CN107015532B - 显示面板在线质量检测方法及装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 122
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 claims description 27
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 13
- 239000000047 product Substances 0.000 description 21
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31359—Object oriented model for fault, quality control
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32225—Randomize workpiece treatment order within lot to improve lot-to-lot comparisons
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32368—Quality control
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
本发明公开一种显示面板在线质量检测方法及装置,该方法包括如下步骤:在制造执行系统上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;所述流水线控制系统接收并存储所述抽检参数;所述流水线控制系统根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作。本发明显示面板在线质量检测方法的技术方案通过制造执行系统的集中设定,对生产工序的各个环节进行精确抽检,提高玻璃基板的良品率和检测效率。
Description
技术领域
本发明涉及控制技术领域,特别涉及一种显示面板在线质量检测方法及装置。
背景技术
玻璃基板作为液晶显示面板的重要部件,其品质对于显示面板的显示效果至关重要。玻璃基板在镀膜工序中的各个阶段都需要进行严格的质量控制,根据流水线上的产品不同,需要设置相应的抽检率检测。然而,现有的检测方法大多是对产线末端的完成品抽检,无法对工序中每一个环节的半成品进行精确的抽样检测,影响了产品质量和检测效率。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种显示面板在线质量检测方法及装置,旨在通过制造执行系统的集中设定,对生产工序的各个环节进行精确抽检,提高玻璃基板的良品率和检测效率。
为实现上述目的,本发明提出的一种显示面板在线质量检测方法,包括如下步骤:
在制造执行系统上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;
所述流水线控制系统接收并存储所述抽检参数;
所述流水线控制系统根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作。
优选地,所述流水线控制系统接收并存储所述抽检参数之后,还包括如下步骤:
所述流水线控制系统获取所述机台检测的玻璃基板的产品信息。
优选地,所述流水线控制系统根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台的步骤,具体包括:
所述流水线控制系统将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。
优选地,所述制造执行系统通过无线传输方式向所述流水线控制系统远程传输所述抽检参数。
优选地,所述流水线控制系统通过一控制器向所述机台发送抽检控制信号。
本发明还提出一种显示面板在线质量检测装置,包括:
制造执行系统,用于设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;
所述流水线控制系统,用于接收并存储所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作。
优选地,所述流水线控制系统还包括:
信息获取模块,用于机台检测到玻璃基板载入后,获取该玻璃基板的产品信息发送给所述流水线控制系统。
优选地,所述流水线控制系统还包括:
解析比较模块,用于将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。
优选地,所述制造执行系统还包括:
无线传输模块,用于向所述流水线控制系统远程传输所述抽检参数。
优选地,所述流水线控制系统还包括:
控制器,用于向所述机台发送抽检控制信号。
本发明技术方案中,显示面板在线质量检测方法,包括如下步骤:在制造执行系统上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;所述流水线控制系统接收并存储所述抽检参数;所述流水线控制系统根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作。通过制造执行系统的集中设定,对生产工序的各个环节进行精确抽检,提高玻璃基板的良品率和检测效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明显示面板在线质量检测方法一实施例的流程示意图;
图2为本发明显示面板在线质量检测方法另一实施例的流程示意图;
图3为本发明显示面板在线质量检测方法又一实施例的流程示意图;
图4为本发明显示面板在线质量检测装置的功能模块示意图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外,本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提出一种显示面板在线质量检测方法,请参照图1,在本发明的一实施例中,该方法包括如下步骤:
S10、在制造执行系统上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;
