KR100789279B1 - 레이저 가공장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 레이저빔을 발생하는 레이저 발진기;상기 레이저 발진기에서 출사된 단일의 레이저빔을 복수의 레이저빔으로 분할하기 위한 빔 분할수단;상기 빔 분할수단에 의해 분할된 복수의 레이저빔이 각각 입사되며, 입사된 레이저빔을 원하는 각도로 편향시키기 위한 복수의 갈바노미터 스캐너;상기 복수의 갈바노미터 스캐너로부터 상기 복수의 레이저빔이 입사하며, 입사된 복수의 레이저빔의 수차를 보정하면서 기판 상에 집속시켜 조사하기 위한 스캔 렌즈; 및상기 기판 상에 조사되는 레이저빔이 광축에 평행하게 조사되도록 하기 위한 광평행수단; 을 포함하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서,상기 광평행수단은 프리즘 렌즈를 포함하며,상기 프리즘 렌즈는, 상기 레이저빔이 진행하는 방향과 수직으로 평탄하게 형성되며 상기 레이저빔이 입사되는 입사면과, 상기 프리즘 렌즈의 중심축 둘레에 동일 각도 간격으로 배치되게 형성된 복수 개의 출사면을 구비하며,상기 각 출사면은, 상기 입사면과 일정 각도를 이루며 상기 프리즘 렌즈의 측부에서 중심부를 향해 갈수록 하방으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 레 이저 가공장치.
- 제2항에 있어서,상기 프리즘 렌즈는, 상기 복수의 갈바노미터 스캐너와 상기 스캔 렌즈 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제2항에 있어서,상기 프리즘 렌즈는, 상기 스캔 렌즈와 상기 기판 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 레이저빔을 발생하는 레이저 발진기;상기 레이저 발진기에서 출사된 단일의 레이저빔을 복수의 레이저빔으로 분할하기 위한 빔 분할수단;상기 빔 분할수단에 의해 분할된 복수의 레이저빔이 각각 입사되며, 입사된 레이저빔을 원하는 각도로 편향시키기 위한 복수의 갈바노미터 스캐너; 및상기 복수의 갈바노미터 스캐너로부터 상기 복수의 레이저빔이 입사하며, 입사된 복수의 레이저빔의 수차를 보정하면서 기판 상에 집속시켜 조사하기 위한 스캔 렌즈;를 포함하고,상기 갈바노미터 스캐너는, 입사된 레이저빔을 X축 방향으로 편향시키는 X축 미러와, 입사된 레이저빔을 Y축 방향으로 편향시키는 Y축 미러를 포함하며,상기 X축 미러와 상기 Y축 미러 중 상기 레이저빔이 먼저 입사되는 어느 하나가, 상기 스캔 렌즈의 전방초점위치에 배치됨으로써, 상기 기판 상에 조사되는 레이저빔이 광축에 평행하게 조사되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제5항에 있어서,상기 갈바노미터 스캐너와 상기 스캔 렌즈 사이에 배치되어, 상기 갈바노미터 스캐너에 의해 반사된 레이저빔을 상기 스캔 렌즈 측으로 반사시키는 반사미러부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
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- 2006-11-29 KR KR1020060119164A patent/KR100789279B1/ko active IP Right Grant
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