CN106933013A - 投影仪以及平视显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的投影仪具有:光源部,出射激光,能够摆动的第一反射部,对来自光源部的激光进行反射,以及能够摆动的第二反射部,对来自第一反射部的激光进行反射;来自光源部的激光通过设置在第二反射部附近的开口部,照射至第一反射部。

Description

投影仪以及平视显示装置
技术领域
本发明涉及投影仪以及平视显示装置,尤其涉及具有振镜元件(VibratingMirror Element)的投影仪以及平视显示装置。
背景技术
以往公知有具备振镜元件的投影仪。这样的投影仪例如公开在日本特开2011-90030号公报中。
在上述日本特开2011-90030号公报中公开有投影仪,该投影仪具有光源部、对来自光源部的投影光进行反射的第一扫描件和对被第一扫描件反射的投影光进行反射的第二扫描件。第一扫描件和第二扫描件设置在同一基座的同一平面上。另外,上述日本特开2011-90030号公报的投影仪,被第一扫描件反射的投影光经由与设置有第一扫描件和第二扫描件的基座相向的另一基座上所设置的反光镜照向第二扫描件。此外,反光镜与第一扫描件及第二扫描件相互平行地配置。
但是,在上述特开2011-90030号公报中,由于第一扫描件和第二扫描件配置在同一平面上,所以在将与设置有第一扫描件的平面大致垂直的投影光向第一扫描件照射时,被第一扫描件反射的投影光经由反光镜再次照射至第一扫描件。因此,为了通过第一扫描件和第二扫描件对投影光进行反射,不得不从第一扫描件的斜向对第一扫描件照射投影光,存在照射至第一扫描件的投影光的光点直径变为椭圆形而投影图像的画质降低的问题。也就是说,由于第一扫描件以及第二扫描件相对于反光镜配置在不同方向侧,所以从第一扫描件至反光镜的投影光的光轴与从反光镜至第二扫描件的投影光的光轴所形成的角度一定程度上变大。因此,存在照射至第一扫描件的投影光的光点直径变为椭圆形而投影图像的画质降低的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述那样的问题而提出的,本发明的一个目的在于提供能够提高投影图像的画质的投影仪以及平视显示装置。
本发明的第一方面的投影仪具有:光源部,出射激光,能够摆动的第一反射部,对来自光源部的激光进行反射,以及能够摆动的第二反射部,对来自第一反射部的激光进行反射;来自光源部的激光通过设置在第二反射部附近的开口部照射至第一反射部。
在本发明的第一方面的投影仪中,如上所述,设置有对来自光源部的激光进行反射且能够摆动的第一反射部和对来自第一反射部的激光进行反射且能够摆动的第二反射部,来自光源部的激光通过设置在第二反射部附近的开口部照射至第一反射部。由此,与从相比于开口部更远离第二反射部的位置向反射面照射激光的情况相比,能够使激光在第二反射部附近通过,因此能够使朝向第一反射部的激光的光轴与从第一反射部朝向第二反射部的激光的光轴接近。即,能够使在第一反射部上的光点直径接近正圆形状。结果,能够提高投影图像的画质。
在上述第一方面的投影仪中,优选具有基座,开口部设置在基座上,基座将第二反射部支撑为能够摆动。通过形成这样的结构,与不经由开口部而使激光从基座的外侧照射至反射面的情况相比,能够使通过基座的开口部朝向第一反射部的激光的光轴与从第一反射部朝向第二反射部的激光的光轴接近。即,能够使在第一反射部上的光点直径更接近正圆形状。结果,能够进一步提高投影图像的画质。
在上述第一方面的投影仪中,优选第一反射部通过摆动在投影图像的水平方向以及垂直方向中的一方向上扫描激光。通过形成这样的结构,能够一边通过第一反射部在投影图像的水平方向以及垂直方向中的一方上扫描激光,一边提高投影图像的画质。
此时,优选第二反射部通过摆动在投影图像的水平方向以及垂直方向中的另一方向上扫描激光。通过形成这样的结构,能够一边通过第一反射部以及第二反射部在投影图像的水平方向以及垂直方向上扫描激光,一边提高投影图像的画质。
在上述第一方面的投影仪中,优选第一反射部和第二反射部以使激光的反射面相向的方式配置。通过形成这样的结构,通过将第一反射部和对来自第一反射部的激光进行反射的第二反射部相向配置,能够减小激光相对于第一反射部以及第二反射部的倾斜角。
在上述第一方面的投影仪中,优选来自光源部的激光从与第二反射部的激光的反射面相反的背面侧通过开口部,照射至第一反射部。通过形成这样的结构,激光从第二反射部的背面侧通过开口部,因此能够易于将第一反射部的反射面和第二反射部的反射面相向配置。
在上述第一方面的投影仪中,优选被第一反射部反射的激光直接照射至第二反射部。通过形成这样的结构,与经由与第一反射部不同的反射结构使激光间接照射至第二反射部的情况相比,不需要其它的反射结构,因此能够是装置结构简化。
在具有上述基座的结构中,优选具有安装基座的基板,在基板上设置有使来自光源部的激光通过并引导至开口部的贯通孔。通过形成这样的结构,能够在基板上进行用于使第二反射部摆动的各种布线,并且能够一边通过基板保持基座,一边经由基板的贯通孔,将激光引导至基座的开口部。
