WO2016147410A1 - 加工ノズルおよびレーザ加工装置 - Google Patents

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nozzle
processing
flow path
gap
flange
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瀬口 正記
直幸 中村
隆典 宮▲崎▼
博幸 村井
健児 猿田
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三菱電機株式会社
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    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/02Iron or ferrous alloys
    • B23K2103/04Steel or steel alloys

Definitions

  • the present invention relates to a processing nozzle and a laser processing apparatus used for laser processing.
  • Some laser processing apparatuses that perform laser processing using a laser beam emitted from a processing nozzle eject an assist gas from the tip of the processing nozzle.
  • the assist gas ejected from the machining nozzle is blown to the machining site of the workpiece.
  • Patent Document 1 As a processing nozzle of a laser processing apparatus, as shown in Patent Document 1, there is a double nozzle type processing nozzle in which an inner nozzle is fitted inside an outer nozzle.
  • the assist gas is allowed to pass through both the inner flow path formed inside the inner nozzle and the outer flow path formed between the inner nozzle and the outer nozzle. It is made to squirt out from the tip.
  • the ratio of the flow rate of the assist gas passing through the inner flow path and the flow rate of the assist gas passing through the outer flow path is adjusted to form the work piece by laser processing.
  • a sufficient and appropriate amount of assist gas can be supplied to the inside of the slit and the surface of the workpiece.
  • the processing quality of laser processing can be improved. Specifically, the processing quality can be improved by suppressing the flow rate of the assist gas passing through the outer flow path.
  • the assist gas is supplied to the outer flow path through the hole formed in the inner nozzle. Therefore, by reducing the size of the hole formed in the inner nozzle, the flow rate of the assist gas passing through the outer channel can be suppressed. However, if the hole is made small in order to suppress the flow rate of the assist gas to the outer channel, the flow rate variation due to the decrease in the hole processing accuracy or the processing cost for securing the hole processing accuracy will increase. End up.
  • the present invention has been made in view of the above, and provides a machining nozzle capable of reducing the manufacturing cost and suppressing the flow rate of the assist gas passing through the outer flow path and improving the machining quality of laser machining.
  • the purpose is to obtain.
  • the present invention is a machining nozzle comprising an outer nozzle formed with a flow path and an inner nozzle fitted into the flow path of the outer nozzle, A flange that closes the outer nozzle is formed in the nozzle, and a communication path that connects the upstream side and the downstream side of the flange of the flow path is formed in the flange, and the downstream side of the flange of the flow path And a gap forming part for forming a gap between the outer nozzle and the inner nozzle.
  • the processing nozzle according to the present invention has an effect that the manufacturing cost can be reduced, the flow rate of the assist gas passing through the outer flow path can be suppressed, and the processing quality of laser processing can be improved.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the outer nozzle included in the laser processing apparatus according to the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 3.
  • Cross-sectional perspective view of the outer nozzle shown in FIG. The top view which looked at the inner nozzle with which the laser processing apparatus concerning Embodiment 1 is provided from the incident side of a laser beam FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the inner nozzle included in the laser processing apparatus according to the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line BB shown in FIG. 6.
  • Sectional drawing which shows the modification of the process nozzle with which the laser processing apparatus concerning Embodiment 1 is provided.
  • Sectional perspective view which shows the modification of the outer side nozzle with which the process nozzle shown in FIG. 8 is equipped.
  • Sectional drawing of the process nozzle concerning Embodiment 3 of this invention The top view of the annular member with which the process nozzle concerning Embodiment 3 of this invention is provided.
  • Sectional perspective view of the annular member with which the process nozzle concerning Embodiment 3 of this invention is provided.
  • FIG. Sectional drawing which shows the modification of the process nozzle concerning Embodiment 3.
  • the top view which looked at the hole of the processing nozzle concerning Embodiment 4 from the incident side of the laser beam
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a laser processing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the laser processing apparatus 100 is an apparatus that performs laser processing by irradiating a workpiece 101 held on a holding table 103 with a laser beam 102.
  • the laser processing apparatus 100 includes a laser oscillator 104, a reflection mirror 105, a processing head 1, and an assist gas supply source 106.
  • the laser oscillator 104 outputs a laser beam 102.
  • the reflection mirror 105 reflects the laser beam 102 output from the laser oscillator 104 to the processing head 1 side.
  • the processing head 1 includes a processing lens 6 inside. Further, the machining head 1 includes a machining nozzle 2 on the emission side of the laser beam 102. The laser beam 102 reflected by the reflection mirror 105 and incident on the processing head 1 is collected by the processing lens 6. The laser beam 102 collected by the processing lens 6 is emitted from the processing nozzle 2 and applied to the workpiece 101.
  • the assist gas supply source 106 stores an assist gas that is a processing gas to be sent to the processing head 1, and sends the assist gas to the gas path 107.
  • the assist gas is oxygen, for example.
  • the gas path 107 is connected to the supply port 7 formed in the machining head 1.
  • the assist gas sent from the assist gas supply source 106 is supplied into the machining head 1 through the supply port 7.
  • the assist gas supplied to the inside of the processing head 1 is ejected from the processing nozzle 2 and sprayed to a position where the laser beam 102 of the workpiece 101 is irradiated.
  • the workpiece 101 is cut by changing the irradiation position of the laser beam 102 on the workpiece 101 by moving the machining head 1 or the holding table 103.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the processing nozzle 2 provided in the laser processing apparatus 100 according to the first embodiment.
  • the processing nozzle 2 includes an outer nozzle 3 that has a cylindrical shape, and an inner nozzle 5 that has a cylindrical shape and is fitted inside the outer nozzle 3.
  • FIG. 3 is a plan view of the outer nozzle 3 provided in the laser processing apparatus 100 according to the first embodiment when viewed from the incident side of the laser beam 102.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the outer nozzle 3 provided in the laser processing apparatus 100 according to the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional perspective view of the outer nozzle 3 shown in FIG.
  • the inside of the outer nozzle 3 having a cylindrical shape is a flow path 4 through which the assist gas passes.
