CN107249810B - 加工喷嘴及激光加工装置 - Google Patents

Abstract

加工喷嘴(2)具有形成有流路(4)的外侧喷嘴(3)和嵌入至外侧喷嘴(3)的流路(4)的内侧喷嘴(5)，在该加工喷嘴(2)中，在内侧喷嘴(5)，形成对与外侧喷嘴(3)之间进行封闭的凸缘(11)，在凸缘(11)，形成使流路(4)的相对于凸缘(11)的上游侧和下游侧连通的通路(13)，在流路(4)的相对于凸缘(11)的下游还具有间隙形成部(9)，该间隙形成部(9)在与内侧喷嘴(5)之间形成间隙。

Description

加工喷嘴及激光加工装置

技术领域

本发明涉及在激光加工中使用的加工喷嘴及激光加工装置。

背景技术

在使用从加工喷嘴射出的激光束进行激光加工的激光加工装置中，存在从加工喷嘴的前端喷出辅助气体的激光加工装置。从加工喷嘴喷出的辅助气体被吹送至被加工物的加工部位。

作为激光加工装置的加工喷嘴，如专利文献1所示，存在将内侧喷嘴嵌入至外侧喷嘴的内侧的二重喷嘴式的加工喷嘴。在二重喷嘴式的加工喷嘴中，使辅助气体经过在内侧喷嘴的内侧形成的内侧流路、和在内侧喷嘴与外侧喷嘴之间形成的外侧流路的两者，从加工喷嘴的前端汇流而进行喷出。

专利文献1：日本特开平11-90672号公报

发明内容

在二重喷嘴式的加工喷嘴中，通过对经过内侧流路的辅助气体的流量与经过外侧流路的辅助气体的流量的比率进行调整，由此实现向通过激光加工在被加工物形成的槽的内部和被加工物的表面供给充分且适量的辅助气体。通过向槽的内部及被加工物的表面供给充分且适量的辅助气体，由此实现激光加工的加工品质的提高。具体地说，通过对经过外侧流路的辅助气体的流量进行抑制，由此实现加工品质的提高。

在这里，辅助气体穿过在内侧喷嘴形成的孔而供给至外侧流路。因此，通过使在内侧喷嘴形成的孔的大小变小，由此实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制。然而，如果为了对流向外侧流路的辅助气体的流量进行抑制，将孔形成得较小，则会发生由于孔的加工精度的降低而造成的流量的波动、或者为了确保孔的加工精度所需的加工费用的增大。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种能够抑制制造成本、实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制、实现激光加工的加工品质的提高的加工喷嘴。

为了解决上述课题、实现目的，本发明涉及一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至外侧喷嘴的流路的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，在内侧喷嘴，形成对与外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，在凸缘，形成使流路的相对于凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，在流路的相对于凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与外侧喷嘴之间、或者与内侧喷嘴之间形成间隙。

发明的效果

本发明涉及的加工喷嘴取得下述效果，即，能够抑制制造成本、实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制、实现激光加工的加工品质的提高。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1涉及的激光加工装置的概略结构的图。

