CN107032587B - 用于控制衬底的厚度的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于控制玻璃带厚度的方法，包括下列步骤：‑通过由熔体拉伸或者由预型件再拉伸提供玻璃带；‑预设玻璃带的目标厚度；‑确定玻璃带在其整个净宽上的厚度；‑确定玻璃带的厚度与预设目标厚度的至少一个偏差；‑确定玻璃带上厚度偏差的区域；‑用激光器加热至少一个厚度偏差的区域，从而玻璃带具有预设厚度。激光器中的一个用扫描头这样装备，使得能够扫描玻璃带的整个净宽。玻璃带的净宽B，玻璃带的拉伸速度vGB，激光束的光束直径D以及激光器的扫描速度vLas以及修正系数k之间产生如下的关系：2·k·vGB·B<D·vLas。本发明还涉及这样制造的产品。

Description

用于控制衬底的厚度的方法
技术领域
本发明涉及一种用于控制衬底、例如由玻璃或者塑料制成的衬底的厚度的方法，以及这样制造的衬底。
背景技术
用于制造衬底、例如由玻璃或者塑料制成的衬底的方法，已经公开很久。例如DE101 28 636 C1公开了一种方法以及用于实施这样的方法的装置，在所述方法中，平板玻璃的厚度被有选择地影响。在此，平板玻璃直接在成型后引导到伸展到玻璃带的整个宽度上的设备处，在所述设备中，受控制地冷却玻璃并且所述玻璃此外可以在其整个宽度上有针对性地并且可调整地加热，其中，借助于激光束局部地进行热供应。该激光束以高频率传导到玻璃带的宽度上，从而空间分辨地实现相应的加热功率。以这种方法获得平板玻璃，所述平板玻璃在其宽度上具有尽可能不变的厚度。
此外，DE 10 2008 063 554 A1描述了用于制造平板玻璃的方法以及装置，在所述方法中，在玻璃的宽度上的厚度同样可以有针对性地被影响。在此，玻璃带通过隙缝式喷嘴拉伸并且接着引导到拉伸腔中，所述拉伸腔设计为使得一壁至少局部地在玻璃带的宽度上具有空间变化的辐射吸收和/或导热能力。此外，为了支持厚度控制，激光束可以局部地影响玻璃带。另外，气流也可以在空间上有针对性地影响影响带的厚度。以这种方式获得如下的玻璃带，在所述玻璃带中，在其宽度上可以调整期望的厚度轮廓，例如在带的中间具有比朝向其边缘更大的玻璃厚度。
US 8,904,822 B2公开了一种方法，用所述方法获得由玻璃或者塑料制成的、具有受控制的厚度的衬底。在该方法中，通过将拉力施加到带的边缘上拉伸由玻璃或者塑料制成的带。此外，确定和控制该带的厚度。如果确定有厚度的偏差，那么选出该厚度偏差的区域，其中，该区域位于粘性状态中。随后加热该选出的区域，所述选出的区域位于粘性状态中，其方式是，将激光束对准所述区域。通过该加热，该区域然后具有预定的厚度。该加热包括控制激光功率、激光在选出区域上的保持时间和/或调整激光的波长。
但是所有这些方法都具有一系列的缺点。
在所有情况下通过施加拉力，例如在带的边缘区域中该玻璃接触所谓的滚边辊(Bortenroller)，而拉伸该材料。但是以这种方式在如下位置上发生带的表面损伤，在所述位置上与滚边辊接触，从而以这种方式不能使用带的整个宽度。
如果例如通过喷嘴将用于厚度控制的气流作用到带上，此外在带的净宽上产生波纹，通过该喷嘴的宽度和由该喷嘴冷却的面到玻璃的间距得到所述净宽。这样的喷嘴在大约30mm处解散，从而以这种方式不能消除带中的具有周期性的或者小于30mm的波长的细波纹。在此，玻璃带的如下区域称为净宽，在所述区域中，玻璃带的特性在预定的规范之内。玻璃带的净宽因此是玻璃带的品质区域的宽度并且一般由拉伸的玻璃带在与滚边分离的情况下得到。
此外，用于影响由玻璃或者塑料制成的带的厚度的措施在如下区域中开始，在所述区域中该带位于粘性状态中。该粘性状态在此(例如可以由US 8 904 822 B2得知)定义为如下区域，在所述区域中粘度大于105dPa·s。为了保证这里对材料的加热，所述加热满足带的材料是充分可流动的以便实现减小厚度，必须以这种方式非常高功率地施加。但是因此该方法不仅仅是昂贵的，而且也可能导致，由于激光束的高能量或者功率，厚度控制不能够足够精确地引导，从而此外在由玻璃或者塑料制成的带的净宽上也存在一定的厚度波动。
因此，产生对用于受控制地调整由玻璃或者塑料制成的带的厚度的方法的需求，所述方法减小现有技术的存在的弱点。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于受控制地调整由玻璃或者塑料制成的带的厚度的改进方法。
本发明的另一方面是提供一种具有极其小的厚度变化的平板玻璃(Flachglas)，尤其是没有波长或者周期性
Figure GDA0003147561340000031
大于5mm的波纹。
根据本发明的用于控制玻璃带的厚度的方法包括至少下列步骤：
a)提供玻璃带，其通过以拉伸速度(Abziehgeschwindigkeit)vGB和净区域(Nettobereich，有效区域)中的平均厚度D由熔体拉伸或者由预型件再拉伸。
b)预设玻璃带在其净宽中的目标厚度(Soll-Dicke)。在此，玻璃带的这样的宽度称为玻璃带的净宽，在所述宽度之内该玻璃带的特性在规定的界限中，所述玻璃带应该可以进入玻璃带成品的之后的销售中。该玻璃带的净宽B因此是其品质区域的宽度B。
c)确定玻璃带在其整个净宽上的厚度。
d)确定玻璃带的厚度与预设的目标厚度的至少一个偏差。
e)确定玻璃带上厚度偏差的区域。
f)借助于激光器加热玻璃带上的至少厚度偏差的区域。在此，激光作用到厚度偏差的区域上并且加热该区域。该加热导致该区域获得预设的厚度。此外，所述加热包括根据在步骤c)中确定的、玻璃带在其品质区域中的厚度来控制至少激光束的功率、激光束的辐射的持续时间和/或激光的波长，所述品质区域是这样的区域，在所述区域中玻璃带的特性在之前规定的界限之内并且因此能够进入之后的使用、例如销售中。
在根据本发明的方法中，激光器这样装备有扫描头，使得玻璃带的整个净宽都能够被扫描。玻璃带的净宽B、也就是玻璃带的品质区域的宽度B，玻璃带的拉伸速度vGB，激光束的光束直径D以及激光器的扫描速度vLas以及修正系数k之间存在如下的关系：
2·k·vGB·B<D·vLas。