  • the inner shape of the outer nozzle 3 is narrower toward the jet port 21 from which the assist gas is jetted.
  • a flange fitting portion 8 into which a flange portion of the inner nozzle 5 described later is fitted is formed inside the outer nozzle 3.
  • annular protruding portion 9 On the inner side of the outer nozzle 3, an annular protruding portion 9 is formed that protrudes toward the flange fitted in the flange fitting portion 8.
  • the annular projecting portion 9 has an annular shape that is coaxial with the cylindrical central axis of the outer nozzle 3.
  • the cylindrical central axis exhibited by the outer nozzle 3 is referred to as the central axis of the processing nozzle 2.
  • a contact surface 9 a that contacts the flange of the inner nozzle 5 is formed at the tip of the annular protrusion 9.
  • a plurality of grooves 9 b are formed at equal intervals on the contact surface 9 a of the annular protrusion 9. The groove 9b is formed so as to penetrate between the outer side surface and the inner side surface of the annular protrusion 9.
  • FIG. 6 is a plan view of the inner nozzle 5 provided in the laser processing apparatus 100 according to the first embodiment when viewed from the incident side of the laser beam 102.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the inner nozzle 5 included in the laser processing apparatus 100 according to the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along the line BB shown in FIG.
  • the inner nozzle 5 is formed with a flange 11 that closes the space between the inner nozzle 5 and the outer nozzle 3.
  • the outer surface of the flange 11 contacts the inner surface of the outer nozzle 3.
  • a tubular portion 12 having a tubular shape is formed so as to protrude from the flange 11 toward the ejection port 21 of the outer nozzle 3.
  • the inside of the cylindrical part 12 becomes the inner flow path 10 through which the assist gas passes.
  • the spout 22 that is the tip of the cylindrical portion 12 is located inside the flow path 4 relative to the spout 21 of the outer nozzle 3.
  • the inner flow path 10 is narrowed toward the jet port 22.
  • the flange 11 is fitted into the flange fitting portion 8 of the outer nozzle 3, that is, the inner nozzle 5 is fitted into the flow passage 4 of the outer nozzle 3, so that the flow passage is formed outside the tubular portion 12.
  • 4 is divided into an upstream side and a downstream side in the passage direction of the assist gas by the flange 11.
  • the upstream side of the flange 11 is the upstream flow path 4 a
  • the downstream side of the flange 11 is the outer side of the cylindrical portion 12 of the inner nozzle 5.
  • a space between the nozzle 3 and the nozzle 3 is defined as an outer flow path 4b.
  • the contact surface 9 a formed on the annular protrusion 9 of the outer nozzle 3 comes into contact with the flange 11.
  • Positioning in the depth direction in the flow path 4 of the inner nozzle 5 is performed by the contact surface 9a contacting the flange 11. Since the contact surface 9a contacts the flange 11, a gap is formed between the flange 11 and the groove 9b. That is, the annular protrusion 9 is a gap forming part.
  • the radial positioning of the inner nozzle 5 is performed by contacting the outer surface of the flange 11 and the inner surface of the outer nozzle 3.
  • the flange 11 is formed with a plurality of holes 13 that are communication paths that allow the upstream flow path 4 a and the outer flow path 4 b to communicate with each other at equal intervals around the center axis of the processing nozzle 2. Yes.
  • the laser beam 102 is emitted from the processing nozzle 2 through the upstream flow path 4a, the inner flow path 10, the jet port 22, and the jet port 21.
  • the assist gas supplied to the upstream flow path 4a passes through the inner flow path 10, the jet outlet 22, and the jet outlet 21, and passes through the hole 13, the outer flow path 4b, and the jet outlet 21. And squirted.
  • the assist gas ejected through the inner flow path 10 is referred to as an inner airflow
  • the assist gas ejected through the outer flow path 4b is referred to as an outer airflow.
  • the inner airflow is supplied into the slit 108 formed in the workpiece 101 mainly by laser processing.
  • the outside airflow is supplied to the boundary portion between the slit 108 and the surface 101a formed in the workpiece 101 mainly by laser machining.
  • the speed difference between the inner airflow and the outside air is reduced by the outer airflow flowing between the outside air and the inner airflow that exist outside the outer airflow.
  • a mild steel cutting process in which the workpiece 101 is mild steel will be described.
  • high-purity oxygen is mainly used as an assist gas.
  • the oxidation reaction is promoted by the supply of the assist gas, resulting in a higher temperature.
  • the slit 108 is formed in the workpiece 101, and the cutting process can be advanced efficiently.
  • the oxidation reaction is suppressed by suppressing the supply amount of the assist gas, and the surface 101a is prevented from being unstablely processed by melting the surface 101a. be able to. Thereby, the sharp slit 108 can be formed.
  • the supply amount of the assist gas to the boundary portion between the surface 101a of the workpiece 101 and the slit 108, it is necessary to suppress the amount of the outside airflow.
  • high accuracy is required to adjust the flow rate of the outside airflow.
  • the area of the flow path through which the outer airflow in the processing nozzle 2 passes may be reduced.
  • the area of the flow path through which the outer airflow passes can be reduced by the size of the gap formed between the groove 9b formed in the annular protrusion 9 and the flange 11. That is, by reducing the width and depth of the groove 9b, the area of the flow path through which the outer airflow passes can be reduced.
  • the total area of the flow paths formed by the gaps between the plurality of grooves 9b and the flange 11 is smaller than the sum of the opening areas (flow path areas) of the plurality of holes 13. ing.
  • the processing nozzle 2 by reducing the width and depth of the groove 9b formed in the annular projecting portion 9, the area of the flow path through which the outer airflow passes can be reduced. .
  • the processing accuracy is hardly lowered. Therefore, it is easy to reduce the processing cost necessary to ensure the processing accuracy of the groove processing. For example, even when the diameter of the ejection port 21 is 1.5 mm to 3 mm, a general tolerance of ⁇ 0.1 mm can be adopted as the processing accuracy of the groove 9b.
