CN106461894B - 组装光学组件的方法 - Google Patents
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Abstract
一种能将光学器件与插座对准的对准设备和对准方法,其中,光学器件和插座具有彼此倾斜的相应轴线。该方法包括如下步骤:(1)在改变光学器件的围绕X轴的滚转角但保持围绕Y轴的俯仰角不变的同时在围绕Z轴的旋转角处获得从插座施加到光学器件的最小压力;(2)确定旋转角,在该旋转角处由此获得的最小压力变为最小值;以及(3)重复执行这些过程直到在改变滚转角的同时获得的旋转角以及在改变俯仰角的同时获得的另一旋转角彼此基本一致为止。
Description
技术领域
本申请涉及一种生产光学组件的方法。
背景技术
日本专利申请公报No.JP-H09-304661A已经公开了一种生产双向光学组件的方法,其中,该方法包括将光学插芯和套筒与安装有半导体激光二极管(LD)的光学组件的中间产品组装在一起的步骤。该方法实际上激活LD并且利用例如功率计检测从LD输出的光束的光功率作为电信号。该方法将由此获得的电信号与预设值进行比较,并且将光学插芯对准在与光学组件的光轴垂直的平面内并使插入有光学插芯的套筒的位置对准。
当光学组件与例如光学插芯等光学部件组装在一起时,光学部件需要与安装在光学组件内的半导体光学元件对准。然而,光学组件本身通常组装有各种部件,例如具有透镜的盖部/或安装有半导体光学元件的管座(stem),其中,盖部和管座构成将半导体光学元件封闭在内的光学器件。因此,当用于接纳固定在外部光纤(其将要与半导体器件光学耦合)的端部处的外部光学插芯的光学套筒与光学器件的盖部紧固在一起时,盖部不总是精确地与安装在管座上的半导体光学元件对准。也就是说,盖部不总是精确地与管座对准,尤其是,盖部有时以倾角固定到管座。因此,为了将套筒与盖部精确对准,盖部需要精确瞄准要固定的套筒。
发明内容
本申请的一方面涉及一种组装光学组件的方法,其中,光学组件包括光学器件和插座。光学器件安装有光学元件,光学元件产生或接收光信号。插座收纳与被封闭在光学器件中的光学元件光学耦合的外部光纤。本发明的方法包括如下步骤:(1)通过使所述插座下降到所述光学器件来使所述光学器件与所述插座接触;(2)使所述光学器件沿Z方向的轴线平行于所述插座沿Z轴的轴线;以及(3)将所述光学器件的轴线与所述插座的轴线对准。所述方法的一个特征在于所述步骤(2)包括如下步骤:(2-1)在改变所述光学器件相对于所述插座的滚转角但保持俯仰角不变的同时确定所述光学器件相对于所述插座的旋转角,在所述旋转角处所述光学器件相对于所述插座产生最小压力;(2-2)在改变所述俯仰角但保持所述滚转角不变的同时确定所述光学器件相对于所述插座的另一旋转角,在所述另一旋转角处所述光学器件相对于所述插座产生另一最小压力;以及(2-3)重复执行步骤(2-1)以及步骤(2-2)直到所述旋转角与所述另一旋转角基本一致为止。在本申请的方法中,所述滚转角围绕与所述Z方向垂直的X方向,并且所述俯仰角围绕与所述Z方向和所述X方向垂直的Y方向。
本发明的另一方面涉及将光学器件与插座对准的设备或定位器。本申请的定位器包括基部、测角器和压力传感器。基部安装有所述光学器件所包括的管座。测角器包括将所述基部上的所述光学器件相对于所述插座定位的滚转台架、俯仰台架、旋转台架、X滑动台架和Y滑动台架。所述压力传感器设置在所述基部与所述测角器之间,所述压力传感器可以感测从所述插座施加到所述基部上的压力。
附图说明
