JP2008046271A - 光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 所定波長の光を反射又は透過させる光学部品の反りを十分に解消することができる光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置を提供すること。
【解決手段】 導波路型光モジュール10を製造する場合、まず、光フィルタ13の主面13bと同等以上の面積を有し主面13bを直接的に密着保持可能な平面状の保持面40aを有する保持用チップ40を用意する。続いて、光フィルタ13の主面13b全面を保持面40aに直接的に密着保持する。続いて、第1導波路部材11の端面11aと光フィルタ13の主面13aとの間に紫外線硬化型接着剤50を介在させ、その接着剤を硬化させることで、第1導波路部材11と光フィルタ13とを接合する。続いて、光フィルタ13の主面13bから保持用チップ40を引き離す。最後に、光フィルタ13の主面13bと第2導波路部材12の端面12aとを接合する。
【選択図】 図4
【解決手段】 導波路型光モジュール10を製造する場合、まず、光フィルタ13の主面13bと同等以上の面積を有し主面13bを直接的に密着保持可能な平面状の保持面40aを有する保持用チップ40を用意する。続いて、光フィルタ13の主面13b全面を保持面40aに直接的に密着保持する。続いて、第1導波路部材11の端面11aと光フィルタ13の主面13aとの間に紫外線硬化型接着剤50を介在させ、その接着剤を硬化させることで、第1導波路部材11と光フィルタ13とを接合する。続いて、光フィルタ13の主面13bから保持用チップ40を引き離す。最後に、光フィルタ13の主面13bと第2導波路部材12の端面12aとを接合する。
【選択図】 図4
Description
本発明は、導波路部材と光フィルタ等の平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法及び装置に関するものである。
複数波長の信号光を伝送する光伝送システムでは、当該複数波長の信号光を合波または分波する光合分波モジュールが用いられる。光合分波モジュールには所定波長の光を反射・透過させる光フィルタが設けられている。このような光合分波モジュールを製造する方法は従来からよく知られている(例えば、下記特許文献1、2及び3参照)。
特開平9−243847号公報
特開平9−297229号公報
特開2000−199826号公報
ところで、光フィルタは、例えば数μmの基板に数十μmの誘電体多層膜を堆積させたものであり、元々数μmの反りを持っている。このような性質を持つ光フィルタを実装するために、上記特許文献1に開示されている光合分波モジュールの製造方法では、光フィルタをフィルタ用保持ハンドに真空吸着した上で、その光フィルタを光導波路素子の溝に挿入する方法が採用されている。一方、上記特許文献2及び3に開示されている光合分波モジュールの製造方法では、光フィルタをフィルタブロックに接着固定させた上で、その光フィルタを光導波路素子の溝に挿入する方法が採用されている。
しかしながら、上記各特許文献に記載されたいずれの方法を用いても、光フィルタの反りを所定値(例えば0.1μm)以下に抑えることは困難である。これにより、光合分波モジュールの光学特性が悪化することがある。特に多チャンネルの光合分波モジュールにおいて、この課題は顕著である。
本発明は、上記課題を解決する為になされたものであり、所定波長の光を反射又は透過させる光学部品の反りを十分に解消することができる光モジュール製造方法及び光モジュール製造装置を提供することを目的とする。
本発明は、光導波路を有する導波路部材と、導波路部材の端面に固定され、光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を有し平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、平面状光学部品の一方の主面全面を保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、導波路部材と平面状光学部品とを接合する工程と、平面状光学部品の一方の主面から保持部材を引き離す工程とを含むことを特徴とする。
このような光モジュール製造方法によれば、平面状光学部品は、まず保持部材の保持面に直接的に密着保持される。ここで、保持部材の保持面は、平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を持った平面状を有しているので、平面状光学部品の一方の主面全面が保持部材の平坦な保持面に容易にかつ確実に密着保持される。これにより、平面状光学部品は殆ど反ることなく平らな状態で保持面に保持されるようになる。そして、平面状光学部品がその状態を維持したまま、導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面とが接着剤を用いて接合され、その後平面状光学部品を保持していた保持部材が当該平面状光学部品から引き離される。したがって、平面状光学部品の反りを解消しつつ当該平面状光学部品に導波路部材を接合することができる。