利用本发明，根据所述方法，可以容易地将出现的厚度偏差减小到单个操纵变量，即修正系数k，并且在此基础上，调节工艺参数的进一步变化。k值必须选择成使得激光在所述区域的每个位置上至少入射一次。
因此，修正系数k为至少等于1。优选地，k为大于1。然而，取决于光束轮廓，k也可以采用其他值，例如k可以优选地大于10，或者至少等于10。
在本发明的另一实施方案中，激光束在如下的地方作用到玻璃带上，在所述地方中在没有激光束作用的冷却处理中具有在104和109dPa·s之间的、优选104和108dPa·s之间范围中的粘度。在此，具有过大厚度的区域与具有合适的或者过小的厚度的区域相比经受更高的激光器功率。
根据本发明的另一实施方案，玻璃带和扫描镜之间的光学间距在最小1.8和最大5.0m之间。在此，在本发明的范围内玻璃带和扫描镜之间的光学路径的长度理解为光学间距。因此在本发明的范围内，同义地使用术语“光学间距”和“光学路径的长度”。当在扫描镜和玻璃带之间插入这样的光学元件(例如呈反射镜和/或透镜的形式)，所述光学元件光学地增大扫描镜的角振幅(Winkelausschlag，偏转角)时，光学路径也可以较短地实施。指定的间距在这种情况下称为“光学杠杆(optische Hebel)”，也就是说这样的间距，所述间距对于在没有这个或者这些光学构件时实现激光束的相同的偏转是需要的。
根据本发明的又一实施方案，激光器功率是最高3000W，优选最高2000W并且特别优选最高1500W。
优选地，激光辐射作用到玻璃带的变形区。
根据本发明的另一优选的实施方案，在玻璃带的自重下拉伸该玻璃带。这表示，不施加拉力，尤其是不在玻璃带的侧面上施加拉力。
根据本发明的一个实施方案，该激光器构造为CO2激光器。
优选地，借助于干涉测量，彩色共焦测量，白光形貌测量和/或白光干涉测量来进行玻璃带的厚度的确定。
根据本发明的另一优选的实施方案，借助于检流计式扫描器(Galvanometerscanners，扫描振镜)和/或多边形镜轮(Polygonspiegelrad)引导激光束。
根据本发明的另一方面，根据本发明的用于控制带的厚度的方法也包括一种用于控制在没有大于5mm波长的波纹，优选没有大于1mm波长的波纹的玻璃或者塑料衬底的至少一个选出的区域的第一和第二表面之间的厚度的方法，包括下列步骤：
-提供熔化的玻璃或者塑料；
-将熔化的玻璃或者塑料成型成带；
-监测所述带的厚度；
-确定所述带中的至少一个厚度偏差；
-选出所述衬底的至少一个在粘性状态中的区域，其中，所述至少一个区域对应于所述确定的厚度偏差的区域；和
-用激光束加热所述带的在粘性状态中的至少一个选出的区域，所述激光束这样取向，使得其作用到所述选出的区域上，其中，所述加热导致，所述带的至少一个选出的区域获得预定的厚度，其中，所述加热还包括根据监测到的厚度来至少控制作用到所述选出的区域上的激光束的功率、保持时间或者波长。
根据本发明的另一方面，熔化的玻璃或者塑料成型为带不包括提供拉力到带的边缘上，其中，在粘性状态下进行至少一个选出的区域的加热。
根据另外一方面，所述成型包括在所述带的边缘上施加拉力，其中，在液体状态中加热至少一个选出的区域，其中，如下的状态看作是液体状态，在所述状态中所述带的粘度具有小于109dPa·s的值。
根据本发明的一个实施方案，所述激光器这样装备有扫描头，使得该带的整个净宽能被扫描。此外，在该带的拉伸速度VB、该带的净宽B、所述激光束的光束直径D、激光器的扫描速度vLas以及修正系数k之间存在如下的关系：
(1)2·k·vB·B<D·vLas。
在此，该带的净宽B和光束直径D按米给出，以及扫描速度vLas和带的速度VB分别按米/秒给出。
修正系数k为至少等于1。优选地，k为大于1。然而，取决于光束轮廓，k也可以采用其他值，例如k可以最优选地大于10，或者至少等于10。
根据本发明的另一实施方案，带和扫描镜之间的光学间距(或者光学路径的长度)在最小1.8m和最大5.0m之间。当在扫描镜和带之间插入这样的光学元件(例如反射镜和/或透镜)，所述光学元件增大扫描镜的角振幅时，光学路径也可以较短地实施。指定间距在这种情况下称为“光学杠杆”，也就是说这样的间距，所述间距对于在没有该光学构件时实现激光束的相同的偏转是需要的。
根据本发明的另一实施方案，所述扫描头具有检流计驱动器(Galvanometerantrieb，振镜驱动器)和/或多边形镜轮。
优选地，所述激光器功率最高3000W，优选小于2000W并且特别优选地小于1500W。
根据本发明的一个特别优选的实施方案，在所述带的自重下发生所述带的拉伸。这尤其是表示，不需要其他的装置来实现将带从熔体中拉伸，而是这相反地在没有外力的情况下仅仅在重力的影响下进行。
根据本发明的另一实施方案，所述激光器构造成CO2激光器。
优选地，借助于干涉测量，彩色共焦测量，白光形貌测量和/或白光干涉测量来进行所述带厚度的监测。
在本发明的另一实施方案中，所述加热包括将所述激光束从用于产生该激光束的装置对准反射的表面并且通过在所述表面上所述激光束的反射而对准至少一个选出的区域。
根据本发明的另一实施方案，所述激光束依次对准所述带的多个选出的区域。
在此，根据本发明的另一实施方案，所述多个选出的区域可以在所述带的整个净宽上延伸。
此外，在此对于每个选出的区域而言，至少所述激光束的功率、保持时间和/或波长可以选择性地控制和调节。
根据本发明的另一实施方案，所述激光束至少部分地被吸收在所述带中并且由此不是畅通无阻地穿过所述带。
在此，激光束的输出功率的至少20％被吸收在所述带中被称为至少部分地被吸收。因此，根据本发明的一个实施方案，激光束的输出功率的至少20％被吸收在所述带中。
根据本发明的另一实施方案，熔化的材料，也就是例如熔化的玻璃或者熔化的塑料，在紧随有成型的熔化工艺或者通过加热由玻璃或者塑料制成的预型件的再拉伸工艺中提供。
在此，可以在浮法工艺、拉伸工艺例如下拉工艺或者溢流熔融工艺(Overflow-Fusion-Prozess)中进行热成型。
通过根据本发明的方法，在此尤其是能够得到平板玻璃，所述平板玻璃具有特别均匀的厚度分布。
关于由材料制成的带的厚度分布，在此以下量是特别重要的：
