TWI471271B - 玻璃膜的製造方法及其製造裝置 - Google Patents

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Description

玻璃膜的製造方法及其製造裝置
本發明有關於一種玻璃膜的製造方法及其製造裝置，尤其有關於一種能夠將玻璃膜捲繞成捲狀的長條狀的玻璃膜的製造技術。
如周知般，近年來的圖像顯示裝置中，以液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)、電漿顯示器(Plasma Display Panel，PDP)、場發射顯示器(Field Emission Display，FED)、有機電致發光(Electroluminescence，EL)顯示器(有機發光二極體(organic light emitting diode，OLED))等為代表的平板顯示器(以下，僅稱作FPD(Flat Panel Display))成為主流。因針對該些FPD而推進輕量化，故而現狀為亦不斷地對該FPD中所使用的玻璃基板要求薄板化。
而且，例如有機EL，並不限於如顯示器般藉由薄膜電晶體(Thin film transistor，TFT)使微細的三原色閃爍，亦僅以單色(例如白色)發光而作為LCD的背光或室內照明的光源等的平面光源加以利用。此外，若為使用有機EL的照明裝置，則只要對玻璃基板賦予可撓性，便可自由地使發光面變形。因此，對於此種照明裝置中所使用的玻璃基板，自確保充分的可撓性的觀點考慮亦大幅地推進薄板化(玻璃膜化)。
此處，作為薄板化的帶狀的玻璃、所謂玻璃膜的製造方法，例如下述專利文獻1中提出了如下技術：藉由下拉法特別是溝漕式下拉法(slot down draw)，而成形出板厚30 μm～2000 μm的玻璃膜帶，將沿垂直下方抽出的玻璃膜帶朝水平方向彎折(彎曲)後，使用雷射將玻璃膜帶的兩端切下，繼而將玻璃膜帶切斷為規定長度，從而切出規定尺寸的玻璃基板。而且，專利文獻1中記載了：如果為板厚30 μm～400 μm的玻璃膜帶，則在將其兩端切下後，無需切斷成規定的長度(藉由規定的輥等)便可捲起。
而且，下述專利文獻2中提出了如下技術：將藉由所謂浮動法而成形的板厚小於0.7 mm的玻璃膜帶的寬度方向兩端部在熔融錫(molten tin)槽上進行切斷所得的玻璃膜捲起為捲狀。
如此，與先前的玻璃基板不同，玻璃膜帶發揮其優異的可撓性而能夠捲繞成捲狀，且例如可供給至捲對捲(Roll to Roll)製法等的生產方式中。
[先行技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2000-335928號公報
[專利文獻2]日本專利特表2002-544104號公報
玻璃膜帶是將熔融玻璃成形為薄板狀，並在該熔融玻璃的黏度相對較低的期間進一步延伸而成形為規定的寬度方向尺寸及厚度尺寸。此時，有時玻璃膜帶上會產生翹曲或在玻璃膜帶的寬度方向上以大的曲率發生彎曲的彎曲變形。大多情況下，於玻璃膜帶成形時，該些變形以組合的形式而出現。而且，該些變形在將熔融玻璃成形為玻璃膜帶並結束冷卻為止的期間內大致被固定。
於捲繞長條狀的玻璃膜帶的情況下，多數情況下上述變形中特別是彎曲變形會成為問題。然而，於產生彎曲變形的長條狀的玻璃膜帶中，是在玻璃膜帶的寬度方向上以大的曲率發生彎曲變形的狀態而被固定的，因此在玻璃膜帶的寬度方向上以所謂竹筍狀偏移的形態而易捲繞成捲狀。但這樣的話無法將玻璃膜作為玻璃捲而提供，從而導致良率降低。
