JPH1190672A - レーザ加工機の加工ノズルおよびアシストガス配分方法 - Google Patents
レーザ加工機の加工ノズルおよびアシストガス配分方法Info
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- JPH1190672A JPH1190672A JP9258851A JP25885197A JPH1190672A JP H1190672 A JPH1190672 A JP H1190672A JP 9258851 A JP9258851 A JP 9258851A JP 25885197 A JP25885197 A JP 25885197A JP H1190672 A JPH1190672 A JP H1190672A
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Abstract
と電気的導電性の安定化を図り、厚板切断の安定化と切
断面の品質向上とアシストガスの流れの均一化を図ると
共に、メンテナンス、段取り性の向上とコストの低減と
ピアス加工におけるピアス穴の穴径の小径化とアシスト
ガスの消費流量の減少を図る。 【解決手段】 アウタノズル11の軸中心に形成した係
合穴23に対して、インナノズル13を圧入して二重ノ
ズル9を構成した。而して、Z軸倣い機能の有効化と二
重ノズル9の小型化と電気的導通性の安定化を図ること
ができる。
Description
加工ノズルおよびアシストガス配分方法に関する。
重ノズルとしては、図15または図18に示されている
二重ノズルが知られている。すなわち、加工ヘッド10
1にはアウタノズル103とインナノズル105がそれ
ぞれネジ部107,109を介して固定装着されて二重
ノズル111は構成されている。
削り出されて製作され、先端部に穴113が形成され、
この穴113を通って集光されたレーザ光LBとアシス
トガスが噴射され切断加工が行なわれる。そこで、前記
穴113の加工材料および切断方法により、その径を変
えて対応するが、SS材(ステンレス)での厚板加工に
おいては現在例えば3mmもしくは4mm径のものが使
用されている。穴113により噴出するアシストガスの
圧力分布は、図16,図17に示されているごとく、板
厚tの薄い場合(図16参照)、穴113は径が小さ
く、分布範囲L,中心部の圧力ピーク値Hも小さくな
る。厚板になるほどカーフを通って溶接金属を下面へ押
し出すアシストガスの圧力は低下してしまうため、穴1
13の径を大きく(図17参照)して中心圧力Hを高く
して対応している。
ナノズル105およびアウタノズル103より噴出する
ガスはインナノズル105およびアウタノズル103を
ネジにより装着する加工ヘッド101の構造により同一
種もしくは個別のガス類を流すことが可能であり圧力も
個別に調整が可能である。図18に示された従来の二重
ノズル111へ供給するアシストガスは独立した配管が
接続されて、圧力および流量も個別に調整が可能なシス
テムとなっていることを示す。すなわち、別個のガスボ
ンベより管路を介して噴出流路133,135へ連通し
ている。なお、符号139は集光レンズである。
により、特にノズル穴径の大きさで決定される。ノズル
の穴径は切断加工を基準にして決定されるが、選定され
たノズルでピアス加工および切断加工が行なわれる。な
お、ピアス加工に合せてノズルの穴径を決定したり、ま
た加工途中で穴径を変えることは現システムでは行なわ
れていない。
して単一穴ノズルならば穴径の大きい方が品質の高い切
断面が得られるが、二重構造になつたノズルは、それよ
りも小さい穴径で高い品質の切断面が得られることよ
り、アシストガスの噴射流量も少なくてすむことがわか
っている。
来のレーザ加工機の二重ノズルでは、図15および図1
8に示された二重ノズル111を構成するインナノズル
105,アウタノズル103の小型化が難かしく、加工
ヘッド101の構造が複雑化する。更に、Z軸倣い機能
の並用が難かしく、インナノズル105とアウタノズル
103の位置関係をネジ込み量にて調整する必要がある
という問題があった。
ごとく穴113の径を大きくすれば、圧力ピーク値Hが
高くなると同時にガス分布範囲Lも広がってしまい、切
