JPH10328879A - レーザ加工機による加工方法およびレーザ加工機におけるノズル - Google Patents
レーザ加工機による加工方法およびレーザ加工機におけるノズルInfo
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- JPH10328879A JPH10328879A JP9142319A JP14231997A JPH10328879A JP H10328879 A JPH10328879 A JP H10328879A JP 9142319 A JP9142319 A JP 9142319A JP 14231997 A JP14231997 A JP 14231997A JP H10328879 A JPH10328879 A JP H10328879A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 冷却媒を噴霧すると共に加工時に発生するス
パッタやドロス等をワークの表面から容易に剥離させる
ことができ且つ倣いセンサとして用いることのできるレ
ーザ加工機による加工方法およびレーザ加工機における
ノズルを提供する。 【解決手段】 アウターノズル２７とミドルノズル２９
の間に設けられた隙間３５から吹付けられた冷却媒やエ
アーはミドルノズル２９の外形に沿って広がるので、ワ
ークＷの表面の不純物を外側へ除去する。ミドルノズル
２９とインナーノズル３１の間に設けられている隙間３
９からは加工位置に向かってアシストガス等が噴出され
る。
パッタやドロス等をワークの表面から容易に剥離させる
ことができ且つ倣いセンサとして用いることのできるレ
ーザ加工機による加工方法およびレーザ加工機における
ノズルを提供する。 【解決手段】 アウターノズル２７とミドルノズル２９
の間に設けられた隙間３５から吹付けられた冷却媒やエ
アーはミドルノズル２９の外形に沿って広がるので、ワ
ークＷの表面の不純物を外側へ除去する。ミドルノズル
２９とインナーノズル３１の間に設けられている隙間３
９からは加工位置に向かってアシストガス等が噴出され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、特に厚板のワー
クの切断加工に適するレーザ加工機による加工方法およ
びレーザ加工機におけるノズルに関するものである。
クの切断加工に適するレーザ加工機による加工方法およ
びレーザ加工機におけるノズルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の多重ノズルは、レーザビームを照
射すると共にレーザガスを噴出させるインナーノズル
と、シールドガスまたは冷却用の流体を噴出させるアウ
ターノズルを備えたものが一般的である。
射すると共にレーザガスを噴出させるインナーノズル
と、シールドガスまたは冷却用の流体を噴出させるアウ
ターノズルを備えたものが一般的である。
【０００３】また、図９に示されているノズル１０１よ
うに、インナーノズル１０３とアウターノズル１０５を
有しており、さらにアウターノズル１０５の外側にリン
グ状の倣いセンサーチップ１０７を取付けたものも使用
されている。あるいは、図示はしないが多重ノズルのう
ちの外側のノズルを静電容量式倣いセンサーとするもの
も使用されている。
うに、インナーノズル１０３とアウターノズル１０５を
有しており、さらにアウターノズル１０５の外側にリン
グ状の倣いセンサーチップ１０７を取付けたものも使用
されている。あるいは、図示はしないが多重ノズルのう
ちの外側のノズルを静電容量式倣いセンサーとするもの
も使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、先に示
したような多重ノズルにあっては、冷却効果については
一応の効果があるものの、特に厚板加工についてはその
冷却効果や、スパッタやドロスの処理に関して十分満足
の得られるものではなかった。また、ピアス加工時にお
いて生成されたスパッタやドロスがワークの表面に固着
するので、ピアス加工から通常の切断に移行する際に、
固着物がノズルの障害となって円滑な移行ができなくな
って、甚だしい場合には加工ノズルと干渉または衝突の
原因となっているという問題がある。
したような多重ノズルにあっては、冷却効果については
一応の効果があるものの、特に厚板加工についてはその
冷却効果や、スパッタやドロスの処理に関して十分満足
の得られるものではなかった。また、ピアス加工時にお
いて生成されたスパッタやドロスがワークの表面に固着
するので、ピアス加工から通常の切断に移行する際に、
固着物がノズルの障害となって円滑な移行ができなくな
って、甚だしい場合には加工ノズルと干渉または衝突の
原因となっているという問題がある。
【０００５】また、倣いセンサーをノズル外部に取付け
たものでは、ノズルの交換等の作業においてはそのたび