图1示意性地示出光学组件以及用于组装和对准具有光学器件和插座的光学组件的设备。
图2示出将光学器件与插座组装起来的流程。
图3示意性地示出将光学器件与插座组装起来的步骤。
图4示意性地示出图3所示的步骤之后组装光学器件的步骤。
图5放大示出插座的端面与光学器件的顶面面对的部分。
图6示意性地示出在改变围绕X方向的滚转角但保持围绕Y方向的俯仰角不变的同时在围绕Z方向的旋转角θ处获得最小压力的步骤。
图7放大示出在图6所示的步骤期间图5所示的部分。
图8示意性地示出从压力传感器输出的最小压力相对于旋转角的关系。
图9放大示出当光学器件的轴线设置成与插座的轴线平行时插座的端面与光学器件的顶面面对的部分。
图10示意性地示出将插座固定至光学器件的步骤。
图11放大示出在完全执行了插座的端面和光学器件的顶面之间的光学对准之后插座的端面与光学器件的顶面面对的部分。
图12示意性地示出根据与本申请的方法相当的方法将光学器件与插座组装起来的方法。
具体实施方式
接下来,将参考附图描述根据本发明的组装光学组件的方法的一些实例。然而,显而易见的是本发明的范围不限于实施例,并且本发明不仅可以包括由权利要求书明确表示的范围,而且还包括落入权利要求书及其等同内容的范围内的所有变型和修改。此外,在对附图的描述中,彼此相同或相近的标记或标号将指代彼此相同或相近的元件,而不再赘述。
首先,将描述利用根据本发明实施例的方法组装的光学组件的布置。光学组件是将电信号转换为光信号的设备。如图1所示,光学组件1包括光学器件3和固定至光学器件3的光学插座4。在本实施例中,半导体光学元件2可以是半导体激光二极管(LD)类型。LD 2将经由引线脚6a供应来的电信号转换为光信号并且将由此转换来的光信号沿光学器件3的光轴L向光学插座4发射。本文下面的描述着重于光学组件1是发射光信号的光发射组件类型的布置,但半导体元件2不限于这些LD。光学组件1可以安装有光接收器件,通常为半导体光电二极管(PD)。下面的描述假设方向Z平行于光学组件1的光轴L,并且垂直于光轴L的两条轴线分别假设为X轴和Y轴。
光学器件3包括管座6和盖部7,从而形成了将半导体元件2气密地封闭在内的空间,光学器件3使上述空间内的半导体元件2电连接至安装在电路板上的电子电路,光学组件1安装在该电路板上。光学器件3还可以在上述空间内安装光学部件8,例如透镜、光隔离器等。透镜可以与盖部3组装在一起以密封盖部7的开口W。
管座6具有盘状形状且具有从管座6a穿过且向外伸出的多个引线脚6a。利用粘接剂和/或共晶焊料在管座6上固定LD 2。端子6a的外端连接至电路板,而端子6a的内端经由键合引线连接至LD 2。具有筒状形状的盖部7设置在管座6上,使得筒体的轴线与盘状管座6的轴线大致对准。利用例如电阻焊接法将盖部7焊接到管座6上。盖部7的顶面7a与管座6和盖部7的侧壁7b一起形成将半导体元件2气密地封闭在内的空间。顶面7a与光轴L大致垂直地延伸,也就是说,顶面7a与管座6大致平行地延伸。顶面7a可以提供窗口W,半导体元件2所发射的光束从窗口W穿过。光学组件1可以提供光学透镜来替代窗口W,光学透镜使从半导体元件2输出的光束准直或会聚,或使从外部提供给光学组件1的光束会聚到空间中的半导体元件2。由于用于将盖部7与管座6组装起来的电阻焊接法等,时常引起半导体元件2与盖部7的中心之间的失配且产生管座6的轴线与盖部7的中心轴线之间的显著角度。
插座4包括套筒5和保持架9,可以将外部光纤机械地且光学地耦合至光学器件3。套筒5将外部光纤与光学器件3中的半导体元件2光学对准并且具有从套筒5的一端延伸到另一端的孔5a。保持架9也设置有孔9a,在将两个孔5a和9b的中心对准时,孔9a与套筒5的孔5a是连续的,但孔5a和9a的中心无需与光轴L精确且准确地对准。光轴L需要至少处于孔5a和9b内。换句话说,保持架9与光学器件3组装在一起使得光轴L处于孔9a内;并且套筒5与保持架9组装在一起使得光轴L处于孔5a内。光轴L不与孔5a和9a的壁相交。保持架9还设置有要固定到盖部7的顶面7a上的端面9b。端面9b大致垂直于光轴L。
接下来,将描述用于组装光学组件1的定位器10。本实施例的定位器10的特征在于定位器10可以测量在光轴L与插座4的中心之间的倾角变为最小值时盖部7相对于插座4的旋转角。定位器10包括台架11、臂部12和控制器13。测角器16可以调整盖部7的姿态;具体地为:(i)围绕X轴的滚转角(ii)围绕Y轴的俯仰角ψ;(iii)围绕Z轴的旋转角θ;(iv)沿X轴的横向位置dx;(v)沿Y轴的纵向位置dy;以及(vi)沿Z轴的水平高度dz。台架11还测量沿Z轴从插座4作用到盖部7的负载。台架11包括基部14、测角器16和压力传感器17。基部14支撑盖部7的管座6以确定盖部7的水平高度。测角器16支撑基部14并且具有六个可动台架16a至16f,以执行上述六个轴线至dz的调整。尽管图1所示实施例提供了测角器16的Z对准的机制,但臂部12可以提供该机制来使臂部12上下滑动。此外,作为选择,定位器10可以提供卡盘来代替臂部12支撑插座4。也就是说,卡盘在径向上支撑插座4并且旋转且竖直地移动;从而测角器16可以省略旋转台架16f和竖向滑动器16e。此外,分别围绕X轴和Y轴的滚转角和俯仰角ψ使滚转台架16a和俯仰台架16y围绕虚设点P作为滚转和俯仰中心进行旋转。虚设点P的竖向水平高度不总是与盖部7的顶面7a的水平高度一致。支撑插座4的臂部12可以由脉冲电动机来驱动。控制器13可以控制测角器16和脉冲电动机18,并且收集从压力传感器17输出的信息。控制器13设定测角器16的俯仰角和滚转角ψ、臂部12沿Z方向的水平高度以及围绕轴线L的旋转角θ,并且处理从压力传感器17输出的数据。
接下来,将参考图2所示的流程图来描述根据本发明的实施例的组装光学组件1的方法。可选地参考图3至8来进行如下描述。
如图3所示,在步骤S1,该方法首先将光学器件3安装到基部14上并且利用臂部12操纵插座4;也就是说,臂部12保持插座4使得插座4的中心(即孔5a和9a的轴线)与Z轴对准或大致平行。在图3所示的步骤之前,将插座4的套筒5刚性地固定到保持架9上使得即使当臂部12保持套筒5时,臂部12也可以经由套筒5保持保持架9。然后,臂部12调整插座4在XY平面内的横向位置使得插座4的轴线与光轴L重合。
然后,臂部12使插座4沿Z轴朝向基部14下降直到保持架9的端面9b与盖部7的顶面7a接触为止,如图4所示。当端面9b与顶面7a接触时,沿Z轴向下按压光学器件3并且压力传感器17的输出增大。因此,可以通过压力传感器17的输出检测端面9b与顶面7a的接触。操作者可以通过控制器13的显示压力传感器17的输出的指示器来从视觉上进行判断,或者控制器13可以通过将压力传感器17的输出与基准值进行比较来判定上述接触。臂部12可以在保持插座4的同时使插座4进一步下降预定量,例如20μm至50μm。也就是说,臂部12将插座降至如下水平高度:在该水平高度,保持架9的端面9b总是与盖部7的顶面7a接触,而与插座4相对于盖部7的旋转角θ无关。
图5放大示出端面9b与顶面7a之间的物理状态。端面9b与顶面7a理想地是彼此平行的并且垂直于光轴L。然而,如图5所示,顶面7a和端面9b相对于与光轴L垂直地延伸的基准面K分别成显著角度和应该注意,基准面K不总是严格水平,或者说光学器件3的光轴L不总是严格竖直。这些角度和不是唯一确定的而是取决于多种因素。然而,光学器件3需要补偿端面9b的滚转和/或俯仰以与顶面7a均一地接触。其中,围绕X轴的滚转角意味着端面9b和/或顶面7a围绕X轴旋转,而俯仰角ψ意味着端面9b和/或顶面7a围绕Y轴旋转。两个角度的总和称为倾角。
然后,本实施例的方法在步骤S4至S10中估算旋转角θs,旋转角θs指的是端面9g的方向在旋转角θs处变为与盖部7a的方向平行,其中各面的方向是表面9b和7a的倾斜方向。具体地说,该方法首先在步骤S2中确定旋转台架16f的旋转方向。该方法固定滚转角和俯仰角ψ,使基部14旋转并检测压力传感器的输出。然后,该方法确定旋转方向使得压力传感器17的输出随着旋转量的增加而减小,也就是说,旋转方向可以设定成使得压力传感器17的输出表现出负斜率。
然后,可以执行图6所示的步骤S3,在保持旋转角θ0和俯仰角ψ不变的情况下,改变滚转台架16a的围绕X轴的滚转角并且获得在压力传感器17的输出显示为最小值A0时的滚转角其中,图6示意性地示出在改变围绕X方向的滚转角但保持围绕Y方向的俯仰角不变的同时在围绕Z方向的旋转角θ处获得最小压力的步骤,并且图7放大示出在图6所示的步骤期间图5所示的部分。具体地说,端面9b与顶面7a接触的面积增大或减小,这可以由压力传感器17来感测,确切地说,利用压力传感器17的输出来感测。随着接触面积增大,意味着倾角变为接近0,也就是,端面9b和顶面7a变为接近于彼此平行的状态,则压力传感器17的输出减小;而接触面积减小,则压力传感器17的输出增大。因此,该步骤测量在压力传感器17的输出变为最小值时的滚转角
接下来,使旋转台架16f按照上述步骤确定的方向旋转一个量Δθ,其中,该量Δθ可以根据对准步骤的效率和对准精度选择。在步骤S4,在增大旋转角之后,旋转角变为θ0+Δθ,并且获得当压力传感器的输出变为另一最小值A1时的滚转角。
接下来,该方法将压力传感器17的分别在旋转角θ0和θ1=θ0+Δθ处获得的两个输出A0和A1进行比较。当前者A0大于后者A1时,旋转角θ0和θ1仍处于压力传感器17的输出显示为负斜率的状况下。因此,该步骤将结果A1改变为A0,将θ1改变为θ0,并且进一步使基部14旋转Δθ。然后,在步骤S3中,在使滚转台架16a滚转的同时测量压力传感器17的另一最小输出A1,直到压力传感器17的当前测量的最小输出A1变为大于先前测量的最小输出A0为止。
在步骤S6和S7中,当压力传感器17的当前测量的最小输出A1变为大于先前测量的最小输出A0时,该方法估算在旋转角θ1’=θ0+Δθ/2输出的最小值,即,在中间旋转角输出的最小值。步骤S6将旋转角的增量Δθ设定为一半,并且步骤S7测量压力传感器17的最小输出A1。作为步骤S8,该方法将在一半旋转角处由此测量的最小输出A1与先前测量的最小输出A0进行比较。当后者(先前测量的最小输出A0)大于前者(当前测量的最小输出A1)时,在步骤15中,该方法用当前获得的输出A1替换先前获得的输出A0,并且还用当前旋转角θ1替换先前旋转角θ0,并重复执行步骤S3至S7。另一方面,当当前获得的最小输出A1大于先前获得的最小输出A0时,该方法转入可以估算旋转角θ的收敛的步骤S9和S10。
也就是说,在步骤S9中,该方法比较先前测量的最小输出A0和先前测量的最小输出A1之间的差值,并在利用先前获得的最小输出A0进行了归一化的差值大于第一基准值ref1时或者在利用旋转角θ进行了归一化的旋转角的增量Δθ大于第二基准值ref2时返回步骤S6。当前述两者(最小输出A1和A0之间的差值以及增量Δθ)小于对应的基准值ref1和ref2时;该方法确定端面9b的方向与顶面7a的方向对准时的旋转角θs;并且转入S11至S12的光学对准步骤。
图8示出旋转角θ相对于压力传感器17的最小输出的典型关系。在图8中,行为G表示压力传感器17的最小输出的理论估值。也就是说,将光学器件3与插座4之间的旋转角设定为θ0,可以在改变滚转角的同时获得最小输出。即,在步骤S3中,在旋转角θ=θ0处保持俯仰角ψ不变的同时改变滚转角压力传感器17的输出随着滚转角而改变,并且可以容易地确定压力传感器17的最小输出为A0。然后,在步骤S4中,使旋转角θ以增量Δθ增大,这意味着θ1=θ0+Δθ,与上述相同的滚转角的步骤可以容易地确定压力传感器17的最小输出A1。将两个最小输出A0和A1进行比较,并且在将最小输出A1替换为A0并将θ1替换为θ0时,步骤返回到S4,这是因为比较结果显示A1<A0的条件。重复执行为旋转角θn获得最小输出An的这些步骤直到n=4步。在旋转角设定为θ4的第四次重复,压力传感器17的当前最小输出A4变为大于先前最小输出A3。然后,步骤转入步骤S5,其中,将旋转角的增量Δθ设定为当前增量的一半,并且在旋转角θ5处测量最小输出A5,旋转角θ5是旋转角θ3和θ4的中间值。于是,重复执行从S4至S10的步骤直到满足步骤S9和S10的两个条件。当满足两个条件时,旋转角变为θs且滚转角变为
该方法接下来确定围绕Y方向的俯仰角ψ。具体得说,在旋转角θs处,该方法在利用俯仰台架16b改变俯仰角ψ的同时找出压力传感器17的最小输出。一旦确定了压力传感器17的最小输出,方法接着使滚转台架16f顺时针或逆时针旋转预定量,并执行在改变俯仰角的同时获得压力传感器17的最小输出的步骤。于是,方法可选地重复执行如下的步骤:在改变滚转角且保持俯仰角ψ不变的同时;以及在改变俯仰角ψ且保持滚转角不变的同时,确定旋转角θ,直到由两个步骤由此确定的旋转角彼此大致相等。
方法最终将通过上述步骤由此确定的滚转角俯仰角ψ和旋转角θ这些角度设定为ψs和θs,并执行在垂直于光轴L的平面中的光学对准。具体地说,参考图9,现在借助上述步骤使光学器件3的光轴L与插座4的光轴L4平行,但这两个轴线仅仅彼此平行而不总是彼此对准。因此,在固定台架16a、16b和16f的同时滑动台架16中的X台架16c和Y台架16d,使得光学器件3的光轴L水平地移动以与插座4的光轴L4对准。
具体地说,当光学组件1是内装有LD的光发射组件时,该步骤实际上通过向其提供偏压电流来激活LD并且通过设置在套筒4内的外部光纤来检测LD的输出。滑动测角器16的X台架16c和Y台架16d,可以在利用外部光纤检测到的LD 2的输出变为最大值的点确定插座4与光学器件3之间的相对位置。当光学组件是内装有PD的光接收组件类型时,方法经由插入到插座4的外部光纤向光学组件1提供外部光束,并且经由引线脚6a来检测PD 2的电输出。滑动X台架16c和Y台架16d,在PD 2的电输出变为最大值的点固定插座4。
在插座4和光学器件3之间光学对准(光学器件3的光轴L变为与插座4的光轴L4平行且对准)之后,在保持旋转角θ、滚转角俯仰角ψ、X位置和Y位置之间的位置关系的同时利用YAG激光器将保持架9焊接到盖部7上,如图10所示。于是,完成了光学组件1。此外,图11放大示出在使光学器件3的光轴L与插座4的光轴对准时保持架9的端面9b与盖部7的顶面7a面对且紧密接触的部分。
图12放大示出利用现有方法组装起来的端面9b和光学组件的顶面7a的一部分。如图12所示以及如上所述,端面9b和顶面8a可能由于其物理尺寸的公差和其组装方法的公差而偏离真实水平面K。为了使例如端面9b与顶面7a对准,必须将两个部件中的至少一者倾斜使得至少一个部件的表面变得与另一部件的表面平行。由于这种组装,如图12所示,光学器件3的光轴L可能与插座的壁部发生干涉。
插座4的端面9b与盖部7的顶面7a之间的倾角取决于围绕Z轴的旋转角θ。根据本实施例的方法主要包括两个步骤,即,(i)设定旋转角θn以及(ii)在改变围绕X轴的滚转角的同时获得压力传感器17的最小输出An,并且重复执行步骤(i)和(ii)直到旋转角θ收敛在θs针对俯仰角ψ进一步重复执行以上步骤(i)和(ii)直到旋转角θ收敛在θ(ψ);并且重复执行以上步骤(i)和(ii)直到两个收敛旋转角θs和θs(ψ)变为约等于θs。在旋转角θs、滚转角和俯仰角ψs,插座4的端面9b变为大致平行于盖部7的顶面7a。因此,光学器件3的光轴L变为基本上平行于插座4的光轴L4。进一步使光学器件3在XY平面中与光轴L4对准,光学器件3最终与插座4的光轴L4光学对准。
因为本实施例提供包括位于基部14与测角器16之间的压力传感器17的定位器10,压力传感器17可以感测由设置在盖部7上的插座4引起的向下压力。将插座4向下按压在盖部7上使得即使当盖部7相对于插座4旋转一圈时,保持架的端面9b也不能从顶面7a上分离。定位器10还包括控制器13以及移动测角器17和臂部12的电动机,臂部在控制器13的控制下自动保持插座4。因此,实施例的定位器10可以执行获得插座4与光学器件7之间的倾角且自动将光学器件3与插座4对准的步骤。
改进方法
尽管所获得的旋转角θs变精确,在保持架9的端面9b或插座4变得与盖部7的顶面7a或光学器件3变平行时获得上述旋转角θ的步骤也在一定程度上是复杂的。下面描述的改进方法简化了使两个表面(端面9b和顶面7a)彼此平行的整个过程。
改进方法首先利用在感测从插座4施加到光学器件3的压力的同时首先使旋转台架16g旋转一圈360度的步骤确定旋转角θs。如上所述,由此测量的压力显示出相对于旋转角θ的正弦曲线,并且可以确定在压力传感器17所感测到的压力变为最小值时的临界旋转角θs。然后,固定旋转角为θs,调整滚转角和俯仰角ψ以使从插座施加且由压力传感器17感测的压力最小。重复执行滚转角和俯仰角ψ的调整若干次,角度的条件可以收敛到相应的临界角和ψs。最终,与上述实施例类似,执行滑动X台架16c和Y台架16d的XY对准。因为与根据主要实施例的之前方法相比,该改进方法较简单,所以可以将改进方法主动引入光学组件的实际生产。
在以上详细描述中,已经参照具体示例性实施例描述了本发明的方法和设备。然而,显而易见的是可以在不脱离本发明较广义的精神和范围的情况下对本发明进行各种变型和修改。本发明的说明和附图因此被视为是示例性的而非限制性。
Claims (7)
1.一种组装光学组件的方法,所述光学组件包括光学器件和插座,所述光学器件安装有光学元件,所述光学元件产生或接收光信号,所述插座接纳与所述光学器件中的光学元件光学耦合的外部光纤,所述方法包括如下步骤:
通过将所述插座下降至所述光学器件来使所述光学器件与所述插座接触;
利用如下步骤使所述光学器件沿Z方向的轴线平行于所述插座沿Z轴的轴线:
在改变所述光学器件相对于所述插座的滚转角但保持俯仰角不变的同时确定所述光学器件相对于所述插座的旋转角,在所述旋转角处所述光学器件相对于所述插座产生最小压力,其中,所述滚转角围绕与所述Z方向垂直的X方向,并且所述俯仰角围绕与所述Z方向和所述X方向垂直的Y方向;
在改变所述俯仰角但保持所述滚转角不变的同时确定所述光学器件相对于所述插座的另一旋转角,在所述另一旋转角处所述光学器件相对于所述插座产生另一最小压力;以及
重复执行确定所述旋转角的步骤以及确定所述另一旋转角的步骤直到所述旋转角与所述另一旋转角基本一致为止;以及
将所述光学器件的轴线与所述插座的轴线对准。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,
确定所述旋转角的步骤包括如下步骤:
在改变所述滚转角且保持所述俯仰角不变的同时在第一旋转角处获得由所述光学器件对所述插座施加的第一最小压力;
使所述光学器件相对于所述插座从所述第一旋转角旋转一个量,所述旋转角是第二旋转角;
在改变所述滚转角且保持所述俯仰角不变的同时获得第二最小压力;
将所述第一最小压力与所述第二最小压力进行比较;
当所述第二最小压力大于所述第一最小压力时,使所述光学器件从所述第一旋转角旋转所述量的一半,并且再次获得所述第二最小压力,或者
当所述第二最小压力小于所述第一最小压力时,使所述光学器件从所述第二旋转角旋转所述量;以及
重复执行使所述光学器件相对于所述插座旋转并且获得最小压力直到当前获得的最小压力与先前获得的最小压力基本一致且当前旋转角与先前旋转角基本一致为止的步骤。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,
确定所述另一旋转角的步骤包括如下步骤:
在改变所述俯仰角且保持所述滚转角不变的同时在第一旋转角处获得由所述光学器件对所述插座施加的第一最小压力;
使所述光学器件相对于所述插座从所述第一旋转角旋转一个量,所述旋转角是第二旋转角;
在改变所述俯仰角且保持所述滚转角不变的同时获得第二最小压力;
将所述第一最小压力与所述第二最小压力进行比较;
当所述第二最小压力大于所述第一最小压力时,使所述光学器件从所述第一旋转角旋转所述量的一半,并且再次获得所述第二最小压力,或者
当所述第二最小压力小于所述第一最小压力时,使所述光学器件从所述第二旋转角旋转所述量;以及
重复执行使所述光学器件相对于所述插座旋转并且获得最小压力直到当前获得的最小压力与先前获得的最小压力基本一致且当前旋转角与先前旋转角基本一致为止的步骤。
4.根据权利要求1所述的方法,还包括如下步骤:
在使所述光学器件沿所述Z方向的轴线平行于所述插座沿Z轴的轴线的步骤之前,确定所述光学器件相对于所述插座旋转的方向。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,
确定所述方向的步骤包括如下步骤:
在保持所述滚转角和所述俯仰角不变的同时,在第一旋转角处获得由所述光学器件对所述插座施加的第一最小压力;
在保持所述滚转角和所述俯仰角不变的同时,在比所述第一旋转角大了一个量的第二旋转角处获得第二最小压力;
将所述第一最小压力与所述第二最小压力进行比较;以及
确定所述方向使得,当所述第一最小压力小于所述第二最小压力时,所述量是负值,并且当所述第一最小压力大于所述第二最小压力时,所述量是正值。
6.根据权利要求1所述的方法,其中,
所述光学器件包括管座和盖部,所述管座上安装有所述光学元件,所述盖部将所述光学元件封闭在由所述管座和所述盖部形成的空间内,
所述方法还包括将所述盖部焊接到所述管座的步骤。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,
焊接所述盖部的步骤包括将所述盖部电阻焊接到所述管座的步骤。
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