在具有上述基板的结构中,优选基板的贯通孔与基座的开口部重合,并且基板的贯通孔具有比开口部的开口面积大的开口面积。通过形成这样的结构,能够易于经由基板的贯通孔将激光引导至基座的开口部。
在具有上述基座的结构中,优选基座包括一对梁部,一对梁部将第二反射部支撑为能够摆动,在基座上,开口部设置为与第二反射部以及一对梁部中的至少一者相邻。通过形成这样的结构,由于为了使第二反射部以及一对梁部能够摆动,而在基座上的第二反射部以及一对梁部附近形成中空的空间,所以能够将第二反射部以及一对梁部的已有的中空的空间用作开口部。结果,不需要在基座另外设置用于使激光通过的开口部,能够使装置结构简化。
此时,优选开口部形成为沿着一对梁部的延伸方向延伸的细长形状。通过形成这样的结构,即使使激光向梁部的延伸方向倾斜,也能够使激光在不与基座干涉的情况下通过开口部。
在具有上述基座的结构中,优选在基座上,开口部设置在第二反射部的摆动轴线的延长线上。通过形成这样的结构,由于能够在俯视时第二反射部的摆动轴线上配置激光的光轴,所以与激光的光轴与摆动轴线错开的情况相比,能够进一步使照射至第一反射部以及第二反射部的激光的光点直径接近正圆。结果,能够进一步提高投影图像的画质。
此时,优选基座包括将第二反射部支撑为能够摆动的一对梁部和对一对梁部进行支撑的梁支撑部,一对梁部分别具有:连接部,一端与第二反射部连接;以及一对分支部,从连接部的另一端分支,并且与梁支撑部连接,夹者开口部。通过形成这样的结构,通过连接部以及分支部,能够易于在第二反射部的摆动轴线的延长线上形成开口部。
在上述第一方面的投影仪中,优选第二反射部形成为俯视时具有与第二反射部的摆动轴线交差的短边的长方形形状,第二反射部的长度方向相对于第二反射部的摆动轴线倾斜。通过形成这样的结构,在光轴相对于第二反射部的摆动轴线倾斜来进行扫描的情况下,能够使第二反射部的长度方向与被第一反射部反射的激光的光轴一致,因此与使第二反射部的长度方向与摆动轴线的延伸方向为同一方向的情况相比,能够将第二反射部形成得小。
本发明的第二方面的平视显示装置具有:光源部,出射激光,该激光用于投影与用户可视的虚像对应的图像,能够摆动的第一反射部,对来自光源部的激光进行反射,以及能够摆动的第二反射部,对来自第一反射部的激光进行反射,来自光源部的激光通过设置在第二反射部附近的开口部照射至第一反射部。
在本发明的第二方面的平视显示装置中,如上所述,设置有对来自光源部的激光进行反射且能够摆动的第一反射部和对来自第一反射部的激光进行反射且能够摆动的第二反射部,来自光源部的激光通过设置在第二反射部附近的开口部照射至第一反射部。由此,与从相比于开口部更远离第二反射部的位置向反射面照射激光的情况相比,能够使朝向第一反射部的激光的光轴和从第一反射部朝向第二反射部的激光的光轴接近。即,能够使在第一反射部上的光点直径接近正圆形状。结果,能够提高投影图像的画质。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式~第三实施方式的投影仪的整体结构的框图。
图2是示出本发明的第一实施方式的投影仪的水平扫描振镜元件和垂直扫描振镜元件的立体图。
图3是示出本发明的第一实施方式的投影仪的水平扫描振镜元件的俯视图。
图4是用于说明本发明的第一实施方式的投影仪的水平扫描振镜元件和垂直扫描振镜元件的投影光的路径的图。
图5是示出本发明的第一实施方式的投影仪的水平扫描振镜元件和垂直扫描振镜元件的侧视示意图。
图6是示出本发明的第二实施方式的投影仪的水平扫描振镜元件的俯视图。
图7是示出本发明的第三实施方式的投影仪的水平扫描振镜元件的俯视图。
图8是示出本发明的第一实施方式的变形例的投影仪的水平扫描振镜元件的俯视图。
图9是示出本发明的第二实施方式的变形例的投影仪的水平扫描振镜元件的俯视图。
图10是用于说明本发明的第一实施方式~第三实施方式的变形例的平视显示装置的使用状态的图。
图11是用于说明本发明的第一实施方式的变形例的投影仪的水平扫描振镜元件和垂直扫描振镜元件的投影光的路径的图。
具体实施方式
以下,基于附图说明本发明的实施方式。
[第一实施方式]
(投影仪的结构)
参照图1~图5说明本发明的第一实施方式的投影仪100的结构。
如图1所示,本发明的第一实施方式的投影仪100具有光学模块100a、激光二极管驱动器100b、反光镜驱动器100c和控制部100d。另外,投影仪100通过将来自光学模块100a的激光(投影光)照射至屏幕S,来在屏幕S上投影投影图像P。
〈光源模块的结构〉
