CN106505009A - 一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 - Google Patents
一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106505009A CN106505009A CN201510566078.4A CN201510566078A CN106505009A CN 106505009 A CN106505009 A CN 106505009A CN 201510566078 A CN201510566078 A CN 201510566078A CN 106505009 A CN106505009 A CN 106505009A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- baffle plate
- fixed block
- clamp structure
- ceramic baffle
- metal clamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
Abstract
本发明属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域,具体涉及一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,包括陶瓷挡板本体、金属夹紧结构和支撑杆,所述陶瓷挡板本体的外围下部设有一体制造的突出部,突出部上有螺钉孔,金属夹紧结构由锁紧螺钉、锁紧垫片、上固定块和下固定块组成,其中锁紧垫片和上固定块上都设有贯穿的螺钉孔,下固定块上表面有螺纹孔,下表面设有销孔,支撑杆能够与销孔形成间隙配合,使陶瓷挡板、金属夹紧结构和支撑杆成为一个整体,使该结构在反应腔室特殊环境下,陶瓷材料与金属的连接不会受热胀裂,不会连接失效,不会发生放电等现象,保证薄膜沉积工艺的顺利进行。
Description
技术领域
本发明属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域,具体涉及一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板。
背景技术
在半导体薄膜的制程中,腔体内部会发生高温、放电等一些化学及物理反应,其中腔室内的设计方式及应用材料要有能抵挡化学腐蚀、防止两极尖端放电、满足高温下由于材料热膨胀系数不同产生的受力情况来符合材料本身物理特性的功能性,如果满足不了这些特性,沉积工艺将不能进行。
陶瓷挡板的主要作用为在工艺制程时,通过马达的升降过程来遮盖传片口位置,主要用途是防止腔内工艺制程时的高温环境产生的热辐射加速传片口零部件老化及使用寿命的影响,在复杂的腔室环境下,常见的陶瓷挡板与马达之间的连接方式往往会出现异形结构,而且伴有松动、胀裂等问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是,提供一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,使在反应腔室特殊环境下,陶瓷材料与金属的连接不会受热胀裂,不会连接失效,不会发生放电等现象,保证薄膜沉积工艺的顺利进行。
本发明是这样实现的,一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,包括:
陶瓷挡板本体,其上设有一圈抽气孔,在陶瓷挡板本体外侧下部设有带螺钉孔A的突出部,突出部与陶瓷挡板本体一体制造;
金属夹紧结构,由锁紧螺钉、锁紧垫片、上固定块和下固定块组成,锁紧垫片上设有螺钉孔B,上固定块上设有螺钉孔C,下固定块上表面设有螺纹孔, 下表面设有销孔,锁紧螺钉穿过锁紧垫片和上固定块上的螺钉孔后,再穿过陶瓷挡板本体上的螺钉孔,与下固定块上的螺纹孔配合,将陶瓷挡板本体与金属夹紧结构锁紧成一个整体;以及
支撑杆,上端与下固定块的销孔间隙配合,下端连接马达。
进一步地,陶瓷挡板本体的突出部上有两个螺钉孔A,并且有两组所述金属夹紧结构与突出部配合。
与现有技术相比,本发明的优点在于,利用陶瓷挡板的隔热性能及其不导电的性能,根据陶瓷材料耐压不耐拉的特性,应用两种材料,采用压紧陶瓷、螺钉紧固的方法将陶瓷挡板固定,使在反应腔室特殊环境下,陶瓷材料与金属的连接不会受热胀裂,不会连接失效,不会发生放电等现象,保证薄膜沉积工艺的顺利进行。
附图说明
下面结合附图及实施方式对本发明作进一步详细的说明:
图1为本发明带有金属夹紧结构的陶瓷挡板结构爆炸视图;
图2为本发明带有金属夹紧结构的陶瓷挡板结构安装视图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面结合实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提供了一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,如图1-2所示,包括陶瓷挡板本体1、金属夹紧结构2和支撑杆3,陶瓷挡板本体1的外围下部一体连接一个带有螺钉孔A111的突出部11,金属夹紧结构2包括锁紧螺钉21、锁紧垫片22、上固定块23和下固定块24,锁紧垫片22上有螺钉孔B221,上固定块 23上有螺钉孔C231,下固定块24上表面有螺纹孔241,下表面有销孔242,锁紧螺钉21穿过锁紧垫片22和上固定块23上的螺钉孔后,再穿过陶瓷挡板本体1上的螺钉孔,与下固定块24上的螺纹孔配合,将陶瓷挡板本体1与金属夹紧结构2锁紧成一个整体,支撑杆3上端与下固定块24上的销孔242间隙配合,下端连接马达,最终由马达驱使支撑杆和陶瓷挡板运动,发挥陶瓷挡板的作用。
为了使该带有金属夹紧结构的陶瓷挡板结构更加紧致,作为技术方案的改进,陶瓷挡板本体的突出部上设置两个螺钉孔A,并且有两组所述金属夹紧结构与突出部配合。
Claims (2)
1.一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,其特征在于,包括:
陶瓷挡板本体,其上设有一圈抽气孔,在所述陶瓷挡板本体外侧下部设有带螺钉孔A的突出部,所述突出部与陶瓷挡板本体一体制造;