断面の条痕が大きくなり、アシストガスの圧力を上げる
ことができず下面の切断おくれが発生する。更に、不必
要な範囲にまでアシストガスがかかり、バーニングが発
生しやすくなり、切断速度も上げられないという問題が
あった。
立した配管が接続されているため、加工ヘッド101回
りの配管が複雑化し、加工ヘッド101自体の構造も複
雑で、インナノズル105とアウタノズル103の小型
化と、静電容量式倣い機能の並用が困難となる。更に、
インナノズル105とアウタノズル103はネジ部10
7,109とで加工ヘッド101へ取り付けるため、位
置関係をジ込み量で調整する必要があるという問題があ
った。
パルス低出力でのピアス加工法では、小さい穴にはなる
が加工時間がかかりすぎる。現在ではフルパワーにより
一気に穴を開けてしまうピアス加工法があるが、切断加
工に合わせせて設定されたノズル穴(例えば3mm穴)
でCWピアス(連続ピアス)を行なうと、レンズがよご
れやすくなり、ブローホールの径が大きくなり穴切断加
工などて切断したい形状によっては使えない場合があ
る。また、生成されるスパッタ、火花が大量にでる等の
問題点があった。
と二重ノズルの小型化と電気的導電性の安定化を図り、
厚板切断の安定化と切断面の品質向上とアシストガスの
流れの均一化を図ると共に、メンテナンス、段取り性の
向上とコストの低減とピアス加工におけるピアス穴の穴
径の小径化とアシストガスの消費流量の減少を図ったレ
ーザ加工機の加工ノズルおよびアシストガス配分方法を
提供することにある。
に、請求項1によるこの発明のレーザ加工機の加工ノズ
ルは、アウタノズルの軸中心を中心に形成した係合穴に
対して、インナノズルを圧入あるいは溶接により一体化
して二重ノズルを構成したことを特徴とするものであ
る。
に圧入あるいは溶接により一体化したことにより、ノズ
ルの小型化と安定した電気導通性の確保ができ、安定し
たZ軸倣い機能が利用可能となる。
工機の加工ノズルは、請求項1のレーザ加工機の加工ノ
ズルにおいて、前記アウタノズルのアシストガス噴出口
先端に対してインナノズルのアシストガス噴射出口を所
定量引き込んだ位置に設けてなることを特徴とするもの
である。
ノズルの先端よりも引き込んだ位置になることにより、
Z軸倣い機能の調整が安定して行えることになる。
工機の加工ノズルは、アウタノズルの軸中心を中心に形
成した係合穴に対してインナノズルを圧入あるいは溶接
により一体化して設け、前記インナノズルの外周に1箇
所または複数箇所に平面部もしくはスリット状のミゾを
軸芯と同一方向へ設けてなることを特徴とするものであ
る。
を軸芯と同一方向へ形成し、このインナノズルをアウタ
ノズルに圧入あるいは溶接により一体化して二重ノズル
を構成したので、アシストガスはインナノズルの中心穴
と切欠面とアウタノズル内壁とによりできた流出口より
分岐して噴出される。而して、中心圧力の高いアシスト
ガスの噴流が得られ、品質の高い切断面が得られると共
に電気導通性が確保される。
工機の加工ノズルは、請求項1のレーザ加工機の加工ノ
ズルにおいて、前記インナノズルの軸心に平行にして外
周に複数の平面もしくはミゾを有し、この平面もしくは
ミゾとアウタノズル内壁とのスキ間で形成されたバイパ
ス用切欠部のアシストガス出口側と所定の距離を隔てて
前記アウタノズルに突当面を形成してなることを特徴と
するものである。
ある一定の距離をおいてアウタノズルに形成した突当面
と向き会う構造となっているので、バイパス用切欠を通
ったガスは突当面に当り、内部にて撹拌されるので、ガ
スの流れを均一化することができ切断面品質の向上を図
ることができる。
加工ノズルは、インナノズルを前記アウタノズルに上下
方向へ移動自在に設け、このインナノズルを常時上方向
へ付勢する弾機を設け、前記アウタノズルの上面に前記
インナノズルの上方向への突出を止めるストッパプレー
トを設けると共に、前記アウタノズル内に前記インナノ
ズルに形成したバイパス用の切欠またはスリット状のミ
ゾより噴出するアシストガスを閉鎖可能なストッパリン
グを設けてなることを特徴とするものである。
ルを上下動自在に設け、インナノズルはアシストガスの
圧力により上下に動作することにより、アシストガスの
バイパス用の流路が閉鎖あるいは開放する。この結果、
アシストガスの噴出口の径が変化し、ワークへ噴射され
るアシストガスの面積が変化するので、ピアス加工時に
アシストガスを高圧にすればインナノズルは押圧され、
インナノズルの穴からのみアシストガスが噴射され、ワ
ークに形成されるピアス穴は小さくなる。
アシストガス配分方法は、アウタノズルとインナノズル
を一体化した二重ノズルにおける前記アウタノズルのア
シストガス噴出穴と前記インナノズルのアシストガス噴
出穴のアシストガス噴出流量配分を、前記インナノズル
噴出穴の入口面積とインナノズルの外周に同芯上に平行
に複数個配置したバイパス用切欠またはスリット状溝入
口総面積の和にて、前記二重ノズルより噴出されるガス
流分布を決定することを特徴とするものである。
いて、アウタノズルへアシストガスを供給するためのバ
イパス用切欠またはスリット状の溝の大きさおよび個数
によって、二重ノズルから得られるガス流量の特性を決
定する。而して、厚板加工に対して最適なガス圧力分布
の流れが得られ、ノズルより噴出するガス制御、圧力コ
ントロールを常に調整する必要がなく、メンテナンス、
段取り性の向上を図ることができる。また、ヘッドおよ
びノズルの構造を単純化でき、小型化が可能で配管等が
減少しコストの低減を図ることができる。
面に基づいて詳細に説明する。なお、レーザ加工機は既
に公知の構成のものであるため、図示と説明を省略す
る。
る。図8を参照するに、レーザ加工機1に備えられた加
工ヘッド3には集光レンズ5が設けられている。また、
加工ヘッド3の側面にはアシストガスの供給口7が設け
られ、この供給口7へ図示を省略したがアシストガス発
生源より配管材を介してアシストガスが供給される。
方)には、加工ノズルである二重ノズル9が設けられて
いる。より詳細には、二重ノズル9は、アウタノズル1
1とインナノズル13とで構成され、アウタノズル11
は前記加工ヘッド3へ螺着され、このアウタノズル11
内へインナノズル13が圧入あるいは溶接で止められて
いる。そして、インナノズル13の外周近傍には複数個
のアシストガスのバイパス用切欠15が設けられてい
る。なお、アシストガスの流れを図中に矢印で示してあ
り、符号17はアウタノズル11に設けたアシストガス
の噴出口であり、符号19はインナノズル13は設けた
アシストガス噴出口である。
たアシストガスは二重ノズル9を構成するインナノズル
13の中心穴を通り、アシストガス噴出口19より噴出
されると共に、バイパス用切欠15を通り噴出され、イ
ンナノズル13先端部にて合流した後アウタノズル11
のアシストガス噴出口17よりワーク表面へ噴出する。
て詳細に説明する。
ノズルを、図1(b)にはインナノズルを、図1(c)
には組立てた状態を示してある。アウタノズル11は、
外周にネジ部21を備え、このネジ部21は加工ヘッド
(図示省略)螺合されるものである。また、アウタノズ
ル11の先端にはアシストガス噴出口17が形成され、
係合穴23が軸芯を平行に形成されている。
25が形成され、このテーパ穴25の先端(図1(b)
にて左側)にはアシストガス噴出口19が形成されてい
る。そして、インナノズル13の外周近傍に複数個のア
シストガスのバイパス用切欠15が軸芯と平行に形成さ
れている。
に形成した係合穴23内へ圧入して、図1(c)に示さ
れているごとく組立てられて二重ノズル9が形成されて
いる。
11とインナノズル13は組み合わされて二重ノズル9
が構成されているため、電気的な導通性において、単一
素材より削り出されて製作されたノズルと同等となり、
また小型化ができる。これにより、センサノズルとして
使用が可能となり、Z軸倣い機能が利用可能となる。
ノズルについて詳細に説明する。
ズルを示し、図2(b)はアシストガスの圧力分布を示
す。
ズル13はインナノズル13のテーパ穴25とアウタノ
ズル11のアシストガス噴出口17は、同芯の位置関係
となり、且つ、インナノズル13の先端はアウタノズル
11の先端(図2(a)において下端)より所定量ΔL
だけ引き込んだ位置に設けてある。
2(b)に示されているごとく、中心部の圧力Pは高く
分布範囲Hは同じピーク値を得る単一穴のノズルよりも
せまくなる。なお、単一穴のノズルの圧力分布を破線で