為了解決該問題，例如下述專利文獻1中揭示了如下技術：將對玻璃膜帶的彎曲變形程度(亦包含有無彎曲變形)進行監視並加以調整的機構組裝至玻璃膜帶的成形裝置中，藉此使玻璃膜帶不會產生彎曲變形。然而，上述專利文獻1所揭示的技術中，於將玻璃膜帶充分冷卻或者冷卻至某程度的部位設置對該玻璃膜帶的彎曲變形程度進行監視的裝置。如上述般，玻璃膜帶的變形是在熔融玻璃成形為玻璃膜帶的形狀並結束冷卻為止的期間內產生且被固定，因此即便利用監視裝置對已經冷卻的玻璃膜帶的彎曲變形的產生進行感測，並將反饋(feedback)發給抽拔輥的移位機構等的調整機構，亦必然會產生時間上的延遲。由此，於將直至開始上述調整作業為止的期間內有彎曲變形的玻璃膜帶捲繞而成的玻璃膜的捲體上會殘留竹筍狀偏移的捲繞部分，從而導致良率的降低。
而且，如上述專利文獻1般，在對玻璃膜帶積極地賦予矯正力而欲對該彎曲變形進行矯正的方法中，因賦予矯正力而會產生新的應變，從而必需不斷地進行對由該新的應變所引起的彎曲變形等的變形再次進行矯正的作業。因玻璃為脆性材料，故而若持續對玻璃膜帶賦予矯正力，則玻璃膜帶上會積存應變，進而容易導致玻璃膜帶破損(斷裂)的事態。這樣的話難以高精度且穩定地持續進行玻璃膜帶的捲繞作業，因此亦造成較多浪費。
鑒於以上的情況，於本說明書中，應藉由本發明而解決的技術性課題為：可高精度地製造不會導致良率的降低且亦不會彎曲變形而可捲繞成捲狀的玻璃膜帶。
上述課題的解決藉由本發明的玻璃膜的製造方法而達成。亦即，該製造方法為，自熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材而成形出玻璃膜帶，並且將伴隨冷卻而向下方抽出的玻璃膜帶捲繞成捲狀，且在該捲繞位置的近前處將玻璃膜帶沿著寬度方向切斷，該玻璃膜的製造方法的特徵在於：自玻璃膜帶的成形開始位置到玻璃膜帶的切斷位置為止的垂直方向距離為玻璃膜帶的寬度方向尺寸的5倍以上。另外，此處所謂的「玻璃膜帶的成形開始位置」根據所採用的成形方法而有所不同，例如若玻璃膜帶的成形方法中採用溝漕式下拉法，則用以將熔融玻璃向下方抽出的溝漕式(狹縫)開口部相當於上述成形開始位置。而且，若採用溢流下拉法，則溢出的熔融玻璃合流的成形體的下端相當於上述成形開始位置，若採用再拉法，則利用噴燃器等對二次加工用的玻璃母材進行加熱並開始朝規定方向拉長的位置相當於上述成形開始位置。
如上述般，對成形為規定形狀後伴隨冷卻而向下方抽出的玻璃膜帶，藉由用以將玻璃膜帶捲繞成捲狀的輥而施加牽引力，從而向下方抽出的玻璃膜帶的重量被附加於玻璃膜帶自身。亦即，於以沿著垂直方向抽出的玻璃膜帶的規定的部位(例如冷卻中的部位)為基準而進行觀察時，位於比該規定的部位更下方的部位的重量成為對於玻璃膜帶的上述規定的部位的朝垂直下方的牽引力。該牽引力應在垂直方向上且遍及玻璃膜帶的寬度方向整個區域而均等地發揮作用，但玻璃膜帶會因某些理由而翹曲或產生彎曲變形，藉此有時玻璃膜帶的重心會偏離通過成形開始位置的假想垂直線上。此時，若上述牽引力不足，則此種狀態會長時間地持續產生，其後即便作用欲使玻璃膜帶的重心回到上述假想垂直線上的力，因時間上的延遲的原因，玻璃膜帶的變形亦會大量地殘留，從而容易給品質方面帶來致命性的缺陷。對此，本發明者如上述般，著眼於自玻璃膜帶的成形開始位置到沿著玻璃膜帶的寬度方向的切斷位置為止的垂直方向距離、與該玻璃膜帶的寬度方向尺寸的比率，並對垂直方向距離相對於該些寬度方向尺寸的比率進行積極研究後發現，當將上述比率設定為規定的大小以上時，具體而言，將上述比率設為5以上時，欲使玻璃膜帶的重心回到垂直線上的力能夠迅速且有效地作用於捲繞前的玻璃膜帶而不會產生時間上的延遲。