  • the flow rate is suppressed at the groove 9b portion, the hole 13 formed in the flange 11 can be formed large. Thereby, the cost of drilling can be suppressed. Therefore, in the processing nozzle 2 according to the first embodiment, the manufacturing cost can be suppressed, the flow rate of the assist gas passing through the outer flow path can be suppressed, and the processing quality of laser processing can be improved.
  • each of the plurality of holes 13 and the plurality of grooves 9b is formed at equal intervals, the flow rate of the outer airflow is made uniform in the circumferential direction around the inner airflow. Therefore, it is possible to suppress variations in processing quality due to the direction of cutting processing.
  • the number of the plurality of holes 13 and the plurality of grooves 9b is preferably three or more.
  • the inclination of the inner surface of the outer nozzle 3 with respect to the central axis is made larger than the inclination of the outer surface of the cylindrical portion 12 with respect to the central axis, thereby making the outer airflow more uniform. Can be achieved.
  • the laser processing apparatus 100 is illustrated as propagating the laser beam 102 from the laser oscillator 104 to the processing head 1 using the reflection mirror 105, it is not limited to this.
  • a laser processing apparatus that propagates a laser beam from the laser oscillator 104 to the processing head 1 using a fiber may be used.
  • lasers propagated by fibers include fiber lasers and direct diode lasers.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a modification of the machining nozzle 2 provided in the laser machining apparatus 100 according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is a cross-sectional perspective view showing a modification of the outer nozzle 3 provided in the processing nozzle 2 shown in FIG.
  • no groove is formed on the tip surface 9 c of the annular protrusion 9
  • a gap that reduces the channel area of the outer channel 4 b is formed between the entire tip surface 9 c and the flange 11.
  • the positioning protrusion 14 since the annular protrusion 9 does not contact the flange 11, a positioning protrusion 14 that positions the inner nozzle 5 in the depth direction is formed on the outer nozzle 3.
  • the positioning protrusion 14 is formed with a contact surface 14a that contacts the flange 11 on the outer peripheral side of the position where the hole 13 is formed.
  • the groove is not formed in the annular protruding portion 9, the shape of the outer nozzle 3 can be simplified, and the manufacturing cost can be suppressed.
  • the sum of the areas of the flow paths formed by the gap between the tip surface 9c of the annular protrusion 9 and the flange 11 is greater than the sum of the opening areas (flow path areas) of the plurality of holes 13. It is getting smaller.
  • FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view of a processing nozzle according to the second embodiment of the present invention.
  • symbol is attached
  • an annular protrusion 39 is formed on the inner nozzle 5.
  • the tip of the annular protrusion 39 is an abutting surface 39 a that abuts against the abutting surface 34 of the outer nozzle 3.
  • a plurality of grooves 39b are formed at equal intervals on the contact surface 39a of the annular projecting portion 39 as in the first embodiment, and the gap formed between the groove 39b and the abutting surface 34 is defined as an outer flow.
  • the flow path area of the path 4b is reduced.
  • the formation of the groove 39b can reduce the flow area of the outer flow path 4b, thereby reducing the manufacturing cost and reducing the outer flow path.
  • the processing quality of laser processing can be improved.
  • the total area of the flow paths formed by the gaps between the plurality of grooves 39b and the abutting surface 34 is smaller than the sum of the opening areas (flow path areas) of the plurality of holes 13. It has become.
  • the outer flow path 4b is formed by a gap formed between the entire tip surface and the abutting surface 34 without forming a groove on the tip surface of the annular protrusion 39.
  • the flow channel area may be reduced.
  • the positioning protrusion 14 in order to position the inner nozzle 5 in the depth direction, the positioning protrusion 14 (see also FIG. 8) formed with the contact surface 14a is used as the outer nozzle. 3 is formed. Further, the total area of the flow paths formed by the gap between the tip surface of the annular protrusion 39 and the contact surface 34 is smaller than the sum of the opening areas (flow path areas) of the plurality of holes 13. Yes.
  • FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view of a processing nozzle according to the third embodiment of the present invention.
  • the processing nozzle 42 according to the third embodiment is a ring-shaped annular member that is separate from the outer nozzle 3 and the inner nozzle 5 in place of the annular protrusions shown in the first and second embodiments. 49.
  • the annular member 49 is a sandwiched portion that is sandwiched between the outer nozzle 3 and the inner nozzle 5.
  • FIG. 12 is a plan view of the annular member 49 provided in the processing nozzle 42 according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a cross-sectional perspective view of the annular member 49 provided in the processing nozzle 42 according to the third embodiment of the present invention.
  • a contact surface 49a that contacts the flange 11 is formed on the surface of the annular member 49 that faces the flange 11, and a plurality of grooves 49b are formed on the contact surface 49a at equal intervals.
  • the groove 49 b penetrates the outer surface and the inner surface of the annular member 49.
  • the annular member 49 is positioned by fitting in a positioning groove 44 formed in a circular shape in the outer nozzle 3.
  • the flow path area of the outer flow path 4b can be reduced by the gap formed between the groove 49b formed in the annular member 49 and the flange 11. Therefore, similarly to the first embodiment, the manufacturing cost can be suppressed, the flow rate of the assist gas passing through the outer flow path 4b can be suppressed, and the processing quality of laser processing can be improved. Further, by changing to the annular member 49 having a different width and depth of the groove 49b, the flow rate of the outside airflow can be easily changed. In the third embodiment, the total sum of the areas of the flow paths formed by the gaps between the plurality of grooves 49b and the flanges 11 is smaller than the sum of the opening areas (flow path areas) of the plurality of holes 13. ing.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing a modification of the machining nozzle 42 according to the third embodiment.
  • a positioning groove 44 is formed in the flange 11 of the inner nozzle 5 and an annular member 49 is provided so as to be inverted upside down from the example shown in FIG.
  • the channel area of the outer channel 4 b can be reduced by the gap formed between the groove 49 b formed in the annular member 49 and the outer nozzle 3.