图2是实施方式1涉及的激光加工装置所具有的加工喷嘴的剖视图。

图3是对实施方式1涉及的激光加工装置所具有的外侧喷嘴从激光束的入射侧进行观察的俯视图。

图4是实施方式1涉及的激光加工装置所具有的外侧喷嘴的剖视图，且为沿图3所示的A-A线的矢向剖视图。

图5是图4所示的外侧喷嘴的剖面斜视图。

图6是对实施方式1涉及的激光加工装置所具有的内侧喷嘴从激光束的入射侧进行观察的俯视图。

图7是实施方式1涉及的激光加工装置所具有的内侧喷嘴的剖视图，且为沿图6所示的B-B线的矢向剖视图。

图8是表示实施方式1涉及的激光加工装置所具有的加工喷嘴的变形例的剖视图。

图9是表示图8所示的加工喷嘴所具有的外侧喷嘴的变形例的剖面斜视图。

图10是本发明的实施方式2涉及的加工喷嘴的剖视图。

图11是本发明的实施方式3涉及的加工喷嘴的剖视图。

图12是本发明的实施方式3涉及的加工喷嘴所具有的环状部件的俯视图。

图13是本发明的实施方式3涉及的加工喷嘴所具有的环状部件的剖面斜视图。

图14是表示实施方式3涉及的加工喷嘴的变形例的剖视图。

图15是本发明的实施方式4涉及的加工喷嘴的剖视图。

图16是对实施方式4涉及的加工喷嘴的孔从激光束的入射侧进行观察的俯视图。

图17是表示内侧喷嘴的凸缘的形状的变形例的图。

图18是表示内侧喷嘴的凸缘的形状的变形例的图。

具体实施方式

下面，基于附图对本发明的实施方式涉及的加工喷嘴及激光加工装置进行详细说明。此外，本发明并不限定于这些实施方式。

实施方式1.

图1是表示本发明的实施方式1涉及的激光加工装置的概略结构的图。激光加工装置100是对在保持台103所保持的被加工物101照射激光束102而进行激光加工的装置。激光加工装置100具有激光振荡器104、反射镜105、加工头1、以及辅助气体供给源106。

激光振荡器104输出激光束102。反射镜105将从激光振荡器104输出的激光束102向加工头1侧进行反射。

加工头1在内部具有加工透镜6。另外，加工头1在激光束102的射出侧具有加工喷嘴2。被反射镜105反射而射入至加工头1的激光束102由加工透镜6进行聚光。由加工透镜6聚光后的激光束102从加工喷嘴2射出而照射至被加工物101。

辅助气体供给源106储存有向加工头1进行输送的加工气体即辅助气体，将辅助气体输送至气体通路107。辅助气体例如为氧气。气体通路107与在加工头1形成的供给口7连接。从辅助气体供给源106输送来的辅助气体穿过供给口7而供给至加工头1的内部。供给至加工头1的内部的辅助气体从加工喷嘴2喷出，吹送至被加工物101的被激光束102照射的位置。通过加工头1的移动或者保持台103的移动，使激光束102向被加工物101的照射位置进行变更，由此进行被加工物101的切断加工。

下面，对进行激光束102的射出及辅助气体的喷射的加工喷嘴2进行详细说明。图2是实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的加工喷嘴2的剖视图。加工喷嘴2具有：外侧喷嘴3，其呈筒状形状；以及内侧喷嘴5，其呈筒状形状，嵌入于外侧喷嘴3的内侧。

图3是对实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的外侧喷嘴3从激光束102的入射侧进行观察的俯视图。图4是实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的外侧喷嘴3的剖视图，且为沿图3所示的A-A线的矢向剖视图。图5是图4所示的外侧喷嘴3的剖面斜视图。

呈筒状形状的外侧喷嘴3的内侧成为辅助气体经过的流路4。外侧喷嘴3的内侧的形状为随着朝向将辅助气体喷出的喷出口21而变细。在外侧喷嘴3的内侧，形成将后面叙述的内侧喷嘴5的凸缘部进行嵌入的凸缘嵌入部8。

在外侧喷嘴3的内侧，形成有向在凸缘嵌入部8中嵌入的凸缘凸出的环状凸出部9。环状凸出部9呈与外侧喷嘴3所呈的筒状形状的中心轴为同轴的圆环形状。此外，在下面的说明中，将外侧喷嘴3所呈的筒状形状的中心轴称为加工喷嘴2的中心轴。在环状凸出部9的前端，形成与内侧喷嘴5的凸缘进行抵接的抵接面9a。在环状凸出部9的抵接面9a，等间隔地形成有多个槽9b。槽9b是将环状凸出部9的外侧面和内侧面之间贯穿而形成的。

图6是对实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的内侧喷嘴5从激光束102的入射侧进行观察的俯视图。图7是实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的内侧喷嘴5的剖视图，且为沿图6所示的B-B线的矢向剖视图。