因此，例如在製造具有規定的寬度方向尺寸的玻璃膜帶的情況下，相應於該玻璃膜帶的寬度方向尺寸，而將垂直方向距離設定得較大，藉此連續地成形的玻璃膜帶中的位於相對較上方的部位，亦即成形後立即處於冷卻中的部位，可藉由位於比該部位更下方的部分的自重而自然地朝垂直下方牽引。而且，藉由該牽引力，即便於玻璃膜帶的重心偏離假想垂直線上、或者即將偏離假想垂直線上的情況下，因欲使該重心回到假想垂直線上的力迅速地發揮作用，故而能夠儘可能地減少向下方抽出的玻璃膜帶的包含彎曲變形在內的變形。因此，即便未特別設置監視裝置或調整機構，於將玻璃膜帶沿著寬度方向切斷並捲繞成捲狀時，未形成所謂竹筍狀偏移的狀態亦可。而且，根據本發明的製造方法，藉由自重來調整抽出中的玻璃膜帶的重心位置，因此一旦規定垂直方向距離相對於上述寬度方向尺寸的比，則之後能夠穩定地持續進行長條狀的玻璃膜帶的製造。因此，藉由捲繞該長條狀的玻璃膜帶，而能夠穩定地持續獲得寬度方向的捲繞位置總是對齊的狀態的高精度的玻璃膜的捲繞捲體。
於此情況下，玻璃膜帶的寬度方向中央部的厚度尺寸亦可設為300 μm以下。
其原因在於，若應捲繞成捲狀的玻璃膜帶的厚度尺寸超過300 μm，則玻璃膜的捲體的內徑在理論上必需為420 mm以上(較佳為700 mm以上)，且捲繞後的玻璃捲的外徑容易超過2000 mm，從而實際上難以利用集裝箱進行玻璃捲的輸送。根據以上的理由，於以捲繞成捲狀為前提的情況下，玻璃膜帶的寬度方向中央部的厚度尺寸較佳為300 μm以下，若為100 μm以下則更佳，若為50 μm以下則進而更佳。
而且，於用以自熔融玻璃成形出玻璃膜帶的方法中亦可採用溢流下拉法。
已將玻璃膜帶捲繞成捲狀的玻璃膜的捲狀製品，如上述般至少被供給至所謂捲對捲製法的後步驟中，該些後步驟中，通常要進行於玻璃膜帶的表面設置微細元件或配線的作業。因此，要求玻璃膜帶的表面具有非常優異的平滑性(平面度)。然而，例如於溝漕式下拉法等的使用噴嘴的成形法中，因自成形噴嘴排出熔融玻璃，有時會於成形的玻璃膜帶的表面反映(所謂的轉印)出成形噴嘴溝漕的內表面形狀。因此，難以平滑且高精度地獲得玻璃膜帶的表面。另一方面，根據溢流下拉法，玻璃膜帶的表面只要僅與外部氣體(成形裝置中的環境氣體)接觸即可，因而可獲得非常平滑的面。相同的效果亦可藉由所謂再拉法而獲得，即，對暫時固化的二次加工用的玻璃母材進行加熱並向規定的方向拉長而進行。
而且，亦可藉由雷射切割將玻璃膜帶的寬度方向兩端部切斷。
於自熔融玻璃成形出玻璃膜帶的情況下，特別藉由上述溢流下拉法而成形出玻璃膜帶的情況下，該玻璃膜帶的寬度方向兩端部的厚度尺寸大多比主要用作製品部分的寬度方向中央部的厚度尺寸更厚。因此，為了獲得具有固定的厚度尺寸的玻璃膜製品而製造玻璃膜帶的情況下，成形的玻璃膜帶的寬度方向兩端部藉由規定的方法而切斷。此處，將玻璃膜帶的寬度方向兩端部切斷的較佳的方法之一，可列舉使用雷射切割的方法。藉由雷射切割而切斷寬度方向兩端部所產生的側端面平滑，且損傷非常少，因此適合於玻璃捲製品用的玻璃膜帶。此處，雷射切割是指藉由雷射加熱與冷媒的冷卻而使玻璃膜帶產生熱應力，藉由該熱應力，使預先賦予玻璃膜帶的初始龜裂發展，藉此進行玻璃膜帶的切斷。根據本發明，亦無需擔心玻璃膜帶的寬度方向兩端部的一個端部於切斷時上浮，因而能夠可靠且高精度地切斷上述兩端部。
此外，亦可將位於玻璃膜帶的成形開始位置的下方的緩冷區域的垂直方向距離設為自玻璃膜帶的成形開始位置到玻璃膜帶的切斷位置為止的垂直方向距離的50%以上80%以下。
