CN107022748A - 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 - Google Patents
一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107022748A CN107022748A CN201710369312.3A CN201710369312A CN107022748A CN 107022748 A CN107022748 A CN 107022748A CN 201710369312 A CN201710369312 A CN 201710369312A CN 107022748 A CN107022748 A CN 107022748A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- frame
- rack
- gear
- cavity
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007888 film coating Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000009501 film coating Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 208000002925 dental caries Diseases 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，它涉及玻璃真空镀膜技术、新材料和新工艺领域，传动轴的两端分别设置有齿轮，且齿轮与第一齿条相啮合，第一齿条设置在腔体的两端，腔体的两端还分别设置有导槽，机架的两侧分别安装有数个导向轮，且数个导向轮滑设在导槽上，腔体的一侧设置有减速机，减速机的轴上安装有直齿轮，直齿轮与第二齿条相啮合，第二齿条设置在机架的一侧，腔体的后方安装有箱体。它通过将圆管安装在特制机架上，在生产线上圆管随机架水平行进，同时绕自身轴线旋转，形成圆管式表面真空磁控镀膜连续生产，生产效率大辐度提高，满足了圆管表面镀膜均匀性要求。
Description
技术领域
本发明涉及一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，属于玻璃真空镀膜技术、新材料和新工艺技术领域。
背景技术
近年来圆管表面真空磁控镀膜大体采取单体机，机内一次装载数十只，在“行星”机构传动下圆管做公转与自转，立式圆柱靶在中心位置，开机一次只能生产数十只，无法连续生产，效率低，且膜系单一。
发明内容
针对上述问题，本发明要解决的技术问题是提供一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构。
本发明的一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，它包含腔体、机架、旋转圆管、传动轴、第二螺旋齿轮、齿轮、第一齿条、导槽、导向轮、减速机、直齿轮、第二齿条、箱体，腔体上设置有机架，机架上并排安装有数个水平行进的旋转圆管，旋转圆管是由圆管、三爪卡盘、滑动轴承座、固定轴承座、滑槽、丝杆、丝母座、手轮和第一螺旋齿轮组成，圆管的两端分别安装有三爪卡盘，其一端连接有滑动轴承座，另一端连接有固定轴承座，滑动轴承座设置在滑槽上，滑动轴承座通过丝杆与丝母座连接，丝母座与手轮连接，固定轴承座的一端连接有第一螺旋齿轮，机架的前端设置有传动轴，传动轴上均匀设置有数个第二螺旋齿轮，且数个第二螺旋齿轮与数个旋转圆管一端的第一螺旋齿轮相啮合，传动轴的两端分别设置有齿轮，且齿轮与第一齿条相啮合，第一齿条设置在腔体的两端，腔体的两端还分别设置有导槽，机架的两侧分别安装有数个导向轮，且数个导向轮滑设在导槽上，腔体的一侧设置有减速机，减速机的轴上安装有直齿轮，直齿轮与第二齿条相啮合，第二齿条设置在机架的一侧，腔体的后方安装有箱体。
作为优选，所述的机架的一侧安装有数个限位轮，限位轮主要用于控制机架水平行进中不易跑偏。
本发明的有益效果：它结构设计合理，安装简单，使用方便，通过将圆管安装在特制机架上，在生产线上圆管随机架水平行进，同时绕自身轴线旋转，形成圆管式表面真空磁控镀膜连续生产，生产效率大辐度提高，满足了圆管表面镀膜均匀性要求。
附图说明：
为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明中机架的结构示意图；
图3为图2的侧视图；
图4为本发明中机架的立体结构示意图；
图5为本发明中旋转圆管的结构示意图；
图6为本发明中三爪卡盘的结构示意图；
图7为图1中A部放大图；
图8为图1中B部放大图；
图9为图1中C部放大图。
1-腔体；2-机架；2-1-限位轮；3-旋转圆管；3-1-圆管；3-2-三爪卡盘；3-3-滑动轴承座；3-4-固定轴承座；3-5-滑槽；3-6-丝杆；3-7-丝母座；3-8-手轮；3-9-第一螺旋齿轮；4-传动轴；5-第二螺旋齿轮；6-齿轮；7-第一齿条；8-导槽；9-导向轮；10-减速机；11-直齿轮；12-第二齿条；13-箱体。
具体实施方式：