-一方面在该带的整个净宽上的厚度的变化是重要的。在该带的净宽上的厚度的变化也称为厚度变化或者在英语中称为“total thickness variation(ttv)”。
-此外，也会出现(例如在该带的成型处理期间由吹风喷嘴引起)厚度波动，所述厚度波动具有小的幅度，但是具有一定的周期性或者波长。该所谓的波纹也称为细波纹或者“waviness(波度)”并且通过限定波纹的波长或者周期性来更精确地确定。
相反地，通过根据本发明的方法能够制造平板玻璃，在所述平板玻璃中显著地减小厚度变化以及波纹。
根据本发明的平板玻璃具有300μm或者更小,优选150μm或者更小,特别优选小于100μm或者更小和非常特别优选50μm或者更小的厚度，以及不大于25μm,优选不大于15μm,特别优选不大于10μm以及非常特别优选不大于5μm的厚度变化，所述厚度变化相对于在直径大于100mm的范围内的晶片或者衬底尺寸，尤其是在横向尺寸为100mm·100mm或者更大的情况下，优选地相对于在直径大于200mm的范围内的晶片或者衬底尺寸，尤其是在横向尺寸为200mm·200mm或者更大的情况下和特别优选地相对于在直径大于400mm的范围内的晶片或者衬底尺寸，尤其是在横向尺寸为400mm·400mm的情况下，以及此外不具有大于5mm波长的波纹、优选不具有大于3mm波长的波纹和特别优选不具有大于1mm波长的波纹。
所述平板玻璃此外优选地构造成碱金属硅酸盐玻璃，碱土金属碱金属硅酸盐玻璃，钠钙玻璃，混合碱石灰硅酸盐玻璃(Mischalkalikalksilikatglas)，硼硅酸盐玻璃，磷酸盐-硅酸盐玻璃，硼磷酸盐-硅酸盐玻璃，铝硅酸盐玻璃，碱金属铝硅酸盐玻璃，碱土金属碱金属铝硅酸盐玻璃，硼铝硅酸盐玻璃，或硼磷酸盐铝硅酸盐玻璃。
根据本发明的一个实施方案，所述玻璃是具有如下以重量百分比计的组成的硼硅酸盐玻璃：
Figure GDA0003147561340000081
通过该组成获得下列特性：
α(20-300) 7.2·10-6/K
Tg 557℃
密度 2.5g/cm3。
根据本发明的另一实施方案，该玻璃是具有如下以重量百分比计的组成的硼硅酸盐玻璃：
Figure GDA0003147561340000082
通过该组成获得下列特性：
α(20-300) 3.25·10-6/K
Tg 525℃
密度 2.2g/cm3。
在另一实施方案中，该薄玻璃是具有如下以重量百分比计的组成的锂铝硅酸盐玻璃：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 55-69
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 18-25
Li<sub>2</sub>O 3-5
Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 0-30
MgO+CaO+SrO+BaO 0-5
ZnO 0-4
TiO<sub>2</sub> 0-5
ZrO<sub>2</sub> 0-5
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub>+SnO<sub>2</sub> 2-6
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-8
F 0-1
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-2
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，并且该总组成的总量是100重量％。
本发明的锂硅酸铝玻璃优选具有如下以重量百分比计的组成：
Figure GDA0003147561340000091
Figure GDA0003147561340000101
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的锂硅酸铝玻璃最优选地具有如下以重量百分比计的组成：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 57-63
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 18-22
Li<sub>2</sub>O 3.5-5
Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 5-20
MgO+CaO+SrO+BaO 0-5
ZnO 0-3
TiO<sub>2</sub> 0-3
ZrO<sub>2</sub> 0-5
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub>+SnO<sub>2</sub> 2-5
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-5
F 0-1
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-2
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
在一个实施方案中，该薄玻璃是具有如下组成的钠钙玻璃和包括如下以重量百分比计的组成：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 40-81
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-6
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-5
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 5-30
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5-30
