CN218369183U - 一种硅片周转盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片周转盒，包括周转盒主体，所述周转盒主体包括前壁板、后壁板、左侧板和右侧板，前壁板的左右两侧成型在左侧板和右侧板的前部内侧壁处，后壁板的左右两侧成型在左侧板和右侧板的后部内侧壁处；所述左侧板和右侧板的底部成型有弧形板部，两个弧形板部的底部相靠近，两个弧形板部的顶部之间的距离大于两个弧形板部的底部之间的距离，左侧板和右侧板的内侧壁上成型有多个插槽，插槽向下延伸至弧形板部的内侧壁。它制造材料少，重量轻，大大降低制造成本，而且其前壁板和后壁板上分别成型有装夹通槽和后装夹通槽，方便小型机械手的夹持部位伸入夹持，方便搬运。

Description

一种硅片周转盒

技术领域：

本实用新型涉及硅片制造运输技术领域，更具体地说涉及一种硅片周转盒。

背景技术：

硅棒在加工成硅片以后，如果需要较长时间存放，放在专用片架中，每个片架最多放25片，需要的片架多成本高，片架多需要较大的存放空间，在片架中取放硅片不方便。因此中国专利申请号为202120879189.1的一种硅片周转箱，它采用箱体式结构，而箱体结构需要采用四个侧板和底板组成，使用材料多，重量重，制造成本高，而且，其四个面均没有什么抓取位，使得其搬运只能通过人工手动搬运，或者是采用大型的机械手用两个夹持板将其夹持搬运，使得其并不方便搬运。

实用新型内容：

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种硅片周转盒，它制造材料少，重量轻，大大降低制造成本，而且其前壁板和后壁板上分别成型有装夹通槽和后装夹通槽，方便小型机械手的夹持部位伸入夹持，方便搬运。

本实用新型解决所述技术问题的方案是：

一种硅片周转盒，包括周转盒主体，所述周转盒主体包括前壁板、后壁板、左侧板和右侧板，前壁板的左右两侧成型在左侧板和右侧板的前部内侧壁处，后壁板的左右两侧成型在左侧板和右侧板的后部内侧壁处；

所述左侧板和右侧板的底部成型有弧形板部，两个弧形板部的底部相靠近，两个弧形板部的顶部之间的距离大于两个弧形板部的底部之间的距离，左侧板和右侧板的内侧壁上成型有多个插槽，插槽向下延伸至弧形板部的内侧壁。

所述前壁板的左部和右部均成型有多个装夹通槽。

所述后壁板的顶面的中部成型有向下延伸的上凹槽。

所述后壁板的左部和右部均成型有多个后装夹通槽。

所述左侧板和右侧板的顶部均成型有向外延伸的弯折边。

所述弯折边的外侧壁面的中部成型有弧形定位通槽。

所述前壁板和后壁板的底面中部成型有向上延伸的弧形凹槽。

本实用新型的突出效果是：

它由前壁板、后壁板、左侧板和右侧板组成，其制造材料少，重量轻，大大降低制造成本，而且其前壁板和后壁板上分别成型有装夹通槽和后装夹通槽，方便小型机械手的夹持部位伸入夹持，方便搬运。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图（未安装前挡块和后挡块）；

图2是本实用新型的换角度局部结构示意图（未安装前挡块和后挡块）；

图3是前壁板和后壁板安装前挡块和后挡块的局部俯视图；

图4是前壁板安装前挡块的局部剖视图；

图5是后壁板安装后挡块的局部剖视图。

具体实施方式：

实施例，见如图1至5所示，一种硅片周转盒，包括周转盒主体10，所述周转盒主体10包括前壁板11、后壁板12、左侧板13和右侧板14，前壁板11的左右两侧成型在左侧板13和右侧板14的前部内侧壁处，后壁板12的左右两侧成型在左侧板13和右侧板14的后部内侧壁处；

所述左侧板13和右侧板14的底部成型有弧形板部15，两个弧形板部15的底部相靠近，两个弧形板部15的顶部之间的距离大于两个弧形板部15的底部之间的距离，左侧板13和右侧板14的内侧壁上成型有多个插槽1，插槽1向下延伸至弧形板部15的内侧壁。

插槽1的外侧伸出左侧板13或右侧板的外侧壁，插槽1靠近外侧处的中部成型有多个连接部，连接部的前后两端成型在插槽1的前后壁面处。连接部增加了插槽1的强度。

进一步的说，所述前壁板11的左部和右部均成型有多个装夹通槽2。

进一步的说，所述后壁板12的顶面的中部成型有向下延伸的上凹槽3。

进一步的说，所述后壁板12的左部和右部均成型有多个后装夹通槽4。

进一步的说，所述左侧板13和右侧板14的顶部均成型有向外延伸的弯折边16。其弯折边16的顶面上成型有数字，其第一个插槽1对应的弯折边16的顶面上的数字为1，后面每五个插槽1对应一个数字，其对应的数字依次为5、10、15、20、25。

进一步的说，所述弯折边16的外侧壁面的中部成型有弧形定位通槽161。弧形定位通槽161方便外部的定位杆插入，实现定位。

进一步的说，所述前壁板11和后壁板12的底面中部成型有向上延伸的弧形凹槽5。

所述左侧板13和右侧板14的底面成型有向下延伸的下支撑板部6。

装夹通槽2和后装夹通槽4可以被机械手的抓取部伸入后进行抓取，非常方便，方便搬运。

使用时，圆形硅片插入左右对应的两个插槽1中，其底部会靠在两个弧形板部15的底部内侧壁上，实现底部支撑。

所述前壁板11的顶部成型有向外延伸的凸起条111，前挡块20的前部上部成型有向前水平延伸的上部水平部21，上部水平部21的前端底面成型有向下延伸的钩部22，凸起条111卡置在钩部22中，上部水平部21的底面压靠在前壁板11的顶面，前挡块20的前壁面紧贴前壁板11的后壁面，通过前挡块20可以实现进一步对周转盒主体10中的硅片起到防护作用。

所述后壁板12的外侧壁的上部和中部均成型有条形凸起部121，后挡块30的底面中部成型有插槽，后壁板12的中部的上部卡置在插槽中，插槽的后壁面处成型有两个后凸起部31，条形凸起部121的中部底面压靠在对应的后凸起部31的顶面上，实现卡置固定，通过后挡块30可以实现进一步对周转盒主体10中的硅片起到防护作用。

前挡块20和后挡块30均为防静电的弹性块，如防静电橡胶板等。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下， 还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (7)

1.一种硅片周转盒，包括周转盒主体（10），其特征在于：所述周转盒主体（10）包括前壁板（11）、后壁板（12）、左侧板（13）和右侧板（14），前壁板（11）的左右两侧成型在左侧板（13）和右侧板（14）的前部内侧壁处，后壁板（12）的左右两侧成型在左侧板（13）和右侧板（14）的后部内侧壁处；

所述左侧板（13）和右侧板（14）的底部成型有弧形板部（15），两个弧形板部（15）的底部相靠近，两个弧形板部（15）的顶部之间的距离大于两个弧形板部（15）的底部之间的距离，左侧板（13）和右侧板（14）的内侧壁上成型有多个插槽（1），插槽（1）向下延伸至弧形板部（15）的内侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种硅片周转盒，其特征在于：所述前壁板（11）的左部和右部均成型有多个装夹通槽（2）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片周转盒，其特征在于：所述后壁板（12）的顶面的中部成型有向下延伸的上凹槽（3）。

4.根据权利要求3所述的一种硅片周转盒，其特征在于：所述后壁板（12）的左部和右部均成型有多个后装夹通槽（4）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片周转盒，其特征在于：所述左侧板（13）和右侧板（14）的顶部均成型有向外延伸的弯折边（16）。

6.根据权利要求5所述的一种硅片周转盒，其特征在于：所述弯折边（16）的外侧壁面的中部成型有弧形定位通槽（161）。

7.根据权利要求1所述的一种硅片周转盒，其特征在于：所述前壁板（11）和后壁板（12）的底面中部成型有向上延伸的弧形凹槽（5）。

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