CN102770379B - 玻璃薄膜的制造方法及其制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及的玻璃薄膜的制造装置(1)具备：从熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃薄膜带的玻璃薄膜带(G)的成形装置(10)；将伴随冷却而被向下方拉出的玻璃薄膜带(G)卷绕成辊卷状的卷绕装置(20)；在该卷绕装置(20)进行卷绕的卷绕位置的跟前将玻璃薄膜带(G)沿着宽度方向切断的宽度方向切断装置(30)。从成形装置(10)成形玻璃薄膜带(G)的成形开始位置到宽度方向切断装置(30)切断玻璃薄膜带(G)的切断位置为止的铅垂方向距离(h)为玻璃薄膜带(G)的宽度方向尺寸的5倍以上。

Description

玻璃薄膜的制造方法及其制造装置

技术领域

本发明涉及玻璃薄膜的制造方法及其制造装置，尤其涉及还能够将玻璃薄膜卷绕成辊卷状的长条的玻璃薄膜的制造技术。

背景技术

众所周知，近些年的图像显示装置中，代表为液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、场致发射显示器(FED)、有机EL显示器(OLED)等的平板显示器(以下，简称为FPD)成为主流。对于上述的FPD来说，由于轻量化不断推进，因此现状对使用于该FPD的玻璃基板也探索薄板化的一种途径。

另外，例如，有机EL不局限于如显示器那样通过TFT使细微的三原色点亮或熄灭，还可以仅通过单色(例如白色)发光来利用作为LCD的背光灯或屋内照明的光源等平面光源。并且，若为使用了有机EL的照明装置，则只要能够对玻璃基板赋予挠性，就能够使发光面自由地变形。因此，对于使用于此种照明装置的玻璃基板而言，从确保足够的挠性的观点出发，大幅的薄板化(玻璃薄膜化)也被不断推进。

在此，作为被薄板化了的带状的玻璃即所谓的玻璃薄膜的制造方法，例如下述专利文献1中提出有如下技术：通过下拉法、尤其是间隙下拉法，成形出板厚为30μm～2000μm的玻璃薄膜带，将向铅垂下方拉出的玻璃薄膜带朝向水平方向折弯(弯曲)后，利用激光将玻璃薄膜带的两端切掉，接着将玻璃薄膜带切断成规定长度，由此切出规定尺寸的玻璃基板。另外，还记载有如下主旨：若是板厚为30μm～400μm的玻璃薄膜带，则在将其两端切掉后，可以不切断成规定的长度而(通过规定的辊等)将其卷起。

另外，在下述专利文献2中提出有如下技术：将通过所谓的浮式法成形出的板厚小于0.7mm的玻璃薄膜带的宽度方向两端部在熔融锡槽上切断，并将切断后的玻璃薄膜带卷起成辊卷状。

这样，玻璃薄膜带与以往的玻璃基板不同，能够有效利用其优良的挠性而卷绕成辊卷状，例如能够向辊对辊制作方法等的生产方式供给。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2000-335928号公报

【专利文献2】日本特表2002-544104号公报

玻璃薄膜带通过将熔融玻璃成形为薄板状而成，在其粘度比较低的期间，将其进一步延伸而成形为规定的宽度方向尺寸及厚度尺寸。此时，有时在玻璃薄膜带上存在翘曲，或在玻璃薄膜带的宽度方向上产生以大的曲率弯曲的弯曲变形。大多数的情况下，在玻璃薄膜带的成形时，以组合上述的变形的形式表现。并且，上述的变形在将熔融玻璃成形为玻璃薄膜带，直至冷却结束的期间被大致固定化。

在卷绕长条的玻璃薄膜带时，在上述的变形中，尤其是弯曲变形成为问题的情况较多。然而，在产生弯曲变形的长条的玻璃薄膜带中，由于在其宽度方向上以大的曲率产生弯曲变形的状态下被固定化，因此容易以在玻璃薄膜带的宽度方向上错开成所谓的竹笋状的方式卷绕成辊卷状。在此，无法将玻璃薄膜作为玻璃辊卷来提供，从而导致成品率的降低。

为了解决该问题，例如在下述专利文献1中公开有如下技术：通过将监视并调整玻璃薄膜带的弯曲变形程度(也包括弯曲变形的有无)的机构装入玻璃薄膜带的成形装置，以免在玻璃薄膜带上产生弯曲变形。然而，在上述专利文献1所公开的技术中，在玻璃薄膜带被充分或某种程度冷却的部位设置监视该玻璃薄膜带的弯曲变形程度的装置。如上所述，玻璃薄膜带的变形在将熔融玻璃成形为玻璃薄膜带的形状，直至冷却结束的期间产生，并被固定化，因此即使通过监视装置感知到已经冷却的玻璃薄膜带的弯曲变形的产生，而向拉拔辊的变位机构等调整机构实施反馈，也必然性地产生时间的延迟。因此，在到开始上述调整作业的期间，在卷绕了存在弯曲变形的玻璃薄膜带而得到的玻璃薄膜的辊卷体上残留有分散成竹笋状的卷绕部分，从而导致成品率的降低。

另外，如上述专利文献1那样，在对玻璃薄膜带积极地施加矫正力来矫正其弯曲变形的方法中，产生施加矫正力引起的新的形变，从而需要不断进行对该新的形变引起的弯曲变形等变形进行再次矫正的作业。由于玻璃为脆性材料，因此当对玻璃薄膜带连续施加矫正力时，在玻璃薄膜带上蓄积形变，最终可能导致玻璃薄膜带发生破损(断裂)的情况。因此，很难精度良好且稳定地连续进行玻璃薄膜带的卷绕作业，由此进行的徒劳也多。

发明内容

鉴于以上的情况，在本说明书中，精度良好地制造出不会导致成品率的降低，且也没有弯曲变形，并且能够卷绕成辊卷状的玻璃薄膜带为通过本发明应该解决的技术的课题。

上述课题的解決通过本发明涉及的玻璃薄膜的制造方法来实现。即，该制造方法中，从熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃薄膜带，并将伴随冷却而被向下方拉出的玻璃薄膜带卷绕成辊卷状，在该卷绕位置的跟前将玻璃薄膜带沿着宽度方向切断，所述玻璃薄膜的制造方法的特征在于，从玻璃薄膜带的成形开始位置到玻璃薄膜带的切断位置为止的铅垂方向距离为玻璃薄膜带的宽度方向尺寸的5倍以上。需要说明的是，在此所说的“玻璃薄膜带的成形开始位置”因采用的成形方法而不同，例如玻璃薄膜带的成形方法采用间隙下拉法的情况下，用于将熔融玻璃向下方拉出的间隙(狭缝)开口部相当于上述成形开始位置。另外，在采用溢流下拉法的情况下，溢出的熔融玻璃合流的成形体的下端相对于上述成形开始位置，在采用再拉法的情况下，通过燃烧器等对二次加工用的玻璃母材进行加热而将其开始向规定方向拉伸的位置相对于上述成形开始位置。

如上所述，在成形为规定形状后，在伴随冷却而被向下方拉出的玻璃薄膜带上除了用于将玻璃薄膜带卷绕成辊卷状的辊所产生的牵引力之外，向下方拉出的玻璃薄膜带的重量还施加于玻璃薄膜带自身。即，以沿着铅垂方向被拉出的玻璃薄膜带的规定的部位(例如冷却中的部位)为基准来观察时，位于比该规定的部位靠下方的部位的重量成为对玻璃薄膜带的上述规定的部位的向铅垂下方的牵引力。该牵引力应该在铅垂方向上且在玻璃薄膜带的宽度方向整个区域均等地作用，但由于玻璃薄膜带因某些理由而翘曲或产生弯曲变形，而存在该重心从通过成形开始位置的假想铅垂线上偏离的情况。此时，当上述的牵引力不充分时，这样的状态长时间持续产生，之后即使作用有要使玻璃薄膜带的重心向上述假想铅垂线上返回的力，因时间的延迟而玻璃薄膜带残留有较大的变形，可能导致在品质方面产生致命的缺陷。因此，如上所述，本发明者着眼于从玻璃薄膜带的成形开始位置到沿着玻璃薄膜带的宽度方向切断的切断位置为止的铅垂方向距离与该玻璃薄膜带的宽度方向尺寸的比率，对上述的铅垂方向距离相对于宽度方向尺寸的比率进行锐意研究的结果是，发现在上述比率为规定的大小以上时，具体而言，在上述比率为5以上时，要使玻璃薄膜带的重心向铅垂线上返回的力对卷绕前的玻璃薄膜带不产生时间的延迟地迅速且有效地发挥作用。因此，例如在制造具有规定的宽度方向尺寸的玻璃薄膜带的情况下，通过根据该玻璃薄膜带的宽度方向尺寸而将铅垂方向距离取得较大，从而连续地成形的玻璃薄膜带中位于比较上方的部位、即从刚成形之后到冷却中的部位在位于比该部位靠下方的部分的自重的作用下，自然地被朝向铅垂下方牵引。并且，通过该牵引力，即使在玻璃薄膜带的重心从假想铅垂线上偏离或要偏离的情况下，也迅速作用有要使该重心返回到假想铅垂线上的力，因此能够尽可能地降低被向下方拉出的玻璃薄膜带的包括弯曲变形在内的变形。因此，尤其是即使未设置监视装置和调整机构，而将玻璃薄膜带沿着宽度方向切断并卷绕成辊卷状时，也能够不形成为错开成所谓的竹笋状的状态。另外，根据本发明涉及的制造方法，由于通过自重对拉出中的玻璃薄膜带的重心位置进行调整，因此若一旦上述铅垂方向距离相对于宽度方向尺寸的比确定，之后就能够稳定持续地进行长条的玻璃薄膜带的制造。因此，通过卷绕该长条的玻璃薄膜带，能够稳定地持续得到宽度方向的卷绕位置始终一致的状态的高精度的玻璃薄膜的卷绕辊卷体。