光学模块100a包括出射激光的3个激光二极管1a~1c、3个准直透镜2a~2c、RGB合成棱镜3、聚光透镜4、反光镜5、垂直扫描振镜元件(vertical scanning oscillatingmirror element)6和水平扫描振镜元件(horizontal scanning oscillating mirrorelement)7。在投影仪100中,来自激光二极管1a~1c的激光通过设置在水平扫描镜部71附近的开口部72a,照射至垂直扫描镜部61。另外,光学模块100a包括一个支撑构件8,该支撑构件8用于设置反光镜5、垂直扫描振镜元件6以及水平扫描振镜元件7。通过将反光镜5、垂直扫描振镜元件6以及水平扫描振镜元件7都设置在一个支撑构件8上,来确定相互的相对位置。从各激光二极管1a~1c出射的各色的激光在分别通过准直透镜2a~2c后,依次到达RGB合成棱镜3、聚光透镜4、反光镜5。另外,被反光镜5反射的激光在通过水平扫描振镜元件7的后述的开口部72a(参照图2)后,被垂直扫描振镜元件6反射。另外,被垂直扫描振镜元件6反射的激光在水平扫描振镜元件7上被反射,然后在屏幕S上形成投影图像P。此外,激光二极管1a~1c为权利要求书的“光源部”的一个例子。另外,反光镜5为“光引导部”的一个例子。
激光二极管1a~1c能够分别出射红色(R)、绿色(G)以及蓝色(B)的激光。准直透镜2a~2c分别将从激光二极管1a~1c照射的各色激光变换为平行光。
RGB合成棱镜3通过将被准直透镜2a~2c变换为平行光的各色(3个)激光的光轴汇集,来将各色(3个)激光合成一个激光。反光镜5将被聚光透镜4聚集的激光向垂直扫描振镜元件6反射。也就是说,反光镜5使来自激光二极管1a~1c的激光的光轴向朝向垂直扫描镜部61的方向弯曲。
如图2所示,垂直扫描振镜元件6形成为矩形的平板形状。以下,将垂直扫描振镜元件6的宽度方向称为A方向(A1方向以及A2方向)。垂直扫描振镜元件6包括形成为圆形的垂直扫描镜部61。另外,垂直扫描振镜元件6反射来自反光镜5(激光二极管1a~1c)的激光。垂直扫描镜部61能够摆动。详细地说,在垂直扫描镜部61上设置有用于反射激光的反射面61a。另外,垂直扫描镜部61通过摆动在投影图像P的垂直方向(V方向,上下方向)上扫描激光。此外,垂直扫描镜部61是权利要求书的“第一反射部”的一个例子。
水平扫描振镜元件7对被垂直扫描振镜元件6反射(垂直扫描)的激光进行反射。另外,水平扫描振镜元件7包括设置有形成为矩形的水平扫描镜部71的基座72。该水平扫描镜部71能够摆动。详细地说,在水平扫描镜部71上设置有用于反射激光的反射面71a。另外,水平扫描镜部71通过摆动在投影图像P的水平方向(H方向,横向)上扫描激光。
如图3所示,水平扫描镜部71的长度方向与水平扫描镜部71的摆动轴线α的延伸方向为同一方向。另外,如图2所示,水平扫描振镜元件7和垂直扫描振镜元件6以使激光的反射面71a及61a相互相向的方式配置。另外,水平扫描镜部71为权利要求书的“第二反射部”的一个例子。另外,后面描述水平扫描振镜元件7的详细结构。
在此,在第一实施方式中,在基座72上,在水平扫描振镜元件7附近设置有开口部72a。另外,基座72将水平扫描镜部71支撑为能够摆动。投影仪100使来自激光二极管1a~1c(参照图1)的激光(被反光镜5反射的激光)通过开口部72a照射垂直扫描振镜元件6。也就是说,在投影仪100中,激光通过设置在基座72上的开口部72a到达垂直扫描振镜元件6。
详细地说,投影仪100使来自激光二极管1a~1c的激光从与水平扫描振镜元件7(水平扫描镜部71)的反射面71a相反的背面72b侧通过开口部72a,照射至垂直扫描振镜元件6。另外,投影仪100使被垂直扫描振镜元件6反射的激光直接照射水平扫描振镜元件7。如图1所示,在投影仪100中,水平扫描振镜元件7配置在反光镜5和垂直扫描振镜元件6之间。
激光二极管驱动器100b在控制部100d的控制下对3个激光二极管1a~1c分别进行驱动。另外,反光镜驱动器100c在控制部100d的控制下对垂直扫描振镜元件6以及水平扫描振镜元件7分别进行驱动。控制部100d基于从外部接收的映像信号进行用于投影投影图像P的各种控制。
〈水平扫描振镜元件的详细结构〉
接着,参照图2~图5,说明水平扫描振镜元件7的详细结构。
如图3所示,水平扫描振镜元件7包括水平扫描镜部71、驱动部73和在一个面上设置有水平扫描镜部71及驱动部73的基座72。
水平扫描镜部71例如由硅等材料形成。另外,水平扫描镜部71形成为矩形的平板形状。另外,水平扫描镜部71例如使用环氧类粘接剂粘接于基座72的后述的梁部72f。
驱动部73形成为矩形的平板形状。另外,驱动部73利用导电性粘接剂粘接于基座72的后述的驱动板部72d。另外,驱动部73由压电体(未图示)和隔着压电体的2个电极(未图示)形成。另外,驱动部73能够使水平扫描镜部71振动(摆动)。详细地说,在2个电极分别进行布线(未图示),驱动部73借助在2个电极间施加的电压进行驱动(伸缩)。由此,驱动部73使基座72(除了后述的框部72c)振动,并经由基座72使水平扫描镜部71摆动。
基座72由金属制成(例如,不锈钢或弹簧钢)。另外,基座72形成为矩形的平板形状。以下,将基座72的长度方向设定为B方向(B1方向以及B2方向),将宽度方向设定为C方向(C1方向以及C2方向)。