如此一來，不降低玻璃膜帶的成形速度，可降低(減小)自熔融玻璃而成形的玻璃膜帶的冷卻速度，且亦可減小玻璃膜帶的殘留應變。如此成形的玻璃膜帶的殘留應變以光的相位角差計算可設為0.5 nm以下。另外，緩冷區域的垂直方向距離較佳設定為自玻璃膜帶的成形開始位置到切斷位置為止的垂直方向距離的60%以上80%以下，更佳設定為70%以上80%以下。
而且，上述課題的解決亦藉由本發明的玻璃膜的製造裝置而達成。亦即，該製造裝置包括：自熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材而成形出玻璃膜帶的玻璃膜帶的成形裝置，將伴隨冷卻而向下方抽出的玻璃膜帶捲繞成捲狀的捲繞裝置，及在該捲繞裝置的捲繞位置的近前處將玻璃膜帶沿著寬度方向切斷的寬度方向切斷裝置，該玻璃膜的製造裝置的特徵在於：自成形裝置的玻璃膜帶的成形開始位置到寬度方向切斷裝置的玻璃膜帶的切斷位置為止的垂直方向距離為玻璃膜帶的寬度方向尺寸的5倍以上。
上述製造裝置亦具有與本欄的開頭所述的製造方法相同的技術性特徵，因此可獲得與上述作用效果相同的作用效果。
[發明的效果]
如以上般，根據本發明的玻璃膜的製造方法及其製造裝置，可高精度地製造不會導致良率的降低且亦不會彎曲變形而可捲繞成捲狀的玻璃膜帶。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
以下，根據圖1及圖2說明本發明的一實施形態。
圖1是本發明的一實施形態的玻璃膜的製造裝置1的側視圖。如該圖1所示，該製造裝置1包括：藉由所謂溢流下拉法而自熔融玻璃成形出玻璃膜帶G的成形裝置10，及將伴隨冷卻而向下方抽出的玻璃膜帶G捲繞成捲狀的捲繞裝置20，藉由配設於比捲繞裝置20更上游側的寬度方向切斷裝置30而將向下方抽出的玻璃膜帶G沿著寬度方向切斷，由此獲得具有規定的捲厚的玻璃膜的捲體Gr。
詳細而言，則於成形裝置10的內部配設著具有剖面楔狀的外表面形狀的成形體11，藉由將在未圖示的熔融爐內熔融的玻璃(熔融玻璃)供給至成形體11，而使該熔融玻璃自成形體11的頂部溢出。而且，溢出的熔融玻璃沿著成形體11的呈剖面楔狀的兩側面於下端處合流，藉此開始自熔融玻璃向玻璃膜帶G成形。如此，位於成形裝置10的最上部的成形區域10A(參照圖1及圖2)中所成形的玻璃膜帶G直接向下方流下，並到達位於成形區域10A的下方的緩冷區域10B。而且，於該緩冷區域10B中，一邊將玻璃膜帶G緩冷一邊將其殘留應變除去(退火處理)。在比緩冷區域10B更下游側(下方)設置著冷卻區域10C，對已緩冷的玻璃膜帶G進行充分冷卻直至達到室溫左右的溫度為止。於緩冷區域10B與冷卻區域10C配置著將玻璃膜帶G向下方導引的多個輥12。另外，於該實施形態中，配設於成形裝置10內的各區域10B、10C的最上部(圖1中說明)的輥12作為將玻璃膜帶G冷卻的冷卻輥而發揮功能，並且作為用以對玻璃膜帶G賦予朝向下方的抽出力(牽引力)的驅動輥而發揮功能。剩餘的輥12作為空轉輥或拉伸輥等而發揮著將玻璃膜帶G一邊向下方導引一邊抽出的功能。
已通過冷卻區域10C的玻璃膜帶G的前進方向自垂直方向而改為水平方向，並朝向配置於玻璃膜的製造裝置1的最下游側的捲繞裝置20抽出。具體而言，於冷卻區域10C的下方連接著將連續玻璃膜帶G朝垂直下方抽出的垂直抽出區域30A，並且於該垂直抽出區域30A的下方連接著使玻璃膜帶G彎曲並將其抽出方向自垂直方向朝大致水平方向轉換的彎曲區域30B。該實施形態中，如圖1所示，於彎曲區域30B設置著用以使玻璃膜帶G以規定的曲率半徑彎曲的多個彎曲輔助輥31，藉由該些多個彎曲輔助輥31的作用，朝向後述的水平抽出區域30C送出玻璃膜帶G。此外，於彎曲區域30B的下游側(圖1中為彎曲區域30B的左側)連接著將已通過彎曲區域30B的玻璃膜帶G朝大致水平方向抽出的水平抽出區域30C。