金属夹紧结构,由锁紧螺钉、锁紧垫片、上固定块和下固定块组成,所述锁紧垫片上设有螺钉孔B,所述上固定块上设有螺钉孔C,所述下固定块上表面设有螺纹孔,下表面设有销孔,所述锁紧螺钉穿过锁紧垫片和上固定块上的螺钉孔后,再穿过所述陶瓷挡板本体上的螺钉孔,与所述下固定块上的螺纹孔配合,将所述陶瓷挡板本体与所述金属夹紧结构锁紧成一个整体;以及
支撑杆,上端与所述下固定块的销孔间隙配合,下端连接马达。
2.根据权利要求1所述的一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,其特征在于,所述陶瓷挡板本体的突出部上有两个螺钉孔A,并且有两组所述金属夹紧结构与所述突出部配合。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510566078.4A CN106505009B (zh) | 2015-09-08 | 2015-09-08 | 一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510566078.4A CN106505009B (zh) | 2015-09-08 | 2015-09-08 | 一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106505009A true CN106505009A (zh) | 2017-03-15 |
CN106505009B CN106505009B (zh) | 2020-08-28 |
Family
ID=58287882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510566078.4A Active CN106505009B (zh) | 2015-09-08 | 2015-09-08 | 一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106505009B (zh) |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2193960Y (zh) * | 1994-02-05 | 1995-04-05 | 张澎 | 压电陶瓷点火装置 |
CN101004135A (zh) * | 2005-12-28 | 2007-07-25 | 中国神华能源股份有限公司 | 一次性紧固锚杆装置 |
CN201554735U (zh) * | 2009-11-16 | 2010-08-18 | 陈国强 | 车用防旋轮毂紧固件 |
CN102563302A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-11 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种可实现灯杆旋转的锁紧结构 |
CN102581627A (zh) * | 2011-12-23 | 2012-07-18 | 上海三一精机有限公司 | 一种工作台夹紧装置 |
CN202937451U (zh) * | 2012-10-26 | 2013-05-15 | 复盛股份有限公司 | 具有定位机制的压缩机涡卷固定结构 |
CN103587690A (zh) * | 2012-08-18 | 2014-02-19 | 李思模 | 航空座椅的固定装置 |
CN103671450A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-03-26 | 同济大学 | 一种挤压型单向紧固螺栓 |
CN203514156U (zh) * | 2013-10-18 | 2014-04-02 | 中联重科股份有限公司 | 挡板连接装置及摊铺机 |
CN103707106A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 安徽舜禹水务实业有限公司 | 一种用于加工轴流泵叶轮体叶片孔的工装 |
CN203766692U (zh) * | 2014-04-10 | 2014-08-13 | 新兴重工湖北三六一一机械有限公司 | 一种升降式防护栏 |
CN204195602U (zh) * | 2014-08-11 | 2015-03-11 | 林群富 | 一种连杆长度可调节t型套筒扳手 |
CN104426258A (zh) * | 2013-09-05 | 2015-03-18 | 阿斯莫株式会社 | 电动机 |
CN204268413U (zh) * | 2014-12-17 | 2015-04-15 | 上海博昂电气有限公司 | 用于升降式高杆灯上的推杆挂接锁紧机构 |
CN204308821U (zh) * | 2014-11-20 | 2015-05-06 | 林群富 | 一种连杆可折弯式负载可调节防过载套筒扳手 |
CN104851772A (zh) * | 2015-04-03 | 2015-08-19 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种可升降陶瓷挡板结构 |
-
2015
- 2015-09-08 CN CN201510566078.4A patent/CN106505009B/zh active Active
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2193960Y (zh) * | 1994-02-05 | 1995-04-05 | 张澎 | 压电陶瓷点火装置 |
CN101004135A (zh) * | 2005-12-28 | 2007-07-25 | 中国神华能源股份有限公司 | 一次性紧固锚杆装置 |
CN201554735U (zh) * | 2009-11-16 | 2010-08-18 | 陈国强 | 车用防旋轮毂紧固件 |
CN102563302A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-11 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种可实现灯杆旋转的锁紧结构 |
CN102581627A (zh) * | 2011-12-23 | 2012-07-18 | 上海三一精机有限公司 | 一种工作台夹紧装置 |