  • the sum of the areas of the flow paths formed by the gaps between the plurality of grooves 49 b and the outer nozzle 3 is smaller than the sum of the opening areas (flow path areas) of the plurality of holes 13. Yes.
  • FIG. 15 is a sectional view of the processing nozzle 52 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 16 is a plan view of the holes of the processing nozzle 52 according to the fourth embodiment when viewed from the incident side of the laser beam 102.
  • symbol is attached
  • a part of the outlet from the hole 13 formed in the flange 11 to the outer flow path 4 b is blocked by a contact surface 55 formed in the outer nozzle 3 and contacting the flange 11.
  • the contact surface 55 is hatched for easy understanding of the drawing.
  • the flow path area of the outer flow path 4b is reduced by the gap formed by the contact surface 55 that is the gap forming portion and the outlet of the hole 13.
  • the area of the gap is determined by the position of the edge portion 55 a of the contact surface 55. Since the position of the edge portion 55a is adjusted by cutting, as in the first embodiment, the flow of assist gas passing through the outer flow path 4b is suppressed while suppressing the manufacturing cost, and the processing quality of laser processing is reduced. Can be improved.
  • FIG. 17 and FIG. 18 are diagrams showing modifications of the shape of the flange 11 of the inner nozzle 5.
  • a notch 15 may be formed on the outer periphery of the flange 11 in place of the hole 13 with respect to the flange 11 of the inner nozzle 5.
  • the space between the inner surface of the outer nozzle 3 and the notch 15 functions as a communication path for communicating the upstream flow path 4a and the outer flow path 4b. If the notch 15 is used, the processing cost can be reduced more easily than the formation of the hole 13, so that the manufacturing cost of the processing nozzle can be reduced.
  • the configuration described in the above embodiment shows an example of the contents of the present invention, and can be combined with another known technique, and can be combined with other configurations without departing from the gist of the present invention. It is also possible to omit or change the part.

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Abstract

加工ノズル(2)は、流路(4)が形成された外側ノズル(3)と、外側ノズル(3)の流路(4)に嵌め込まれた内側ノズル(5)と、を備える加工ノズル(2)であって、内側ノズル(5)には、外側ノズル(3)との間を閉塞するフランジ(11)が形成され、フランジ(11)には、流路(4)のフランジ(11)よりも上流側と下流側とを連通させる連通路(13)が形成され、流路(4)のフランジ(11)よりも下流において、内側ノズル(5)との間に間隙を形成させる間隙形成部(9)をさらに備える。

Description

加工ノズルおよびレーザ加工装置
 本発明は、レーザ加工に用いられる加工ノズルおよびレーザ加工装置に関する。
 加工ノズルから出射されたレーザビームを用いてレーザ加工を行うレーザ加工装置では、加工ノズルの先端からアシストガスを噴出させるものがある。加工ノズルから噴出されたアシストガスは、被加工物の加工部位に吹き付けられる。
 レーザ加工装置の加工ノズルには、特許文献1に示すように、外側ノズルの内側に内側ノズルを嵌め込んだ二重ノズル式の加工ノズルがある。二重ノズル式の加工ノズルでは、内側ノズルの内側に形成された内側流路と、内側ノズルと外側ノズルとの間に形成された外側流路の両方にアシストガスを通過させて、加工ノズルの先端からまとめて噴出させる。
特開平11-90672号公報
 二重ノズル式の加工ノズルでは、内側流路を通過するアシストガスの流量と、外側流路を通過するアシストガスの流量との比率を調整することで、レーザ加工によって被加工物に形成されたスリットの内部と、被加工物の表面とへの、十分かつ適量でのアシストガスの供給が図られる。スリットの内部および被加工物の表面への十分かつ適量でのアシストガスの供給によって、レーザ加工の加工品質の向上が図られる。具体的には、外側流路を通過するアシストガスの流量を抑えることで、加工品質の向上が図られる。
