CN202595264U - 真空镀膜机上的工件架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其是真空镀膜机上的工件架，该工件架具有竖立设置的工件轴，工件轴的下端设有自转输入组件，自转输入组件包括有一心轴、一自转输入齿轮；自转输入齿轮安装在心轴的下端，自转输入齿轮与一固定的中齿轮啮合；所述的心轴的上端穿过一大齿轮后与工件轴的下端接驳在一起，大齿轮与一主动齿轮啮合，主动齿轮由一电机驱动；所述工件轴的上端有一可转动的法兰定位限制。本实用新型结构简单，科学合理，投资成本低，可大大提升了镀膜的均匀性，转动更平稳，且具有可拆换性，灵活性高，实用性强。

Description

真空镀膜机上的工件架

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其是真空镀膜机上的工件架。

背景技术

随后出现有物理气相沉积（PVD）技术，主要是在真空环境下进行表面处理，物理气相沉积本身分为三种：真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜，近十年来发展相当快，已经成为当今最先进的表面处理方式之一。真空镀膜生产是实现膜层附着在工件表面，以获得需要的工件表面特性。在实际生产时，工件设置在真空镀膜机上的工件架，为了获得理想的镀膜效果，一般的工件架带有转动特性，以实现工件转动，从而达到工件全面的镀膜。然而，现有的真空镀膜机上的工件架存在复杂化，成本高，且转动不平稳，导致镀膜的均匀性较差；因而优待改进。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单，科学合理，可使工件转动平稳，提升镀膜效果的真空镀膜机上的工件架。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

真空镀膜机上的工件架，该工件架具有竖立设置的工件轴，工件轴的下端设有自转输入组件，自转输入组件包括有一心轴、一自转输入齿轮；自转输入齿轮安装在心轴的下端，自转输入齿轮与一固定的中齿轮啮合；所述的心轴的上端穿过一大齿轮后与工件轴的下端接驳在一起，大齿轮与一主动齿轮啮合，主动齿轮由一电机驱动；所述工件轴的上端有一可转动的法兰定位限制。

所述法兰为环形，在法兰的内外侧分别设有协调法兰转动的限位件。

所述电机为一减速机，可通过变频器控制，电机的输出通过皮带带动一转动轴转动，主动齿轮则安装在转动轴上。

所述心轴上还套接有轴承，轴承通过轴承座与大齿轮连接在一起。

本实用新型具有如下优点：1、工件轴在跟随大齿轮转动的同时还可自行转动，自动行转动是利用其上的自转输入齿轮围绕一固定的中齿轮运动获得，结构简单，科学合理，投资成本低，可大大提升了镀膜的均匀性，获得更佳的镀膜产品。2、工件轴的上端有可转动的法兰定位限制，法兰起到定位支撑作用，减少工件轴旋转晃动，使转动更平稳。3、电机为减速机，可方便的调节转动快慢，满足实际生产需要。4、结构组装简便，具有可拆换性，灵活性高，实用性强。

附图说明：

附图1为本实用新型的较佳实施例结构示意图；

附图2为图1之实施例的局部结构放大示意图。

具体实施方式：

以下结合附图对本实用新型进一步说明：

参阅图1、2所示，本实用新型所述的真空镀膜机上的工件架，该工件架具有竖立设置的工件轴1，工件轴1的下端设有自转输入组件，自转输入组件包括有一心轴2、一自转输入齿轮3；自转输入齿轮3安装在心轴2的下端，自转输入齿轮3与一固定的中齿轮4啮合；所述的心轴2的上端穿过一大齿轮5后与工件轴1的下端接驳在一起，大齿轮5与一主动齿轮6啮合，主动齿轮6由一电机7驱动；所述工件轴1的上端有一可转动的法兰8定位限制，法兰8为环形，在法兰8的内外侧分别设有协调法兰8转动的限位件81，法兰8起到定位支撑作用，减少工件轴1旋转晃动，使转动更平稳，限位件81可为自转的滚轮结构。自转输入齿轮3相对围绕中齿轮4转动，为行星模式，其动力来自于工件轴1跟随大齿轮5转动。心轴2上还套接有轴承21，轴承21通过轴承座与大齿轮5连接在一起，轴承21可增加工件轴1自转的顺滑，减少受干涉跳动。

本实施例中，电机7为一减速机，可通过变频器控制，实现速度调整，满足工件旋转快慢的工作需要。电机7的输出通过皮带71带动一转动轴72转动，主动齿轮6则安装在转动轴72上。

工作时，将需要镀膜的工件设置在工件轴1上，随后电机7输出动力通过皮带71带动转动轴72转动，主动齿轮6跟随转动轴72转动，由此啮合大齿轮5，使大齿轮5转动；大齿轮5旋转则带动工件轴1旋转。工件轴1旋转时，工件轴1下端的自转输入齿轮3相对围绕中齿轮4转动，从而实现工件轴1自转，由此达到工件轴1的工件发生自转及公转，使镀膜更均匀，提升品质。工件轴1上端的法兰8在工件轴1旋转时有效给予定位支撑，防止工件轴1晃动，使旋转更平稳。

本实用新型结构简单，科学合理，投资成本低，体积小巧，安装、使用方便，旋转稳定及安全，同时可根据需要通过调节电机7转速来调整工件的旋快慢，调整方便、准确，大大提升工作效能。本实用新型的结构组装简便，具有可拆换性，可通过替换不同尺寸的大齿轮5和中齿轮4，即可适用不同型号的真空室，灵活性高，实用性强。

当然，以上图示仅为本实用新型的较佳实施例，并非以此限定本实用新型的实施范围，故，凡是依照本实用新型之原理做等效变化或修饰，均应涵盖于本实用新型的保护范围内。

Claims (4)

1.真空镀膜机上的工件架，其特征在于：该工件架具有竖立设置的工件轴（1），工件轴（1）的下端设有自转输入组件，自转输入组件包括有一心轴（2）、一自转输入齿轮（3）；自转输入齿轮（3）安装在心轴（2）的下端，自转输入齿轮（3）与一固定的中齿轮（4）啮合；所述的心轴（2）的上端穿过一大齿轮（5）后与工件轴（1）的下端接驳在一起，大齿轮（5）与一主动齿轮（6）啮合，主动齿轮（6）由一电机（7）驱动；所述工件轴（1）的上端有一可转动的法兰（8）定位限制。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机上的工件架，其特征在于：所述法兰（8）为环形，在法兰（8）的内外侧分别设有协调法兰（8）转动的限位件（81）。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机上的工件架，其特征在于：电机（7）为一减速机，电机（7）的输出通过皮带（71）带动一转动轴（72）转动，主动齿轮（6）则安装在转动轴（72）上。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机上的工件架，其特征在于：心轴（2）上还套接有轴承（21），轴承（21）通过轴承座与大齿轮（5）连接在一起。

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