳定性、耐化学性和柔性等性能，并将该评价结果示于表2。
1)敏感度
在玻璃基板上旋涂光致抗蚀剂，在热板上于100℃干燥1分钟后，利用步进(step)掩模曝光后，在0.04％KOH水溶液中进行显影。将步进掩模图案的厚度维持初始厚度的80％的曝光量作为敏感度进行评价。
2)残膜率
利用旋涂机，将光致抗蚀剂组合物涂布于基板上后，在100℃预烘(prebake)1分钟，在365nm下曝光后，在230℃实施后烘(postbake)20分钟，测定抗蚀剂膜的后烘前后的厚度比率(％)。
3)图案稳定性
将形成有光致抗蚀剂图案的硅片沿着孔(Hole)图案的垂直方向切断，示出在图案的截面方向上利用电子显微镜观察的结果。将图案侧壁(side wall)相对于基板以55度以上的角度竖立、且膜未减少者判定为“良好”，将被认定为膜减少者判定为“膜减”。
4)耐化学性
利用旋涂机，将光致抗蚀剂组合物涂布于基板上后，将通过预烘(prebake)和后烘(postbake)等工序而形成的抗蚀剂膜在剥离剂(Stripper)溶液中、于40℃浸渍10分钟，然后观察抗蚀剂膜的透过率和厚度是否有变化。当透过率和厚度的变化为2％以下时，判定为“良好”，当透过率和厚度的变化为大于2％时，判定为“不良”。
5)柔性
利用旋涂机，将光致抗蚀剂组合物涂布于基板上后，在100℃预烘(prebake)1分钟，以光致抗蚀剂的敏感度曝光后，用KOH水溶液进行显影，形成20μm×20μm的图案。将所形成的图案在230℃实施后烘(postbake)20分钟而使其交联，对于该图案利用纳米压痕仪(Nano indentor)测定柔性。关于纳米压痕仪的测定，采用5g.f负荷，当总变化量为500nm以上时，判定为“良好”，当小于500nm时，判定为“不良”。
[表2]
由上述表2确认，根据本发明的肟酯衍生物化合物在以光致抗蚀剂组合物的光聚合引发剂使用时，即使使用少量，敏感度也非常优异，且残膜率、图案稳定性、耐化学性和柔性等物性优秀，因此能够使在TFT-LCD制造工序中的曝光和后烘工序中由光聚合引发剂产生的释气最小化而能够减少污染，能够使由此产生的不良最小化。

Claims (9)

1.一种肟酯衍生物化合物，其由下述化学式2至4表示：
化学式2
化学式3
化学式4
所述化学式2至4中，
R1至R5各自独立地为氢、卤素、C1-C20烷基、C6-C20芳基、C1-C20烷氧基、C6-C20芳基C1-C20烷基、羟基C1-C20烷基、羟基C1-C20烷氧基C1-C20烷基、C3-C20环烷基或C3-C20环烷基C1-C20烷基；
A为氢、卤素、C1-C20烷基、C6-C20芳基、C6-C20芳基C1-C20烷基、氨基、硝基、氰基或羟基；
m为选自0至2中的整数；
a和b为0或1的整数。
2.根据权利要求1所述的肟酯衍生物化合物，其中，所述R1至R5各自独立地选自氢、溴、氯、碘、甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、苄基、羟基甲基、羟基乙基、羟基丙基、羟基丁基、羟基戊基、羟基己基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基乙基、羟基乙氧基丙基、羟基乙氧基丁基、羟基乙氧基戊基、羟基乙氧基己基、环丙基、环戊基、环己基、环丙基甲基、环戊基甲基和环己基甲基。
3.根据权利要求1所述的肟酯衍生物化合物，其中，所述A选自氢、溴、氯、甲基、乙基、丙基、丁基、苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基、菲基、苄基、氨基、硝基、氰基和羟基。
4.一种光聚合引发剂，其包含权利要求1所述的肟酯衍生物化合物。
5.一种光致抗蚀剂组合物，其包含权利要求1所述的肟酯衍生物化合物、粘合剂树脂和光反应性化合物。
6.根据权利要求5所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于，相对于光致抗蚀剂组合物共100重量％，所述肟酯衍生物化合物包含0.01至10重量％。
7.根据权利要求5所述的光致抗蚀剂组合物，其中，所述光致抗蚀剂组合物中进一步包含着色材料。
8.一种成型物，其包含权利要求5或7所述的光致抗蚀剂组合物的固化物。
9.一种显示装置，其包含权利要求8所述的成型物。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101834209B1 (ko) * 2016-11-25 2018-03-06 주식회사 삼양사 광중합 개시제 및 이를 포함하는 차광용 감광성 수지 조성물
KR101840584B1 (ko) * 2017-01-17 2018-03-20 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 화상표시장치
CN106831487B (zh) * 2017-01-22 2018-12-07 苏州楚凯药业有限公司 有机电子产品中间体芴类衍生物的制备方法
US11118065B2 (en) * 2017-02-17 2021-09-14 Changzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co., Ltd. Fluorenylaminoketone photoinitiator, preparation method thereof, and UV photocurable composition containing same
JP7051321B2 (ja) * 2017-07-21 2022-04-11 東京応化工業株式会社 感光性組成物、パターン形成方法、硬化物、及び表示装置
CN107445861A (zh) * 2017-08-04 2017-12-08 吴赣药业（苏州）有限公司 一种2‑硝基‑7‑乙酰肟基‑9,9‑二丁基芴的制备方法
KR20200135308A (ko) * 2018-03-27 2020-12-02 가부시키가이샤 아데카 화합물, 라디칼 중합 개시제, 조성물, 경화물 및 경화물의 제조 방법
WO2020031986A1 (ja) * 2018-08-07 2020-02-13 株式会社Adeka カルバモイルオキシム化合物並びに該化合物を含有する重合開始剤及び重合性組成物
CN112010788B (zh) * 2019-05-31 2022-10-21 常州强力先端电子材料有限公司 一种非离子型肟酯类光产酸剂
CN110668971A (zh) * 2019-10-24 2020-01-10 重庆沃肯精细化工有限公司 一种不对称芴肟酯化合物及其制备方法和光敏性组合物
CN112851547A (zh) * 2019-11-12 2021-05-28 常州强力先端电子材料有限公司 芴肟酯类化合物及其制备方法、感光性树脂组合物
JP2021167905A (ja) * 2020-04-10 2021-10-21 東京応化工業株式会社 感光性組成物、パターン化された硬化膜の製造方法、及びパターン化された硬化膜
JP2021167906A (ja) * 2020-04-10 2021-10-21 東京応化工業株式会社 感光性組成物、パターン化された硬化膜の製造方法、及びパターン化された硬化膜