また、本発明は、第1光導波路を有する第1導波路部材と、第2光導波路を有する第2導波路部材と、第1導波路部材の端面と第2導波路部材の端面とに挟まれるように固定され、第1導波路又は第2導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を有し平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、平面状光学部品の一方の主面全面を保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、第1導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、第1導波路部材と平面状光学部品とを接合する工程と、平面状光学部品の一方の主面から保持部材を引き離す工程と、平面状光学部品の一方の主面と第2導波路部材の端面とを接合する工程とを含むことを特徴とする。
このような光モジュール製造方法によれば、平面状光学部品は、まず保持部材の保持面に直接的に密着保持される。ここで、保持部材の保持面は、平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を持った平面状を有しているので、平面状光学部品の一方の主面全面が保持部材の平坦な保持面に容易にかつ確実に密着保持される。これにより、平面状光学部品は殆ど反ることなく平らな状態で保持面に保持されるようになる。そして、平面状光学部品がその状態を維持したまま、第1導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面とが接着剤を用いて接合され、その後平面状光学部品を保持していた保持部材が当該平面状光学部品から引き離される。また、平面状光学部品が平らな状態で第1導波路部材に接合された後に、当該平面状光学部品と第2導波路部材とが接合される。したがって、平面状光学部品の反りを解消しつつ当該平面状光学部品に第1導波路部材及び第2導波路部材を接合することができる。
本発明の光モジュール製造方法では、平面状光学部品を誘電体多層膜フィルタとすることが好ましい。
誘電体多層膜フィルタは、極めて薄い基板上に積層されることが多いため、元々持つ反りの度合いが大きい。しかし、保持部材は、平面状光学部品の主面と同等以上の面積を持った平面状の保持面を有しているので、その保持面に誘電体多層膜フィルタを直接的に密着保持すれば、当該誘電体多層膜フィルタの反りを解消しつつ導波路部材に誘電体多層膜フィルタを接合することができる。すなわち、元々の反りの度合いが大きい誘電体多層膜フィルタを導波路部材に接合する場合には、本発明の光モジュール製造方法は特に有効である。
更に、本発明は、光導波路を有する導波路部材と、導波路部材の端面に固定され、光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造装置であって、導波路部材を支持する支持部と、平面状光学部品を保持する保持部材と、導波路部材と保持部材との距離を調整する距離調整手段と、導波路部材と保持部材との相対角度を調整する相対角度調整手段とを備え、保持部材は、平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を持った平面状の保持面を有し、平面状の保持面は、平面状光学部品の主面全面を直接的に密着保持可能であることを特徴とする。
このような光モジュール製造装置によれば、まず導波路部材を支持部に支持するとともに、平面状光学部品を導波路部材と対向するように保持部材の保持面に直接的に密着保持する。ここで、保持部材の保持面は、平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を持った平面を有しているので、平面状光学部品の一方の主面全面が保持部材の平坦な保持面に容易にかつ確実に密着保持される。そして、平面状光学部品の他方の主面又は導波路部材の端面に接着剤を塗布した後、距離調整手段により導波路部材と平面状光学部品との距離を調整するとともに、相対角度調整手段により導波路部材と平面状光学部品との相対角度を調整し、導波路部材と平面状光学部品とを接合する。したがって、上記の光モジュール製造方法が実施可能となるので、平面状光学部品の反りを解消しつつ、当該平面状光学部品に導波路部材を確実に接合することができる。また、距離調整手段及び相対角度調整手段によって、導波路部材に対する平面状光学部品の位置及び角度を調整しながら平面状光学部品を導波路部材に精度よく接合することができる。