 ここで、内側ノズルに形成された孔を通してアシストガスは外側流路に供給される。そのため、内側ノズルに形成される孔の大きさを小さくすることで、外側流路を通過するアシストガスの流量の抑制が図られる。しかしながら、外側流路へのアシストガスの流量を抑えるために、孔を小さく形成すると、孔の加工精度の低下による流量のばらつき、または孔の加工精度を確保するための加工費用の増大が生じてしまう。
 本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、製造コストを抑えて外側流路を通過するアシストガスの流量の抑制を図り、レーザ加工の加工品質の向上を図ることができる加工ノズルを得ることを目的とする。
 上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、流路が形成された外側ノズルと、外側ノズルの流路に嵌め込まれた内側ノズルと、を備える加工ノズルであって、内側ノズルには、外側ノズルとの間を閉塞するフランジが形成され、フランジには、流路のフランジよりも上流側と下流側とを連通させる連通路が形成され、流路のフランジよりも下流において、外側ノズルとの間、または内側ノズルとの間に間隙を形成させる間隙形成部をさらに備えることを特徴とする。
 本発明にかかる加工ノズルは、製造コストを抑えて外側流路を通過するアシストガスの流量の抑制を図り、レーザ加工の加工品質の向上を図ることができるという効果を奏する。
本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工装置の概略構成を示す図 実施の形態1にかかるレーザ加工装置が備える加工ノズルの断面図 実施の形態1にかかるレーザ加工装置が備える外側ノズルをレーザビームの入射側から見た平面図 実施の形態1にかかるレーザ加工装置が備える外側ノズルの断面図であって、図3に示すA-A線に沿った矢視断面図 図4に示した外側ノズルの断面斜視図 実施の形態1にかかるレーザ加工装置が備える内側ノズルをレーザビームの入射側から見た平面図 実施の形態1にかかるレーザ加工装置が備える内側ノズルの断面図であって、図6に示すB-B線に沿った矢視断面図 実施の形態1にかかるレーザ加工装置が備える加工ノズルの変形例を示す断面図 図8に示す加工ノズルが備える外側ノズルの変形例を示す断面斜視図 本発明の実施の形態2にかかる加工ノズルの断面図 本発明の実施の形態3にかかる加工ノズルの断面図 本発明の実施の形態3にかかる加工ノズルが備える環状部材の平面図 本発明の実施の形態3にかかる加工ノズルが備える環状部材の断面斜視図 実施の形態3にかかる加工ノズルの変形例を示す断面図 本発明の実施の形態4にかかる加工ノズルの断面図 実施の形態4にかかる加工ノズルの孔をレーザビームの入射側から見た平面図 内側ノズルのフランジの形状の変形例を示す図 内側ノズルのフランジの形状の変形例を示す図
 以下に、本発明の実施の形態にかかる加工ノズルおよびレーザ加工装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
 図1は、本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工装置の概略構成を示す図である。レーザ加工装置100は、保持テーブル103に保持された被加工物101にレーザビーム102を照射してレーザ加工を行う装置である。レーザ加工装置100は、レーザ発振器104と、反射ミラー105と、加工ヘッド1と、アシストガス供給源106と、を備える。
 レーザ発振器104は、レーザビーム102を出力する。反射ミラー105は、レーザ発振器104から出力されたレーザビーム102を加工ヘッド1側へ反射させる。
 加工ヘッド1は、内部に加工レンズ6を備える。また、加工ヘッド1は、レーザビーム102の出射側に加工ノズル2を備える。反射ミラー105に反射されて加工ヘッド1に入射されたレーザビーム102は、加工レンズ6で集光される。加工レンズ6で集光されたレーザビーム102は、加工ノズル2から出射されて被加工物101に照射される。
 アシストガス供給源106は、加工ヘッド1に送る加工ガスであるアシストガスを格納しており、アシストガスをガス路107に送出する。アシストガスは、例えば酸素である。ガス路107は、加工ヘッド1に形成された供給口7に接続されている。アシストガス供給源106から送られてくるアシストガスは、供給口7を通じて加工ヘッド1の内部に供給される。加工ヘッド1の内部に供給されたアシストガスは、加工ノズル2から噴出されて、被加工物101のレーザビーム102が照射される位置に吹き付けられる。加工ヘッド1の移動または保持テーブル103の移動によって、被加工物101へのレーザビーム102の照射位置を変更させることで、被加工物101の切断加工が行われる。
 次に、レーザビーム102の出射およびアシストガスの噴射が行われる加工ノズル2について詳細に説明する。図2は、実施の形態1にかかるレーザ加工装置100が備える加工ノズル2の断面図である。加工ノズル2は、筒状形状を呈する外側ノズル3と、筒状形状を呈して外側ノズル3の内側に嵌め込まれる内側ノズル5とを備える。
 図3は、実施の形態1にかかるレーザ加工装置100が備える外側ノズル3をレーザビーム102の入射側から見た平面図である。図4は、実施の形態1にかかるレーザ加工装置100が備える外側ノズル3の断面図であって、図3に示すA-A線に沿った矢視断面図である。図5は、図4に示した外側ノズル3の断面斜視図である。
 筒状形状を呈する外側ノズル3の内側は、アシストガスが通過する流路4となる。外側ノズル3の内側の形状は、アシストガスが噴出される噴出口21に向けて細くなっている。外側ノズル3の内側には、後述する内側ノズル5のフランジ部が嵌め込まれるフランジ嵌め込み部8が形成される。
 外側ノズル3の内側には、フランジ嵌め込み部8に嵌め込まれたフランジに向けて突出する環状突出部9が形成されている。環状突出部9は、外側ノズル3が呈する筒状形状の中心軸と同軸となる円環形状を呈している。なお、以下の説明において、外側ノズル3が呈する筒状形状の中心軸を、加工ノズル2の中心軸と呼ぶ。環状突出部9の先端には、内側ノズル5のフランジに当接する当接面9aが形成される。環状突出部9の当接面9aには、複数の溝9bが等間隔で形成されている。溝9bは、環状突出部9の外側面と内側面との間を貫通して形成される。
 図6は、実施の形態1にかかるレーザ加工装置100が備える内側ノズル5をレーザビーム102の入射側から見た平面図である。図7は、実施の形態1にかかるレーザ加工装置100が備える内側ノズル5の断面図であって、図6に示すB-B線に沿った矢視断面図である。
 内側ノズル5には、外側ノズル3との間を閉塞するフランジ11が形成される。フランジ11の外側面が、外側ノズル3の内側面に当接する。内側ノズル5では、フランジ11から外側ノズル3の噴出口21に向けて筒状形状を呈する筒状部12が突出形成されている。筒状部12の内側は、アシストガスが通過する内側流路10となる。筒状部12の先端である噴出口22は、外側ノズル3の噴出口21よりも流路4の内側に位置している。内側流路10は、噴出口22に向けて細くなっている。
 図2に示すように、外側ノズル3のフランジ嵌め込み部8にフランジ11を嵌め込む、すなわち内側ノズル5を外側ノズル3の流路4に嵌め込むことで、筒状部12の外側では、流路4がフランジ11によってアシストガスの通過方向における上流側と下流側とに分けられる。ここで、外側ノズル3の内側に形成される流路4のうち、フランジ11よりも上流側を上流流路4aとし、フランジ11よりも下流側であって内側ノズル5の筒状部12と外側ノズル3との間を外側流路4bとする。