从基座72(水平扫描镜部71)的一面侧(反射面71a侧)照射激光。另外,基座72在B方向上左右对称。另外,在基座72的一面侧(反射面71a侧)安装(粘接)有水平扫描镜部71以及驱动部73。另外,在基座72上,在B方向的中心线O上,从C1方向侧起依次配置水平扫描镜部71以及驱动部73。
基座72包括一体的框部72c、驱动板部72d、一对梁支撑部72e和梁部72f。
框部72c为俯视时呈矩形的环状(即框状)。另外,在框部72c的内侧配置有驱动板部72d、一对梁支撑部72e和梁部72f。另外,如图2所示,框部72c安装在安装基板74上。在安装基板74上设置有电极焊盘74a,电极焊盘74a与用于接收对驱动部73进行驱动的驱动信号的布线(未图示)连接。此外,在安装基板74上,俯视时与框部72c的内侧区域对应的位置形成矩形的贯通孔74b。贯通孔74b使来自激光二极管1a~1c的激光通过并将其引导至开口部72a。基板的贯通孔74b与基座72的开口部72a重合,并且具有比开口部72a的开口面积大的开口面积。此外,安装基板74为权利要求书中的“基板”的一个例子。
如上所述,在驱动板部72d上粘接有驱动部73。另外,驱动板部72d形成为矩形的平板形状。另外,驱动板部72d的C2方向侧的端部与框部72c连接。此外,在图3中,用双点划线表示驱动板部72d与框部72c之间的边界部分。另外,驱动板部72d的C1方向侧在B1方向侧以及B2方向侧的端部分别与梁支撑部72e连接。
一对梁支撑部72e分别形成为在C方向上延伸的棒状。另外,一对梁支撑部72e各个梁支撑部的一端(C2方向侧的端部)与驱动板部72d连接,另一端(C1方向侧的端部)与框部72c连接。即,一对梁支撑部72e的C1方向侧的端部都为固定端。另外,经由驱动板部72d向梁支撑部72e传递来自驱动部73的振动。另外,一对梁支撑部72e分别支撑梁部72f的两端。
梁部72f形成沿着与梁支撑部72e垂直的B方向延伸的棒状。另外,在梁部72f上,在B方向的中央粘接有水平扫描镜部71。另外,梁部72f将水平扫描镜部71支撑为能够摆动。详细地说,梁部72f是两端分别被一对梁支撑部72e支撑的两端支撑梁。经由梁支撑部72e向梁部72f传递来自驱动部73的振动。另外,梁部72f(水平扫描镜部71)以摆动轴线α为中心进行振动(摆动)。
开口部72a与水平扫描镜部71以及梁部72f相邻设置。详细地说,开口部72a包括设置在一对梁部72f以及水平扫描镜部71的一侧(C1方向侧)(第一侧)的开口部72a和设置在另一侧(C2方向侧)(第二侧)的开口部72a。另外,一对开口部72a分别形成为俯视时沿着B方向延伸的大致矩形(细长形状)。另外,C1方向侧的开口部72a与水平扫描镜部71、梁部72f、一对梁支撑部72e以及框部72c相邻(被包围)。另外,C2方向侧的开口部72a与水平扫描镜部71、梁部72f、一对梁支撑部72e以及驱动板部72d相邻(被包围)。另外,开口部72a配置在从反光镜5朝向垂直扫描镜部61的激光的路径上。
另外,C1方向侧的开口部72a为激光通过的开口部72a。另外,一对开口部72a夹持一对梁部72f以及水平扫描镜部71。另外,垂直扫描镜部61相对于水平扫描镜部71靠近C1方向侧的开口部72a配置。另外,垂直扫描镜部61相对于水平扫描镜部71配置在一对梁部72f中的B1方向侧(第三侧)。另外,照射至垂直扫描镜部61的激光相对于水平扫描镜部71通过一对梁部72f中的B2方向侧(第四侧)的梁部72f附近的开口部72a。
(关于激光的路径)
接着,参照图4以及图5,说明激光的路径。此外,图4以及图5分别为从A1方向侧以及C2方向侧观察垂直扫描振镜元件6以及水平扫描振镜元件7的图。
就投影仪100而言,从A1方向侧观察,被反光镜5反射的激光的光轴与水平扫描镜部71的摆动轴线α大致平行。因此,为了向水平扫描镜部71反射激光,垂直扫描振镜元件6的垂直扫描镜部61相对于水平扫描镜部71配置在激光通过的开口部72a侧(C1方向侧)。具体地说,垂直扫描镜部61(被反光镜5反射的激光的光轴)配置在向C1方向与摆动轴线α相距距离E的激光通过的开口部72a侧(C1方向侧)。即,垂直扫描镜部61的中心位于与摆动轴线α平行的反光镜5的光轴的交点。另外,在该位置,为了使被照射的激光向水平扫描镜部71反射,使垂直扫描镜部61相对于被照射的激光的光轴(摆动轴线α)倾斜。
(第一实施方式的效果)
在第一实施方式中能够得到以下的效果。
在第一实施方式中,如上所述,设置对来自激光二极管1a~1c的激光进行反射且能够摆动的垂直扫描镜部61和对来自垂直扫描镜部61的激光进行反射且能够摆动的水平扫描镜部71,来自激光二极管1a~1c的激光通过设置在水平扫描镜部71附近的开口部72a,照射垂直扫描镜部61。由此,与从相比于开口部72a更远离水平扫描镜部71的位置向反射面61a照射激光的情况相比,能够使激光通过水平扫描镜部71附近,因此能够使朝向垂直扫描镜部61的激光的光轴与从垂直扫描镜部61朝向水平扫描镜部71的激光的光轴接近。即,能够使垂直扫描镜部61上的光点直径接近正圆形状。结果,能够提高投影图像P的画质。