このような本発明の光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置によれば、所定波長の光を反射又は透過する光学部品の反りを解消し、光モジュールの光学特性を向上させることができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
まず、図1及び図2を用いて、本発明の一実施形態に係る光モジュール製造方法及び装置により製造される導波路型光モジュール10の構造について説明する。図1は、導波路型光モジュール10の平面図であり、図2は、図1に示す導波路型光モジュール10の分解斜視図である。
導波路型光モジュール10は、第1導波路部材11と、第2導波路部材12と、第1導波路部材11と第2導波路部材12との間に設けられる光フィルタ13とを備えている。光フィルタ13は、接着層14及び接着層15により、第1導波路部材11及び第2導波路部材12に接合されている。
第1導波路部材11は、平面導波路を有する直方体形状をなしている。その内部には、第1光導波路16および第2光導波路17がそれぞれ第1導波路部材11の一方の端面11aから他方の端面11bにかけて延びるように形成されている。第1光導波路16と第2光導波路17とは、第1導波路部材12側の端面11aのほぼ中央位置で交差しており、略V字形状に形成されている。
第2導波路部材12は、平面導波路を有する直方体形状をなしている。その内部には、光導波路18が第2導波路部材12の端面12aから端面12bにかけて延びるように略I字形状に形成されている。第2導波路部材12の端面12aは、第1導波路部材11の端面11aと対向している。
第1導波路部材11及び第2導波路部材12は、例えば、石英ガラスまたはシリコンからなる基板上に、石英ガラスからなるクラッド、及びGeO2が添加された石英ガラスからなるコアが形成されたものである。そして、このコアが光導波路16〜18となる。
光フィルタ13は、平板状の誘電体多層膜フィルタである。光フィルタ13としては、例えば、ポリイミド基板あるいは石英基板の上に誘電体多層膜を設けたものが用いられるが、光フィルタ13に用いられる原材料はこれに限定されない。光フィルタ13は、第1導波路部材11の端面11a及び第2導波路部材12の端面12aよりも小さく形成され、第1導波路部材11の端面11a及び第2導波路部材12の端面12aのほぼ中央位置に配置されている。光フィルタ13を形成する面のうち、第1導波路部材11の端面11aと対向する主面(ここでは光入射面)13a、及び、第2導波路部材12の端面12aと対向する主面(ここでは光入射面の反対側の面)13bは、例えば3.5mm×0.4mmの長方形であるが、光フィルタ13の形状はこれに限定されない。また、光フィルタ13の厚みは、例えば0.02mmである。
光フィルタ13は、ある波長λRの光を反射させる一方で、他の波長λTの光を透過させる光学部品である。これにより、波長λTの光と波長λRの光とを分波又は合波させることができる。具体的には、図1に示すように、第1光導波路16を通る波長λT、λRの光のうち、波長λRの光は光フィルタ13で反射されて第2光導波路17を伝搬し、波長λTの光は光フィルタ13を透過して光導波路18を伝搬するようになる。なお、反射波長λRは、例えば1.55μmであり、透過波長λTは、例えば1.31μmおよび1.49μmであるが、反射波長及び透過波長はこれに限定されない。
第1導波路部材11と光フィルタ13との間には接着層14が介在されている。接着層14は、光フィルタ13の主面13a全体に塗られているとともに、薄く(例えば1μm)形成されている。また、第2導波路部材12と光フィルタ13との間には、接着層15が介在されている。接着層15は、光フィルタ13の主面13b全体に塗られているとともに、薄く(例えば1μm)形成されている。
次に、図3を用いて、上記の導波路型光モジュール10を製造する光モジュール製造装置20について説明する。図3は、実施形態に係る光モジュール製造装置20を模式的に示した斜視図である。
光モジュール製造装置20は、第1導波路部材11を支持するための第1支持ユニット21と、後述する保持用チップ40を取付可能な保持ユニット22と、第2導波路部材12を支持するための第2支持ユニット23とを備えている。第1支持ユニット21と第2支持ユニット23とは互いに対向するように設けられており、保持ユニット22はこれらの支持ユニット21及び23に挟まれるように設けられている。