在该情况下，玻璃薄膜带的宽度方向中央部的厚度尺寸可以为300μm以下。

这是由于，当应该卷绕成辊卷状的玻璃薄膜带的厚度尺寸超过300μm时，玻璃薄膜的辊卷体的内径理论上需要为420mm以上(优选为700mm以上)，并且卷绕后的玻璃辊卷的外径容易超过2000mm，从而通过集装箱等进行玻璃辊卷的输送在现实上成为困难。由于以上的理由，在以卷绕成辊卷状为前提的情况下，优选玻璃薄膜带的宽度方向中央部的厚度尺寸为300μm以下，若为100μm以下则更优选，若为50μm以下则更加优选。

另外，用于从熔融玻璃成形出玻璃薄膜带的方法可以采用溢流下拉法。

如上所述，将玻璃薄膜带卷绕成辊卷状的玻璃薄膜的辊卷状产品向所谓的辊对辊制造方法的后续工序供给的情况少，在辊对辊制造方法的后续工序中，通常进行在玻璃薄膜带的表面设置微细的元件或配线的作业。因此，玻璃薄膜带的表面要求有非常优良的平滑性(平面度)。然而，在例如间隙下拉法等使用了喷嘴的成形法中，为了从成形喷嘴排出熔融玻璃，而存在在成形的玻璃薄膜带的表面反应出(可以称为转印)成形喷嘴间隙的内表面形状的情况。因此，很难平滑且高精度地得到玻璃薄膜带的表面。另一方面，根据溢流下拉法，只要玻璃薄膜带的表面与外部气体(成形装置中的氛围气体)接触即可，因此能够得到非常平滑的面。通过对暂且固化后的二次加工用的玻璃母材进行加热并沿规定的方向拉伸来进行的所谓的再拉法也能够得到同样的效果。

另外，可以通过激光切割来切断玻璃薄膜带的宽度方向两端部。

在从熔融玻璃成形玻璃薄膜带的情况下，尤其在通过上述的溢流下拉法成形玻璃薄膜带的情况下，其宽度方向两端部的厚度尺寸大多比主要作为产品部分使用的宽度方向中央部的厚度尺寸厚。因此，在为了得到具有一定的厚度尺寸的玻璃薄膜产品而制造玻璃薄膜带时，通过规定的方法将成形后的玻璃薄膜带的宽度方向两端部切断。在此，对玻璃薄膜带的宽度方向两端部进行切断的优选的方法之一能够列举出使用了激光切割的方法。通过激光切割对宽度方向两端部进行切断而产生的侧端面平滑，损伤非常少，因此适合于玻璃辊卷产品用的玻璃薄膜带。在此，激光切割是指使玻璃薄膜产生由激光进行的加热和由制冷剂进行的冷却所引起的热应力，通过该热应力，使预先施加在玻璃薄膜带的初始裂纹进展，从而来进行玻璃薄膜带的切断的方法。根据本发明，不需要担心玻璃薄膜带的宽度方向两端部的一方在切断时翘起，能够可靠且高精度地切断上述两端部。

并且，可以将玻璃薄膜带的位于成形开始位置的下方的渐冷区域的铅垂方向距离设定成从玻璃薄膜带的成形开始位置到玻璃薄膜带的切断位置为止的铅垂方向距离的50％以上且80％以下。

由此，能够在不降低玻璃薄膜带的成形速度的情况下降低(减少)从熔融玻璃成形出的玻璃薄膜带的冷却速度，从而能够使玻璃薄膜带的残留形变变小。这样成形的玻璃薄膜带的残留形变以光的相位角差计能够为0.5nm以下。需要说明的是，优选渐冷区域的铅垂方向距离设定为从玻璃薄膜带的成形开始位置到切断位置为止的铅垂方向距离的60％以上且80％以下，更优选设定为70％以上且80％以下。

另外，上述课题的解決也通过本发明涉及的玻璃薄膜的制造装置来实现。即，该制造装置具备：从熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃薄膜带的玻璃薄膜带的成形装置；将伴随冷却而被向下方拉出的玻璃薄膜带卷绕成辊卷状的卷绕装置；在该卷绕装置进行卷绕的卷绕位置的跟前将玻璃薄膜带沿着宽度方向切断的宽度方向切断装置，所述玻璃薄膜的制造装置的特征在于，从成形装置成形玻璃薄膜带的成形开始位置到宽度方向切断装置切断玻璃薄膜带的切断位置为止的铅垂方向距离为玻璃薄膜带的宽度方向尺寸的5倍以上。

上述的制造装置由于具有与本标题栏开头所叙述的制造方法相同的技术特征，因此也能够得到与上述的作用效果相同的作用效果。

【发明效果】

如以上所述，根据本发明涉及的玻璃薄膜的制造方法及其制造装置，能够精度良好地制造出不会导致成品率的降低，且也没有弯曲变形，并且能够卷绕成辊卷状的玻璃薄膜带。

附图说明

图1是本发明的一实施方式涉及的玻璃薄膜的制造装置的侧视图。

图2是图1所示的玻璃薄膜的制造装置的主视图。

具体实施方式

以下，基于图1及图2，对本发明的一实施方式进行说明。

图1是本发明的一实施方式涉及的玻璃薄膜的制造装置1的侧视图。如该图所示，该制造装置1具备通过所谓的溢流下拉法来从熔融玻璃成形出玻璃薄膜带G的成形装置10、将伴随冷却而被向下方拉出的玻璃薄膜带G卷绕成辊卷状的卷绕装置20，通过在比卷绕装置20靠上游侧配设的宽度方向切断装置30，将被向下方拉出的玻璃薄膜带G沿宽度方向切断，由此能够得到具有规定的辊卷厚度的玻璃薄膜的辊卷体Gr。

详细叙述时，在成形装置10的内部配设有具有截面楔状的外表面形状的成形体11，将在未图示的熔炉中熔融的玻璃(熔融玻璃)向成形体11供给，从而使该熔融玻璃从成形体11的顶部溢出。并且，溢出的熔融玻璃沿着成形体11的呈截面楔状的两侧面而在下端合流，从而开始从熔融玻璃向玻璃薄膜带G的成形。如此，在成形装置10的位于最上部的成形区域10A(参照图1及图2)成形出的玻璃薄膜带G直接向下方流下，而到达位于成形区域10A的下方的渐冷区域10B。然后，在该渐冷区域10B中，使玻璃薄膜带G逐渐冷却并同时除去(退火处理)该玻璃薄膜带G的残留形变。在渐冷区域10B的更下游侧(下方)设有冷却区域10C，其将逐渐冷却的玻璃薄膜带G充分冷却到室温程度的温度。在渐冷区域10B和冷却区域10C配置有将玻璃薄膜带G向下方引导的多个辊12。需要说明的是，在该实施方式中，在成形装置10内的各区域10B、10C的最上部(在图1中进行说明)配设的辊12作为对玻璃薄膜带G进行冷却的冷却辊而发挥功能，并且还作为用于对玻璃薄膜带G施加向下方的拉出力(牵引力)的驱动辊而发挥功能。其余的辊12作为空转辊或拉伸辊等而发挥将玻璃薄膜带G向下方引导并拉出的功能。

通过冷却区域10C后的玻璃薄膜带G从铅垂方向向水平方向改变行进方向，并被朝向玻璃薄膜的制造装置1的配置在最下游侧的卷绕装置20拉出。具体而言，在冷却区域10C的下方，继续将玻璃薄膜带G朝向铅垂下方拉出的铅垂拉出区域30A与该冷却区域10C连续，并且，在铅垂拉出区域30A的下方，使玻璃薄膜带G弯曲且将该拉出方向从铅垂方向向大致水平方向变换的弯曲区域30B与该铅垂拉出区域30A连续。在该实施方式中，如图1所示，在弯曲区域30B设有用于使玻璃薄膜带G以规定的曲率半径弯曲的多个弯曲辅助辊31，通过这多个弯曲辅助辊31的动作，将玻璃薄膜带G朝向后述的水平拉出区域30C送出。并且，在弯曲区域30B的下游侧(就图1而言，为弯曲区域30B的左侧)，将通过弯曲区域30B后的玻璃薄膜带G朝向大致水平方向拉出的水平拉出区域30C与该弯曲区域30B连续。

另外，虽然未图示，但在水平拉出区域30C配设有能够将玻璃薄膜带G沿其长度方向切断的长度方向切断装置，从而能够将通过弯曲区域30B而到达了水平拉出区域30C的玻璃薄膜带G的宽度方向两端部Ge(参照图2)沿其长度方向连续地切断。在此，作为长度方向切断装置，虽然省略图示，但可以使用如下这样的装置，该装置利用金刚石刀具来形成划线，并且将耳部(宽度方向两端部Ge)弯折分割，从而将该耳部沿着划线切断，但从提高切截面的强度的观点出发，优选使用激光切割装置，该激光切割装置例如具备局部加热机构、冷却机构、对玻璃薄膜带的切断预定线的周围的背面进行支承的支承构件、在切断预定线上形成初始裂纹的裂纹形成机构。由此，能够将玻璃薄膜带G通过所谓的整体(full body)切断而切断成其宽度方向两端部Ge和玻璃薄膜带G的有效部。

如上所述，将玻璃薄膜带G的宽度方向两端部Ge切断后，将除去了上述宽度方向两端部Ge的玻璃薄膜带G的有效部绕卷绕装置20的卷芯21卷绕成辊卷状。然后，在卷绕而形成的玻璃薄膜的辊卷体Gr的辊卷直径(厚度尺寸)达到规定的尺寸时，通过宽度方向切断装置30将玻璃薄膜带G沿宽度方向切断。在该情况下，宽度方向切断装置30位于比长度方向切断装置靠玻璃薄膜带G的拉出路径的下游侧的位置，但也可以与此相反，而长度方向切断装置位于比宽度方向切断装置30靠下游侧的位置。经过以上的工序，能够得到成为最终产品的玻璃薄膜的辊卷体Gr。需要说明的是，在本实施方式中，如图1及图2所示，在卷绕装置20的附近配设有保护片供给装置22，将从该保护片供给装置22供给的保护片23与玻璃薄膜带G一起绕卷绕装置20的卷芯21卷绕成辊卷状。

在此，使从玻璃薄膜带G的成形开始位置、即溢出的熔融玻璃的成形体11下方的合流位置到宽度方向切断装置30对玻璃薄膜带G进行切断的切断位置的铅垂方向距离h(参照图1)为玻璃薄膜带G的宽度方向尺寸的5倍以上，更正确而言，为离开冷却区域10C后的玻璃薄膜带G的宽度方向尺寸w(参照图2)的5倍以上。即，铅垂方向距离h相对于宽度方向尺寸w的比h/w为5以上。由此，连续地成形的玻璃薄膜带中，位于比较上方的部位、即成形区域10A中的比成形开始位置(成形体11的下端位置)靠下方的部位或渐冷区域10等部位在位于比上述的部位靠下方的部位的自重的作用下，被向铅垂下方牵引。并且，通过该牵引力，即使在玻璃薄膜带G的重心从通过该玻璃薄膜带G的成形开始位置的宽度方向中央的假想铅垂线上偏离的情况下，也迅速地作用有要使上述重心返回到假想铅垂线上的力，因此能够尽可能降低被向下方拉出的玻璃薄膜带G的包括弯曲变形在内的变形。因此，在更下游区域将玻璃薄膜带G沿宽度方向切断，并通过卷绕装置20卷绕成辊卷状时，不会形成错开成所谓的竹笋状的状态。另外，若为该制造方法，则在自重的作用下对拉出中的玻璃薄膜带G的重心位置进行调整，因此若一旦确定上述铅垂方向距离h相对于宽度方向尺寸w的比h/w，则之后能够持续进行稳定的卷绕作业。因此，能够稳定地得到宽度方向的卷绕位置始终一致的状态的高精度的玻璃薄膜的辊卷体Gr。

尤其是在如本实施方式那样，在冷却区域10C的下方顺次形成铅垂拉出区域30A、弯曲区域30B及水平拉出区域30C的情况下，对于成形区域10A和冷却区域10C以及弯曲区域30B的尺寸而言，与成形的玻璃薄膜带G的材质或尺寸对应而某种程度自动地确定，因此现实上可以将铅垂拉出区域30A的长度以h/w≥5的方式设定成比以往大。由此，不用特别大幅变更现有结构，就能够高精度地实施玻璃薄膜带G的卷绕。

另外，在采用上述方法的情况下，若上述铅垂方向距离h相对于上述宽度方向尺寸w的比h/w为7以上则更优选，若为10以上则更加优选。通过这样设定，如后述的结果所示，能够大幅减少玻璃薄膜带G的弯曲度(称为翘曲的程度。与弯曲变形的程度不同。)，因此能够得到非常高品质的玻璃薄膜的辊卷体Gr。

在此，优选玻璃薄膜带G的宽度方向中央部的厚度尺寸为300μm以下，若为100μm以下则更优选，若为50μm以下则更加优选。玻璃薄膜带G可以预先具有能够卷绕成辊卷状的程度的挠性。

另外，优选玻璃薄膜带G的宽度方向尺寸w为500mm以上。即，当玻璃薄膜带G的宽度方向尺寸w不为500mm以上时，玻璃薄膜带G无法通过自重而得到被牵引的效果。在此，若下限值为1000mm以上则更优选，若为1500mm以上则更加优选。另外，优选上限值为6000mm以下。这是由于虽然在功能方面、性能方面上来看，即使大也没有问题，但当过于大时(超过6000mm时)，设备需要相应的高度，在成本方面，存在产生不良情况的可能性。

以上，对本发明涉及的玻璃薄膜的制造方法及其制造装置的一实施方式进行了说明，但玻璃薄膜的制造方法及其制造装置没有限定为上述例示的方式，在本发明的范围内能够采用任意的方式。

例如，在上述实施方式中，如图1所示，形成为在水平拉出区域30C中，使玻璃薄膜带G朝向卷绕装置20侧下降倾斜的结构，但也可以大致水平，或者也可以相反地略微朝向上方倾斜。在该情况下，铅垂方向距离h的下侧的基准位置也为宽度方向切断装置30对玻璃薄膜带G进行切断的切断位置。

另外，在上述实施方式中，说明了将玻璃薄膜带G的宽度方向两端部Ge的切断位置设定在水平拉出区域30C中的情况，但对该位置没有特别地限定。只要在比卷绕装置20靠上游侧的位置能够切断的范围内，该切断位置任意，例如，可以在弯曲区域30B或铅垂拉出区域30A进行切断。宽度方向切断装置30也同样，可以在铅垂拉出区域30A或弯曲区域30B将玻璃薄膜带G沿宽度方向切断。

另外，如上所述，在将宽度方向切断装置30或长度方向切断装置设置在铅垂拉出区域30A中时，还能够省略水平拉出区域30C、或弯曲区域30B和水平拉出区域30C。在该情况下，卷绕装置20配置在铅垂拉出区域30A或弯曲区域30B的下游端。

另外，在以上的説明中，例示了将本发明适用于使用了所谓的溢流下拉法的玻璃薄膜的制造工序的情况，但当然能够采用上述以外的成形方法，例如间隙下拉法等各种下拉法、利用二次加工用的玻璃母材的再拉法等各种玻璃薄膜的成形方法。

根据以上的说明涉及的玻璃薄膜的制造方法及其制造装置，能够精度良好地制造出不会导致成品率的降低，且也没有弯曲变形，并且能够卷绕成辊卷状的玻璃薄膜带，因此不局限于FPD等影像显示装置用玻璃基板，本发明能够适用于要求确保品质的所有的玻璃薄膜的量产工序。

另外，对于上述以外的事项，只要在不无视本发明的技术的意义的范围内，则当然能够采用其他的具体的方式。

【实施例】

以下，为了证明本发明的有用性，对本发明者进行的实验进行记述。在此次的实验中，对如下情况下得到的玻璃薄膜带的产品状态下的弯曲度进行测定，来对本发明的有用性进行评价，该情况为使玻璃薄膜带的从成形开始位置到沿着宽度方向切断的切断位置为止的铅垂方向距离与宽度方向尺寸的比率不同的情况。

具体而言，如下述的表1所示，以使玻璃薄膜带的宽度方向尺寸、玻璃薄膜带的从成形体的下端位置到沿着该玻璃薄膜带的宽度方向切断的切断位置为止的铅垂方向距离不同状态来进行玻璃薄膜带的制造。此时采用的制造方法为溢流下拉法。另外，玻璃薄膜带的宽度方向中央部的厚度尺寸都为100μm。

表1

将上述的条件下制造的玻璃薄膜带从玻璃薄膜的辊卷体拉出10m，测定从沿着载置在平板上的玻璃薄膜带的长度方向将玻璃薄膜带的长度方向两端彼此连结的假想直线到该玻璃薄膜带的弯曲凹端面的分离距离的最大值[mm]来作为弯曲度。

在上述表1的最下栏示出弯曲度的测定结果。由该表可知，在铅垂方向距离h相对于宽度方向尺寸w的比h/w小于5的情况下，表现出作为玻璃薄膜产品不优选的大小的弯曲度。与此相对，在h/w为5以上的情况下，尤其是h/w为10的情况下，可知测定的弯曲度变得非常小。

【符号说明】

1   玻璃薄膜的制造装置

10  成形装置

10A 成形区域

10B 渐冷区域

10C 冷却区域

11  成形体

12  辊

20  卷绕装置

21  卷芯

22  保护片供给装置

23  保护片

30  宽度方向切断装置

30A 铅垂拉出区域

30B 弯曲区域

30C 水平拉出区域

31  弯曲辅助辊

G   玻璃薄膜带

Ge  宽度方向两端部

Gr  玻璃薄膜的辊卷体

h   铅垂方向距离

w   宽度方向尺寸

Claims (5)

1.一种玻璃薄膜的制造方法，其包括：从熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃薄膜带的工序；将伴随冷却而向下方拉出的所述玻璃薄膜带卷绕成辊卷状的工序；在其卷绕位置的跟前，将所述玻璃薄膜带沿着宽度方向切断的工序，所述玻璃薄膜的制造方法的特征在于，

在所述玻璃薄膜带的成形开始位置的下方设置用于除去所述玻璃薄膜带的残留形变的渐冷区域，并且，

在所述渐冷区域的下方设置将所述玻璃薄膜带冷却至室温的冷却区域，

将从所述成形开始位置到所述玻璃薄膜带的切断位置为止的铅垂方向距离设定成所述玻璃薄膜带的宽度方向尺寸的5倍以上，并且，

将所述渐冷区域的铅垂方向距离设定成从所述成形开始位置到所述切断位置为止的铅垂方向距离的50％以上且80％以下。

2.根据权利要求1所述的玻璃薄膜的制造方法，其特征在于，

所述玻璃薄膜带的宽度方向中央部的厚度尺寸为300μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃薄膜的制造方法，其特征在于，

用于从所述熔融玻璃成形出所述玻璃薄膜带的方法采用溢流下拉法。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃薄膜的制造方法，其特征在于，

通过激光切割将所述玻璃薄膜带的宽度方向两端部切断。

5.一种玻璃薄膜的制造装置，其具备：从熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃薄膜带的玻璃薄膜带的成形装置；将伴随冷却而向下方拉出的所述玻璃薄膜带卷绕成辊卷状的卷绕装置；在该卷绕装置进行卷绕的卷绕位置的跟前，将所述玻璃薄膜带沿着宽度方向切断的宽度方向切断装置，所述玻璃薄膜的制造装置的特征在于，

在所述玻璃薄膜带的成形开始位置的下方设有用于除去所述玻璃薄膜带的残留形变的渐冷区域，并且，

在所述渐冷区域的下方设有将所述玻璃薄膜带冷却至室温的冷却区域，

从所述成形装置的所述成形开始位置到所述宽度方向切断装置切断所述玻璃薄膜带的切断位置为止的铅垂方向距离设定成所述玻璃薄膜带的宽度方向尺寸的5倍以上，并且，

所述渐冷区域的铅垂方向距离设定成从所述成形开始位置到所述切断位置为止的铅垂方向距离的50％以上且80％以下。