CN107225701A - 一种双导轮多线分割机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种双导轮多线分割机,包括机架、设于所述机架正面的刀架和设于刀架上的主轴;所述刀架呈三角形,所述主轴包括三根并且分布在所述刀架的三个角上;所述刀架的两侧分别设有一导线轮,每个导线轮分别由一伺服电机驱动转动;每个导线轮的下方分别设有一线轮,每个线轮分别通过一线轮伺服电机驱动转动;每根主轴分别通过一主轴伺服电机驱动转动。本发明通过仅使用两个导线轮,相比传统的多轮线切割机而言,简化了切割线的走线行程。
Description
技术领域
本发明涉及多线分割技术领域,具体涉及一种双导轮多线分割机。
背景技术
多线切割是通过钢丝的高速反复移动将送入加工区的硅晶片进行研磨切割成数百片或数千片薄片的新型方法。多线切割因其高精度、高效率、低消耗等优点逐步取代了传统的切割方法成为了硅晶片加工的主要方式。
由于现有多线切割机为保证切割线刚度和切割精度,所用导线轮较多,这就造成了装置结构较为庞杂。另外,伺服电机与主轴之间多数采用V带传动,不能避免由于带传动造成的传动比不准确从而引起切割精度下降等缺陷。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明旨在提供一种双导轮多线分割机,简化结构,并提高切割精度。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种双导轮多线分割机,包括机架、设于所述机架正面的刀架和设于刀架上的主轴;所述刀架呈三角形,所述主轴包括三根并且分布在所述刀架的三个角上;所述刀架的两侧分别设有一导线轮,每个导线轮分别由一伺服电机驱动转动;每个导线轮的下方分别设有一线轮,每个线轮分别通过一线轮伺服电机驱动转动;每根主轴分别通过一主轴伺服电机驱动转动。
进一步地,每个导线轮的下方均设有一辅轮。
进一步地,所述机架的正面还设有三菱柱铝板,所述三菱柱铝板设于所述刀架的中部,并连通于切削液流出管。
更进一步地,还包括有砂斗,所述导线轮、线轮、三菱柱铝板和刀架与所述砂斗的上部开口对应。
再进一步地,所述砂斗连通于一流砂管。
进一步地,所述导轮还连接于前后移动驱动装置。
更进一步地,所述前后移动驱动装置包括前后移动滚珠丝杠副和驱动电机,所述导轮连接于所述前后移动滚珠丝杠副的丝杠螺母,所述驱动电机的输出轴则连接于所述前后移动滚珠丝杠副的丝杆。
本发明的有益效果在于:
1、三根主轴由三个电机驱动,延长了电机的使用寿命,加大了线切割载荷,可以切割硬度较大的物料。
2、仅使用了两个导线轮,相比传统的多轮线切割机而言,简化了切割线的走线行程。且导轮属于耗材,为保证切割精度需要定时更换导轮,在本发明中每次只需要更换两个导线轮,大大降低了经济成本。
3、切割线上切屑与切割过程中产生的切屑集中处理,节省了空间,简化了结构。
附图说明
图1为本发明的正面结构示意图;
图2为所述导轮的传动示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明作进一步的描述,需要说明的是,以下实施例以本技术方案为前提,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本发明的范围并不限于本实施例。
如图1所示,一种双导轮多线分割机,包括机架11、设于所述机架11正面的刀架1和设于刀架1上的主轴5、13、17;所述刀架1呈三角形,所述主轴5、13、17分布在所述刀架1的三个角上;所述刀架1的两侧分别设有一导线轮2、16,导线轮2和导线轮16分别由一伺服电机驱动转动。导线轮2和导线轮16的下方分别设有一线轮6、12,线轮6和线轮12分别通过一线轮伺服电机驱动转动;主轴5、13、17分别通过一主轴伺服电机驱动转动。
如图2所示,以导轮2为例,所述导轮2通过伺服电机18驱动转动。导轮16的传动结构与导轮2相同。
可以令左端的线轮6作为放线轮,右端的线轮12作为收线轮,则线轮6作为满线轮,线轮12作为空线轮。切割线从线轮6开始,绕过左端的导线轮2后绕至三根主轴5、13、17,然后经过右端的导线轮2绕至线轮12上。开始工作时,启动伺服电机、主轴伺服电机、线轮伺服电机,开始实现切割线的循环绕动,对工件进行切割。三根主轴5、13、17由三个独立的伺服电机驱动,当两端收放线的米数达到一定值时(这是由所要切割的物料所决定的),两侧的线轮的收放线顺序可以调换。工作时,工作台固定在工作台滑块10上,工作台滑块在驱动装置的作用下沿工作台导轨9向上移动,将线切割物料向上输送至切割线处,从而切割线沿着物料自上而下完成切割,然后驱动装置驱动工作台滑块向下移动,从而完成卸料。当使用的切割线磨损严重,达到使用寿命时,将左右两端的线轮拆卸,定期更换切割线即可。