另外,在第一实施方式中,如上所述,设置有基座72,在基座72上形成有开口部72a,基座72将水平扫描镜部71支撑为能够摆动。由此,与不经由开口部72a而从基座72的外侧向反射面61a照射激光的情况相比,能够使通过基座72的开口部72a朝向垂直扫描镜部61的激光的光轴与从垂直扫描镜部61朝向水平扫描镜部71的激光的光轴接近。即,能够使垂直扫描镜部61上的光点直径更接近正圆形状。结果,能够进一步提高投影图像P的画质。
另外,在第一实施方式中,如上所述,垂直扫描镜部61通过摆动在投影图像P的水平方向以及垂直方向中的一个方式上扫描激光。由此,能够一边通过垂直扫描镜部61在投影图像P的水平方向以及垂直方向中的一个方向上扫描激光,一边提高投影图像P的画质。
另外,在第一实施方式中,如上所述,水平扫描镜部71通过摆动在投影图像P的水平方向以及垂直方向中的另一方向上扫描激光。由此,能够一边通过垂直扫描镜部61以及水平扫描镜部71在投影图像P的水平方向以及垂直方向上扫描激光,一边提高投影图像P的画质。
另外,在第一实施方式中,如上所述,将垂直扫描镜部61和水平扫描镜部71以使激光的反射面61a以及71a相向的方式配置。由此,通过将垂直扫描镜部61和对来自垂直扫描镜部61的激光进行反射的水平扫描镜部71相向配置,能够使垂直扫描镜部61上的光点直径接近正圆形状。
另外,在第一实施方式中,如上所述,来自激光二极管1a~1c的激光从与水平扫描镜部71的激光的反射面71a相反的背面72b侧通过开口部72a,照射至垂直扫描镜部61。由此,激光从水平扫描镜部71的背面72b侧通过开口部72a,因此易于将垂直扫描镜部61的反射面61a与水平扫描镜部71的反射面71a配置为相向。
另外,在第一实施方式中,如上所述,被垂直扫描镜部61反射的激光直接照射水平扫描镜部71。由此,与经由与垂直扫描镜部61不同的另外的反射结构间接地将激光照射至水平扫描镜部71的情况不同,不需要其他反射结构,因此能够简化装置结构。
另外,在第一实施方式中,如上所述,具有安装基座72的安装基板74,在安装基板74上设置有使来自激光二极管1a~1c的激光通过且引导至开口部72a的贯通孔74b。由此,通过安装基板74能够进行用于使水平扫描镜部71摆动的各种布线,并且能够一边通过安装基板74保持基座72,一边经由安装基板74的贯通孔74b,向基座72的开口部72a引导激光。
另外,在第一实施方式中,如上所述,安装基板74的贯通孔74b与基座72的开口部72a重合,并且具有比开口部72a的开口面积大的开口面积。由此,能够易于经由安装基板74的贯通孔74b向基座72的开口部72a引导激光。
另外,在第一实施方式中,如上所述,基座72包括一对梁部72f,一对梁部72f将水平扫描镜部71支撑为能够摆动,在基座72上以与水平扫描镜部71以及一对梁部72f中的至少一者相邻的方式设置有开口部72a。由此,为了使水平扫描镜部71以及一对梁部72f能够摆动,而在基座72上的水平扫描镜部71以及一对梁部72f附近形成有中空的空间,所以能够将水平扫描镜部71以及一对梁部72f的已有的中空空间用作开口部72a。结果,不需要在基座72上单独设置用于使激光通过的开口部72a,能够简化装置结构。
另外,在第一实施方式中,如上所述,开口部72a形成为沿着一对梁部72f的延伸方向延伸的细长形状。由此,即使在梁部72f的延伸方向上使激光倾斜,也不与基座72干涉,激光能够通过开口部72a。
[第二实施方式]
接着,参照图1以及图6,说明第二实施方式。在该第二实施方式中,与俯视时水平扫描振镜元件7的摆动轴线α与来自反光镜5的激光的光轴错开的上述第一实施方式不同,说明俯视时水平扫描振镜元件207的摆动轴线α与来自反光镜5的激光的光轴重合的例子。此外,对于与上述第一实施方式相同的结构,在图中标注与第一实施方式相同的附图标记,并省略说明。
(投影仪的结构)
如图6所示,在第二实施方式的投影仪200(参照图1)中,在基座272上,俯视时在水平扫描镜部71的摆动轴线α的延长线上设置有开口部272a。
详细地说,水平扫描振镜元件207的基座272包括分别设置在B方向的两侧的一对梁部272f。该梁部272f形成为Y字形状。具体地说,梁部272f从水平扫描镜部71沿着摆动轴线α向外侧延伸,并且在水平扫描镜部71与梁支撑部72e之间分支为两个。另外,分支为2个的梁部272f以朝向外侧相互分离的方式向斜向延伸,并且在外侧的端部分别与梁支撑部72e连接。也就是说,梁部272f具有连接部272g和分支部272e。连接部272g的一端与水平扫描镜部71连接。分支部272e从连接部272g的另一端分支。另外,分支部272e以夹持开口部272a的方式设置有一对。
