CN1064843A - 晶片容器软垫盖 - Google Patents
晶片容器软垫盖 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1064843A CN1064843A CN91112696A CN91112696A CN1064843A CN 1064843 A CN1064843 A CN 1064843A CN 91112696 A CN91112696 A CN 91112696A CN 91112696 A CN91112696 A CN 91112696A CN 1064843 A CN1064843 A CN 1064843A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- board
- carrier
- frame
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种晶片载架的垫盖,有板部覆盖载架顶部,将
顶部关闭,端壁有偏置部,关闭载架的U形端壁,盖
中有可拆除的垫件,有单行镇压元件安装在柔性水平
臂上,使镇压元件可上下活动,在晶片边缘上加压力,
相邻镇压件的安装臂,固定在垫件框的相对侧上。
Description
本发明与在运输和储藏中对硅晶片之类进行约束的器件有关,具体有关这种晶片储藏容器的保护盖及可除卸的软垫。
储藏或运输中的晶片,一般为硅晶片,待加工放入电路芯片中。其他材料的晶片,诸如砷化镓也用于同用途。其他的晶片也用同样方式加工和运输,诸如记忆磁碟等,并可能是在一侧上有加工覆盖层的金属;也可能是有加工覆盖层的玻璃基质。本文中凡用到晶片一词,所指包括一切这种类型的晶片,和磁盘及基质。
这种晶片在储存及运输时,必然涉及到晶片破碎的可能性及其损坏,因为加工中的晶片价格很高,而晶片又较易发生破碎。晶片厚度可能约0.050英寸,一般直径尺寸范围为48mm,65mm或以上。至少这些较小的晶片常放在的晶片载架中,在侧壁上有间隔件,将晶片互相间隔;这种晶片载架有敞开的顶部和底部,便于接受包括清洗水的加工液。虽然这种晶片载架可能在某些情况下,关闭在有盖的盒或容器中,但也可在某些情况下,仅在晶片载架的顶部和底部上各加一个盖,将晶片完全封闭,进行运输或储藏比较方便。这种盖过去为已知,如美国专利第4,557,382号所示。
重要的是使晶片在运输和储藏时,在晶片架中比较静定,因此,在盖中设置了缓冲器件,如上述专利所示。这种缓冲件为向下伸的指杆,加盖时一般沿晶片边缘摩擦,倾向于产生颗粒,使晶片表面受这种颗粒的污染。
本发明的一个目的,是提供一种新颖的改良垫,与约束在储藏及运输容器中的晶片接触,限制其活动。
本发明的另一目的,是生产一种改良的晶片载架盖,关闭载架的整个顶部和端壁,并在盖中设置可拆卸并可更换的垫件,在载架的中线上压在晶片中线上,与晶片接触,限制晶片的活动,而不产生污染颗粒。
本发明的一个特点,是晶片架的盖中的垫,在架中作可拆除的放置,再用盖时可将垫更换。垫件有悬臂式垫部伸出,压迫设在中点上的元件,使之压在储藏或运输中的磁盘的边缘上,悬臂式垫部有基本水平伸展的安装臂,交替向可拆卸的框的相对侧部伸展,对晶片压迫元件作弹性推压,压迫晶片边缘,限制晶片在载架中活动。
发明的另一特点,是晶片载架的盖,有顶板供在晶片架的两侧之间的中点上,安装可拆除的垫;盖还有下垂的端壁,朝向晶片架的U形端,将其关闭。盖的下垂端壁有偏置部,穿过架端壁的U形部分。盖的端壁的理想偏置形式,为尺寸小的载架的盖中,用倾斜的偏置部;尺寸大的晶片载架的盖的理想偏置形式,为均匀偏置,均匀通过晶片架的端壁孔。偏置件必然能对整个盖加劲,减小与载架端壁卷边部作可活动连接的端壁的任何弯曲。偏置件还可使颗粒较难进入载架。
图1 为载架与顶盖及底盖组装后的侧视,为详示细节有部分拆卸。
图2 为带底盖及顶盖的晶片载架的拆卸侧视,为详示细节将全部拆卸。
图3 为载架上下盖之端视,示两者的拆卸关系。
图4 为沿图2线4-4附近的放大细节前视。
图5 为沿图1线5-5附近的放大细节剖视。
图6 为从盖上拆除的垫件的侧视。
图7 为图6所示的垫的俯视。
图8 为沿图7中线8-8附近的放大细节剖视。
图9 为与改型盖组装后的载架细节剖视。
图示并以本文说明发明的一种形式。硅,砷化镓等等的晶片的有盖运送箱,图中用号10标示的整体,有晶片载架11,底盖12及顶盖13。
晶体载架11有侧壁14及15,各有基本垂直的上部,如从图3可见,有弯曲或圆形的下部14.1,15.1,支持这种晶片W。晶片W从图4可见,其边缘插入相邻间隔件或突棱17之间的槽16中,突棱的弧形随侧壁下部14.1,15.1的弧形。间隔棱17有平滑倒角,因此,将晶片插入槽16中时,因突棱有倒角面,故晶片即刻被顺利引入槽中。
晶片载架11还有端壁17,与侧壁14,15一体形成,因而整个晶片载架为一体。两端壁基本完全相似,都有大致U形的口18在上面形成,在加工这种晶片时,形成载架中的晶片的出入口。每一端壁17有单一的连续U形棱,或卷边,或基本U形的突缘19,形状与端壁17上的口18相符。
在晶片载架11的一端,有突片19从突棱19上下垂,引导盖13进入正确位置。
可见晶片载架11有开敞顶端21,和开敞底端22,接受液流,例如在晶片加工中接受诸如清水之类的清洁流体流过。载架的侧壁14及15有支脚23与开敞底端相邻,将载架放在架上或台面上时支持载架。
盖12用与载架11相似的塑料形成,诸如聚丙烯,聚乙烯或类似塑料,包括氟聚合物。可见底盖12套在载架的开敞底端上,将支脚13及端壁的下缘,纳入沿底盖12全周缘伸展的槽24内。
载盒11的顶盖13也用与载架相似的塑料模制,为整体成形或一体的结构。保护盖13上也安放可拆除的垫件,图中用号25作一般标示,位于正对载架11的纵向中心线的上方,与晶片上中点附近的上缘接触。