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1299812A (zh) * 1999-12-15 2001-06-20 西巴特殊化学品控股有限公司 肟酯光引发剂
CN1697856A (zh) * 2003-01-10 2005-11-16 韩国化学研究院 光聚合组合物和由其制备的光聚合薄膜
JP2010156879A (ja) * 2008-12-29 2010-07-15 Fujifilm Corp 感光性組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
WO2013165207A1 (ko) * 2012-05-03 2013-11-07 한국화학연구원 신규한 옥심에스테르 플로렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
WO2014050738A1 (ja) * 2012-09-28 2014-04-03 ダイトーケミックス株式会社 フルオレン系化合物、該フルオレン系化合物を含む光重合開始剤、および、該光重合開始剤を含む感光性組成物
JP2014137466A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Jsr Corp 感放射線性着色組成物、着色硬化膜及び表示素子
KR101435652B1 (ko) * 2014-01-17 2014-08-28 주식회사 삼양사 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
JP2015011095A (ja) * 2013-06-27 2015-01-19 凸版印刷株式会社 フォトスペーサー形成用感光性樹脂組成物及びカラーフィルタ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101567837B1 (ko) * 2013-06-11 2015-11-11 애경화학 주식회사 플루오렌 구조를 갖는 신규한 광개시제 및 이를 포함하는 반응성 액정 조성물 및 감광성 조성물
CN103819583B (zh) * 2014-03-18 2016-05-18 常州强力电子新材料股份有限公司 一种含硝基双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
CN103833872B (zh) * 2014-03-18 2016-04-06 常州强力先端电子材料有限公司 一种双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
CN104076606B (zh) * 2014-07-15 2019-12-03 常州强力电子新材料股份有限公司 一种含肟酯类光引发剂的感光性组合物及其应用

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1299812A (zh) * 1999-12-15 2001-06-20 西巴特殊化学品控股有限公司 肟酯光引发剂
CN1697856A (zh) * 2003-01-10 2005-11-16 韩国化学研究院 光聚合组合物和由其制备的光聚合薄膜
JP2010156879A (ja) * 2008-12-29 2010-07-15 Fujifilm Corp 感光性組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
WO2013165207A1 (ko) * 2012-05-03 2013-11-07 한국화학연구원 신규한 옥심에스테르 플로렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
WO2014050738A1 (ja) * 2012-09-28 2014-04-03 ダイトーケミックス株式会社 フルオレン系化合物、該フルオレン系化合物を含む光重合開始剤、および、該光重合開始剤を含む感光性組成物
JP2014137466A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Jsr Corp 感放射線性着色組成物、着色硬化膜及び表示素子
JP2015011095A (ja) * 2013-06-27 2015-01-19 凸版印刷株式会社 フォトスペーサー形成用感光性樹脂組成物及びカラーフィルタ
KR101435652B1 (ko) * 2014-01-17 2014-08-28 주식회사 삼양사 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물

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