而且，雖省略圖示，但於水平抽出區域30C配設著可將玻璃膜帶G沿著其長度方向切斷的長度方向切斷裝置，從而能夠將通過彎曲區域30B並到達水平抽出區域30C的玻璃膜帶G的寬度方向兩端部Ge(參照圖2)沿著其長度方向而連續地切斷。此處，關於長度方向切斷裝置，雖省略圖示，但可使用如下裝置，即，利用金剛石切割器而形成切割道，並且將凸緣部(寬度方向兩端部Ge)折斷，藉此將該凸緣部沿著切割道切斷，而自提高切斷面的強度的觀點考慮，較佳為使用例如包括局部加熱機構、冷卻機構、支持玻璃膜帶的切斷預定線的周圍的背面的支持構件、及於切斷預定線形成初始龜裂的龜裂形成機構的雷射切割裝置。藉此，能夠對玻璃膜帶G於其寬度方向兩端部Ge與玻璃膜帶G的有效部進行所謂整體(full body)切斷。
如上述般，在將玻璃膜帶G的寬度方向兩端部Ge切斷後，將除該些寬度方向兩端部Ge以外的玻璃膜帶G的有效部繞捲繞裝置20的捲芯21而捲繞成捲狀。而且，於捲繞而成的玻璃膜的捲體Gr的捲徑(厚度尺寸)達到規定的尺寸的時間點，藉由寬度方向切斷裝置30將玻璃膜帶G沿著寬度方向切斷。於此情況下，寬度方向切斷裝置30位於比長度方向切斷裝置更靠玻璃膜帶G的抽出路徑的下游側，但亦可與此相反，長度方向切斷裝置位於比寬度方向切斷裝置30更下游側。經過以上的步驟，獲得成為最終製品的玻璃膜的捲體Gr。另外，於該實施形態中，如圖1及圖2所示，於捲繞裝置20的附近配設著保護薄片供給裝置22，將自該保護薄片供給裝置22供給的保護薄片23連同玻璃膜帶G一併繞捲繞裝置20的捲芯21而捲繞成捲狀。
此處，自玻璃膜帶G的成形開始位置，亦即溢出的熔融玻璃的成形體11下方處的合流位置，到寬度方向切斷裝置30的玻璃膜帶G的切斷位置為止的垂直方向距離h(參照圖1)，為玻璃膜帶G的寬度方向尺寸，更準確地說為從冷卻區域10C出來的玻璃膜帶G的寬度方向尺寸w(參照圖2)的5倍以上。亦即，垂直方向距離h相對於寬度方向尺寸w的比h/w為5以上。藉此，於連續地成形的玻璃膜帶中，位於相對較上方的部位，亦即比成形區域10A中的成形開始位置(成形體11的下端位置)更下方的部位或緩冷區域10等的部位，藉由位於比該些部位更下方的部位的自重而向垂直下方牽引。而且，藉由該牽引力，即便於玻璃膜帶G的重心偏離通過該玻璃膜帶G的成形開始位置的寬度方向中央的假想垂直線上的情況下，因欲使上述重心回到假想垂直線上的力會迅速地發揮作用，故而能夠儘可能地減少向下方抽出的玻璃膜帶G的包含彎曲變形在內的變形。因此，於將玻璃膜帶G在更下游區域沿著寬度方向切斷，並由捲繞裝置20捲繞成捲狀時，未形成所謂竹筍狀偏移的狀態亦可。而且，若採用該製造方法，則能夠藉由自重來調整抽出中的玻璃膜帶G的重心位置，因此一旦規定垂直方向距離h相對於上述寬度方向尺寸w的比h/w，則之後能夠持續地進行穩定的捲繞作業。因此，能夠穩定地獲得寬度方向的捲繞位置總是對齊的狀態的高精度的玻璃膜的捲體Gr。
特別如該實施形態所示，於在冷卻區域10C的下方依次形成著垂直抽出區域30A、彎曲區域30B、及水平抽出區域30C的情況下，關於成形區域10A與冷卻區域10C、及彎曲區域30B的尺寸，自動地規定為與成形的玻璃膜帶G的材質或尺寸相應的程度，因此實際情況為，以成為h/w≧5的方式，可將垂直抽出區域30A的長度設定得比先前大。藉此，無需特別大幅地變更先前構成，便可高精度地實施玻璃膜帶G的捲繞。
而且，於採用上述方法的情況下，若將上述垂直方向距離h相對於上述寬度方向尺寸w的比h/w設為7以上則更佳，若為10以上則進而更佳。藉由如此進行設定，如後述的結果所示，可大幅地減少玻璃膜帶G的彎曲度(即翹曲的程度，與彎曲變形的程度不同)，因而可獲得品質非常高的玻璃膜的捲體Gr。
此處，玻璃膜帶G的寬度方向中央部的厚度尺寸較佳為300 μm以下，若為100 μm以下則更佳，若為50 μm以下則進而更佳。玻璃膜帶G只要具有可捲繞成捲狀的程度的可撓性即可。
而且，關於玻璃膜帶G的寬度方向尺寸w，較佳為500 mm以上。亦即，若玻璃膜帶G的寬度方向尺寸w不為500 mm以上，則無法充分獲得玻璃膜帶G藉由自重而牽引的效果。此處，關於下限值，若為1000 mm以上則更佳，若為1500 mm以上則進而更佳。而且，關於上限值，較佳為6000 mm以下。雖然就功能方面、性能方面而言無論多大均不會有問題，但若過大(超過6000 mm)，則需要相應的設備的高度，從而在成本方面可能引起不良。
以上，已對本發明的玻璃膜的製造方法及其製造裝置的一實施形態進行了說明，但該些並不限定於上述例示的形態，於本發明的範圍內可採用任意的形態。
例如，於上述實施形態中，如圖1所示，構成為於水平抽出區域30C，使玻璃膜帶G朝捲繞裝置20側下降傾斜，但亦可使玻璃膜帶G大致水平地或者相反稍微朝上方而傾斜。於此情況下，垂直方向距離h的下側的基準位置亦成為寬度方向切斷裝置30的玻璃膜帶G的切斷位置。
而且，於上述實施形態中，已對將玻璃膜帶G的寬度方向兩端部Ge的切斷位置設為水平抽出區域30C中的情況進行了說明，但並未特別限定於該位置。只要在比捲繞裝置20更上游側可進行切斷，則該切斷位置為任意，例如，亦可在彎曲區域30B或垂直抽出區域30A進行切斷。關於寬度方向切斷裝置30亦為同樣，亦可在垂直抽出區域30A或彎曲區域30B將玻璃膜帶G沿著寬度方向切斷。
而且，如上述般，於將寬度方向切斷裝置30或長度方向切斷裝置設置於垂直抽出區域30A中的情況下，亦可省略水平抽出區域30C、或者彎曲區域30B與水平抽出區域30C。於此情況下，捲繞裝置20可配設於垂直抽出區域30A或者彎曲區域30B的下游端。
而且，以上的說明中，已例示了於使用所謂溢流下拉法的玻璃膜的製造步驟中應用本發明的情況，但當然亦可採用除上述以外的成形方法，例如溝漕式下拉法等的各種下拉法，或利用二次加工用的玻璃母材的再拉法等各種玻璃膜的成形方法。
根據以上說明的玻璃膜的製造方法及其製造裝置，可高精度地製造不會導致良率的降低且亦不會彎曲變形而可捲繞成捲狀的玻璃膜帶，因此不限於FPD等的影像顯示裝置用玻璃基板，亦可將本發明應用於要求確保質量的所有的玻璃膜的量產步驟中。
而且，關於上述以外的事項，只要不忽視本發明的技術性意義則當然可採用其他具體的形態。
[實例]
以下，為了證明本發明的有用性而對本發明者所進行的實驗進行記述。此次的實驗中，對在使自玻璃膜帶的成形開始位置到沿著寬度方向的切斷位置為止的垂直方向距離、與寬度方向尺寸的比率不同的情況下所獲得的玻璃膜帶的製品狀態下的彎曲度進行測定，並對本發明的有用性進行評估。
具體而言，如下述的表1所示，於使玻璃膜帶的寬度方向尺寸、或自玻璃膜帶的成形體的下端位置到沿著該玻璃膜帶的寬度方向的切斷位置為止的垂直方向距離不同的狀態下來進行玻璃膜帶的製造。此時所採用的製造方法為溢流下拉法。而且，玻璃膜帶的寬度方向中央部的厚度尺寸均設為100 μm。
[表1]
自玻璃膜的捲體抽出上述條件下所製造的玻璃膜帶10 m，將自載置於定盤上的玻璃膜帶的長度方向上連結的假想直線到該玻璃膜帶的彎曲凹端面為止的離開距離的最大值[mm]作為彎曲度，而對該玻璃膜帶的長度方向兩端之間進行測定。
將彎曲度的測定結果表示於上述表1的最下欄。根據該表可知，於垂直方向距離h相對於寬度方向尺寸w的比h/w小於5的情況下，顯示出作為玻璃膜製品而不佳的大小的彎曲度。與此相對，可知於h/w為5以上的情況下，尤其h/w為10的情況下，測定的彎曲度變得非常小。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1．．．玻璃膜的製造裝置
10．．．成形裝置
10A．．．成形區域
10B．．．緩冷區域
10C．．．冷卻區域
11．．．成形體
12．．．輥
20．．．捲繞裝置
21．．．捲芯
22．．．保護薄片供給裝置
23‧‧‧保護薄片
30‧‧‧寬度方向切斷裝置
30A‧‧‧垂直抽出區域
30B‧‧‧彎曲區域
30C‧‧‧水平抽出區域
31‧‧‧彎曲輔助輥
G‧‧‧玻璃膜帶
Ge‧‧‧寬度方向兩端部
Gr‧‧‧玻璃膜的捲體
h‧‧‧垂直方向距離
w‧‧‧寬度方向尺寸
圖1是本發明的一實施形態的玻璃膜的製造裝置的側視圖。
圖2是圖1所示的玻璃膜的製造裝置的正視圖。
1．．．玻璃膜的製造裝置
10．．．成形裝置
10A．．．成形區域
10B．．．緩冷區域
10C．．．冷卻區域
11．．．成形體
12．．．輥
20．．．捲繞裝置
21．．．捲芯
22．．．保護薄片供給裝置
23．．．保護薄片
30．．．寬度方向切斷裝置
30A．．．垂直抽出區域
30B．．．彎曲區域
30C．．．水平抽出區域
31．．．彎曲輔助輥
G．．．玻璃膜帶
Gr．．．玻璃膜的捲體
h．．．垂直方向距離

Claims (5)

  1. 一種玻璃膜的製造方法，其自熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃膜帶，並且將伴隨冷卻而向下方抽出的上述玻璃膜帶捲繞成捲狀，且在該捲繞位置的近前處將上述玻璃膜帶沿著寬度方向切斷，上述玻璃膜的製造方法的特徵在於：自上述玻璃膜帶的成形開始位置到上述玻璃膜帶的切斷位置為止的垂直方向距離為上述玻璃膜帶的寬度方向尺寸的5倍以上。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃膜的製造方法，其中將上述玻璃膜帶的寬度方向中央部的厚度尺寸設為300μm以下。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之玻璃膜的製造方法，其中於用以自上述熔融玻璃成形出上述玻璃膜帶的方法中採用溢流下拉法。
  4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之玻璃膜的製造方法，其中藉由雷射切割而將上述玻璃膜帶的寬度方向兩端部切斷。
  5. 一種玻璃膜的製造裝置，包括：玻璃膜帶成形裝置，自熔融玻璃或二次加工用的玻璃母材成形出玻璃膜帶；捲繞裝置，將伴隨冷卻而向下方抽出的上述玻璃膜帶捲繞成捲狀；及寬度方向切斷裝置，在該捲繞裝置的捲繞位置的近前處將上述玻璃膜帶沿著寬度方向切斷，上述玻璃膜的製造裝置的特徵在於： 自上述成形裝置的上述玻璃膜帶的成形開始位置到上述寬度方向切斷裝置的上述玻璃膜帶的切斷位置為止的垂直方向距離為上述玻璃膜帶的寬度方向尺寸的5倍以上。
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