保护盖13有长顶板部26,沿载架11的全长伸展,放置在载架的侧壁14,15的上缘上,关闭其开敞顶端21。顶板部有侧边部,形成下垂突缘27,板部26上还形成槽28,当盖全部套在载架上时,槽中纳入侧壁14,15的上缘。
保护盖13还有端壁29,与板部26一体形成,从板部26上下垂,完全面对端壁17的U形口18,将其关闭。端壁部29有端壁板部30,为一直壁,形状为矩形;端板部29有突块31在内侧上形成,在载架的相对端壁17上的U形突棱或卷边19上,作可拆除的钩挂。
端壁29也有偏置部32,有大致的U形,与载架11的端壁上的U形口18一致。在图1-3示的本发明的形式中,偏置部32有一个板,相对于端壁板30倾斜放置,从而偏置部32的伸入载架端壁的U形口18中的多少将连续变化。
或者偏置部可有其他形状,如图9所示,其偏置部32.1形成梯级或肩台32.2,与晶片载架端壁的U形口18的形状相符。图9中的梯级偏置部,可减少进入晶体载架的污染颗粒。与此相似,图1-3中的倾斜偏置部32,还可减少颗粒的横向转移,进入载架,并且在盖13的使用后,便于作迅速而简易的清洗与干燥。
图9所示的盖的另一形式13.1,也有板部26.1,与图1-3中的板部26相似。
保护盖13也安置或承放垫件,图中一般用号25标示。垫件25有长形框23,形状为一矩形环。垫件的框33容放在盖的板部26中形成的凹槽或凹座34中。板部26上形成若干小突片或插片35,放在垫件25的矩形框33的侧部37,38上形成的夹持片36中夹紧。突片35及36互相对插,将垫件25在盖13中精确定位,从而垫相对于间隔件17之间的槽16中的晶片W作用,若干槽中各有一个晶片。
垫件有若干悬臂式的晶片垫部39,在框33的横向,和盖的长板部26的横向上伸展。晶片垫部39有晶片的若干长形镇压元件40,在相对侧部37,38之间的中点附近,沿长形的框33单行排列。镇压元件有晶片接触面41,为槽形,如图6及8中之42。
因此,应能了解每一晶片镇压元件40,与一个晶片接触,压在晶片的上缘上,使之既不能上下也不能横向移动。
晶片垫部39还有若干长形柔弹性安装臂43,与框的侧壁37,38一体形成。应能了解,安装臂43交替在框的相对侧部37,38上固定,即,相邻的镇压元件40的安装臂在相对的框侧上固定。
从图5可最清晰观察,安装臂与镇压元件一体形成,镇压臂的基本水平伸展的部分与镇压元件40相邻。图5中的实线,示松弛状态中的柔弹性安装臂43的形状,可了解当将盖13压在处于图1所示姿态的晶片载架上时,晶片W与镇压元件40互相依靠,晶片将镇压元件向上推到虚线。所示位置P,因而安装臂43的相邻部分将基本处于水平姿态。
镇压元件与相邻的安装臂部分,在将盖压在晶片架上然后开盖时,先与盖的板部26接近,然后分离,从而将晶片在架中压紧,然后放松。
既了解到晶片的尺寸与形状,尤其在镇压元件40与晶片接触的具体地点上,并上完全一致,所以镇压元件能克服安装臂43的柔弹性而自由上下是很重要的。经常晶片W在周缘的一个部分有一个平坦点或区域,因此,如镇压元件接触晶片的这种平坦边缘区域,必须有自由度可靠近晶片,将晶片在这状态中夹持。
因此可见本发明提出了一种供运输或储藏晶片用的容器或载架的盖,这盖有端板,可将载架的有U形口的端部关闭,并有一个垫件,在盖上作可拆除的安装,有一排镇压元件在载架中的晶片的中心(圆心)的上方,而在垫件框两侧之间的中点附近。镇压元件安装在柔弹性安装臂上,臂交替安装在长框的相对两侧上,从而相邻两镇压元件,在框的相对两侧上固定。镇压元件可在晶片的中心线上自由上下摆动,从而在晶片上加压力,达到夹持位置,而不需沿晶片边缘滑动,以尽量减小产生颗粒的可能性,否则颗粒可能污染晶片表面。
本发明可按其他的特定方式实施,而不超出本发明的精神及主要特点,因此,希将本实施方案的一切方面,考虑为进行解说,而并非作任何限制,关于发明的范围,应以文后权利要求书为准,而非以上的说明。
Claims (21)
1、收藏在容器中的晶片用的垫件,它有一个盖,其中包括:
一个长形框,安装在容器盖内,
框上的若干悬臂式晶片垫部,有晶片接触镇压元件沿框互相对正,圈定一个晶片接触面,压在晶片边缘的上部,
悬臂式垫部还有柔弹性安装臂,在镇压元件与框之间连接。
2、如权利要求1之垫件,其特征为晶片接触面有槽形部,将晶片边缘容纳其中。
3、如权利要求1之垫件,其特征为框有长侧部互相相对,每一该侧部安装晶片的某种该悬臂垫部。
4、如权利要求1之垫件,其特征为框有长形侧部互相相对,相邻悬臂晶片垫部分别安装在框的相对部上。
5、如权利要求1之垫件,其特征为框有长形侧部,该镇压元件在该两侧部间成行放置。
6、如权利要求5之垫件,其特征为柔弹性安装臂大致水平伸展,可弯折,并使镇压元件可分别活动。
7、如权利要求1之垫件,其特征为晶片接触面为长形,有长形槽,容纳晶片边缘,有压力加在晶片上时,可相对于晶片边缘移动。
8、如权利要求1之垫件和一个安装该框的盖,供安放该垫部,一个晶片载架包括有槽的侧壁部供安放晶片,晶片顶缘接触该镇压元件。
9、包覆晶片载架顶口和有口端部以将晶片藏入容器的保护盖,包括:
一个长形板部,卧置在载架顶口上,基本将顶口关闭,板部有长形的相对侧部,与载架的边侧相邻,
板部上的端壁部,从板部上下垂,朝向晶片载架的开口端,至少将其部分关闭,
板部上的若干晶片垫部,有晶片镇压元件,基本在板部的侧部之间的中线上,直线单行排列,镇压元件有晶片接触面,可向板部退让。
10、如权利要求9之保护盖,其特征为晶片垫部为长形,设有镇压元件的悬臂安装件。
11、如权利要求9之保护盖,其特征为晶片垫部在板部上作可拆除的安装。
12、如权利要求9之保护盖,其特征为晶片垫部为单个柔性安装臂部,与各镇压元件相连,而伸过板部,使镇压元件及接触表面可与板部趋近或远离。