CN103587690A (zh) * | 2012-08-18 | 2014-02-19 | 李思模 | 航空座椅的固定装置 |
CN202937451U (zh) * | 2012-10-26 | 2013-05-15 | 复盛股份有限公司 | 具有定位机制的压缩机涡卷固定结构 |
CN104426258A (zh) * | 2013-09-05 | 2015-03-18 | 阿斯莫株式会社 | 电动机 |
CN203514156U (zh) * | 2013-10-18 | 2014-04-02 | 中联重科股份有限公司 | 挡板连接装置及摊铺机 |
CN103671450A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-03-26 | 同济大学 | 一种挤压型单向紧固螺栓 |
CN103707106A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 安徽舜禹水务实业有限公司 | 一种用于加工轴流泵叶轮体叶片孔的工装 |
CN203766692U (zh) * | 2014-04-10 | 2014-08-13 | 新兴重工湖北三六一一机械有限公司 | 一种升降式防护栏 |
CN204195602U (zh) * | 2014-08-11 | 2015-03-11 | 林群富 | 一种连杆长度可调节t型套筒扳手 |
CN204308821U (zh) * | 2014-11-20 | 2015-05-06 | 林群富 | 一种连杆可折弯式负载可调节防过载套筒扳手 |
CN204268413U (zh) * | 2014-12-17 | 2015-04-15 | 上海博昂电气有限公司 | 用于升降式高杆灯上的推杆挂接锁紧机构 |
CN104851772A (zh) * | 2015-04-03 | 2015-08-19 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种可升降陶瓷挡板结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106505009B (zh) | 2020-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100562983C (zh) | 静电吸盘 | |
CN110117765B (zh) | 一种TiO2基电热涂层及其制备方法 | |
CN113563098B (zh) | 一种以ZrB2复合中间层连接LaCrO3陶瓷的工艺 | |
CN101541111B (zh) | 四氯化硅氢化炉u形发热体及其制造工艺 | |
CN104302021B (zh) | 一种用于电加热的发热体及其制备工艺 | |
US10465436B2 (en) | Evacuation head with ceramic heater for VIG unit manufacture | |
CN105931932B (zh) | 一种氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法 | |
CN107673761A (zh) | 一种大规格致密碳化硅陶瓷板的制备方法 | |
CN106505009A (zh) | 一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 | |
US20190368264A1 (en) | Method for producing a vig unit having improved temperature profile | |
CN103643291A (zh) | 一种单晶炉隔热屏及其制备方法 | |
CN105964979B (zh) | 一种不漏气耐高温抗腐蚀铝熔液升液管 | |
CN101532776A (zh) | 一种具有y2o3抗侵蚀涂层坩埚及其采用滚浆成型工艺制y2o3抗侵蚀涂层的方法 | |
CN104654805B (zh) | 一种真空炉用石英电阻管发热体及其制备方法 | |
CN106584033A (zh) | 一种微波炉或者烤箱腔体的成型方法 | |
US10697231B2 (en) | Small diameter evacuation head for VIG unit manufacture | |
CN204145779U (zh) | 一种碳化硅陶瓷加热保护套管 | |
CN104201391B (zh) | 一种低温成型树脂碳板及其制备方法 | |
CN210552609U (zh) | 一种环氧浇注件 | |
US20050118346A1 (en) | Method for manufacturing a glow pin for a ceramic glow plug | |
CN214443064U (zh) | 防止等离子体烧结中铝基复合材料粉末与模具反应的组件 | |
CN201854454U (zh) | 氮化硅发热装置 | |
CN104311032B (zh) | 一种石墨‑碳化锆组合发热体及其制备工艺 | |
JP2007141740A (ja) | セラミックヒータの製造方法およびグロープラグの製造方法 | |
US20170167016A1 (en) | Polysilicon preparation apparatus for preventing ground fault current and having excellent effect of removing silicon dust |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No.900 Shuijia, Hunnan District, Shenyang City, Liaoning Province Patentee after: Tuojing Technology Co.,Ltd. Address before: 110179 3rd floor, No.1-1 Xinyuan street, Hunnan New District, Shenyang City, Liaoning Province Patentee before: PIOTECH Co.,Ltd. |
|
CP03 | Change of name, title or address |