ごとにノズルとセンサーチップとの位置関係調整の困難
さや外部に取付けるため倣いセンサー部とワークとの干
渉を回避するため自ら加工領域を制限しなければならな
いという問題がある。あるいは、多重ノズルの外側のノ
ズルを静電容量式倣いセンサーとした場合には、冷却水
を使用する場合にインナーノズルとアウタノズルの隙間
より噴出した冷却水は遠心力によりノズル中心に広がり
ながらワークに噴出するために、ワークとセンサー部の
隙間に冷却水が入り込み、この為、水の比誘電率の影響
を受けて、センサーとして機能を十分に果たせないとい
う問題がある。
たものでは、ノズルの交換等の作業においてはそのたび
ごとにノズルとセンサーチップとの位置関係調整の困難
さや外部に取付けるため倣いセンサー部とワークとの干
渉を回避するため自ら加工領域を制限しなければならな
いという問題がある。あるいは、多重ノズルの外側のノ
ズルを静電容量式倣いセンサーとした場合には、冷却水
を使用する場合にインナーノズルとアウタノズルの隙間
より噴出した冷却水は遠心力によりノズル中心に広がり
ながらワークに噴出するために、ワークとセンサー部の
隙間に冷却水が入り込み、この為、水の比誘電率の影響
を受けて、センサーとして機能を十分に果たせないとい
う問題がある。
【０００６】また、厚板の加工におけるピアス加工や通
常加工には、有効な多重ノズルが未だ使用されていない
状況である。
常加工には、有効な多重ノズルが未だ使用されていない
状況である。
【０００７】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、冷却媒を噴霧すると
共に加工時に発生するスパッタやドロス等をワークの表
面から容易に剥離させることができ且つ倣いセンサーと
して用いることのできるレーザ加工機による加工方法お
よびレーザ加工機におけるノズルを提供することにあ
る。
術に着目してなされたものであり、冷却媒を噴霧すると
共に加工時に発生するスパッタやドロス等をワークの表
面から容易に剥離させることができ且つ倣いセンサーと
して用いることのできるレーザ加工機による加工方法お
よびレーザ加工機におけるノズルを提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１による発明のレーザ加工機による加工方
法は、多重構造のノズルを構成するアウターノズルとミ
ドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有する
不燃性の防錆剤とエアーを混合して回転しながら噴出さ
せることでその遠心力によりワーク表面に外側へ広がる
状態で吹付けることで、ワークの温度を安定させ、さら
にピアス加工又は切断中にワーク表面に生成するスパッ
ター及び溶融金属カス等の不純物を切断経路上より除去
せしめること、を特徴とするものである。
めに、請求項１による発明のレーザ加工機による加工方
法は、多重構造のノズルを構成するアウターノズルとミ
ドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有する
不燃性の防錆剤とエアーを混合して回転しながら噴出さ
せることでその遠心力によりワーク表面に外側へ広がる
状態で吹付けることで、ワークの温度を安定させ、さら
にピアス加工又は切断中にワーク表面に生成するスパッ
ター及び溶融金属カス等の不純物を切断経路上より除去
せしめること、を特徴とするものである。
【０００９】従って、アウターノズルとミドルノズルの
間に設けられた隙間から冷却効果を有する不燃性の防錆
剤とエアーを混合してワーク表面に外側へ広がる状態で
吹付けることでワークの温度が安定化される。その後、
ミドルノズルとインナーノズルの間に設けられた隙間か
らアシストガスをピアス加工又は切断加工中にワーク表
面に生成するスパッター及び溶融金属カス等の不純物が
除去される。
間に設けられた隙間から冷却効果を有する不燃性の防錆
剤とエアーを混合してワーク表面に外側へ広がる状態で
吹付けることでワークの温度が安定化される。その後、
ミドルノズルとインナーノズルの間に設けられた隙間か
らアシストガスをピアス加工又は切断加工中にワーク表
面に生成するスパッター及び溶融金属カス等の不純物が
除去される。
【００１０】請求項２による発明のレーザ加工機による
加工方法は、請求項１のレーザ加工機による加工方法に
おいて、冷却効果を有する不燃性の防錆剤が単なる水又
は防錆水もしくは粉体であること、を特徴とするもので
ある。
加工方法は、請求項１のレーザ加工機による加工方法に
おいて、冷却効果を有する不燃性の防錆剤が単なる水又
は防錆水もしくは粉体であること、を特徴とするもので
ある。
【００１１】従って、不燃性であると共に冷却効果を有
する。
する。
【００１２】請求項３による発明のレーザ加工機におけ
るノズルは、レーザ発振器により発振されたレーザビー
ムをワークに照射してレーザ加工を行うためのレーザ加