13、如权利要求12之保护盖,其特征为晶片垫部有一个长框,在板部上作可拆除的安装,框有相对的侧部,相邻两镇压元件的安装臂向相反方向伸展,固定在相对的框侧上。
14、如权利要求9之保护盖,其特征为板部有长槽部,该垫件有一个框部埋在该槽部中,因而在板部上为可拆除的安装。
15、一种包覆晶片载架的开敞顶部和U形端壁的中央开口部的保护盖,包括:
一个长板部卧置在载架的开敞顶部上,基本将顶部关闭,板部上的一个端盖部从板部上下垂,与晶片载架的端壁面对,端盖部有一个偏置部,伸入端壁的U形开口部中。
16、如权利要求15之保护盖,其特征为该偏置部基本为U形。
17、如权利要求15之保护盖,其特征为该偏置部斜向放置,逐渐改变伸入晶片载架端壁的部分的多少。
18、如权利要求17之保护盖,其特征为该偏置部基本为U形,有上和下部,偏置部倾斜,从而伸入晶片载架端壁该上部,比伸入该下部多些。
19、如权利要求16之保护盖,其特征为偏置部伸入载架的端壁基本上下一致。
20、如权利要求16之保护盖,而特征为偏置部有上部及下部,端盖部有一个钩耳,供向载架端壁的一部分上钩挂。
21、如权利要求15之保盖,而特征为端盖部为基本直边的盖壁,偏置部在其内形成。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US672,466 | 1991-03-20 | ||
US07/672,466 US5253755A (en) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | Cushioned cover for disk container |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1064843A true CN1064843A (zh) | 1992-09-30 |
Family
ID=24698657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN91112696A Pending CN1064843A (zh) | 1991-03-20 | 1991-12-30 | 晶片容器软垫盖 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5253755A (zh) |
EP (1) | EP0530332B1 (zh) |
JP (1) | JP3017287B2 (zh) |
KR (1) | KR100237076B1 (zh) |
CN (1) | CN1064843A (zh) |
DE (1) | DE69117751T2 (zh) |
MX (1) | MX9102871A (zh) |
WO (1) | WO1992016964A1 (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108423264A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-21 | 大连崇达电路有限公司 | 一种线路板插架 |
CN110949880A (zh) * | 2012-01-24 | 2020-04-03 | 株式会社日本触媒 | 捆包体、捆包集合体和捆包方法 |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5555981A (en) * | 1992-05-26 | 1996-09-17 | Empak, Inc. | Wafer suspension box |
US5273159A (en) * | 1992-05-26 | 1993-12-28 | Empak, Inc. | Wafer suspension box |
JP3200776B2 (ja) * | 1992-08-06 | 2001-08-20 | 大日本印刷株式会社 | 基板保持用ケース |
US5472086A (en) * | 1994-03-11 | 1995-12-05 | Holliday; James E. | Enclosed sealable purgible semiconductor wafer holder |
JP2803567B2 (ja) * | 1994-05-11 | 1998-09-24 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体 |
US5476176A (en) * | 1994-05-23 | 1995-12-19 | Empak, Inc. | Reinforced semiconductor wafer holder |
US5575394A (en) * | 1994-07-15 | 1996-11-19 | Fluoroware, Inc. | Wafer shipper and package |
DE69500752T2 (de) | 1994-07-15 | 1998-03-12 | Fluoroware Inc | Wafer Träger |
US5586658A (en) * | 1995-06-06 | 1996-12-24 | Fluoroware, Inc. | Wafer cushions for wafer shipper |
US5816410A (en) * | 1994-07-15 | 1998-10-06 | Fluoroware, Inc. | Wafer cushions for wafer shipper |
CA2218260C (en) | 1995-10-13 | 2006-05-23 | Empak, Inc. | 300mm microenvironment pod with door on side |
US5788082A (en) * | 1996-07-12 | 1998-08-04 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
US6776289B1 (en) | 1996-07-12 | 2004-08-17 | Entegris, Inc. | Wafer container with minimal contact |
JPH10163310A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハ包装容器のウェハ押さえ構造 |
US6039186A (en) * | 1997-04-16 | 2000-03-21 | Fluoroware, Inc. | Composite transport carrier |
US6070730A (en) * | 1997-06-18 | 2000-06-06 | Fluoroware, Inc. | Disk container |
US6010008A (en) * | 1997-07-11 | 2000-01-04 | Fluoroware, Inc. | Transport module |
US6736268B2 (en) * | 1997-07-11 | 2004-05-18 | Entegris, Inc. | Transport module |
KR100371392B1 (ko) * | 1997-08-30 | 2003-05-12 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 |
US6267245B1 (en) * | 1998-07-10 | 2001-07-31 | Fluoroware, Inc. | Cushioned wafer container |
US6082540A (en) * | 1999-01-06 | 2000-07-04 | Fluoroware, Inc. | Cushion system for wafer carriers |
US6669253B2 (en) * | 2000-12-18 | 2003-12-30 | David W. Benzing | Wafer boat and boat holder |
JP3938293B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2007-06-27 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 |
US6902059B2 (en) * | 2001-07-31 | 2005-06-07 | Entegris, Inc. | Disk carrier |
US6837375B2 (en) | 2001-07-31 | 2005-01-04 | Entegris, Inc. | Disk carrier with spindle |
JP4153874B2 (ja) * | 2001-11-14 | 2008-09-24 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウエハ保持システムを備えたウエハ・キャリア |
CN100374358C (zh) * | 2001-11-27 | 2008-03-12 | 诚实公司 | 通过门形成接地线路的前开口式晶片容器 |
US7175026B2 (en) * | 2002-05-03 | 2007-02-13 | Maxtor Corporation | Memory disk shipping container with improved contaminant control |
TWI283038B (en) | 2002-12-02 | 2007-06-21 | Miraial Co Ltd | Thin plate storage container |
JP4133407B2 (ja) * | 2003-02-13 | 2008-08-13 | ミライアル株式会社 | 薄板収納容器 |
TWI337160B (en) * | 2003-10-09 | 2011-02-11 | Entegris Inc | Shipper with tooth design for improved loading |
US7100772B2 (en) * | 2003-11-16 | 2006-09-05 | Entegris, Inc. | Wafer container with door actuated wafer restraint |
JP2005294386A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
JP4667769B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
US20060042998A1 (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | Haggard Clifton C | Cushion for packing disks such as semiconductor wafers |
US7584851B2 (en) * | 2004-10-08 | 2009-09-08 | Seagate Technology Llc | Container for disk drives |