示す。
シストガスを供給するために、ノズル穴径を大きくする
のではなく、バーニングすることなく、ガス圧力を上げ
ることが可能となり、その結果、大気からの外乱がなく
ワークWの下面での切断遅れがなく、中心部圧力が高く
外周部は低いため条痕が小さく切断面の品質が向上し、
切断速度が上がる。
て詳細に説明する。
ルを示し、図3(b),(c)はバイパス用切欠きの配
置を示す。
1内へ圧入されたインナノズル13にはアシストガスの
バイパスレベル用切欠き15が複数設けられている。こ
のバイパス用切欠き15の出口はある一定の距離をおい
てアウタノズル11に形成した垂直な突当面27に向き
会っている。この場合バイパス用切欠き15を通ったア
シストガスは、一度突当面27に当ることとなり突当面
27の作る空間がチャンバーとなり、サージタンクの役
目をすることで撹拌され流れのむらを無くすることがで
きる。
て流れたアシストガスは突当面27に当り均一な流れと
なり、インナノズル13のアシストガス噴出口19から
のガスと合流し、アウタノズル11のアシストガス噴出
口17から噴出される。よって、噴出されるアシストガ
スのみだれはななくなり、切断面品質の向上を図ること
ができる。
いるごとく、図3(b)はインナノズル13に設けたバ
イパス用切欠き15は1個設けた例で、図3(c)はバ
イパス用切欠き15は3個設けた例である。
9からのガス噴出量と突当面27にて当ってアウタノズ
ル11のアシストガス噴出口17へと流れるアシストガ
スの流量配分は、バイパス用切欠き15の大きさとその
数によっても決定される。
イパス用切欠き15の数の異なりにより、アシストガス
の圧力Pは図4および図5に示されているごとく変化す
る。図4には、図3(b)示された1個のバイパス用切
欠き15が設けられた場合の圧力Pを示し、図5には、
図3(c)に示された3個のバイパス用切欠き15が設
けられた場合の圧力Pを示す。なお、図中破線で示す圧
力は単一穴のノズルの圧力を示してある。
を変更することで、インナノズル13の穴入口面積との
面積比を決定し、厚板加工に対して最適なガス圧力分布
の流れを得るので、インナノズル13、アウタノズル1
1より噴出するガス制御、圧力コントロールを常に調整
する必要がなく、メンテナンス、段取り性の向上が図ら
れる。更に、二重ノズル9の構造を単純化、小型化がで
き、配管等の減少を図ることができる。
て詳細に説明する。
はアウタノズルを示し、図6(b)はインナノズルを示
し、図7(a)はアシストガスのバイパス用切欠部を示
し、図7(b)は二重ノズルを示す。
ノズル43の軸芯に係合穴45が形成され、この係合穴
45の出側に突当面47が形成されていて、アウタノズ
ル43の先端(図6(a)において左側)にはアシスト
ガス噴出口17が形成されている。なお、図示を省略し
た加工ヘッドに螺着するネジ部21が形成されている。
7(a)に示されているごとく、中心部ににテーパ穴5
1が形成され、インナノズル49の先端(図6(b)に
おいて左側)にはアシストガス噴出口19が形成され、
インナノズル49の外周複数箇所にスリット53が軸芯
と平行に形成されている。
とを組み合わせ二重ノズル9としたものが図7(b)に
示されている。
トガスをアシストガス噴出口17,19とバイパス用切
欠であるスリット53より同時噴出させることができ
る。
て詳細に説明する。
ルを示し、図9(b)はバイパス用切欠穴の配置を示
す。
ンナノズル57が上下動自在に装着されている。より詳
細には、アウタノズル55の軸芯に係合穴59が形成さ
れ、この係合穴59の下面にはストッパリンク61が立
設され、アウタノズル55の下端(図9(a)において
下側)にはアシストガス噴出口17が形成されている。
下動自在に装着され、このインナノズル57とアウタノ
ズル55との間に弾機63が装着されインナノズル55
は常時上方向へ付勢されていて、上昇限を一定とするス
トッパプレート65が前記アウタノズル55上部に固定
されている。なお、インナノズル57の軸中心にはテー
パ穴67が形成され、このテーパ穴67の先端にアシス
トガス噴出口19が形成されていて、ノズル57の外周
近傍に複数個のバイパス用切欠き69が軸芯と平行して
設けられている。