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-7
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-2
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的钠钙玻璃优选具有如下以重量百分比计的组成：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 50-81
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-5
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-5
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 5-28
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5-25
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-6
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-2
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的钠钙玻璃最优选具有如下以重量百分比计的组成：
Figure GDA0003147561340000111
Figure GDA0003147561340000121
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
在一个实施方案中，该薄玻璃是具有如下以重量百分比计的组成的硼硅酸盐玻璃：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 60-85
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-10
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 5-20
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 2-16
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0-15
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-5
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-2
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的硼硅酸盐玻璃更优选地具有如下以重量百分比计的组成：
Figure GDA0003147561340000122
Figure GDA0003147561340000131
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的硼硅酸盐玻璃最优选地具有如下以重量百分比计的组成：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 63-83
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-7
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 5-18
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 4-14
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0-10
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-3
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-2
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
在一个实施方案中，该薄玻璃是具有如下以重量百分比计的组成的碱金属铝硅酸盐玻璃：
Figure GDA0003147561340000132
Figure GDA0003147561340000141
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的碱金属铝硅酸盐玻璃更优选地具有如下以重量百分比计的组成：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 50-70
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 10-27
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-18
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 5-28
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0-13
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-13
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-9
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的碱金属铝硅酸盐玻璃最优选地具有如下以重量百分比计的组成：
Figure GDA0003147561340000142
Figure GDA0003147561340000151
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
在一个实施方案中，该薄玻璃是具有如下以重量百分比计的组成的具有低的碱金属含量的铝硅酸盐玻璃：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 50-75
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 7-25
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-20
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 0-4
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5-25
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-10
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-5
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的具有低的碱金属含量的铝硅酸盐玻璃更优选地具有如下以重量百分比计的组成：
Figure GDA0003147561340000152
Figure GDA0003147561340000161
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
本发明的具有低的碱金属含量的铝硅酸盐玻璃最优选地具有如下以重量百分比计的组成：
组成 重量％
SiO<sub>2</sub> 53-71
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 7-22
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0-18
Li<sub>2</sub>O+Na<sub>2</sub>O+K<sub>2</sub>O 0-4
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5-22
TiO<sub>2</sub>+ZrO<sub>2</sub> 0-8
P<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 0-5
任选地，可以添加着色氧化物，例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2，Cr2O3，0-2重量％As2O3，Sb2O3，SnO2，SO3，Cl，F和/或CeO2可以作为澄清剂添加，和同样可以添加0–5重量％稀土氧化物，以便将磁性、光子或光学的功能引入到玻璃片或者玻璃板中，和该总组成的总量是100重量％。
表1示出含碱金属的薄玻璃的多个典型的实施方案，所述含碱金属的薄玻璃应该施加化学预应力。
表1含碱金属的硼硅酸盐玻璃的实施方案
Figure GDA0003147561340000162
Figure GDA0003147561340000171
SiO2，B2O3和P2O5作用为玻璃网络形成体(Glasnetzwerkbildner)。它们的含量对于传统的方法而言应该不小于40％，否则玻璃板或者玻璃片不能被构造和可能变成脆的或者易碎的和失去透明度。更高的SiO2含量在玻璃制造期间需要更高的熔化温度和加工温度并且因此该含量通常应该小于90％。向SiO2添加B2O3和P2O5可以改变该网络特性并且降低玻璃的熔化温度和加工温度。该玻璃网络形成体也具有对该玻璃的CTE的强烈的影响。
另外，B2O3在玻璃网络中形成两个不同的多面体结构，所述两个不同的多面体结构可以较好地适应外来的加载力。添加B2O3一般引起较小的热膨胀和较小的杨氏模量，这又导致好的抗热震性和较慢施加的化学预应力。因此，向超薄玻璃添加B2O3可以大大地改善化学预应力并且这样施加化学预应力的薄玻璃可以用于更大规模的实际应用。
Al2O3作为玻璃网络形成体并且也作为玻璃网络修饰体(Glasnetzwerkmodifizierer)起作用。根据Al2O3的量，在玻璃网络中形成[AlO4]四面体和[AlO6]六面体。其可以通过改变玻璃网络内用于离子交换的空间的大小来调整离子交换速度。当Al2O3的量太高，例如大于40％时，则该玻璃的熔化温度和加工温度变得高的多，并且所述玻璃另外倾向于结晶，这导致所述玻璃失去透明度和柔性。
碱金属氧化物例如K2O，Na2O和Li2O作为玻璃加工修饰体起作用，并且碱金属氧化物可以通过在玻璃网络内形成非桥接氧化物破坏玻璃网络。添加碱金属可以降低玻璃的加工温度和提高玻璃CTE。Na和Li的存在对于超薄柔性玻璃是必需的，以便施加化学预应力，Na+/Li+，Na+/K+和Li+/K+的离子交换对于预应力而言是必需的步骤。当该玻璃本身不包括碱金属时，该玻璃没有预应力。然而碱金属的总量不应该高于30％，否则该玻璃网络在没有形成玻璃的情况下完全被破坏。另一重要的要素是，薄玻璃应该具有低的CTE，并且因此该玻璃应该不再包括多余量的碱金属，以便满足该要求。碱土金属元素、例如MgO，CaO，SrO和BaO，作为网络修饰体起作用并且能够降低玻璃的形成温度。这些元素可以改变玻璃的CTE和杨氏模量，并且这些碱土金属元素具有非常重要的功能，即改变玻璃的折射率，以便满足特殊要求。例如MgO可以降低玻璃的折射率，而BaO可以提高折射率。碱土金属元素的量在玻璃制造中应该不高于40％。
玻璃中的一些过渡金属元素、例如ZnO和ZrO2，具有与碱土金属元素类似的功能。另外的过渡金属元素、例如Nd2O3，Fe2O3，CoO，NiO，V2O5，MnO2，TiO2，CuO，CeO2和Cr2O3作为着色剂起作用，因此，该玻璃具有特别的光子或者光学功能，例如彩色滤光器功能或光转换。
示例
下面根据示意性实施例更详细地说明本发明。
实施例1