US20060108242A1 (en) * | 2004-11-19 | 2006-05-25 | Christensen David M | Unlatching apparatus for media disk caddy |
US7810639B2 (en) * | 2006-02-10 | 2010-10-12 | Seagate Technology Llc | Container for consumer electronics |
US20110215012A1 (en) * | 2006-02-16 | 2011-09-08 | Haggard Clifton C | Disk holding device |
US20070187288A1 (en) * | 2006-02-16 | 2007-08-16 | Haggard Clifton C | Disk holding device |
EP2081223A4 (en) * | 2006-11-07 | 2011-09-07 | Shinetsu Polymer Co | SUBSTRATE CONTAINER |
US20080157455A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Applied Materials, Inc. | Compliant substrate holding assembly |
US9082459B2 (en) * | 2007-10-01 | 2015-07-14 | Seagate Technology Llc | Media caddy handling |
CN105225686A (zh) | 2009-11-18 | 2016-01-06 | 恩特格林斯公司 | 通用磁盘装运器 |
TWI465375B (zh) | 2010-06-02 | 2014-12-21 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 一種配置有彈性件模組之晶圓盒 |
TWI432369B (zh) * | 2011-06-22 | 2014-04-01 | Inotera Memories Inc | 晶圓傳輸系統 |
TWM453240U (zh) * | 2013-01-10 | 2013-05-11 | Gudeng Prec Ind Co Ltd | 具有保護套的限制件 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4043451A (en) * | 1976-03-18 | 1977-08-23 | Fluoroware, Inc. | Shipping container for silicone semiconductor wafers |
US4061228A (en) * | 1976-12-20 | 1977-12-06 | Fluoroware, Inc. | Shipping container for substrates |
US4450960A (en) * | 1982-08-30 | 1984-05-29 | Empak Inc. | Package |
US4520925A (en) * | 1983-08-09 | 1985-06-04 | Empak Inc. | Package |
US4557382A (en) * | 1983-08-17 | 1985-12-10 | Empak Inc. | Disk package |
DE3413837A1 (de) * | 1984-04-12 | 1985-10-17 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen | Verpackung fuer halbleiterscheiben |
USRE33361E (en) * | 1984-06-07 | 1990-10-02 | Substrate and media carrier | |
US4721207A (en) * | 1986-04-28 | 1988-01-26 | Tensho Electric Industrial Co., Ltd. | Hard disk container |
US4684021A (en) * | 1986-06-23 | 1987-08-04 | Fluoroware, Inc. | Bottom loading wafer carrier box |
US5025926A (en) * | 1987-07-07 | 1991-06-25 | Empak, Inc. | Package |
US4880116A (en) * | 1988-03-04 | 1989-11-14 | Fluoroware, Inc. | Robotic accessible wafer shipper assembly |
EP0343762A3 (en) * | 1988-05-24 | 1991-05-08 | Empak Inc. | Substrate package |
US5046615A (en) * | 1989-04-03 | 1991-09-10 | Fluoroware, Inc. | Disk shipper |
-
1991
- 1991-03-20 US US07/672,466 patent/US5253755A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-19 DE DE69117751T patent/DE69117751T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-19 EP EP92904779A patent/EP0530332B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-19 JP JP4505263A patent/JP3017287B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-19 WO PCT/US1991/009658 patent/WO1992016964A1/en active IP Right Grant
- 1991-12-19 KR KR1019920702833A patent/KR100237076B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-12-30 CN CN91112696A patent/CN1064843A/zh active Pending
- 1991-12-30 MX MX9102871A patent/MX9102871A/es unknown
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110949880A (zh) * | 2012-01-24 | 2020-04-03 | 株式会社日本触媒 | 捆包体、捆包集合体和捆包方法 |
CN108423264A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-21 | 大连崇达电路有限公司 | 一种线路板插架 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0530332B1 (en) | 1996-03-06 |
KR100237076B1 (ko) | 2000-01-15 |
KR930700974A (ko) | 1993-03-16 |
JP3017287B2 (ja) | 2000-03-06 |
JPH05507817A (ja) | 1993-11-04 |
EP0530332A1 (en) | 1993-03-10 |
MX9102871A (es) | 1992-09-01 |
US5253755A (en) | 1993-10-19 |
DE69117751D1 (de) | 1996-04-11 |
DE69117751T2 (de) | 1996-08-08 |
WO1992016964A1 (en) | 1992-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1064843A (zh) | 晶片容器软垫盖 | |
US5273159A (en) | Wafer suspension box | |
US8528738B2 (en) | Reusable resilient cushion for wafer container | |
US5749467A (en) | Wafer suspension box | |
US20030132133A1 (en) | Wafer carrier with wafer retaining system | |
US6976586B2 (en) | Delicate product packaging system | |
JP4855569B2 (ja) | ガラス基板を梱包するための容器 | |
KR100254327B1 (ko) | 웨이퍼 선적용 웨이퍼 큐션 | |
WO1992016964A2 (en) | Cushioned cover for wafer container | |
EP2081223A1 (en) | Substrate container | |
EP1456707B1 (en) | Slide case with removable rack | |
EP0224973A2 (en) | Information recording carrier-holding sheet | |
JPH06236787A (ja) | フラットパック用ソケットカバー | |
US20040188320A1 (en) | Thin wafer insert | |
CN110337713A (zh) | 基板收纳容器 | |
TW401359B (en) | Wiper blade with wedge shaped neck | |
US11081145B2 (en) | Packaging container for multimedia storage carrier | |
JP2908985B2 (ja) | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え | |
JP2606348Y2 (ja) | 板状物用トレー | |
CN213506998U (zh) | 一种用于小批量细胞处理的辅助装置 | |
CN215099227U (zh) | 一种生物降解材料盛放装置 | |
CN218975424U (zh) | 一种用于硅片顶梳的顶齿结构及硅片顶梳 | |
CN216784261U (zh) | 一种医院药剂科用药物储存盒 | |
CN218369183U (zh) | 一种硅片周转盒 | |
US7971722B2 (en) | Wafer container with restrainer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication |