JPWO2016147410A1 - 加工ノズルおよびレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工装置の概略構成を示す図である。レーザ加工装置100は、保持テーブル103に保持された被加工物101にレーザビーム102を照射してレーザ加工を行う装置である。レーザ加工装置100は、レーザ発振器104と、反射ミラー105と、加工ヘッド1と、アシストガス供給源106と、を備える。
図10は、本発明の実施の形態2にかかる加工ノズルの断面図である。なお、上記実施の形態1と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態2にかかる加工ノズル32は、環状突出部39が内側ノズル5に形成されている。環状突出部39の先端は、外側ノズル3の当て面34に当接する当接面39aとなっている。環状突出部39の当接面39aには、実施の形態1と同様に複数の溝39bが等間隔で形成されており、溝39bと当て面34との間に形成される間隙が、外側流路4bの流路面積を小さくする。
図11は、本発明の実施の形態3にかかる加工ノズルの断面図である。なお、上記実施の形態1と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態3にかかる加工ノズル42は、上記実施の形態1および上記実施の形態2で示した環状突出部に代えて、外側ノズル3および内側ノズル5とは別体のリング状の環状部材49を備える。環状部材49は、外側ノズル3と内側ノズル5との間に挟持される被挟持部である。
図15は、本発明の実施の形態4にかかる加工ノズル52の断面図である。図16は、実施の形態4にかかる加工ノズル52の孔をレーザビーム102の入射側から見た平面図である。なお、上記実施の形態1と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態4では、フランジ11に形成された孔13からの外側流路4bへの流出口の一部を、外側ノズル3に形成されてフランジ11に当接する当て面55で塞いでいる。図16では、図面の理解容易化のために当て面55にハッチングを付して示している。
Claims (12)
- 流路が形成された外側ノズルと、前記外側ノズルの流路に嵌め込まれた内側ノズルと、を備える加工ノズルであって、
前記内側ノズルには、前記外側ノズルとの間を閉塞するフランジが形成され、
前記フランジには、前記流路の前記フランジよりも上流側と下流側とを連通させる連通路が形成され、
前記流路の前記フランジよりも下流において、前記外側ノズルとの間、または前記内側ノズルとの間に間隙を形成させる間隙形成部をさらに備えることを特徴とする加工ノズル。 - 前記間隙形成部は、前記外側ノズルと一体に形成され、前記内側ノズルとの間に前記間隙を形成することを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
- 前記間隙形成部は、前記内側ノズルに当接する当接面を有し、
前記当接面には、溝が形成され、
前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項2に記載の加工ノズル。 - 前記間隙形成部は、前記内側ノズルと一体に形成され、前記外側ノズルとの間に前記間隙を形成することを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。
- 前記間隙形成部は、前記外側ノズルに当接する当接面を有し、
前記当接面には、溝が形成され、
前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項4に記載の加工ノズル。 - 前記間隙形成部は、前記外側ノズルと前記内側ノズルとの間に挟持される被挟持部であり、
前記間隙は、前記被挟持部と前記外側ノズルとの間に形成されることを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。 - 前記被挟持部は、前記外側ノズルに当接する当接面を有し、
前記当接面には、溝が形成され、
前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項6に記載の加工ノズル。 - 前記間隙形成部は、前記外側ノズルと前記内側ノズルとの間に挟持される被挟持部であり、
前記間隙は、前記被挟持部と前記内側ノズルとの間に形成されることを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。 - 前記被挟持部は、前記内側ノズルに当接する当接面を有し、
前記当接面には、溝が形成され、
前記溝部分で前記間隙が形成されることを特徴とする請求項8に記載の加工ノズル。 - 前記連通路は、前記フランジに形成された孔であり、
前記間隙形成部は、前記外側ノズルと一体に形成され、前記孔の一部を塞いで前記間隙を形成することを特徴とする請求項1に記載の加工ノズル。 - 前記連通路での流路面積の総和よりも、前記間隙での流路面積の総和のほうが小さいことを特徴とする請求項1から10のいずれか1つに記載の加工ノズル。
- 請求項1から請求項11のいずれか1つに記載の加工ノズルと、
前記加工ノズルを通して出射されるレーザビームを発振するレーザ発振器と、を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
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