在内侧喷嘴5，形成对与外侧喷嘴3之间进行封闭的凸缘11。凸缘11的外侧面与外侧喷嘴3的内侧面抵接。在内侧喷嘴5中，从凸缘11向外侧喷嘴3的喷出口21凸出形成有呈筒状形状的筒状部12。筒状部12的内侧成为辅助气体经过的内侧流路10。筒状部12的前端即喷出口22与外侧喷嘴3的喷出口21相比位于流路4的内侧。内侧流路10随着朝向喷出口22而变细。

如图2所示，通过将凸缘11嵌入至外侧喷嘴3的凸缘嵌入部8，即，将内侧喷嘴5嵌入至外侧喷嘴3的流路4，由此在筒状部12的外侧，流路4被凸缘11分为辅助气体的经过方向上的上游侧和下游侧。在这里，将在外侧喷嘴3的内侧形成的流路4之中的与凸缘11相比的上游侧设为上游流路4a，将与凸缘11相比的下游侧、且内侧喷嘴5的筒状部12与外侧喷嘴3之间设为外侧流路4b。

通过将凸缘11嵌入至外侧喷嘴3的凸缘嵌入部8，从而在外侧喷嘴3的环状凸出部9形成的抵接面9a与凸缘11抵接。通过抵接面9a与凸缘11抵接，从而实现内侧喷嘴5的向流路4内的进深方向的定位。通过抵接面9a与凸缘11抵接，从而在凸缘11与槽9b之间形成间隙。即，环状凸出部9为间隙形成部。此外，内侧喷嘴5向径向的定位是通过凸缘11的外侧面与外侧喷嘴3的内侧面的抵接而进行的。

另外，在凸缘11处，呈以加工喷嘴2的中心轴为中心的圆周状而等间隔地形成有使上游流路4a和外侧流路4b连通的通路即多个孔13。

在如上所述地构成的加工喷嘴2中，激光束102经过上游流路4a、内侧流路10、喷出口22、喷出口21而从加工喷嘴2射出。另外，供给至上游流路4a的辅助气体分为经过内侧流路10、喷出口22、喷出口21而喷出的辅助气体和经过孔13、外侧流路4b、喷出口21而喷出的辅助气体。此外，在下面的说明中，将经过内侧流路10而喷出的辅助气体称为内侧气流，将经过外侧流路4b而喷出的辅助气体称为外侧气流。

返回至图1，在从加工喷嘴2喷出的辅助气体之中，内侧气流主要向通过激光加工在被加工物101形成的狭缝108的内部进行供给。另外，从加工喷嘴2喷出的辅助气体之中的外侧气流主要向通过激光加工在被加工物101形成的狭缝108与表面101a的边界部分进行供给。此外，由于外侧气流在存在于外侧气流的外侧的外部气体与内侧气流之间进行流动，因此内侧气流与外部气体的速度差降低。由此，外部气体向内侧气流的卷入被抑制，内侧气流的直进性提高，并且辅助气体的浓度的降低被抑制。

在这里，对被加工物101为软钢的软钢切断加工进行说明。在软钢切断加工中，作为辅助气体而主要使用高纯度氧气。在高纯度氧气中被照射激光束102而成为高温的软钢表面处，通过辅助气体的供给而促进氧化反应，成为更高的高温。由此，在被加工物101形成狭缝108，能够高效地进行切断加工。

为了实现通过激光加工得到的切断面的品质的提高，需要向激光束102正在照射的部位、即狭缝108的内部供给大量的辅助气体。因此，向狭缝108的内部供给内侧气流。另外，如上所述，通过外侧气流的喷出而提高了直进性的内侧气流可容易地在维持浓度不变的状态下到达至狭缝108的内部。

另一方面，在被加工物101的表面101a与狭缝108的边界部分处，通过对辅助气体的供给量进行抑制而抑制氧化反应，能够防止由于表面101a的熔融而不稳定地对表面101a进行加工。由此，能够形成锋锐(sharp)的狭缝108。为了对辅助气体的向被加工物101的表面101a与狭缝108的边界部分的供给量进行抑制，需要对外侧气流的量进行抑制。此外，外侧气流还需要确保为了实现内侧气流的直进性的提高以及浓度的维持所需的流量，因此对外侧气流的流量的调整要求高精度。

为了对外侧气流的量进行抑制，将加工喷嘴2内的外侧气流经过的流路的面积变小即可。在本实施方式1中，能够根据在形成于环状凸出部9的槽9b与凸缘11之间所形成的间隙的大小，将外侧气流经过的流路的面积变小。即，能够通过将槽9b的宽度及深度变小，由此将外侧气流经过的流路的面积变小。在本实施方式1中，与多个孔13的开口面积(流路面积)的总和相比，由多个槽9b与凸缘11之间的间隙所形成的流路的面积的总和较小。

在这里，将在凸缘11形成的孔13变小，也能够将外侧气流经过的流路的面积变小。然而，在形成孔13的打孔加工中，如果将孔的大小变小，则加工精度容易降低，外侧气流的供给量容易发生波动。在确保打孔加工的加工精度以使得能够对外侧气流的供给量的波动进行抑制的情况下，加工费用会增大。

另一方面，在本实施方式1涉及的加工喷嘴2中，能够通过将形成于环状凸出部9的槽9b的宽度及深度变小，由此将外侧气流经过的流路的面积变小。在形成槽9b的槽加工中，在与打孔加工相比将宽度及深度变小的情况下，难以发生加工精度的降低。因此，也容易对槽加工的加工精度的确保所需的加工费用进行抑制。例如，在喷出口21的直径为1.5mm至3mm的情况下，作为槽9b的加工精度，也能够采用通常公差即±0.1mm。

另外，由于通过槽9b部分实现流量的抑制，因此能够将在凸缘11形成的孔13形成得大。由此，能够对打孔加工的费用进行抑制。因此，对于本实施方式1涉及的加工喷嘴2而言，能够抑制制造成本、实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制、实现激光加工的加工品质的提高。

另外，由于多个孔13及多个槽9b分别是等间隔地形成的，因此在内侧气流的周围，外侧气流的流量在周向上均匀化。因此，能够对切断加工的由行进方向引起的加工品质的波动进行抑制。此外，为了实现外侧气流的均匀化，优选多个孔13及多个槽9b的数量大于或等于3个。另外，通过在外侧流路4b中，与筒状部12的外侧面相对于中心轴的倾斜度相比，使外侧喷嘴3的内侧面相对于中心轴的倾斜度较大，由此能够实现外侧气流的进一步的均匀化。

此外，作为激光加工装置100，例示为使用反射镜105将激光束102从激光振荡器104传输至加工头1，但不限于此。例如，也可以为通过光纤将激光束从激光振荡器104传输至加工头1的激光加工装置。作为通过光纤进行传输的激光器，存在例如光纤激光器及直接二极管激光器。

图8是表示实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的加工喷嘴2的变形例的剖视图。图9是表示图8所示的加工喷嘴2所具有的外侧喷嘴3的变形例的剖面斜视图。在本变形例中，在环状凸出部9的前端面9c未形成槽，在前端面9c的整体与凸缘11之间，形成将外侧流路4b的流路面积变小的间隙。在本变形例中，环状凸出部9未与凸缘11抵接，因此在外侧喷嘴3形成有进行内侧喷嘴5的向进深方向的定位的定位凸出部14。在定位凸出部14处，在与形成有孔13的位置相比的外周侧，形成有与凸缘11抵接的抵接面14a。

在本变形例中，由于在环状凸出部9未形成槽，因此将外侧喷嘴3的形状简化，能够实现制造成本的抑制。在本变形例中，与多个孔13的开口面积(流路面积)的总和相比，由环状凸出部9的前端面9c与凸缘11之间的间隙所形成的流路的面积的总和较小。

实施方式2.

图10是本发明的实施方式2涉及的加工喷嘴的剖视图。此外，针对与上述实施方式1相同的结构，标注相同的标号而省略详细说明。本实施方式2涉及的加工喷嘴32在内侧喷嘴5形成有环状凸出部39。环状凸出部39的前端成为与外侧喷嘴3的接触面34进行抵接的抵接面39a。在环状凸出部39的抵接面39a处，与实施方式1相同地等间隔地形成有多个槽39b，在槽39b与接触面34之间形成的间隙将外侧流路4b的流路面积变小。

在本实施方式2涉及的加工喷嘴32中，与实施方式1相同地，能够通过槽39b的形成而将外侧流路4b的流路面积变小，因此能够抑制制造成本，实现经过外侧流路4b的辅助气体的流量的抑制，实现激光加工的加工品质的提高。在本实施方式2中，与多个孔13的开口面积(流路面积)的总和相比，由多个槽39b与接触面34之间的间隙所形成的流路的面积的总和较小。

此外，与上述实施方式1的变形例相同地，也可以在环状凸出部39的前端面不形成槽，通过在前端面整体与接触面34之间所形成的间隙而将外侧流路4b的流路面积变小。在该情况下，与实施方式1的变形例相同地，为了进行内侧喷嘴5的向进深方向的定位，而在外侧喷嘴3设置形成有抵接面14a的定位凸出部14(也参照图8)。另外，与多个孔13的开口面积(流路面积)的总和相比，由环状凸出部39的前端面与接触面34之间的间隙所形成的流路的面积的总和较小。

实施方式3.

图11是本发明的实施方式3涉及的加工喷嘴的剖视图。此外，针对与上述实施方式1相同的结构，标注相同的标号而省略详细说明。本实施方式3涉及的加工喷嘴42具有与外侧喷嘴3及内侧喷嘴5分体的圆环状的环状部件49，以取代上述实施方式1及上述实施方式2中所示的环状凸出部。环状部件49是夹持在外侧喷嘴3和内侧喷嘴5之间的被夹持部。

图12是本发明的实施方式3涉及的加工喷嘴42所具有的环状部件的俯视图。图13是本发明的实施方式3涉及的加工喷嘴42所具有的环状部件49的剖面斜视图。在环状部件49之中，在与凸缘11相对的表面，形成与凸缘11进行抵接的抵接面49a，在抵接面49a等间隔地形成多个槽49b。槽49b将环状部件49的外侧面和内侧面贯穿。环状部件49通过嵌入至在外侧喷嘴3处形成为圆形形状的定位槽44而进行定位。

在本实施方式3中，能够通过在形成于环状部件49的槽49b与凸缘11之间所形成的间隙，将外侧流路4b的流路面积变小。因此，与上述实施方式1相同地，能够抑制制造成本，实现经过外侧流路4b的辅助气体的流量的抑制，实现激光加工的加工品质的提高。另外，通过更换为槽49b的宽度及深度不同的环状部件49，从而能够容易地进行外侧气流的流量的变更。在本实施方式3中，与多个孔13的开口面积(流路面积)的总和相比，由多个槽49b与凸缘11之间的间隙所形成的流路的面积的总和较小。

图14是表示实施方式3涉及的加工喷嘴42的变形例的剖视图。在本变形例中，在内侧喷嘴5的凸缘11形成定位槽44，并且与图11所示的例子相比上下反转地设置环状部件49。由此，能够通过在形成于环状部件49的槽49b与外侧喷嘴3之间所形成的间隙，将外侧流路4b的流路面积变小。在本变形例中，与多个孔13的开口面积(流路面积)的总和相比，由多个槽49b与外侧喷嘴3之间的间隙所形成的流路的面积的总和较小。

实施方式4.

图15是本发明的实施方式4涉及的加工喷嘴52的剖视图。图16是对实施方式4涉及的加工喷嘴52的孔从激光束102的入射侧进行观察的俯视图。此外，针对与上述实施方式1相同的结构，标注相同的标号而省略详细说明。在本实施方式4中，由形成于外侧喷嘴3而与凸缘11抵接的接触面55，将从形成于凸缘11的孔13通向外侧流路4b的流出口的一部分进行封闭。在图16中，为了使附图易于理解，对接触面55标注阴影线而示出。

在本实施方式4中，通过由间隙形成部即接触面55和孔13的流出口形成的间隙，将外侧流路4b的流路面积变小。在这里，间隙的面积是根据接触面55的缘部55a的位置而决定的。由于缘部55a的位置通过切削加工而进行调整，因此，与上述实施方式1相同地，能够抑制制造成本，实现经过外侧流路4b的辅助气体的流量的抑制，实现激光加工的加工品质的提高。

图17及图18是表示内侧喷嘴5的凸缘11的形状的变形例的图。如图17及图18所示，对于内侧喷嘴5的凸缘11，也可以在凸缘11的外周形成缺口15，以取代孔13。在该情况下，外侧喷嘴3的内侧面与缺口15之间作为将上游流路4a和外侧流路4b连通的通路而起作用。如果是缺口15，则与形成孔13相比容易抑制加工费用，因此能够实现加工喷嘴的制造成本的抑制。

以上的实施方式示出的结构表示本发明的内容的一个例子，既能够与其他公知的技术进行组合，也能够在不脱离本发明的主旨的范围内对结构的一部分进行省略、变更。

标号的说明

1加工头，2加工喷嘴，3外侧喷嘴，4流路，4a上游流路，4b外侧流路，5内侧喷嘴，6加工透镜，7供给口，8凸缘嵌入部，9环状凸出部(间隙形成部)，9a抵接面，9b槽，9c前端面，10内侧流路，11凸缘，12筒状部，13孔(通路)，14定位凸出部，14a接触面，15缺口(通路)，21喷出口，22喷出口，32加工喷嘴，34接触面，39环状凸出部(间隙形成部)，39a抵接面，39b槽，42加工喷嘴，44定位槽，49环状部件(被夹持部)，49a抵接面，49b槽，52加工喷嘴，55接触面(间隙形成部)，55a缘部，100激光加工装置，101被加工物，101a表面，102激光束，103保持台，104激光振荡器，105反射镜，106辅助气体供给源，107气体通路，108狭缝。

Claims (10)

1.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，

在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，

在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，

在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述外侧喷嘴之间、或者与所述内侧喷嘴之间形成间隙，

与所述通路中的流路面积的总和相比，所述间隙中的流路面积的总和较小。

2.根据权利要求1所述的加工喷嘴，其特征在于，

所述间隙形成部与所述外侧喷嘴形成为一体，在与所述内侧喷嘴之间形成所述间隙。

3.根据权利要求1所述的加工喷嘴，其特征在于，

所述间隙形成部与所述内侧喷嘴形成为一体，在与所述外侧喷嘴之间形成所述间隙。

4.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，

在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，

在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，

在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述内侧喷嘴之间形成间隙，

所述间隙形成部与所述外侧喷嘴形成为一体，具有与所述内侧喷嘴抵接的抵接面，

在所述抵接面形成槽，

由所述槽部分在与所述内侧喷嘴之间形成所述间隙。

5.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，

在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，

在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，

在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述外侧喷嘴之间形成间隙，

所述间隙形成部与所述内侧喷嘴形成为一体，具有与所述外侧喷嘴抵接的抵接面，

在所述抵接面形成槽，

由所述槽部分在与所述外侧喷嘴之间形成所述间隙。

6.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，

在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，

在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，

在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述外侧喷嘴之间形成间隙，

所述间隙形成部是夹持在所述外侧喷嘴与所述内侧喷嘴之间的被夹持部，

所述被夹持部具有与所述外侧喷嘴抵接的抵接面，

在所述抵接面形成槽，

由所述槽部分形成所述间隙。

7.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，

在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，

在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，

在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述内侧喷嘴之间形成间隙，

所述间隙形成部是夹持在所述外侧喷嘴与所述内侧喷嘴之间的被夹持部，

所述被夹持部具有与所述内侧喷嘴抵接的抵接面，

在所述抵接面形成槽，

由所述槽部分形成所述间隙。

8.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，

在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，

在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，

在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述内侧喷嘴之间形成间隙，

所述通路是在所述凸缘形成的孔，

所述间隙形成部与所述外侧喷嘴形成为一体，将所述孔的一部分封闭而形成所述间隙。

9.根据权利要求4至8中任一项所述的加工喷嘴，其特征在于，

与所述通路中的流路面积的总和相比，所述间隙中的流路面积的总和较小。

10.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

根据权利要求1至9中任一项所述的加工喷嘴；以及

激光振荡器，其振荡出经过所述加工喷嘴而射出的激光束。