具体来说,步骤S10在制造执行系统上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统。该抽检参数是根据玻璃基板的制成环节而定的,主要包括抽检率。在玻璃基板的array制程中要大致经过清洗、成膜、黄光制板、蚀刻、剥膜等步骤,在制程中要先将洗净的玻璃基板送进溅镀机台镀上一层ITO铟锡氧化物半导体透明导电膜,再用黄光及蚀刻制成区域图样,随后玻璃基板经光阻剥离洗净,完成制成工序。在每个步骤中,需要对流水线上玻璃基板的膜层质量进行抽检,以保证后续乃至完成品的良品率。本实施例中,用户可以在制造执行系统的操控界面中预先对玻璃基板的抽检参数(抽检率)进行设定,便于统一管理,集中控制。
S20、所述流水线控制系统接收并存储所述抽检参数。该步骤中,流水线控制能够将设定好的抽检参数存储起来,便于后续对机台的控制。
S30、所述流水线控制系统根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作。流水线控制系统根据设定的抽检参数在不同工艺步骤中生产对应的控制信号,以驱动机台对选定的玻璃基板进行抽检,所述机台接收到抽检控制信号后,执行抽检操作,机台接收控制信号,对应不同的工序,按相应的抽检率对玻璃基板执行抽检工作。
本实施例通过制造执行系统的集中设定,对生产工序的各个环节进行精确抽检,提高玻璃基板的良品率和检测效率。
参见图2,基于本发明显示面板在线质量检测方法的一实施例提出本发明移显示面板在线质量检测方法的另一实施例,在本实施例中所述步骤S20之后还包括:
S21、所述流水线控制系统获取所述机台检测的玻璃基板的产品信息。
作为一种优选实施例,在步骤S20之后还包括,S21所述流水线控制系统获取所述机台检测的玻璃基板的产品信息。机台能实时监控玻璃基板的产品信息,即该玻璃基板的经过了何种制程,下一步需要进入何种制程,将该产品信息发送给流水线控制系统。
参见图3,基于本发明显示面板在线质量检测方法的一实施例提出本发明移显示面板在线质量检测方法的又一实施例,在本实施例中所述步骤S30具体包括:
S31、所述流水线控制系统将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。
作为一种优选实施例,在步骤S30中包括:所述流水线控制系统将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。当机台检测到玻璃基板载入后,将该玻璃基板的产品信息发送给流水线控制系统,供流水线控制系统与预存的抽检参数进行比对,选择对应的抽检参数后生成控制信号,以驱动机台执行抽检操作。
优选地,所述制造执行系统通过无线传输方式向所述流水线控制系统远程传输所述抽检参数。
作为一种优选实施例,所述制造执行系统通过无线传输方式向所述流水线控制系统远程传输所述抽检参数,由于液晶玻璃基板的array制程需要在超净厂房中进行,对环境的洁净度有极高的要求,因此对操作人员的行动造成很大的限制,本实施例中,操作人员可以在制造执行系统中设置抽检参数,通过无线传输方式发送给流水线控制系统,不用进入生产线所处的超净厂房中,大大提高了工作效率。
优选地,所述流水线控制系统通过一控制器向所述机台发送抽检控制信号。
作为一种优选实施例,所述流水线控制系统通过一控制器向所述机台发送抽检控制信号。本实施例采用工业中广泛采用的PLC控制器实现流水线控制系统对机台控制,成本经济且工作可靠。
本发明还提出一种显示面板在线质量检测装置,参照图4,该装置包括:
制造执行系统10,用于设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统20;
所述流水线控制系统20,用于接收并存储所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台30,以便于所述机台30根据所述抽检控制信号执行抽检操作。
本实施例中,制造执行系统10上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统20。该抽检参数是根据玻璃基板的制成环节而定的,主要包括抽检率。在玻璃基板的array制程中要大致经过清洗、成膜、黄光制板、蚀刻、剥膜等步骤,在每个步骤中,需要对流水线上玻璃基板的膜层质量进行抽检,以保证后续乃至完成品的良品率。本实施例中,用户可以在制造执行系统10的操控界面中预先对玻璃基板的抽检参数(抽检率)进行设定,便于统一管理,集中控制。
流水线控制用于将设定好的抽检参数存储起来,且能根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台30,流水线控制系统20根据设定的抽检参数在不同工艺步骤中生产对应的控制信号,以驱动机台30对选定的玻璃基板进行抽检。
机台30用于接收到抽检控制信号后,执行抽检操作,机台30接收控制信号,对应不同的工序,按相应的抽检率对玻璃基板执行抽检工作。
本实施例通过制造执行系统10的集中设定,对生产工序的各个环节进行精确抽检,提高玻璃基板的良品率和检测效率。
优选地,所述流水线控制系统20还包括:
信息获取模块23,用于所述流水线控制系统20获取所述机台30检测的玻璃基板的产品信息。
作为一种优选实施例,所述流水线控制系统20还包括信息获取模块23,用于获取机台30检测到玻璃基板载入后,该玻璃基板的产品信息发送给所述流水线控制系统20。机台30能实时监控玻璃基板的产品信息,即该玻璃基板的经过了何种制程,下一步需要进入何种制程,将该产品信息发送给流水线控制系统20。
优选地,所述流水线控制系统20还包括:
解析比较模块21,用于将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。
作为一种优选实施例,所述流水线控制系统20还包括解析比较模块21,用于将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号,当机台30检测到玻璃基板载入后,将该玻璃基板的产品信息发送给流水线控制系统20,供流水线控制系统20与预存的抽检参数进行比对,选择对应的抽检参数后生成控制信号,以驱动机台30执行抽检操作。
优选地,所述制造执行系统10还包括:
无线传输模块11,用于向所述流水线控制系统20远程传输所述抽检参数。
作为一种优选实施例,所述制造执行系统10还包括无线传输模块11,用于向所述流水线控制系统20远程传输所述抽检参数,由于液晶玻璃基板的array制程需要在超净厂房中进行,对环境的洁净度有极高的要求,因此对操作人员的行动造成很大的限制,本实施例中,操作人员可以在制造执行系统10中设置抽检参数,通过无线传输方式发送给流水线控制系统20,不用进入生产线所处的超净厂房中,大大提高了工作效率。
优选地,所述流水线控制系统20还包括:
控制器22,用于向所述机台30发送抽检控制信号。
作为一种优选实施例,所述流水线控制系统20还包括控制器22,用于向所述机台30发送抽检控制信号,本实施例采用工业中广泛采用的PLC控制器实现流水线控制系统20对机台30控制,成本经济且工作可靠。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (8)
1.一种显示面板在线质量检测方法,其特征在于,所述显示面板在线质量检测方法包括如下步骤:
在制造执行系统上设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;所述抽检参数包括抽检率;
所述流水线控制系统接收并存储所述抽检参数;
所述流水线控制系统获取所述机台检测的玻璃基板的产品信息,所述产品信息包括玻璃基板经过的制程的信息或者下一步进入的制程的信息;
所述流水线控制系统根据所述抽检参数以及所述产品信息,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作。
2.如权利要求1所述的显示面板在线质量检测方法,其特征在于,所述流水线控制系统根据所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台的步骤,具体包括:
所述流水线控制系统将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。
3.如权利要求1-2任一项所述的显示面板在线质量检测方法,其特征在于,所述制造执行系统通过无线传输方式向所述流水线控制系统远程传输所述抽检参数。
4.如权利要求1-2任一项所述的显示面板在线质量检测方法,其特征在于,所述流水线控制系统通过一控制器向所述机台发送抽检控制信号。
5.一种显示面板在线质量检测装置,其特征在于,所述显示面板在线质量检测装置包括:
制造执行系统,用于设定工序中每个环节的玻璃基板抽检参数,并将该抽检参数传输到流水线控制系统;所述抽检参数包括抽检率;
所述流水线控制系统,用于接收并存储所述抽检参数,生成抽检控制信号发送给机台,以便于所述机台根据所述抽检控制信号执行抽检操作;其中,所述流水线控制系统包括:信息获取模块,用于获取所述机台检测的玻璃基板的产品信息,所述产品信息包括玻璃基板经过的制程的信息或者下一步进入的制程的信息。
6.如权利要求5所述的显示面板在线质量检测装置,其特征在于,所述流水线控制系统还包括:
解析比较模块,用于将所述产品信息比对已存储的所述抽检参数,生成与该玻璃基板对应的抽检控制信号。
7.如权利要求5-6任一项所述的显示面板在线质量检测装置,其特征在于,所述制造执行系统还包括:
无线传输模块,用于向所述流水线控制系统远程传输所述抽检参数。
8.如权利要求5-6任一项所述的显示面板在线质量检测装置,其特征在于,所述流水线控制系统还包括:
控制器,用于向所述机台发送抽检控制信号。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710100531.1A CN107015532B (zh) | 2017-02-23 | 2017-02-23 | 显示面板在线质量检测方法及装置 |
PCT/CN2017/107211 WO2018153120A1 (zh) | 2017-02-23 | 2017-10-23 | 显示面板的检测方法及检测装置 |
US16/341,789 US11294361B2 (en) | 2017-02-23 | 2017-10-23 | Inspection method for inspecting display panel and inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710100531.1A CN107015532B (zh) | 2017-02-23 | 2017-02-23 | 显示面板在线质量检测方法及装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107015532A CN107015532A (zh) | 2017-08-04 |
CN107015532B true CN107015532B (zh) | 2018-03-09 |
Family
ID=59440461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710100531.1A Active CN107015532B (zh) | 2017-02-23 | 2017-02-23 | 显示面板在线质量检测方法及装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11294361B2 (zh) |
CN (1) | CN107015532B (zh) |
WO (1) | WO2018153120A1 (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107015532B (zh) * | 2017-02-23 | 2018-03-09 | 惠科股份有限公司 | 显示面板在线质量检测方法及装置 |
CN108985962A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-12-11 | 惠科股份有限公司 | 基板加工方法 |
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US20210333784A1 (en) | 2021-10-28 |
WO2018153120A1 (zh) | 2018-08-30 |
CN107015532A (zh) | 2017-08-04 |
US11294361B2 (en) | 2022-04-05 |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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