工機におけるノズルであって、外側に位置するアウター
ノズルと、このアウターノズルの内側に所定の隙間を有
する状態で位置すると共に先端部がラッパ状に拡大した
ミドルノズルと、で構成されていることを特徴とするも
のである。
るノズルは、レーザ発振器により発振されたレーザビー
ムをワークに照射してレーザ加工を行うためのレーザ加
工機におけるノズルであって、外側に位置するアウター
ノズルと、このアウターノズルの内側に所定の隙間を有
する状態で位置すると共に先端部がラッパ状に拡大した
ミドルノズルと、で構成されていることを特徴とするも
のである。
【００１３】従って、アウターノズルとミドルノズルの
間に設けられた隙間から吹付けられた冷却媒やエアーは
ミドルノズルの外形に沿って広がるので、ワーク表面の
不純物を外側へ除去する。
間に設けられた隙間から吹付けられた冷却媒やエアーは
ミドルノズルの外形に沿って広がるので、ワーク表面の
不純物を外側へ除去する。
【００１４】請求項４による発明のレーザ加工機におけ
るノズルは、請求項３のレーザ加工機におけるノズルに
おいて、内部に所定の間隔を有する状態で挿入されたイ
ンナーノズルを備えてなることを特徴とするものであ
る。
るノズルは、請求項３のレーザ加工機におけるノズルに
おいて、内部に所定の間隔を有する状態で挿入されたイ
ンナーノズルを備えてなることを特徴とするものであ
る。
【００１５】したがって、ミドルノズルとインナーノズ
ルの間に設けられている隙間からワークの加工位置へ向
けてアシストガス等が噴出される。
ルの間に設けられている隙間からワークの加工位置へ向
けてアシストガス等が噴出される。
【００１６】請求項５による発明のレーザ加工機におけ
るノズルは、請求項３のレーザ加工機におけるノズルに
おいて、ミドルノズル自体が静電容量型倣いセンサーの
電極であり、ワークとの隙間をその先端部にて検出制御
すること、を特徴とするものである。
るノズルは、請求項３のレーザ加工機におけるノズルに
おいて、ミドルノズル自体が静電容量型倣いセンサーの
電極であり、ワークとの隙間をその先端部にて検出制御
すること、を特徴とするものである。
【００１７】従って、アウターノズルとミドルノズルの
間に設けられた隙間から冷却水を吹付ける場合でも、ミ
ドルノズルの外形により冷却水が外側へ吹付けられるの
で、ミドルノズル自体を静電容量型倣いセンサーとして
使用すれば冷却水による比誘電率の不安定性を排除す
る。
間に設けられた隙間から冷却水を吹付ける場合でも、ミ
ドルノズルの外形により冷却水が外側へ吹付けられるの
で、ミドルノズル自体を静電容量型倣いセンサーとして
使用すれば冷却水による比誘電率の不安定性を排除す
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】図７および図８にはレーザ加工機１の全体
が示されている。このレーザ加工機１はごく一般的なも
のであるので詳細な説明は省略して概略のみ説明する。
このレーザ加工機１は、レーザビームＬＢを発するレー
ザ発振器３を近傍に有しており、レーザ発振器３により
発せられたレーザビームＬＢは複数のベンドミラー５を
介してレーザ加工機１に送られる。
が示されている。このレーザ加工機１はごく一般的なも
のであるので詳細な説明は省略して概略のみ説明する。
このレーザ加工機１は、レーザビームＬＢを発するレー
ザ発振器３を近傍に有しており、レーザ発振器３により
発せられたレーザビームＬＢは複数のベンドミラー５を
介してレーザ加工機１に送られる。
【００２０】レーザ加工機１は、ベース７と、このベー
ス７の一端部において垂直に固定されているポスト９
と、このポスト９によって前記ベース７の上方に水平片
持ち梁状に支持されている本体フレーム１１から成って
いる。前記ベース７の上には、加工されるワークＷを水
平に載置する固定テーブル１３が設けられている。この
固定テーブル１３の前後両側（図８中上下両側）には、
Ｙ軸方向（図８中左右方向）へ移動・位置決め自在の可
動テーブル１５が設けられており、前記固定テーブル１
３を跨いで前記可動テーブル１５を連結し、可動テーブ
ル１５と一体でＹ軸方向へ移動・位置決めされるキャレ
ッジベース１７が設けられている。このキャレッジベー
ス１７には、ワークＷを把持するワーククランパ１９を
間隔調整自在に有するＸ軸キャレッジ２１が、Ｘ軸方向
へ移動・位置決め自在に設けられている。
ス７の一端部において垂直に固定されているポスト９
と、このポスト９によって前記ベース７の上方に水平片
持ち梁状に支持されている本体フレーム１１から成って
いる。前記ベース７の上には、加工されるワークＷを水
平に載置する固定テーブル１３が設けられている。この
固定テーブル１３の前後両側（図８中上下両側）には、
Ｙ軸方向（図８中左右方向）へ移動・位置決め自在の可
動テーブル１５が設けられており、前記固定テーブル１
３を跨いで前記可動テーブル１５を連結し、可動テーブ
ル１５と一体でＹ軸方向へ移動・位置決めされるキャレ
ッジベース１７が設けられている。このキャレッジベー
ス１７には、ワークＷを把持するワーククランパ１９を
間隔調整自在に有するＸ軸キャレッジ２１が、Ｘ軸方向
へ移動・位置決め自在に設けられている。
【００２１】一方、前記本体フレーム１１の先端（図７
中右先端）の下面には、加工ヘッド２３が設けられてお
り、この加工ヘッド２３の先端には前記レーザ発振器３
からのレーザビームＬＢをワークＷに照射するノズル２
５が装着されている。
中右先端）の下面には、加工ヘッド２３が設けられてお
り、この加工ヘッド２３の先端には前記レーザ発振器３
からのレーザビームＬＢをワークＷに照射するノズル２
５が装着されている。
【００２２】従って、ワークＷを把持したＸ軸キャレッ
ジ２１をＸ軸方向に移動・位置決めすると共に、キャレ
ッジベース１７をＹ軸方向に移動・位置決めしてノズル
２５の下方にワークＷの加工位置を位置決めし、レーザ
ビームＬＢをこのワークＷに照射してレーザ加工が行わ
れることになる。
ジ２１をＸ軸方向に移動・位置決めすると共に、キャレ
ッジベース１７をＹ軸方向に移動・位置決めしてノズル
２５の下方にワークＷの加工位置を位置決めし、レーザ
ビームＬＢをこのワークＷに照射してレーザ加工が行わ
れることになる。
【００２３】図１および図２には、前述の加工ヘッド２
３の先端に装着されているノズル２５が示されている。
このノズル２５は多重ノズルであり、最も外側に円形断
面のアウターノズル２７を有し、このアウターノズル２
７の内部空間に円形断面のミドルノズル２９を有してい
る。さらに、このミドルノズル２９の内部には円形断面
のインナーノズル３１を有しており、三重構造となって
いる。
３の先端に装着されているノズル２５が示されている。
このノズル２５は多重ノズルであり、最も外側に円形断
面のアウターノズル２７を有し、このアウターノズル２
７の内部空間に円形断面のミドルノズル２９を有してい
る。さらに、このミドルノズル２９の内部には円形断面
のインナーノズル３１を有しており、三重構造となって
いる。
【００２４】前記ミドルノズル２９の外周において、二
ヶ所に平坦部３３が設けられているので、アウターノズ
ル２７との間に隙間３５が二ヶ所に形成されている。前
記インナーノズル３１の外周にも平坦部３７が設けられ
ているので、ミドルノズル２９との間に隙間３９が形成
されている。また、最も先端に位置するミドルノズル２
９の先端部４１はラッパ状に形成されている。
ヶ所に平坦部３３が設けられているので、アウターノズ
ル２７との間に隙間３５が二ヶ所に形成されている。前
記インナーノズル３１の外周にも平坦部３７が設けられ
ているので、ミドルノズル２９との間に隙間３９が形成
されている。また、最も先端に位置するミドルノズル２
９の先端部４１はラッパ状に形成されている。
【００２５】従って、インナーノズル３１とミドルノズ
ル２９との間、およびミドルノズル２９とアウターノズ
ル２７の間には、液体やガスを噴出するための通路が形
成され、隙間３５から噴出されたガス等は外側へ広が
る。また、隙間３９からはアシストガスが噴出されるも
のである。
ル２９との間、およびミドルノズル２９とアウターノズ
ル２７の間には、液体やガスを噴出するための通路が形
成され、隙間３５から噴出されたガス等は外側へ広が
る。また、隙間３９からはアシストガスが噴出されるも
のである。
【００２６】次に、図３〜図６に基づいて、レーザ切断
加工方法について説明する。
加工方法について説明する。
【００２７】まず、図３を参照するに、ノズルギャップ
Ｈを若干大きめ（例えば２．５ｍｍ）にとって、アウタ
ーノズル２７とミドルノズル２９の間に形成されている
隙間３５から、防錆水とエアーを混合したものを水噴霧
としてワークＷの表面に所定の強度（例えば３．５Kgf/
cm2 ）で吹付ける。このとき、防錆水がたとえ蒸発して
もワークＷの表面に防錆剤は残るので、スパッタやドロ
スがワークＷの表面に直接固着するのを防止することが
できる。
Ｈを若干大きめ（例えば２．５ｍｍ）にとって、アウタ
ーノズル２７とミドルノズル２９の間に形成されている
隙間３５から、防錆水とエアーを混合したものを水噴霧
としてワークＷの表面に所定の強度（例えば３．５Kgf/
cm2 ）で吹付ける。このとき、防錆水がたとえ蒸発して
もワークＷの表面に防錆剤は残るので、スパッタやドロ
スがワークＷの表面に直接固着するのを防止することが
できる。
【００２８】続いて、図４を参照するに、防錆水を止め
て、同じ大きめのノズルギャップＨでエアーのみを前述
と同様にアウターノズル２７とミドルノズル２９の間に
形成されている隙間３５から所定の強度（例えばアシス
トガスを０．４Kgf/cm2 、アウターエアーを１Kgf/c
m2 ）でワークＷの表面に吹付ける。このエアーにより
スパッタを外側へ吹飛ばしながらピアス加工を行う。こ
の時点で、前述の図３に示されている工程において噴霧
した防錆剤によって、部分的ではあるがワークＷの表面
からスパッタを吹飛ばすことができる。
て、同じ大きめのノズルギャップＨでエアーのみを前述
と同様にアウターノズル２７とミドルノズル２９の間に
形成されている隙間３５から所定の強度（例えばアシス
トガスを０．４Kgf/cm2 、アウターエアーを１Kgf/c
m2 ）でワークＷの表面に吹付ける。このエアーにより
スパッタを外側へ吹飛ばしながらピアス加工を行う。こ
の時点で、前述の図３に示されている工程において噴霧
した防錆剤によって、部分的ではあるがワークＷの表面
からスパッタを吹飛ばすことができる。
【００２９】図５を参照するに、前述の図４に示されて
いるピアス加工の工程においてワークＷの表面に付着し
て除去できなかったスパッタやドロスを、前述の図３に
示されている工程を所定の強度（例えばアシストガスを
６Kgf/cm2 、防錆水＋アウターエアーを３．５Kgf/c
m2 ）で再度実行することにより完全に除去する。
いるピアス加工の工程においてワークＷの表面に付着し
て除去できなかったスパッタやドロスを、前述の図３に
示されている工程を所定の強度（例えばアシストガスを
６Kgf/cm2 、防錆水＋アウターエアーを３．５Kgf/c
m2 ）で再度実行することにより完全に除去する。
【００３０】図６を参照するに、スパッタやドロスが完
全に除去された後、静電容量式倣いセンサーであるミド
ルノズル２９の先端部４１、ノズルギャップＨを最適値
（例えば１．５ｍｍ）に修正し確認した後、所定の強度
（例えばアシストガスを０．５Kgf/cm2 、隙間３５から
防錆水＋アウターエアーを３．５Kgf/cm2 ）でエアーや
防錆水を吹付けながら切断加工を開始する。
全に除去された後、静電容量式倣いセンサーであるミド
ルノズル２９の先端部４１、ノズルギャップＨを最適値
（例えば１．５ｍｍ）に修正し確認した後、所定の強度
（例えばアシストガスを０．５Kgf/cm2 、隙間３５から
防錆水＋アウターエアーを３．５Kgf/cm2 ）でエアーや
防錆水を吹付けながら切断加工を開始する。
【００３１】以上の結果から、ノズル２５から噴出する
冷却媒に防錆水とエアーを混合してワークＷの表面に強
く吹付けるので、ワークの温度を安定させて冷却効果を
与えると共に、特に厚板のワークＷ表面のスパッタやド
ロスを除去すると共に防錆処理を施すことができる。
冷却媒に防錆水とエアーを混合してワークＷの表面に強
く吹付けるので、ワークの温度を安定させて冷却効果を
与えると共に、特に厚板のワークＷ表面のスパッタやド
ロスを除去すると共に防錆処理を施すことができる。
【００３２】また、多重なノズル２５を使用することに
より冷却を常時行うことができ、ピアス加工および通常
の切断加工においても適正な加工を行うことができる。
より冷却を常時行うことができ、ピアス加工および通常
の切断加工においても適正な加工を行うことができる。
【００３３】また、ノズル２５の一部として使用するミ
ドルノズル２９の先端をラッパ形状としたので、冷却水
を使用する場合でも冷却水をミドルノズル２９の先端か
ら追い出すことができ、水の比誘電率の影響を受けるこ
となく倣いを行うことができる。
ドルノズル２９の先端をラッパ形状としたので、冷却水
を使用する場合でも冷却水をミドルノズル２９の先端か
ら追い出すことができ、水の比誘電率の影響を受けるこ
となく倣いを行うことができる。
【００３４】なお、この発明は前述の発明の実施の形態
に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。すなわち、
前述の実施の形態において使用した防錆水の代わりに単
なる水や不燃性の油もしくは粉体を用いることもでき
る。
に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。すなわち、
前述の実施の形態において使用した防錆水の代わりに単
なる水や不燃性の油もしくは粉体を用いることもでき
る。
【００３５】また、前述の発明の実施の形態において示
した吐出力の数値は一例であり、これに限るものではな
く、状況に応じて適切な値で実施することが望ましい。
した吐出力の数値は一例であり、これに限るものではな
く、状況に応じて適切な値で実施することが望ましい。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるレーザ加工機による加工方法では、アウターノズル
とミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有
する不燃性の防錆剤とエアーを混合して特に厚板のワー
ク表面に外側へ広がる状態で吹付けることでワークの温
度が安定化される。その後、ミドルノズルとインナーノ
ズルの間に設けられた隙間からアシストガスをピアス又
は切断中にワーク表面に生成するスパッター及び溶融金
属カス等の不純物を除去せしめることができる。
よるレーザ加工機による加工方法では、アウターノズル
とミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有
する不燃性の防錆剤とエアーを混合して特に厚板のワー
ク表面に外側へ広がる状態で吹付けることでワークの温
度が安定化される。その後、ミドルノズルとインナーノ
ズルの間に設けられた隙間からアシストガスをピアス又
は切断中にワーク表面に生成するスパッター及び溶融金
属カス等の不純物を除去せしめることができる。
【００３７】請求項２の発明によるレーザ加工機による
加工方法では、単なる水又は防錆水もしくは粉体を使用
することにより、不燃性であると共に冷却効果を有す
る。
加工方法では、単なる水又は防錆水もしくは粉体を使用
することにより、不燃性であると共に冷却効果を有す
る。
【００３８】請求項３の発明によるレーザ加工機におけ
るノズルでは、アウターノズルとミドルノズルの間に設
けられた隙間から吹付けられた冷却媒やエアーはミドル
ノズルの外形に沿って広がるので、特に厚板のワーク表
面の不純物を確実に外側へ除去することができる。これ
により、不純物を巻き込むことがないので、適正な切断
加工を行うことができる。
るノズルでは、アウターノズルとミドルノズルの間に設
けられた隙間から吹付けられた冷却媒やエアーはミドル
ノズルの外形に沿って広がるので、特に厚板のワーク表
面の不純物を確実に外側へ除去することができる。これ
により、不純物を巻き込むことがないので、適正な切断
加工を行うことができる。
【００３９】請求項４の発明によるレーザ加工機におけ
るノズルでは、ミドルノズルとインナーノズルとの間に
設けられた隙間からワークの加工位置へ向けてアシスト
ガス等を噴射せしめることができ、適正な切断加工を行
うことができる。
るノズルでは、ミドルノズルとインナーノズルとの間に
設けられた隙間からワークの加工位置へ向けてアシスト
ガス等を噴射せしめることができ、適正な切断加工を行
うことができる。
【００４０】請求項５の発明によるレーザ加工機におけ
るノズルでは、アウターノズルとミドルノズルの間に設
けられた隙間から冷却水を吹付ける場合でも、ミドルノ
ズルの外形により冷却水が外側へ吹付けられるので、ミ
ドルノズル先端を倣いセンサーとして使用すれば冷却水
による比誘電率の不安定性を排除することができる。
るノズルでは、アウターノズルとミドルノズルの間に設
けられた隙間から冷却水を吹付ける場合でも、ミドルノ
ズルの外形により冷却水が外側へ吹付けられるので、ミ
ドルノズル先端を倣いセンサーとして使用すれば冷却水
による比誘電率の不安定性を排除することができる。
【図１】この発明に係るレーザ加工機におけるノズルを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１中II方向から見た平面図である。
【図３】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の
工程を示す断面図である。
工程を示す断面図である。
【図４】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の
工程を示す断面図である。
工程を示す断面図である。
【図５】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の
工程を示す断面図である。
工程を示す断面図である。
【図６】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の
工程を示す断面図である。
工程を示す断面図である。
【図７】この発明に係るレーザ加工機による加工方法を
適用するレーザ加工機を示す正面図である。
適用するレーザ加工機を示す正面図である。
【図８】図７中VIII方向から見た平面図である。
【図９】従来の多重ノズルを示す断面図である。
１ レーザ加工機 ３ レーザ発振器 ２５ ノズル ２７ アウターノズル ２９ ミドルノズル ３５ 隙間 ３９ 隙間 ４１ 先端部（倣いセンサ） Ｗ ワーク ＬＢ レーザビーム
Claims (5)
- 【請求項１】 多重構造のノズルを構成するアウターノ
ズルとミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果
を有する不燃性の防錆剤とエアーを混合して回転しなが
ら噴出させることでその遠心力によりワーク表面に外側
へ広がる状態で吹付けることで、ワークの温度を安定さ
せ、さらにピアス加工又は切断中にワーク表面に生成す
るスパッター及び溶融金属カス等の不純物を切断経路上
より除去せしめること、を特徴とするレーザ加工機によ
る加工方法。 - 【請求項２】 前記冷却効果を有する不燃性の防錆剤が
単なる水又は防錆水もしくは粉体であること、を特徴と
する請求項１記載のレーザ加工機による加工方法。 - 【請求項３】 レーザ発振器により発振されたレーザビ
ームをワークに照射してレーザ加工を行うためのレーザ
加工機におけるノズルであって、外側に位置するアウタ
ーノズルと、このアウターノズルの内側に所定の隙間を
有する状態で位置すると共に先端部がラッパ状に拡大し
たミドルノズルと、で構成されていることを特徴とする
レーザ加工機におけるノズル。 - 【請求項４】 前記ミドルノズルは内部に所定の間隔を
有する状態で挿入されたインナーノズルを備えてなるこ
とを特徴とする請求項３記載のレーザ加工機におけるノ
ズル。 - 【請求項５】 前記ミドルノズル自体が静電容量型倣い
センサーの電極であり、ワークとの隙間をその先端部に
て検出制御すること、を特徴とする請求項３記載のレー
ザ加工機におけるノズル。
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|---|---|---|---|
| JP14231997A JP3749352B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | レーザ加工機におけるノズル |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP14231997A JP3749352B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | レーザ加工機におけるノズル |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10328879A true JPH10328879A (ja) | 1998-12-15 |
| JP3749352B2 JP3749352B2 (ja) | 2006-02-22 |
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ID=15312598
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|---|---|---|---|
| JP14231997A Expired - Fee Related JP3749352B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | レーザ加工機におけるノズル |
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|---|---|
| JP (1) | JP3749352B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016147410A1 (ja) * | 2015-03-19 | 2016-09-22 | 三菱電機株式会社 | 加工ノズルおよびレーザ加工装置 |
| WO2020166327A1 (ja) | 2019-02-15 | 2020-08-20 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工用ノズル及びレーザ加工装置 |
| US11389898B2 (en) | 2016-12-22 | 2022-07-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser processing apparatus, laser processing method, and method for manufacturing semiconductor apparatus |
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-
1997
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| CN107249810A (zh) * | 2015-03-19 | 2017-10-13 | 三菱电机株式会社 | 加工喷嘴及激光加工装置 |
| US11389898B2 (en) | 2016-12-22 | 2022-07-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser processing apparatus, laser processing method, and method for manufacturing semiconductor apparatus |
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| WO2020166327A1 (ja) | 2019-02-15 | 2020-08-20 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工用ノズル及びレーザ加工装置 |
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