因此,在基座272上,俯视时在水平扫描镜部71的摆动轴线α的延长线上,设置有由被分支而成的梁部272f和梁支撑部72e形成的三角形状的开口部272a。开口部272a与梁部272f和梁支撑部72e相邻(被包围)。此外,开口部272a分别设置在水平扫描镜部71的B1方向侧以及B2方向侧。
就投影仪200而言,被反光镜5反射的激光从水平扫描镜部71的B2方向侧沿着摆动轴线α通过开口部272a,并且照射水平扫描振镜元件207。
第二实施方式的其它结构与上述第一实施方式相同。
(第二实施方式的效果)
在第二实施方式中能够得到以下那样的效果。
在第二实施方式中,如上所述,在基座272上,在水平扫描镜部71的摆动轴线α的延长线上设置有开口部272a。由此,能够在俯视时水平扫描镜部71的摆动轴线α上配置激光的光轴,因此与激光的光轴与摆动轴线α错开的情况相比,能够进一步使照射于垂直扫描镜部61以及水平扫描镜部71的激光的光点直径接近正圆。结果,能够进一步提高投影图像P的画质。
另外,在第二实施方式中,如上所述,基座272包括将水平扫描镜部71支撑为能够摆动的一对梁部272f和对一对梁部272f进行支撑的梁支撑部72e,一对梁部272f分别具有一端与水平扫描镜部71连接的连接部272g和从连接部272g的另一端分支且与梁支撑部72e连接并夹持开口部272a的一对分支部272e。由此,通过连接部272g以及分支部272e易于在水平扫描镜部71的摆动轴线α的延长线上形成开口部272a。
[第三实施方式]
接着,参照图1以及图7,说明第三实施方式。在该第三实施方式中,不同于矩形的水平扫描镜部71的长度方向与水平扫描镜部71的摆动轴线α的延伸方向为同一方向的上述第一实施方式,说明矩形的水平扫描镜部371的长度方向与水平扫描镜部371的摆动轴线α的延伸方向为不同的方向的例子。此外,对于与上述第一实施方式相同的结构,在图中标注与第一实施方式相同的附图标记,并且省略说明。另外,水平扫描镜部371为权利要求中的“第二反射部”的一个例子。另外,图7是从A1方向侧(垂直扫描振镜元件6的宽度方向的一侧)观察垂直扫描振镜元件6以及水平扫描振镜元件307的图。
(投影仪的结构)
如图7所示,在第三实施方式的投影仪300(参照图1)中,垂直扫描振镜元件6的长度方向(摆动轴线γ延伸的方向(参照图2))与水平扫描振镜元件307的宽度方向(C方向)为同一方向。即,垂直扫描振镜元件6的摆动轴线γ和水平扫描振镜元件307的摆动轴线α在图7中垂直(不是三维地垂直)。此外,水平扫描镜部371相对于摆动轴线α配置在C1方向侧。另外,在投影仪300中,以俯视时被反光镜5反射的激光的光轴与水平扫描振镜元件307的摆动轴线α之间的角度形成角度K1的方式,配置水平扫描振镜元件307。
水平扫描振镜元件307包括水平扫描镜部371。将该水平扫描振镜元件307的沿着长度方向延伸的中心轴线设定为β。另外,水平扫描镜部371的短边俯视时与水平扫描镜部371的摆动轴线α交叉。另外,水平扫描镜部371在俯视时,水平扫描镜部371的长度方向(中心轴线β的延伸方向)相对于水平扫描镜部371的摆动轴线α以沿着激光的光轴的方式倾斜与角度K1大致相同的角度K2。也就是说,角度K1和角度K2分别为相对于水平扫描镜部371的入射角以及反射角,因此相互为大致相同的角度。因此,在水平扫描镜部371中,在相对于摆动轴线α倾斜的中心轴线β的方向上,因照射激光而产生斜向的轨迹。水平扫描镜部371沿着在该斜向上照射的激光倾斜。
第三实施方式的其它结构与上述第一实施方式相同。
(第三实施方式的效果)
在第三实施方式中能够得到以下那样的效果。
在第三实施方式中,如上所述,水平扫描镜部371形成为俯视时具有与水平扫描镜部371的摆动轴线α交差的短边的长方形形状,水平扫描镜部371的长度方向相对于水平扫描镜部371的摆动轴线α倾斜。由此,在光轴相对于水平扫描镜部371的摆动轴线α倾斜地进行扫描的情况下,能够使水平扫描镜部371的长度方向与被垂直扫描镜部61反射的激光的光轴一致,因此,与水平扫描镜部371的长度方向与摆动轴线α的延伸方向为同一方向的情况相比,能够使水平扫描镜部371小。
(变形例)
此外,本次公开的实施方式的所有内容为例示并不是限制性的。本发明的保护范围不由上述的实施方式的说明而由权利要求书示出,另外,包括与权利要求书等同的意思以及权利要求书范围内的所有变更(变形例)。
例如,在上述第一实施方式~第三实施方式中,示出了使本发明的第二反射部为水平扫反射镜部,第一反射部为垂直扫描反射镜部的例子,但是,本发明不限于此。在本发明中,可以使本发明的第二反射部为垂直扫描反射镜部,第一反射部为水平扫描反射镜部。
另外,在上述第一实施方式~第三实施方式中,示出将本发明应用于投影仪的例子,但是本发明不限于此。例如,如图10所示的第一实施方式~第三实施方式的变形例,可以将本发明应用于平视显示装置600。此外,平视显示装置600安装在汽车90上。另外,平视显示装置600向挡风玻璃91照射激光。由此,平视显示装置600在能够观看挡风玻璃91的用户的视线方向上形成虚像。