 外側ノズル3のフランジ嵌め込み部8にフランジ11を嵌め込むことで、外側ノズル3の環状突出部9に形成された当接面9aがフランジ11に当接する。当接面9aがフランジ11に当接することで、内側ノズル5の流路4内での奥行き方向への位置決めがなされる。当接面9aがフランジ11に当接することで、フランジ11と溝9bとの間に間隙が形成される。すなわち、環状突出部9は、間隙形成部である。なお、内側ノズル5の径方向への位置決めは、フランジ11の外側面と、外側ノズル3の内側面との当接によって行われる。
 また、フランジ11には、上流流路4aと外側流路4bとを連通させる連通路である複数の孔13が、加工ノズル2の中心軸を中心とする円周状に等間隔に形成されている。
 以上のように構成された加工ノズル2では、レーザビーム102は、上流流路4a、内側流路10、噴出口22、噴出口21を通過して加工ノズル2から出射される。また、上流流路4aに供給されたアシストガスは、内側流路10、噴出口22、噴出口21を通過して噴出されるものと、孔13、外側流路4b、噴出口21を通過して噴出されるものとに分けられる。なお、以下の説明において、内側流路10を通過して噴出されるアシストガスを内側気流と称し、外側流路4bを通過して噴出されるアシストガスを外側気流と称する。
 図1に戻って、加工ノズル2から噴出されるアシストガスのうち、内側気流は主にレーザ加工によって被加工物101に形成されたスリット108の内部へ供給される。また、加工ノズル2から噴出されるアシストガスのうち、外側気流は主にレーザ加工によって被加工物101に形成されたスリット108と表面101aとの境界部分へ供給される。なお、外側気流の外側に存在する外気と内側気流との間に外側気流が流れることで、内側気流と外気との速度差が低減される。これにより、内側気流への外気の巻き込みが抑えられ、内側気流の直進性が向上するとともに、アシストガスの濃度の低下が抑制される。
 ここで、被加工物101が軟鋼である軟鋼切断加工について説明する。軟鋼切断加工においては、アシストガスとして主に高純度酸素が用いられる。高純度酸素中でレーザビーム102が照射されて高温となった軟鋼表面では、アシストガスの供給によって酸化反応が促進されてさらに高温となる。これにより、被加工物101にスリット108が形成されて、効率的に切断加工を進行させることができる。
 レーザ加工による切断面の品質の向上を図るためには、レーザビーム102が照射されている場所、すなわちスリット108の内部に多くのアシストガスを供給する必要がある。そこで、スリット108の内部には、内側気流が供給される。また、上述したように、外側気流の噴出によって直進性が向上した内側気流は、スリット108の内部に濃度を維持したまま到達しやすくなっている。
 一方、被加工物101の表面101aとスリット108との境界部分では、アシストガスの供給量を抑えることで酸化反応を抑えて、表面101aの溶融によって表面101aが不安定に加工されることを防ぐことができる。これにより、シャープなスリット108を形成することができる。被加工物101の表面101aとスリット108との境界部分へのアシストガスの供給量を抑えるためには、外側気流の量を抑える必要がある。なお、外側気流は、内側気流の直進性の向上および濃度の維持を図るための流量を確保する必要もあるため、外側気流の流量の調整には高い精度が要求される。
 外側気流の量を抑えるためには、加工ノズル2内の外側気流が通過する流路の面積を小さくすればよい。本実施の形態1では、環状突出部9に形成された溝9bとフランジ11との間に形成された間隙の大きさによって、外側気流が通過する流路の面積を小さくすることができる。すなわち、溝9bの幅および深さを小さくすることで、外側気流が通過する流路の面積を小さくすることができる。本実施の形態1では、複数の孔13の開口面積(流路面積)の総和よりも、複数の溝9bとフランジ11との間の間隙によって形成される流路の面積の総和のほうが小さくなっている。
 ここで、フランジ11に形成される孔13を小さくして、外側気流が通過する流路の面積を小さくすることも可能である。しかしながら、孔13を形成する孔開け加工では、孔の大きさを小さくすることで、加工精度が低下しやすくなり、外側気流の供給量にばらつきが生じやすくなる。外側気流の供給量のばらつきを抑えることができるように孔開け加工の加工精度を確保した場合には、加工費用が増大してしまう。
 一方、本実施の形態1にかかる加工ノズル2では、環状突出部9に形成された溝9bの幅および深さを小さくすることで、外側気流が通過する流路の面積を小さくすることができる。溝9bを形成する溝加工は、孔開け加工に比べて幅および深さを小さくした場合に、加工精度の低下が生じにくい。そのため、溝加工の加工精度の確保に必要な加工費用も抑えやすい。例えば、噴出口21の直径が1.5mmから3mmの場合であっても、溝9bの加工精度として一般公差である±0.1mmを採用することができる。
 また、溝9b部分で流量の抑制が図られるため、フランジ11に形成される孔13を大きく形成することができる。これにより、孔開け加工の費用を抑えることができる。したがって、本実施の形態1にかかる加工ノズル2では、製造コストを抑えて外側流路を通過するアシストガスの流量の抑制を図り、レーザ加工の加工品質の向上を図ることができる。
 また、複数の孔13および複数の溝9bのそれぞれが等間隔で形成されているため、内側気流の周囲で外側気流の流量が周方向で均一化される。そのため、切断加工の進行方向による加工品質のばらつきを抑えることができる。なお、外側気流の均一化を図るためには、複数の孔13および複数の溝9bの数は3個以上であることが好ましい。また、外側流路4bにおいて、中心軸に対する筒状部12の外側面の傾きよりも、中心軸に対する外側ノズル3の内側面の傾きのほうを大きくすることで、外側気流のより一層の均一化を図ることができる。
 なお、レーザ加工装置100として、レーザ発振器104から加工ヘッド1まで反射ミラー105を用いてレーザビーム102を伝搬するものを例示したがこれに限られない。例えば、レーザ発振器104から加工ヘッド1までファイバーでレーザビームを伝搬するレーザ加工装置であってもよい。ファイバーで伝搬されるレーザには、例えばファイバーレーザおよびダイレクトダイオードレーザがある。
 図8は、実施の形態1にかかるレーザ加工装置100が備える加工ノズル2の変形例を示す断面図である。図9は、図8に示す加工ノズル2が備える外側ノズル3の変形例を示す断面斜視図である。本変形例では、環状突出部9の先端面9cに溝が形成されておらず、先端面9cの全体とフランジ11との間に、外側流路4bの流路面積を小さくする間隙が形成される。本変形例では、環状突出部9がフランジ11に当接しないため、内側ノズル5の奥行き方向への位置決めを行う位置決め突出部14が外側ノズル3に形成されている。位置決め突出部14には、孔13が形成された位置よりも外周側で、フランジ11に当接する当て面14aが形成されている。
 本変形例では、環状突出部9に溝を形成しないため、外側ノズル3の形状を簡素化して、製造コストの抑制を図ることができる。本変形例では、複数の孔13の開口面積(流路面積)の総和よりも、環状突出部9の先端面9cとフランジ11との間の間隙によって形成される流路の面積の総和のほうが小さくなっている。
実施の形態2.
 図10は、本発明の実施の形態2にかかる加工ノズルの断面図である。なお、上記実施の形態1と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態2にかかる加工ノズル32は、環状突出部39が内側ノズル5に形成されている。環状突出部39の先端は、外側ノズル3の当て面34に当接する当接面39aとなっている。環状突出部39の当接面39aには、実施の形態1と同様に複数の溝39bが等間隔で形成されており、溝39bと当て面34との間に形成される間隙が、外側流路4bの流路面積を小さくする。
 本実施の形態2にかかる加工ノズル32では、実施の形態1と同様に、溝39bの形成によって、外側流路4bの流路面積を小さくすることができるので、製造コストを抑えて外側流路4bを通過するアシストガスの流量の抑制を図り、レーザ加工の加工品質の向上を図ることができる。本実施の形態2では、複数の孔13の開口面積(流路面積)の総和よりも、複数の溝39bと当て面34との間の間隙によって形成される流路の面積の総和のほうが小さくなっている。
 なお、上記実施の形態1の変形例と同様に、環状突出部39の先端面に溝を形成せずに、先端面全体と当て面34との間に形成される隙間で、外側流路4bの流路面積を小さくしてもよい。この場合には、実施の形態1の変形例と同様に、内側ノズル5の奥行き方向への位置決めを行うために、当て面14aが形成された位置決め突出部14(図8も参照)が外側ノズル3に形成される。また、複数の孔13の開口面積(流路面積)の総和よりも、環状突出部39の先端面と当て面34との間の間隙によって形成される流路の面積の総和のほうが小さくなっている。
実施の形態3.
 図11は、本発明の実施の形態3にかかる加工ノズルの断面図である。なお、上記実施の形態1と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態3にかかる加工ノズル42は、上記実施の形態1および上記実施の形態2で示した環状突出部に代えて、外側ノズル3および内側ノズル5とは別体のリング状の環状部材49を備える。環状部材49は、外側ノズル3と内側ノズル5との間に挟持される被挟持部である。
 図12は、本発明の実施の形態3にかかる加工ノズル42が備える環状部材49の平面図である。図13は、本発明の実施の形態3にかかる加工ノズル42が備える環状部材49の断面斜視図である。環状部材49のうち、フランジ11と対向する面には、フランジ11に当接する当接面49aが形成され、当接面49aには等間隔で複数の溝49bが形成される。溝49bは、環状部材49の外側面と内側面とを貫通する。環状部材49は、外側ノズル3に円形形状に形成された位置決め溝44に嵌ることで位置決めされる。
 本実施の形態3では、環状部材49に形成された溝49bとフランジ11との間に形成される間隙によって外側流路4bの流路面積を小さくすることができる。したがって、上記実施の形態1と同様に、製造コストを抑えて外側流路4bを通過するアシストガスの流量の抑制を図り、レーザ加工の加工品質の向上を図ることができる。また、溝49bの幅および深さの異なる環状部材49に交換することで、外側気流の流量の変更を容易に行うことができる。本実施の形態3では、複数の孔13の開口面積(流路面積)の総和よりも、複数の溝49bとフランジ11との間の間隙によって形成される流路の面積の総和のほうが小さくなっている。
 図14は、実施の形態3にかかる加工ノズル42の変形例を示す断面図である。本変形例では、内側ノズル5のフランジ11に位置決め溝44を形成するとともに、図12に示した例とは上下反転させて環状部材49を設けている。これにより、環状部材49に形成された溝49bと外側ノズル3との間に形成された間隙によって外側流路4bの流路面積を小さくすることができる。本変形例では、複数の孔13の開口面積(流路面積)の総和よりも、複数の溝49bと外側ノズル3との間の間隙によって形成される流路の面積の総和のほうが小さくなっている。
実施の形態4.
 図15は、本発明の実施の形態4にかかる加工ノズル52の断面図である。図16は、実施の形態4にかかる加工ノズル52の孔をレーザビーム102の入射側から見た平面図である。なお、上記実施の形態1と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態4では、フランジ11に形成された孔13からの外側流路4bへの流出口の一部を、外側ノズル3に形成されてフランジ11に当接する当て面55で塞いでいる。図16では、図面の理解容易化のために当て面55にハッチングを付して示している。
 本実施の形態4では、間隙形成部である当て面55と孔13の流出口とで形成される間隙によって、外側流路4bの流路面積を小さくしている。ここで、間隙の面積は、当て面55の縁部55aの位置によって定められる。縁部55aの位置は、切削加工によって調整されるため、上記実施の形態1と同様に、製造コストを抑えて外側流路4bを通過するアシストガスの流量の抑制を図り、レーザ加工の加工品質の向上を図ることができる。
 図17および図18は、内側ノズル5のフランジ11の形状の変形例を示す図である。図17および図18に示すように内側ノズル5のフランジ11に対して、孔13に代えて、フランジ11の外周に切欠き15を形成してもよい。この場合、外側ノズル3の内側面と切欠き15との間が上流流路4aと外側流路4bを連通させる連通路として機能する。切欠き15であれば、孔13を形成するよりも加工費用を抑えやすいため、加工ノズルの製造コストの抑制を図ることができる。
 以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
 1 加工ヘッド、2 加工ノズル、3 外側ノズル、4 流路、4a 上流流路、4b 外側流路、5 内側ノズル、6 加工レンズ、7 供給口、8 フランジ嵌め込み部、9 環状突出部(間隙形成部)、9a 当接面、9b 溝、9c 先端面、10 内側流路、11 フランジ、12 筒状部、13 孔(連通路)、14 位置決め突出部、14a 当て面、15 切欠き(連通路)、21 噴出口、22 噴出口、32 加工ノズル、34 当て面、39 環状突出部(間隙形成部)、39a 当接面、39b 溝、42 加工ノズル、44 位置決め溝、49 環状部材(被挟持部)、49a 当接面、49b 溝、52 加工ノズル、55 当て面(間隙形成部)、55a 縁部、100 レーザ加工装置、101 被加工物、101a 表面、102 レーザビーム、103 保持テーブル、104 レーザ発振器、105 反射ミラー、106 アシストガス供給源、107 ガス路、108 スリット。

Claims (12)

  1.  流路が形成された外側ノズルと、前記外側ノズルの流路に嵌め込まれた内側ノズルと、を備える加工ノズルであって、
     前記内側ノズルには、前記外側ノズルとの間を閉塞するフランジが形成され、
     前記フランジには、前記流路の前記フランジよりも上流側と下流側とを連通させる連通路が形成され、
     前記流路の前記フランジよりも下流において、前記外側ノズルとの間、または前記内側ノズルとの間に間隙を形成させる間隙形成部をさらに備えることを特徴とする加工ノズル。
  2.  前記間隙形成部は、前記外側ノズルと一体に形成され、前記内側ノズルとの間に前記間隙を形成することを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
  3.  前記間隙形成部は、前記内側ノズルに当接する当接面を有し、
     前記当接面には、溝が形成され、
     前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項2に記載の加工ノズル。
  4.  前記間隙形成部は、前記内側ノズルと一体に形成され、前記外側ノズルとの間に前記間隙を形成することを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
  5.  前記間隙形成部は、前記外側ノズルに当接する当接面を有し、
     前記当接面には、溝が形成され、
     前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項4に記載の加工ノズル。
  6.  前記間隙形成部は、前記外側ノズルと前記内側ノズルとの間に挟持される被挟持部であり、
     前記間隙は、前記被挟持部と前記外側ノズルとの間に形成されることを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
  7.  前記被挟持部は、前記外側ノズルに当接する当接面を有し、
     前記当接面には、溝が形成され、
     前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項6に記載の加工ノズル。
  8.  前記間隙形成部は、前記外側ノズルと前記内側ノズルとの間に挟持される被挟持部であり、
     前記間隙は、前記被挟持部と前記内側ノズルとの間に形成されることを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
  9.  前記被挟持部は、前記内側ノズルに当接する当接面を有し、
     前記当接面には、溝が形成され、
     前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項8に記載の加工ノズル。
  10.  前記連通路は、前記フランジに形成された孔であり、
     前記間隙形成部は、前記外側ノズルと一体に形成され、前記孔の一部を塞いで前記間隙を形成することを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
  11.  前記連通路での流路面積の総和よりも、前記間隙での流路面積の総和のほうが小さいことを特徴とする請求項1から10のいずれか1つに記載の加工ノズル。
  12.  請求項1から請求項11のいずれか1つに記載の加工ノズルと、
     前記加工ノズルを通して出射されるレーザビームを発振するレーザ発振器と、を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019142239A1 (ja) * 2018-01-16 2019-07-25 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
JP7467019B1 (ja) 2023-05-02 2024-04-15 小池酸素工業株式会社 レーザ切断ノズル

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6542848B2 (ja) 2017-07-28 2019-07-10 株式会社アマダホールディングス レーザ切断用ノズル製造方法
DE102019103659B4 (de) * 2019-02-13 2023-11-30 Bystronic Laser Ag Gasführung, Laserschneidkopf und Laserschneidmaschine
CN112030155A (zh) * 2020-07-30 2020-12-04 陕西天元智能再制造股份有限公司 一种同轴环形多束送粉喷嘴

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06190582A (ja) * 1992-10-23 1994-07-12 Mitsubishi Electric Corp 加工ヘッド及びレーザ加工装置
JPH10328879A (ja) * 1997-05-30 1998-12-15 Amada Co Ltd レーザ加工機による加工方法およびレーザ加工機におけるノズル
JPH1190672A (ja) * 1997-09-24 1999-04-06 Amada Co Ltd レーザ加工機の加工ノズルおよびアシストガス配分方法
US6046426A (en) * 1996-07-08 2000-04-04 Sandia Corporation Method and system for producing complex-shape objects
JP4930594B2 (ja) * 2007-08-03 2012-05-16 三菱電機株式会社 レーザ加工用ノズル

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3292021B2 (ja) * 1996-01-30 2002-06-17 三菱電機株式会社 レーザ加工方法およびレーザ加工装置
DE19627803C1 (de) * 1996-07-11 1997-10-16 Fraunhofer Ges Forschung Düsenanordnung zum gleichzeitigen Schweißbearbeiten mit einem Laserstrahl und mit einem Lichtbogen
EP1354663B1 (en) * 2002-03-27 2005-02-02 LVD Company NV Nozzle for lasercutting
JP4723456B2 (ja) * 2006-10-27 2011-07-13 三菱電機株式会社 加工ヘッドおよびノズル交換装置およびレーザ加工装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06190582A (ja) * 1992-10-23 1994-07-12 Mitsubishi Electric Corp 加工ヘッド及びレーザ加工装置
US6046426A (en) * 1996-07-08 2000-04-04 Sandia Corporation Method and system for producing complex-shape objects
JPH10328879A (ja) * 1997-05-30 1998-12-15 Amada Co Ltd レーザ加工機による加工方法およびレーザ加工機におけるノズル
JPH1190672A (ja) * 1997-09-24 1999-04-06 Amada Co Ltd レーザ加工機の加工ノズルおよびアシストガス配分方法
JP4930594B2 (ja) * 2007-08-03 2012-05-16 三菱電機株式会社 レーザ加工用ノズル

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019142239A1 (ja) * 2018-01-16 2019-07-25 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
JP7467019B1 (ja) 2023-05-02 2024-04-15 小池酸素工業株式会社 レーザ切断ノズル

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