在再拉伸设备上，具有6.8mm厚度以及400mm净宽的、由硼硅酸盐玻璃制成的预型件被拉伸成具有50μm厚度的薄玻璃膜。为此，使用由贵金属制成的加热区。用于供应可扫描的CO2激光束的炉中的水平的狭缝位于该加热处下方大约30mm处。在该位置上，该带在没有激光的情况下具有4*106dPa·s粘度。这样产生的带借助于彩色共焦传感器横向于拉伸方向地测量。由该厚度分布确定，在哪个横向位置上该玻璃具有过大的厚度。借助于这个信息，产生扫描程序，所述扫描程序包括位置、激光器功率和射束速度(Strahlgeschwindigkeit)。在此，在厚的位置上设置16瓦特的平均激光器功率。这使得在具有过大厚度的区域中，厚度减小10μm。
实施例2
在下拉设备上，玻璃带通过贵金属喷嘴以0.3mm厚度拉伸。扫描的激光束穿过狭缝射到该玻璃带上。在该位置上，该玻璃在没有激光加热的情况下具有6*105dPa·s的粘度。这样产生的带借助于彩色共焦传感器横向于拉伸方向地测量。由该厚度分布确定，在哪个横向位置上该玻璃具有过大的厚度。借助于这个信息，产生扫描程序，所述扫描程序包括位置、激光器功率和射束速度。在此，在厚的位置上设置3瓦特的平均激光器功率。这使得在具有过大厚度的区域中，厚度减小10μm。
实施例3
在下拉设备上，玻璃带通过贵金属喷嘴以0.3mm厚度拉伸。扫描激光束穿过狭缝射到该玻璃带上。在该位置上，该玻璃在没有激光加热的情况下具有107dPa·s的粘度。这样产生的带借助于彩色共焦传感器横向于拉伸方向地测量。由该厚度分布确定，在哪个横向位置上该玻璃具有过大的厚度。借助于这个信息，产生扫描程序，所述扫描程序包括位置、激光器功率和射束速度。在此，在厚的位置上设置37瓦特的平均激光器功率。这使得在具有过大厚度的区域中，厚度减小10μm。
实施例4
在下拉设备上，玻璃带通过贵金属喷嘴被以0.3mm厚度拉伸。扫描激光束穿过狭缝射到该玻璃带上。在该位置上，该玻璃在整个净宽上持续激光加热500瓦特的情况下具有6*105dPa·s的粘度。这样产生的带借助于彩色共焦传感器横向于拉伸方向地测量。由该厚度分布确定，在哪个横向位置上该玻璃具有过小的厚度。借助于这个信息，产生扫描程序，所述扫描程序包括位置、激光器功率和射束速度。在此，在薄的位置上设置比带的其他地方小3瓦特的平均激光器功率。这使得在具有过小厚度的区域中，厚度增大10μm。
附图说明
下面参照附图示例地说明本发明。在此，相同的附图标记标明相同的内容。其示出：
图1在根据本发明的方法一个实施方案中玻璃带、扫描器和激光器的基本布置；
图2根据本发明的方法另一个实施方案，玻璃带、扫描器和激光器的基本布置，其具有用于增大光学杠杆的、在扫描器和玻璃带之间的附加光学器件；
图3用根据本发明的方法制造的玻璃带的厚度轮廓的示意图和未用根据本发明的方法制造的玻璃带的厚度轮廓的示意图。
具体实施方式
图1示出在根据本发明的方法中激光器和玻璃带的布置的示意图。示出用于产生激光束11的装置1和扫描器2，所述扫描器在这里示例性地装备有多边形镜轮。通过控制装置3进行激光器功率以及扫描器角度的调节。此外，示出玻璃带的预型件5。在这里，预型件5例如构造成单片式的玻璃预型件。因此，在这里示出的例子中用于生产玻璃带的方法是所谓的再拉伸方法。这里通过对这里示意地示出的变形区51中的预型件5有针对性地加热来进行玻璃带6的成型，其中，该玻璃带在由箭头7给出的方向上运动。变形区在此定义为如下的区域，在所述区域中玻璃能够变形，也就是说，具有104和109dPa·s之间的，优选104和108dPa·s之间的粘度。该产生的玻璃带的特征在于具有所谓的品质区域8，在所述品质区域内，该产生的玻璃带6的性能落在产品性能的事先确定的规范中。该品质区域8具有宽度B并且由品质区域8的边缘9限界。在品质区域8之外，例如滚边辊(Bortenroller)接触该玻璃带的表面，从而在这种情况下，该玻璃不再具有足够的表面质量。此外，该玻璃带的边缘一般由于制造的原因具有其他的不平度，例如呈增厚的滚边(Borten)的形式。同样标示在激光器和玻璃带之间的光学间距4。在此在本发明的框架内，玻璃带和扫描镜之间的光学路径的长度理解为光学间距。因此在本发明的范围内，术语“光学间距”和“光学路径的长度”同义地使用。当在扫描镜和玻璃带之间插入这样的光学元件(例如呈反射镜和/或透镜的形式)，所述光学元件增大扫描镜的角振幅时，光学路径也可以较短地实施。给定间距在这种情况下称为“光学杠杆”，也就是说这样的间距，所述间距对于在没有这个或者这些光学构件的情况下实现激光束的相同的偏转是需要的。
激光束11借助于扫描器2沿着路径10导向到玻璃带6上，其中，激光器扫描玻璃带6的品质区域8的净宽B。沿着路径10，玻璃带6具有104和109dPa·s、优选104和108dPa·s之间的粘度。
一般，不限于这里示出的例子，玻璃带6也可以(例如在所谓的下拉方法或者溢流熔融方法中)通过从熔体直接拉伸来制造。
图2示出在根据本发明的方法的另一实施方案中激光器和玻璃带的布置的另一示意图。与在图1中示出的方法不同的是，在这里此外在扫描器2和玻璃带6之间的射束路径中插入光学器件(Optik)12，以便在玻璃带和扫描镜之间给定间距41的情况下增大光学杠杆。
图3在左边部分示意地示出根据本发明得到的玻璃板21以及不是根据本发明的玻璃板20的两个厚度轮廓203、213。这里在x轴上给出在玻璃板上的测量点的位置。在y轴上给出在任意单元中与目标厚度的偏差，其中，目标厚度是0。明显可看出的是，玻璃板20(在所述玻璃板没有用根据本发明的方法进行厚度的修正)的厚度轮廓203与玻璃板21(所述玻璃板用根据本发明的方法制造)的厚度轮廓213相比具有相对于目标厚度的明显更大的偏差。
在图3的右上部分，示意地示出不是根据本发明的玻璃板(Glasscheibe，薄玻璃板)20，所述玻璃板具有表面201、202。此外，这里同样示出玻璃板20的厚度轮廓203。在图3的右下部分示意地描述具有表面211和212的玻璃板21，其中，玻璃板21以根据本发明的用于厚度修正的方法获得。此外，示出厚度轮廓213。在此，两个厚度轮廓203、213的比例尺对于两个视图而言选择相同。这里也可以明显地看出，在根据本发明获得的玻璃板21中产生与没有进行厚度修正的玻璃板20相比明显小的相对于目标厚度的偏差。
附图标记列表
1 用于产生激光束的装置
10 激光器的扫描路径(Scanstrecke)
11 激光束
12 用于增大光学杠杆的光学元件
2 扫描器
3 控制装置
4 光学间距/光学路径的长度
41 扫描镜-玻璃带的实际间距
5 预型件
51 变形区
6 拉伸的玻璃带
7 拉伸方向
8 品质区域
9 品质区域的界限
20 没有厚度修正的玻璃板
201、202 玻璃板20的表面
203 玻璃板20的厚度轮廓
21 具有厚度修正的玻璃板
211、212 玻璃板21的表面
213 玻璃板21的厚度轮廓

Claims (51)

1.一种用于控制玻璃带的厚度的方法，所述方法至少包括下列步骤：
a)通过以拉伸速度vGB和净区域中的平均厚度D由熔体拉伸或者由预型件再拉伸而提供玻璃带；
b)预设所述玻璃带的目标厚度；
c)确定所述玻璃带在其整个净宽上的厚度；
d)确定所述玻璃带的厚度与预设的所述目标厚度的至少一个偏差；
e)确定所述玻璃带上所述厚度偏差的区域；
f)借助于激光器加热所述玻璃带上的至少一个厚度偏差的区域；其中，激光束作用到所述厚度偏差的区域上并且加热所述区域，其中，加热导致所述区域获得预定的厚度；以及其中，加热还包括根据所述玻璃带的在步骤c)中确定的厚度来控制至少激光束的功率、激光束的辐射持续时间、或激光的波长；
其中，所述激光器这样装备有扫描头，使得能够扫描所述玻璃带的整个净宽；以及
其中所述玻璃带的净宽B，所述玻璃带的拉伸速度vGB，所述激光束的光束直径D以及所述激光器的扫描速度vLas以及修正系数k之间存在如下的关系：
2·k·vGB·B<D·vLas
其中所述修正系数k为至少1。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述修正系数k为大于1。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述修正系数k为至少10。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述修正系数k为大于10。
5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，至少一个厚度偏差的区域在加热前具有104和109dPa·s之间的范围中的粘度，其中，具有过大厚度的区域与具有合适的或者过小的厚度的区域相比经受更高的激光器功率。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，至少一个厚度偏差的区域在加热前具有104和108dPa·s之间范围中的粘度。
7.根据权利要求1或2所述的方法，其中，玻璃带和扫描镜之间的光学杠杆或者光学路径的长度在最小1.8m和最大5.0m之间。
8.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述激光器功率为最高3000W。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述激光器功率为最高2000W。
10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述激光器功率为最高1500W。
11.根据权利要求1或2所述的方法，其中，激光辐射作用到所述玻璃带的变形区。
12.根据权利要求1或2所述的方法，其中，借助所述玻璃带的自重发生所述拉伸。
13.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述激光器为CO2激光器。
14.根据权利要求1或2所述的方法，其中，借助于干涉测量，彩色共焦测量，白光形貌测量和/或白光干涉测量来进行所述玻璃带的厚度的确定。
15.根据权利要求1或2所述的方法，其中，借助于检流计式扫描器和/或多边形镜轮引导所述激光束。
16.一种用于控制在没有大于5mm波长的波纹的玻璃或者塑料衬底的至少一个选出的区域的第一和第二表面之间的厚度的方法，包括下列步骤：
a)提供熔化的玻璃或者塑料；
b)将熔化的玻璃或者塑料成型成带，其中，所述成型不包括在所述带的边缘上施加拉力；
c)监测所述带的厚度；
d)确定所述带中的至少一个厚度偏差；
e)选出所述衬底的在粘性状态中的至少一个区域，其中，所述至少一个区域对应于确定的厚度偏差的区域；和
f)用激光器发射激光束加热所述带的在粘性状态中的至少一个选出的区域，所述激光束这样取向，使得其作用到所述选出的区域上，其中，所述加热导致，所述带的至少一个选出的区域获得预定的厚度，以及其中，所述加热还包括根据监测到的厚度来至少控制作用到所述选出的区域上的激光束的功率、保持时间或者波长，
其中，所述激光器这样装备有扫描头，使得能够扫描所述带的整个净宽；以及其中，在所述带的拉伸速度vB、所述带的净宽B、所述激光束的光束直径D、所述激光器的扫描速度vLas以及修正系数k之间具有如下的关系：
2·k·vB·B<D·vLas，
其中，所述修正系数k为至少1。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述方法用于控制在没有大于1mm波长的波纹的玻璃或者塑料衬底的至少一个选出的区域的第一和第二表面之间的厚度。
18.根据权利要求16所述的方法，其中，所述修正系数k为大于1。
19.一种用于控制在没有大于5mm波长的波纹的玻璃或者塑料衬底的至少一个选出的区域的第一和第二表面之间的厚度的方法，包括下列步骤：
a)提供熔化的玻璃或者塑料；
b)将熔化的玻璃或者塑料成型成带，其中，所述成型包括在所述带的边缘上施加拉力；
c)监测所述带的厚度；
d)确定所述带中的至少一个厚度偏差；
e)选出所述衬底的在液体状态中的至少一个区域，其中，所述液体状态具有小于109dPa·s的粘度，以及，所述至少一个区域对应于确定的厚度偏差的区域；和
f)用激光器发射激光束加热所述带的在液体状态中的至少一个选出的区域，所述激光束这样取向，使得其作用到所述选出的区域上，其中，所述加热导致，所述带的至少一个选出的区域获得预定的厚度，以及其中，所述加热还包括根据监测到的厚度来至少控制作用到所述选出的区域上的激光束的功率、保持时间或者波长，
其中，所述激光器这样装备有扫描头，使得能够扫描所述带的整个净宽；以及其中，在所述带的拉伸速度vB、所述带的净宽B、所述激光束的光束直径D、所述激光器的扫描速度vLas以及修正系数k之间具有如下的关系：
2·k·vB·B<D·vLas，
其中，所述修正系数k为至少1。
20.根据权利要求19所述的方法，其中，所述方法用于控制在没有大于1mm波长的波纹的玻璃或者塑料衬底的至少一个选出的区域的第一和第二表面之间的厚度。
21.根据权利要求19所述的方法，其中，所述修正系数k为大于1。
22.根据权利要求19至21任一项所述的方法，
其中，所述修正系数k为至少等于10。
23.根据权利要求22所述的方法，其中，所述修正系数k为大于10。
24.根据权利要求22所述的方法，其中，带和扫描镜之间的光学间距或者光学路径的长度在最小1.8m和最大5.0m之间。
25.根据权利要求22所述的方法，其中，所述扫描头具有检流计驱动器和/或多边形镜轮。
26.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，所述激光器功率为最高3000W。
27.根据权利要求26所述的方法，其中，所述激光器功率为最高2000W。
28.根据权利要求26所述的方法，其中，所述激光器功率为最高1500W。
29.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，借助于所述带的自重发生所述带的拉伸。
30.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，所述激光器为CO2激光器。
31.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，借助于干涉测量，彩色共焦测量，白光形貌测量和/或白光干涉测量来进行所述带厚度的监测。
32.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，所述加热包括将所述激光束从用于产生所述激光束的装置对准反射的表面并且将在所述表面上的所述激光束反射到所述至少一个选出的区域。
33.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，所述激光束依次对准所述带的多个选出的区域，和/或
其中，所述多个选出的区域在所述带的整个净宽上延伸。
34.根据权利要求33所述的方法，其中，对于每个选出的区域而言，选择性地控制和调节至少所述激光束的功率、保持时间和/或波长。
35.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，所述激光束的输出功率的至少20％被吸收在所述带中。
36.根据权利要求16-21中任一项所述的方法，其中，熔化的玻璃或者所述熔化的塑料，在紧随有成型的熔化工艺中或者在通过加热由玻璃或者塑料制成的预型件的再拉伸工艺中提供，和/或
其中，在浮法工艺、拉伸工艺、或者溢流熔融工艺中进行热成型。
37.根据权利要求36所述的方法，其中拉伸工艺是下拉工艺。
38.一种根据前述权利要求任一项所述的方法制造的平板玻璃，其具有300μm或者更小的厚度，以及不大于25μm的厚度变化，所述厚度变化基于在直径大于100mm的范围内的衬底尺寸，以及此外不具有大于5mm波长的波纹，其中，所述玻璃为碱金属硅酸盐玻璃，碱金属碱土金属硅酸盐玻璃，钠钙玻璃，混合碱石灰硅酸盐玻璃，硼硅酸盐玻璃，磷酸盐-硅酸盐玻璃，硼磷酸盐-硅酸盐玻璃，铝硅酸盐玻璃，碱金属铝硅酸盐玻璃，碱金属碱土金属铝硅酸盐玻璃，硼铝硅酸盐玻璃，或硼磷酸盐-铝硅酸盐玻璃。
39.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃具有150μm或者更小的厚度。
40.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃具有100μm或者更小的厚度。
41.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃具有50μm或者更小的厚度。
42.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃具有不大于15μm的厚度变化。
43.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃具有不大于10μm的厚度变化。
44.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃具有不大于5μm的厚度变化。
45.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述衬底尺寸是横向尺寸为100mm·100mm或者更大的衬底尺寸。
46.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述厚度变化基于在直径大于200mm的范围内的衬底尺寸。
47.根据权利要求46所述的平板玻璃，其中所述衬底尺寸是横向尺寸为200mm·200mm或者更大的衬底尺寸。
48.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述厚度变化基于在直径大于400mm的范围内的衬底尺寸。
49.根据权利要求48所述的平板玻璃，其中所述衬底尺寸是横向尺寸为400mm·400mm的衬底尺寸。
50.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃不具有大于3mm波长的波纹。
51.根据权利要求38所述的平板玻璃，其中所述平板玻璃不具有大于1mm波长的波纹。
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