进一步地,每个导线轮2和16的下方分别设有一辅轮4和15。导线轮绕线下方经过两个辅轮,作用是始终保持切割线平整、竖直与张紧,避免了因堆线、跑偏等引起的切割线折断。
进一步地,所述机架11的正面还设有三菱柱铝板14,所述三菱柱铝板14设于所述刀架1的中部,并连通于切削液流出管3。所述切削液流出管可以采用不锈钢管。切削液与砂粒输送至切削液流出管,切削液流出管上有直径为6mm的孔,切削液流出后恰好浇在被加工的工件上,起到冲刷加工个过程中产生的切屑、散热和提高切削精度等作用。
更进一步地,还包括有砂斗7,所述导线轮2和16、线轮6和12、三菱柱铝板14和刀架1与所述砂斗7的上部开口对应。导线轮2和16、线轮6和12、三菱柱铝板14、刀架1上的各主轴上由切割加工产生的切屑将流入砂斗内,砂斗通过砂斗框安装在机架上。
再进一步地,所述砂斗7连通于一流砂管8。最后切屑通过流砂管排出切割机。
进一步地,所述导轮还连接于前后移动驱动装置。更进一步地,所述前后移动驱动装置包括前后移动滚珠丝杠副和驱动电机,所述导轮连接于所述前后移动滚珠丝杠副的丝杠螺母,所述驱动电机的输出轴则连接于所述前后移动滚珠丝杠副的丝杆。
如图2所示,以导轮2为例,令导轮2通过连接件连接到前后移动滚珠丝杠副20中的丝杠螺母,然后令驱动电机19连接前后移动滚珠丝杠副20的丝杆,则通过驱动电机19可以驱动丝杆转动,带动丝杠螺母前后移动,进而带动导轮2前后移动。通过对导轮进行前后移动的调节,从而调节因物料形状而导致的部分切割线无线工,进行零点找正。
对于本领域的技术人员来说,可以根据以上的技术方案和构思,给出各种相应的改变和变形,而所有的这些改变和变形,都应该包括在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种双导轮多线分割机,包括机架、设于所述机架正面的刀架和设于刀架上的主轴;其特征在于,所述刀架呈三角形,所述主轴包括三根并且分布在所述刀架的三个角上;所述刀架的两侧分别设有一导线轮,每个导线轮分别由一伺服电机驱动转动;每个导线轮的下方分别设有一线轮,每个线轮分别通过一线轮伺服电机驱动转动;每根主轴分别通过一主轴伺服电机驱动转动。
2.根据权利要求1所述的双导轮多线分割机,其特征在于,每个导线轮的下方均设有一辅轮。
3.根据权利要求1所述的双导轮多线分割机,其特征在于,所述机架的正面还设有三菱柱铝板,所述三菱柱铝板设于所述刀架的中部,并连通于切削液流出管。
4.根据权利要求3所述的双导轮多线分割机,其特征在于,还包括有砂斗,所述导线轮、线轮、三菱柱铝板和刀架与所述砂斗的上部开口对应。
5.根据权利要求4所述的双导轮多线分割机,其特征在于,所述砂斗连通于一流砂管。
6.根据权利要求1所述的双导轮多线分割机,其特征在于,所述导轮还连接于前后移动驱动装置。
7.根据权利要求6所述的双导轮多线分割机,其特征在于,所述前后移动驱动装置包括前后移动滚珠丝杠副和驱动电机,所述导轮连接于所述前后移动滚珠丝杠副的丝杠螺母,所述驱动电机的输出轴则连接于所述前后移动滚珠丝杠副的丝杆。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201710620645.9A CN107225701A (zh) | 2017-07-26 | 2017-07-26 | 一种双导轮多线分割机 |
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Publications (1)
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Family
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---|---|---|---|
CN201710620645.9A Pending CN107225701A (zh) | 2017-07-26 | 2017-07-26 | 一种双导轮多线分割机 |
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