另外,在上述第一实施方式~第三实施方式中,示出了与本发明的第二反射部或梁部相邻设置用于通过激光的开口部的例子,但是本发明不限于此。在本发明中,例如,可以不与本发明的第二反射部以及梁部相邻设置开口部。
另外,在上述第一实施方式~第三实施方式中,示出了将水平扫描镜部以及垂直扫描镜部分别形成为矩形以及圆形状的例子,但是本发明不限于此。在本发明中,可以通过椭圆形等矩形以及圆形状以外的形状形成水平扫描镜部以及垂直扫描镜部。
另外,在上述第一实施方式以及第三实施方式中,示出了激光通过一对开口部中的C1方向侧(驱动部的相反侧)的开口部的例子,但是本发明不限于此。在本发明中,例如,激光可以通过一对开口部中的C2方向侧(驱动部侧)的开口部。
另外,在上述第一实施方式以及第三实施方式中,示出了使被垂直扫描振镜元件反射的激光直接照射水平扫描振镜元件的例子,但是本发明不限于此。在本发明中,例如,可以使被垂直扫描振镜元件反射的激光经由其它反射构件间接照射水平扫描振镜元件。
另外,在上述第一以及第三实施方式中,示出了通过压电驱动方式驱动水平扫描振镜元件的例子,但是本发明不限于此。在本发明中,可以通过静电驱动方式等其它驱动方式构成水平扫描振镜元件。
另外,上述在第一实施方式中,示出了俯视时激光的光轴与梁部72f平行的例子,但是本发明不限于此。例如,如图8所示的第一实施方式的变形例,俯视时激光的光轴可以相对于梁部72f倾斜。此时,可以不使垂直扫描镜部61(参照图2)相对于水平扫描镜部71向激光通过的开口部72a侧错开。
另外,在上述第二实施方式中,示出了将梁部形成为Y形状的例子,但是本发明不限于此。例如,如图9所示的第二实施方式的变形例,可以使梁部572f构成为阶梯形状。具体地说,梁部572f的B1方向侧以及B2方向侧的梁部分别从水平扫描镜部71向外侧(B1方向以及B2方向)延伸。另外,梁部572f在水平扫描镜部71和梁支撑部72e之间,分别向C2方向以及C1方向弯折。另外,梁部分别再次向外方(B1方向以及B2方向)延伸,并且与梁支撑部72e连接。
另外,上述在第一实施方式中,如图4所示,示出了从A1方向侧观察激光与摆动轴线α平行的例子,但是本发明不限于此。例如,如图11所示的第一实施方式的变形例,可以在A1方向侧观察的情况下,使来自反光镜5侧的激光相对于图11中的摆动轴线α向顺时针方向倾斜θ。此时,使垂直扫描振镜元件6相对于图11中的C方向向顺时针方向倾斜θ/2(大致θ/2)。

Claims (15)

1.一种投影仪,其中,
具有:
光源部,出射激光,
能够摆动的第一反射部,对来自所述光源部的激光进行反射,以及
能够摆动的第二反射部,对来自所述第一反射部的激光进行反射;
来自所述光源部的激光通过设置在所述第二反射部附近的开口部照射至所述第一反射部。
2.根据权利要求1所述的投影仪,其中,该投影仪具有基座,所述开口部设置在所述基座上,所述基座将所述第二反射部支撑为能够摆动。
3.根据权利要求1所述的投影仪,其中,所述第一反射部通过摆动在投影图像的水平方向以及垂直方向中的一方向上扫描所述激光。
4.根据权利要求3所述的投影仪,其中,所述第二反射部通过摆动在所述投影图像的水平方向以及垂直方向中的另一方向上扫描所述激光。
5.根据权利要求1所述的投影仪,其中,所述第一反射部和所述第二反射部以使所述激光的反射面相向的方式配置。
6.根据权利要求1所述的投影仪,其中,来自所述光源部的激光从与所述第二反射部的激光的反射面相反的背面侧通过所述开口部,照射至所述第一反射部。
7.根据权利要求1所述的投影仪,其中,被所述第一反射部反射的所述激光直接照射至所述第二反射部。
8.根据权利要求2所述的投影仪,其中,
该投影仪具有安装所述基座的基板,
在所述基板上设置有使来自所述光源部的激光通过并引导至所述开口部的贯通孔。
9.根据权利要求8所述的投影仪,其中,所述基板的所述贯通孔与所述基座的所述开口部重合,并且所述基板的所述贯通孔具有比所述开口部的开口面积大的开口面积。
10.根据权利要求2所述的投影仪,其中,
所述基座包括一对梁部,所述一对梁部将所述第二反射部支撑为能够摆动,
在所述基座上,所述开口部设置为与所述第二反射部以及所述一对梁部中的至少一者相邻。
11.根据权利要求10所述的投影仪,其中,所述开口部形成为沿着所述一对梁部的延伸方向延伸的细长形状。
12.根据权利要求2所述的投影仪,其中,在所述基座上,所述开口部设置在所述第二反射部的摆动轴线的延长线上。
13.根据权利要求12所述的投影仪,其中,
所述基座包括将所述第二反射部支撑为能够摆动的一对梁部和对所述一对梁部进行支撑的梁支撑部,
所述一对梁部分别具有:
连接部,一端与所述第二反射部连接;以及
一对分支部,从所述连接部的另一端分支,并且与所述梁支撑部连接,夹着所述开口部。