如图1-图9所示，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含腔体1、机架2、旋转圆管3、传动轴4、第二螺旋齿轮5、齿轮6、第一齿条7、导槽8、导向轮9、减速机10、直齿轮11、第二齿条12、箱体13，腔体1上设置有机架2，机架2上并排安装有数个水平行进的旋转圆管3，旋转圆管3是由圆管3-1、三爪卡盘3-2、滑动轴承座3-3、固定轴承座3-4、滑槽3-5、丝杆3-6、丝母座3-7、手轮3-8和第一螺旋齿轮3-9组成，圆管3-1的两端分别安装有三爪卡盘3-2，其一端连接有滑动轴承座3-3，另一端连接有固定轴承座3-4，滑动轴承座3-3设置在滑槽3-5上，滑动轴承座3-3通过丝杆3-6与丝母座3-7连接，丝母座3-7与手轮3-8连接，固定轴承座3-4的一端连接有第一螺旋齿轮3-9，机架2的前端设置有传动轴4，传动轴4上均匀设置有数个第二螺旋齿轮5，且数个第二螺旋齿轮5与数个旋转圆管3一端的第一螺旋齿轮3-9相啮合，传动轴4的两端分别设置有齿轮6，且齿轮6与第一齿条7相啮合，第一齿条7设置在腔体1的两端，腔体1的两端还分别设置有导槽8，机架2的两侧分别安装有数个导向轮9，且数个导向轮9滑设在导槽8上，腔体1的一侧设置有减速机10，减速机10的轴上安装有直齿轮11，直齿轮11与第二齿条12相啮合，第二齿条12设置在机架2的一侧，腔体1的后方安装有箱体13。
其中，所述的机架2的一侧安装有数个限位轮2-1，限位轮2-1主要用于控制机架2水平行进中不易跑偏。
本具体实施方式在使用时，转动手轮3-8，通过丝母座3-7、丝杆3-6可使滑动轴承座3-3连同固定在上面的三爪卡盘3-2沿滑槽做轴向移动，利用均布在卡盘上活动爪的径向运动将圆管内径撑紧，在生产线上，旋转圆管3随机架2水平行进的同时在机架2上旋转，通过减速机10轴上的直齿轮11转动，驱动机架2上第二齿条12连同机架2水平行进，机架2水平行进中齿轮6通过与第一齿条7相对运动而转动，通过传动轴4、第二螺旋齿轮5、第一螺旋齿轮3-9带动旋转圆管3转动。
本具体实施方式中的齿轮6的齿数为Z1=17（避免根切最少齿数），模数为m1=3，齿轮转动一周机架2行进距离位S=πmz，第二螺旋齿轮位5Z2=11，第一螺旋齿轮3-9为Z3=23，旋转圆管3旋转一周机架2行进距离位H=πmz.11/23=76.6mm，选用的旋转阴极有效溅射区域宽约150-200mm，重叠系数在2以上。
本具体实施方式为了进一步消除因圆管自身旋转形成螺旋状膜层带的不均匀，还采用了孪生靶，孪生靶距为H/2（38.3）的奇数倍。选用191.57，这样，两靶在磁控溅射中在圆管表面形成螺旋状膜层带相差180°相互叠加进一步提高了圆管表面镀膜均匀性。
本具体实施方式结构设计合理，安装简单，使用方便，通过将圆管安装在特制机架上，在生产线上圆管随机架水平行进，同时绕自身轴线旋转，形成圆管式表面真空磁控镀膜连续生产，生产效率大辐度提高，满足了圆管表面镀膜均匀性要求。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (3)
1.一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，其特征在于：它包含腔体(1)、机架(2)、旋转圆管(3)、传动轴(4)、第二螺旋齿轮(5)、齿轮(6)、第一齿条(7)、导槽(8)、导向轮(9)、减速机(10)、直齿轮(11)、第二齿条(12)、箱体(13)，腔体(1)上设置有机架(2)，机架(2)上并排安装有数个水平行进的旋转圆管(3)，旋转圆管(3)是由圆管(3-1)、三爪卡盘(3-2)、滑动轴承座(3-3)、固定轴承座(3-4)、滑槽(3-5)、丝杆(3-6)、丝母座(3-7)、手轮(3-8)和第一螺旋齿轮(3-9)组成，圆管(3-1)的两端分别安装有三爪卡盘(3-2)，其一端连接有滑动轴承座(3-3)，另一端连接有固定轴承座(3-4)，滑动轴承座(3-3)设置在滑槽(3-5)上，滑动轴承座(3-3)通过丝杆(3-6)与丝母座(3-7)连接，丝母座(3-7)与手轮(3-8)连接，固定轴承座(3-4)的一端连接有第一螺旋齿轮(3-9)，机架(2)的前端设置有传动轴(4)，传动轴(4)上均匀设置有数个第二螺旋齿轮(5)，且数个第二螺旋齿轮(5)与数个旋转圆管(3)一端的第一螺旋齿轮(3-9)相啮合，传动轴(4)的两端分别设置有齿轮(6)，且齿轮(6)与第一齿条(7)相啮合，第一齿条(7)设置在腔体(1)的两端，腔体(1)的两端还分别设置有导槽(8)，机架(2)的两侧分别安装有数个导向轮(9)，且数个导向轮(9)滑设在导槽(8)上，腔体(1)的一侧设置有减速机(10)，减速机(10)的轴上安装有直齿轮(11)，直齿轮(11)与第二齿条(12)相啮合，第二齿条(12)设置在机架(2)的一侧，腔体(1)的后方安装有箱体(13)。
2.根据权利要求1所述的一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，其特征在于：所述的机架(2)的一侧安装有数个限位轮(2-1)。
3.根据权利要求1所述的一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，其特征在于：它的工作原理：在使用时，转动手轮(3-8)，通过丝母座(3-7)、丝杆(3-6)可使滑动轴承座(3-3)连同固定在上面的三爪卡盘(3-2)沿滑槽做轴向移动，利用均布在卡盘上活动爪的径向运动将圆管内径撑紧，在生产线上，旋转圆管(3)随机架(2)水平行进的同时在机架(2)上旋转，通过减速机(10)轴上的直齿轮(11)转动，驱动机架(2)上第二齿条(12)连同机架(2)水平行进，机架(2)水平行进中齿轮(6)通过与第一齿条(7)相对运动而转动，通过传动轴(4)、第二螺旋齿轮(5)、第一螺旋齿轮(3-9)带动旋转圆管(3)转动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710369312.3A CN107022748A (zh) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710369312.3A CN107022748A (zh) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107022748A true CN107022748A (zh) | 2017-08-08 |
Family
ID=59529204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710369312.3A Pending CN107022748A (zh) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107022748A (zh) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102051590A (zh) * | 2010-12-29 | 2011-05-11 | 衡阳市真空机电设备有限公司 | 发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机 |
| CN104069980A (zh) * | 2014-07-07 | 2014-10-01 | 沧州天瑞星光热技术有限公司 | 玻璃管镀膜装置 |
| CN206814840U (zh) * | 2017-05-23 | 2017-12-29 | 上海子创镀膜技术有限公司 | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 |
-
2017
- 2017-05-23 CN CN201710369312.3A patent/CN107022748A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102051590A (zh) * | 2010-12-29 | 2011-05-11 | 衡阳市真空机电设备有限公司 | 发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机 |
| CN104069980A (zh) * | 2014-07-07 | 2014-10-01 | 沧州天瑞星光热技术有限公司 | 玻璃管镀膜装置 |
| CN206814840U (zh) * | 2017-05-23 | 2017-12-29 | 上海子创镀膜技术有限公司 | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205441017U (zh) | 装盒机吸盒机构 | |
| CN206814840U (zh) | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 | |
| CN109898067B (zh) | 一种柔性基材双面卷绕镀膜自动生产线 | |
| CN101881318A (zh) | 偏心啮合副通用减速器 | |
| CN102534529B (zh) | 磁控溅射源及磁控溅射设备 | |
| CN108916533A (zh) | 一种适用于城市污水网管的管道机器人行进装置 | |
| CN106621358A (zh) | 8字形行走的无碳小车 | |
| CN110760808B (zh) | 一种曲面屏磁控溅射组件 | |
| CN204384607U (zh) | 一种塑料管材双工位卷取机 | |
| CN107022748A (zh) | 一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构 | |
| CN213113477U (zh) | 一种真空镀膜机的靶挡板机构 | |
| CN207929820U (zh) | 一种铝型材卷圆机 | |
| CN206662638U (zh) | 一种用于堆焊工艺的自适应变位机 | |
| TWI827398B (zh) | 單向旋轉裝置、上料裝置以及真空鍍膜設備 | |
| CN208179988U (zh) | 一种加扭转的螺旋线生产设备 | |
| CN206940020U (zh) | 一种用于多层共挤气垫膜生产的薄膜收卷装置 | |
| CN103147056A (zh) | 一种动磁场真空镀膜磁控溅射源 | |
| CN207044864U (zh) | Ud布0∕90°转向复合一体机 | |
| CN206050146U (zh) | 一种全自动罐体缠绕机 | |
| CN208575216U (zh) | 一种轴承滚子冷辗成型机 | |
| CN103394562A (zh) | 铝合金s型弧型全自动两用穿带机 | |
| CN209636311U (zh) | 一种产品镀铝的工装夹具 | |
| CN103103482B (zh) | 一种用于驱动磁控管的驱动机构及磁控溅射设备 | |
| CN202595264U (zh) | 真空镀膜机上的工件架 | |
| CN205839119U (zh) | 一种真空磁控镀膜机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20170808 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |