CN106591794A - 一种自动化玻璃镀膜系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动化玻璃镀膜系统,涉及玻璃镀膜生产技术领域,包括依次设置并通过玻璃输送锟道连接的装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统、后清洗系统和卸片台,分布式设置于玻璃输送锟道上的光电传感器,设置于前清洗系统与后清洗系统上的清洗泵电机,设置于风干室上的吹风电机,设置于进口系统和镀膜工艺室上的真空泵,分布式设置于镀膜工艺室中的气压传感器和温度传感器,设置于进口系统和出口系统的入口与出口处的狭缝阀,设置于镀膜工艺室内的溅射阴极电源控制器。本发明结构简单,设计合理,实现镀膜过程的自动化控制,不需要人工干预,有效的提高了生产效率,镀膜效果好。

Description

一种自动化玻璃镀膜系统
技术领域
本发明涉及玻璃镀膜生产技术领域,特别涉及一种自动化玻璃镀膜系统。
背景技术
镀膜玻璃(Reflectiveglass)也称反射玻璃。镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,以改变玻璃的光学性能,满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性,可分为以下几类:热反射玻璃、低辐射玻璃(Low-E)、导电膜玻璃等。
在建筑中,使用最多的是热反射玻璃。low-E玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜,使产品呈丰富的色彩,对于可见光有适当的透射率,对红外线有较高的反射率,对紫外线有较高吸收率,另外,还具有良好的透射性,因此,也称为阳光控制玻璃。
离线法生产Low-E玻璃,是目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术,即是在真空条件下,利用磁控溅射技术在玻璃表面镀一层膜。现有的玻璃镀膜生产多位手工控制,自动化程度不高,造成镀膜质量难以控制,且生产率低。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种自动化玻璃镀膜系统,可高自动化生产,提高生产率和镀膜质量。
本发明采用如下技术方案:
一种自动化玻璃镀膜系统,包括依次设置的装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统、后清洗系统和卸片台,所述装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统和卸片台之间通过玻璃输送锟道连接,分布式设置于玻璃输送锟道上的红外传感器,分布式设置于镀膜工艺室中的气压传感器和温度传感器,设置于进口系统和镀膜工艺室上的真空泵,设置于进口系统和出口系统的入口与出口处的狭缝阀,设置于镀膜工艺室内的溅射阴极电源控制器,设置于镀膜工艺室内的冷却水系统,分布式设置于冷却水系统中的温度传感器,驱动冷却水系统的冷却水系统电机,设置于前清洗系统与后清洗系统上的清洗泵电机,与狭缝阀、冷却水系统电机、清洗泵电机、真空泵和玻璃输送锟道分别连接的电机伺服控制器,还包括PLC控制器和给系统中各用电单元供电的供电电源,所述PLC控制器的输入端与红外传感器、温度传感器、工艺气体流量计、气压传感器、光电传感器和供电电源电联接,所述PLC控制器的输出端与电机伺服控制器、工艺气体释放电磁阀、溅射阴极电源控制器电联接。
优选的,所述进口系统包括依次设置并通过狭缝阀互相连接的进口过渡室、进口室和进口缓冲室,所述进口过渡室的入口处也设有狭缝阀,所述进口缓冲室与镀膜工艺室连接。
优选的,所述出口系统包括依次设置并通过狭缝阀互相连接的出口缓冲室、出口室和出口过渡室,所述出口过渡室的出口处也设有狭缝阀,所述出口缓冲室与镀膜工艺室连接。
优选的,还包括纯水系统,所述纯水系统的纯水输出端与前清洗系统和后清洗系统的入水口连通。
优选的,所述纯水系统由依次连通的进水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、超滤膜过滤器、一级反渗透膜过滤器、二级反渗透膜过滤器、EDI电去离子装置、紫外线杀菌装置、纯水存储罐和出水泵组成,进水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、超滤膜过滤器、一级反渗透膜过滤器、二级反渗透膜过滤器、EDI电去离子装置、紫外线杀菌装置、纯水存储罐和出水泵之间的管道上均设置有逆止阀,所述进水泵和所述出水泵与清洗泵电机连接。
优选的,所述PLC控制器的输出端还连接有报警器。
优选的,还包括人机交互操作台,所述人机交互操作台与所述PLC控制器的输入端连接。
优选的,还包括远端的服务器,所述服务器与PLC控制器通过工业以太网电联接,所述工业以太网中设置有中继器。
本发明的有益效果:
(1)本发明在磁控阴极溅射镀膜工艺室两端设置进口系统和出口系统的真空缓冲系统,可有效降低玻璃基片进出磁控阴极溅射镀膜工艺室造成的气体泄漏,提高磁控阴极溅射镀膜真空腔室的真空度,并使其维持在稳定的水平,从而提高镀膜质量;
(2)结构简单,设计合理,实现镀膜过程的自动化控制,不需要人工干预,有效的提高了生产效率,镀膜效果好;
(3)节省成本,自动化程度高,便于推广使用;
(4)本发明的生产线可自动检测个工艺环节的参数,并实现远程控制和自动控制,提高生产率和镀膜质量,降低人力成本,提高效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一种自动化玻璃镀膜系统的示意图;
图2为本发明一种自动化玻璃镀膜系统控制系统的结构框图;
图3为本发明一种自动化玻璃镀膜系统的纯水系统示意图;
图中标记为:1、玻璃输送锟道;2、装片台;3、前清洗系统;4、风干室;5、进口系统;5a、进口过渡室;5b、进口室;5c、进口缓冲室;6、镀膜工艺室;7、出口系统;7a、出口缓冲室;7b、出口室;7c、出口过渡室;8、后清洗系统;9、卸片台;10、光电传感器;11、清洗泵电机;12、吹风电机;13、真空泵;14、气压传感器;15、温度传感器;16、狭缝阀;17、溅射阴极电源控制器;19、冷却水系统电机;20、电机伺服控制器;21、PLC控制器;22、供电电源;23、纯水系统;23a、进水泵;23b、石英砂过滤器;23c、活性炭过滤器;23d、超滤膜过滤器;23e、一级反渗透膜过滤器;23f、二级反渗透膜过滤器;23g、EDI电去离子装置;23h、紫外线杀菌装置;23i、纯水存储罐;23j、出水泵;24、报警器;25、人机交互操作台;26、服务器。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明进行详细说明。
如图1至3所示,本发明的一种自动化玻璃镀膜系统,包括依次设置并通过玻璃输送锟道1连接的装片台2、前清洗系统3、风干室4、进口系统5、镀膜工艺室6、出口系统7、后清洗系统8和卸片台9,分布式设置于玻璃输送锟道1上的光电传感器10,设置于前清洗系统3与后清洗系统8上的清洗泵电机11,设置于风干室4上的吹风电机12,设置于进口系统5和镀膜工艺室6上的真空泵13,分布式设置于镀膜工艺室6中的气压传感器14和温度传感器15,设置于 进口系统5和出口系统7的入口与出口处的狭缝阀16,设置于镀膜工艺室6内的溅射阴极电源控制器17,设置于镀膜工艺室6内的冷却水系统,分布式设置于冷却水系统中的温度传感器15,驱动冷却水系统的冷却水系统电机19,与狭缝阀16、冷却水系统电机19、清洗泵电机11、真空泵13和玻璃输送锟道1分别连接的电机伺服控制器20,还包括PLC控制器21和给系统中各用电单元供电的供电电源22,所述PLC控制器21的输入端与光电传感器10、温度传感器15、气压传感器14和供电电源22电联接,所述PLC控制器21的输出端与电机伺服控制器20、溅射阴极电源控制器17电联接。
优选的,所述进口系统5包括依次设置并通过狭缝阀16互相连接的进口过渡室5a、进口室5b和进口缓冲室5c,所述进口过渡室5a的入口处也设有狭缝阀16,所述进口缓冲室5c与镀膜工艺室6连接。
优选的,所述出口系统7包括依次设置并通过狭缝阀16互相连接的出口缓冲室7a、出口室7b和出口过渡室7c,所述出口过渡室7c的出口处也设有狭缝阀16,所述出口缓冲室7a与镀膜工艺室6连接。
优选的,还包括纯水系统23,所述纯水系统23的纯水输出端与前清洗系统3和后清洗系统8的入水口连通。
优选的,所述纯水系统23由依次连通的进水泵23a、石英砂过滤器23b、活性炭过滤器23c、超滤膜过滤器23d、一级反渗透膜过滤器23e、二级反渗透膜过滤器23f、EDI电去离子装置23g、紫外线杀菌装置23h、纯水存储罐23i和出水泵23j组成,进水泵23a、石英砂过滤器23b、活性炭过滤器23c、超滤膜过滤器23d、一级反渗透膜过滤器23e、二级反渗透膜过滤器23f、EDI电去离子装置23g、紫外线杀菌装置23h、纯水存储罐23i和出水泵23j之间的管道上均设置有逆止阀,所述进水泵23a和所述出水泵23j与清洗泵电机11连接。
优选的,所述PLC控制器21的输出端还连接有报警器24。
优选的,还包括人机交互操作台25,所述人机交互操作台25与所述PLC控制器21的输入端连接。
优选的,还包括远端的服务器26,所述服务器26与PLC控制器21通过工业以太网电联接,所述工业以太网中设置有中继器。
本发明的工作方式:
供电电源给系统提供工作电压,PLC控制器控制驱动电路使玻璃输送锟道开始工作,传送光伏玻璃,当前清洗系统内光伏玻璃入口处的光电传感器检测到有光伏玻璃进入时,将检测信号输出给PLC控制器,PLC控制器通过控制清洗泵电机工作对光伏玻璃进行清洗,当风干室内光伏玻璃入口处的光电传感器检测到有光伏玻璃进入时,将检测信号输出给PLC控制器,PLC控制器通过控制吹风机电机工作对光伏玻璃进行风干,当进口过渡室入口处的光电传感器检测到有光伏玻璃进入时,将检测信号输出给PLC控制器,PLC控制器控制狭缝阀打开,玻璃进入进口过渡室,关闭狭缝阀,PLC控制器控制真空泵开始抽气,抽到大约10-2mbar时,进口过渡室出口狭缝阀打开,玻璃进入进口室,关闭进口过渡室出口狭缝阀,PLC控制器控制真空泵进口室开始抽气,抽到大约10-4mbar的时候,进口室出口狭缝阀开启,玻璃进入进口缓冲室,进口缓冲室和镀膜主腔室之间不再有阀门,这个室主要作用是利用同步电机改变玻璃传送速度,使玻璃能连续不断的在镀膜腔室内进行镀膜,当镀膜室内光伏玻璃入口处的光电传感器检测到有光伏玻璃进入时,将检测信号输出给PLC控制器,PLC控制器通过控制溅射阴极电源PLC控制器对光伏玻璃进行镀膜,当镀膜结束后,光伏玻璃进入出口系统,出口系统是进口系统的反过程,不再赘述;当后清洗系统内光伏玻璃入口处的光电传感器检测到有光伏玻璃进入时,将检测信号输出给PLC控制器,PLC控制器通过控制清洗泵电机工作对光伏玻璃进行清洗,清洗结束后送往卸片台,即完成自动化操作。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,包括依次设置的装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统、后清洗系统和卸片台,所述装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统和卸片台之间通过玻璃输送锟道连接,分布式设置于玻璃输送锟道上的红外传感器,分布式设置于镀膜工艺室中的气压传感器和温度传感器,设置于进口系统和镀膜工艺室上的真空泵,设置于进口系统和出口系统的入口与出口处的狭缝阀,设置于镀膜工艺室内的溅射阴极电源控制器,设置于镀膜工艺室内的冷却水系统,分布式设置于冷却水系统中的温度传感器,驱动冷却水系统的冷却水系统电机,设置于前清洗系统与后清洗系统上的清洗泵电机,与狭缝阀、冷却水系统电机、清洗泵电机、真空泵和玻璃输送锟道分别连接的电机伺服控制器,还包括PLC控制器和给系统中各用电单元供电的供电电源,所述PLC控制器的输入端与红外传感器、温度传感器、工艺气体流量计、气压传感器、光电传感器和供电电源电联接,所述PLC控制器的输出端与电机伺服控制器、工艺气体释放电磁阀、溅射阴极电源控制器电联接。
2.根据权利要求1所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,所述进口系统包括依次设置并通过狭缝阀互相连接的进口过渡室、进口室和进口缓冲室,所述进口过渡室的入口处也设有狭缝阀,所述进口缓冲室与镀膜工艺室连接。
3.根据权利要求1所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,所述出口系统包括依次设置并通过狭缝阀互相连接的出口缓冲室、出口室和出口过渡室,所述出口过渡室的出口处也设有狭缝阀,所述出口缓冲室与镀膜工艺室连接。
4.根据权利要求1所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,还包括纯水系统,所述纯水系统的纯水输出端与前清洗系统和后清洗系统的入水口连通。
5.根据权利要求4所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,所述纯水系统由依次连通的进水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、超滤膜过滤器、一级反渗透膜过滤器、二级反渗透膜过滤器、EDI电去离子装置、紫外线杀菌装置、纯水存储罐和出水泵组成,进水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、超滤膜过滤器、一级反渗透膜过滤器、二级反渗透膜过滤器、EDI电去离子装置、紫外线杀菌装置、纯水存储罐和出水泵之间的管道上均设置有逆止阀,所述进水泵和所述出水泵与清洗泵电机连接。
6.根据权利要求1所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,所述PLC控制器的输出端还连接有报警器。
7.根据权利要求1所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,还包括人机交互操作台,所述人机交互操作台与所述PLC控制器的输入端连接。
8.根据权利要求1所述的一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,还包括远端的服务器,所述服务器与PLC控制器通过工业以太网电联接,所述工业以太网中设置有中继器。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107365087A (zh) * 2017-08-01 2017-11-21 三峡大学 一种大型平面玻璃镀膜装置和方法
CN110629178A (zh) * 2019-09-24 2019-12-31 武汉长利新材料科技有限公司 一种镀膜玻璃生产线阴极冷却水节能利用系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0901991A3 (en) * 1997-08-29 2000-05-17 Central Glass Company, Limited Photocatalytic glass pane and method for producing same
CN103204637A (zh) * 2012-01-12 2013-07-17 上海北玻玻璃技术工业有限公司 一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统
CN203419853U (zh) * 2013-07-11 2014-02-05 重庆春江镀膜玻璃有限公司 玻璃镀膜生产控制系统
CN203419978U (zh) * 2013-07-11 2014-02-05 重庆春江镀膜玻璃有限公司 玻璃镀膜生产系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0901991A3 (en) * 1997-08-29 2000-05-17 Central Glass Company, Limited Photocatalytic glass pane and method for producing same
CN103204637A (zh) * 2012-01-12 2013-07-17 上海北玻玻璃技术工业有限公司 一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统
CN203419853U (zh) * 2013-07-11 2014-02-05 重庆春江镀膜玻璃有限公司 玻璃镀膜生产控制系统
CN203419978U (zh) * 2013-07-11 2014-02-05 重庆春江镀膜玻璃有限公司 玻璃镀膜生产系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
中国南玻基团工程玻璃事业部: "《建筑玻璃加工技术 玻璃镀膜真空技术》", 31 March 2010, 华南理工大学出版社 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107365087A (zh) * 2017-08-01 2017-11-21 三峡大学 一种大型平面玻璃镀膜装置和方法
CN107365087B (zh) * 2017-08-01 2022-12-20 三峡大学 一种大型平面玻璃镀膜装置和方法
CN110629178A (zh) * 2019-09-24 2019-12-31 武汉长利新材料科技有限公司 一种镀膜玻璃生产线阴极冷却水节能利用系统

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