14.根据权利要求1所述的投影仪,其中,所述第二反射部形成为俯视时具有与所述第二反射部的摆动轴线交差的短边的长方形形状,所述第二反射部的长度方向相对于所述第二反射部的摆动轴线倾斜。
15.一种平视显示装置,其中,
具有:
光源部,出射激光,该激光用于投影与用户可视的虚像对应的图像,
能够摆动的第一反射部,对来自所述光源部的激光进行反射,以及
能够摆动的第二反射部,对来自所述第一反射部的激光进行反射;
来自所述光源部的激光通过设置在所述第二反射部附近的开口部照射至所述第一反射部。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10031336B2 (en) * 2016-01-26 2018-07-24 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Image display device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102819108A (zh) * 2011-06-08 2012-12-12 精工爱普生株式会社 显示装置
WO2013110665A1 (en) * 2012-01-24 2013-08-01 Jan Grahmann Scanning device
KR20150042958A (ko) * 2013-10-14 2015-04-22 광주과학기술원 광 스캐너 및 광 스캐너 제조 방법
CN104898355A (zh) * 2014-03-07 2015-09-09 船井电机株式会社 投影仪

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000310743A (ja) * 1998-05-22 2000-11-07 Olympus Optical Co Ltd 光走査装置およびこれを用いた光走査型共焦点光学装置
US6057952A (en) 1999-01-14 2000-05-02 Olympus Optical Co., Ltd. Light scanning device and confocal optical device using the same
US6661393B2 (en) * 1999-08-05 2003-12-09 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
JP2001075042A (ja) * 1999-09-01 2001-03-23 Victor Co Of Japan Ltd 光偏向器
EP1797472A1 (en) 2004-09-28 2007-06-20 Koninklijke Philips Electronics N.V. Two dimensional micro scanner
JP2011090030A (ja) 2009-10-20 2011-05-06 Brother Industries Ltd 画像表示装置
JP5321740B2 (ja) 2010-05-12 2013-10-23 コニカミノルタ株式会社 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ
WO2012000556A1 (en) * 2010-07-01 2012-01-05 Lemoptix Sa A mems micro-mirror device
JP2012185194A (ja) 2011-03-03 2012-09-27 Jvc Kenwood Corp 画像表示装置
JP5842369B2 (ja) * 2011-04-11 2016-01-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの製造方法、光スキャナーの製造方法および画像形成装置の製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP6075062B2 (ja) * 2012-12-27 2017-02-08 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102819108A (zh) * 2011-06-08 2012-12-12 精工爱普生株式会社 显示装置
WO2013110665A1 (en) * 2012-01-24 2013-08-01 Jan Grahmann Scanning device
KR20150042958A (ko) * 2013-10-14 2015-04-22 광주과학기술원 광 스캐너 및 광 스캐너 제조 방법
CN104898355A (zh) * 2014-03-07 2015-09-09 船井电机株式会社 投影仪

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