ノズル9を加工ヘッド3(図示省略)へ装着し、切断加
工およびピアス加工時のアシストガスの圧力設定により
インナノズル57の位置が変化する。
63の弾撥力Pより低い時は、図10に示されているご
とく、インナノズル57は弾機63の弾撥力により上方
へ移動してストッパプレート65に当接し、インナノズ
ル57に設けたバイパス用切欠69よりアシストガスは
アウタノズル55のアシストガス噴出口17より噴射さ
れる。
Px より高圧の時は、図11に示されているごとく、イ
ンナノズル57はアシストガスの圧力により下方へ押し
下げられ、アウタノズル55に設けたストッパリンク6
1に当接する。この状態では、インナノズル57に設け
たバイパス用切欠69はストッパリング61により閉じ
られることになり、その結果、アシストガスはインナノ
ズル57に設けたアシストガス噴出口19のみより噴出
することとなる。
が変化することにより、ピアス加工時にはアシストガス
の圧力Px を高圧にすれば、噴出穴径はインナノズル5
7のアシストガス噴出口19のみより噴出されるので、
ピアス穴は小さくなる。
て詳細に説明する。
に、図12(a)はアウタノズルを示し、図12(b)
はインナノズルを示し、図12(c)はインナノズルに
形成した切欠面を示す。また、図13(a)は組み合わ
せた状態を示し、図13(b)は図13(a)X矢視に
おける断面を示し図14(a)はインナノズルの斜視図
であり、図14(b)はアウタノズルの斜視図である。
工ヘッドに螺着するためのネジ部21が形成され、アウ
タノズル87の軸芯に係合穴89が設けられ、係合穴8
9の先端は突当面91が形成されている。なお、アウタ
ノズル87の先端(図12(a)において左側)にはア
シストガス噴出口17が設けられている。
93の軸芯にテーパ穴95が形成されていて、このテー
パ穴95の先端(図12(b)において左側)にはアシ
ストガス噴出口19が形成されている。また、インナノ
ズル93の外周には1箇所あるいは複数箇所(本実施例
で2箇所)に切欠面97が形成されている(図12
(c)参照)。
いるごとく、アウタノズル87内へインナノズル93を
圧入により一体的に組み合わせて二重ノズル9とするこ
とでコンパクトなノズルとなり、インナノズル93に形
成した切欠面97とアウタノズル87の内周面とに円弧
と弦に囲まれた隙間が生じる(図13(b)参照)。
93にテーパ穴95と上記隙間のバイパス用の噴出切欠
とに分岐して噴出可能とする。その結果、中心圧力の高
いアシストガスの噴流が得られ、品質の高い切断面が得
られる。また、一体化することでインナノズル93とア
ウタノズル87の電気的導通性が確保され、単一穴ノズ
ルと同等にセンサノズルとして使用が可能となる。
態に限定することなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、ノ
ズルの外周、あるいはアウタノズルの内周面に、スパイ
ラル状の溝を設けることでも可能である。
り理解さされるように、請求項1によるこの発明によれ
ば、インナノズルをアウタノズルに圧入あるいは溶接に
より一体化したことにより、ノズルの小型化と安定した
導通の確保ができ、Z軸倣い機能が利用可能となる。
ノズルの先端はアウタノズルの先端よりも引き込んだ位
置になり、厚板加工に適したアシストガスの圧力分布が
得られ、この結果良好な切断面品質が得られると共に、
切断速度の向上も可能となる。
ノズルの外周に切欠面を軸芯と同一方向へ形成し、この
インナノズルをアウタノズルに圧入あるいは溶接により
一体化して二重ノズルを構成したので、アシストガスは
インナノズルの中心穴と切欠面によりできた流出口より
分岐して噴出される。而して、中心圧力の高いアシスト
ガスの噴流が得られ、品質の高切断面が得られると共に
電気導通性が確保される。
ノズルに設けた複数のバイパス用切欠の出口は、ある一
定の距離をおいてアウタノズルに形成した突当面と向き
合う構造となっているので、バイパス用切欠を通ったガ
スは突当面に当り、内部にて撹拌されるので、ガスの流
れを均一化することができ切断面品質の向上を図ること
ができる。
ノズル内にインナノズルを上下動自在に設け、インナノ
ズルはアシストガスの圧力により上下に動作することに
より、アシストガスのバイパス用の切欠が閉鎖あるいは
開放する。この結果、アシストガスの噴出口の径が変化
し、ワークへ噴射されるアシストガスの面積が変化する
ので、ピアス加工時にアシストガスを高圧にすればイン
ナノズルは押圧され、インナノズルの穴からのみアシス
トガスが噴射され、ワークに形成されるピアス穴は小さ
くなる。
された二重ノズルにおいて、アウタノズルへアシストガ
スを供給するためのバイパス用切欠もしくはスリットの
大きさおよび個数によって、二重ノズルから得られるガ
ス流量の特性を決定する。而して、厚板加工に対して最
適なガス圧力分布の流れが得られ、ノズルより噴出する
ガス制御、圧力コントロールを常に調整する必要がな
く、メンテナンス、段取り性の向上を図ることができ
る。また、ヘッドおよびノズルの構造を単純化でき、小
型化が可能で配管等が減少しコストの低減を図ることが
できる。
(a)はアウタノズルの断面図、図1(b)はインナノ
ズルの断面図、図1(c)は二重ノズルの断面図であ
る。
(a)は二重ノズルの断面図、図2(b)は作用説明図
である。
(a)に二重ノズルの断面図、図3(b)はバイパス用
切欠の配置図、図3(c)はバイパス用切欠の他の配置
図である。
(a)はアウタノズルの断面図、図6(b)はインナノ
ズルの断面図である。
(a)はインナノズルの側面図、図7(b)は二重ノズ
ルの断面図である。
ッドの断面説明図である。
(a)は二重ノズルの断面図、図11(b)は上面図で
ある。
2(a)はアウタノズルの断面図、図12(b)はイン
ナノズルの断面図、図12(c)は側面図である。
3(a)は二重ノズルの断面図、図13(b)は図13
(a)におけるXVI(b)−XVI(b)線に沿った断面図であ
る。
4(a)はインナノズルの斜視図、図14(b)はアウ
タノズルの斜視図である。
配管説明図の一例である。
Claims (6)
- 【請求項1】 アウタノズルの軸中心を中心に形成した
係合穴に対してインナノズルを圧入あるいは溶接により
一体化して二重ノズルを構成したことを特徴とするレー
ザ加工機の加工ノズル。 - 【請求項2】 前記アウタノズルのアシストガス噴出口
先端に対してインナノズルのアシストガス噴射出口を所
定量引き込んだ位置に設けてなることを特徴とする請求
項1記載のレーザ加工機の加工ノズル。 - 【請求項3】 アウタノズルの軸中心を中心に形成した
係合穴に対してインナノズルを圧入あるいは溶接により
一体化して設け、前記インナノズルの軸芯に平行にして
外周に1箇所または複数箇所に切欠面もしくはスリット
状のミゾを設けてアウタノズルと組み合わせることによ
りバイパス路を形成してなることを特徴とするレーザ加
工機の加工ノズル。 - 【請求項4】 前記インナノズルの軸芯に平行にして外
周に複数の平面もしくはミゾを有し、この平面もしくは
ミゾとアウタノズル内壁とのスキ間で形成されたバイパ
ス用切欠部のアシストガス出口側と所定の距離を隔てて
前記アウタノズルに突当面を形成してなることを特徴と
する請求項1記載のレーザ加工機の加工ノズル。 - 【請求項5】 アウタノズルの軸中心を中心に形成した
係合穴に対して、アシストガスのバイパス用の切欠また
はスリット状のミゾを複数外周に備えたインナノズルを
前記アウタノズルに上下方向へ移動自在に設け、このイ
ンナノズルを常時上方向へ付勢する弾機を設け、前記ア
ウタノズルの上面に前記インナノズルの上方向の突出を
止めるストッパプレートを設けると共に、アウタノズル
内に前記インナノズルに形成したバイパス用の切欠また
はスリット状のミゾより噴出するアシストガスを閉鎖可
能なストッパを設けてなることを特徴とするレーザ加工
機の加工ノズル。 - 【請求項6】 アウタノズルとインナノズルを一体化し
た二重ノズルにおける前記アウタノズルのアシストガス
噴出穴と前記インナノズルのアシストガス噴出穴のアシ
ストガス噴出流量配分を、前記インナノズル噴出穴の入
口面積とインナノズルの外周に形成された平面もしくは
スリット状のミゾの入口総面積の和にて、前記二重ノズ
ルより噴出されるガス流分布を決定することを特徴とす
るレーザ加工機のアシストガス配分方法。
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