第1支持ユニット21は、Z軸方向移動ステージ(距離調整手段)24a、X軸方向移動ステージ(距離調整手段)24b及びZ軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)24cを有する土台部24と、Y軸方向移動ステージ(距離調整手段)25a、Y軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)25b、X軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)25c及び支持台(支持部)25dを有する導波路部材載置部25と、土台部24及び導波路部材載置部25を連結する連結部26とを備える。
Z軸方向移動ステージ24aは、ユニット21〜23の並設方向(Z軸方向)に沿って移動可能であり、これにより支持台25dのZ軸方向の位置を調節することができる。X軸方向移動ステージ24bは、光モジュール製造装置20の幅方向(X軸方向)に沿って移動可能であり、これにより支持台25dのZ軸方向の位置を調節することができる。Z軸回り回転ステージ24cは、Z軸を中心に回動可能であり、これによりZ軸に対する支持台25dの角度を調節することができる。
Y軸方向移動ステージ25aは、光モジュール製造装置20の高さ方向(Y軸方向)に沿って移動可能であり、これにより支持台25dのY軸方向の位置を調節することが可能である。Y軸回り回転ステージ25bは、Y軸を中心に回動可能であり、これによりY軸に対する支持台25dの角度を調節することができる。X軸回り回転ステージ25cは、X軸を中心に回動可能であり、これによりX軸に対する支持台25dの角度を調節することができる。支持台25dは導波路部材載置部25の先端に設けられ、支持台25dの上面に第1導波路部材11が載置される。
保持ユニット22は、高さ方向に延びる土台部27と、その土台部27の上端部に固定された高さ方向に延びるチップ台28とを備える。チップ台28の上端面には、後述する保持用チップ40が取り付けられる。
第2支持ユニット23は、Z軸方向移動ステージ(距離調整手段)29a、X軸方向移動ステージ(距離調整手段)29b及びZ軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)29cを有する土台部29と、Y軸方向移動ステージ(距離調整手段)30a、Y軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)30b、X軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)30c及び支持台(支持部)30dを有する導波路部材載置部30と、土台部29と導波路部材載置部30とを連結する連結部31とを備える。第2支持ユニット23の構造は第1支持ユニット21と同様である。
次に、図4及び図5を用いて、このような光モジュール製造装置20による導波路型光モジュール10の製造方法について説明する。図4は、図3に示す光モジュール製造装置20による導波路型光モジュール10の製造工程を示すフローチャートである。図5は、図4に示すフローチャートに従って導波路型光モジュール10を製造する様子を模式的に示す平面図である。
まず、第1導波路部材11及び第2導波路部材12を用意し、第1導波路部材11を第1支持ユニット21の支持台25dに、第2導波路部材12を第2支持ユニット23の支持台30dに、それぞれ載置する(工程S1)。このとき、第1導波路部材11及び第2導波路部材12は、それらの端面11a、12a同士が対向するように支持台25d、30dに置かれる。
続いて、光フィルタ13を保持するための保持用チップ40を用意する(工程S2)。この保持用チップ40は、表面が鏡面状で平坦度の高いシリコンウェハーやガラスウェハーから切り出した直方体状のチップである。なお、ガラスウェハーを構成するガラスの種類は限定されないが、例えば紫外線をよく通す石英ガラスウェハーが用いられる。
保持用チップ40は、光フィルタ13を保持するための保持面40aを有する。この保持面40aは、光フィルタ13の主面13a及び主面13bと同等か或いはそれよりも広い領域(面積)を有する。例えば、3.5mm四方の光フィルタ13を保持する場合、保持面40aは、1辺が3.5mm以上の長さの長方形であることを要する。保持面40aは、その中における最大高低差が0.1μm以下になるように研磨されており、本明細書中では、この状態を「保持面40aの平坦度は0.1μm以下である」と定義するものとする。また、この保持面40aの中心線平均粗さ(Ra)は、0.01μm以下である。
続いて、図5(a)に示すように、保持用チップ40の保持面40aに光フィルタ13を直接的に密着保持させる(工程S3)。つまり、保持用チップ40と光フィルタ13との間に接着剤等を介在させたり、保持用チップ40に対して光フィルタ13を真空吸引することなく、光フィルタ13の主面13b全面が保持面40aと直接接するように光フィルタ13を保持面40aに保持する。このような保持面40aに対する光フィルタ13の密着保持は、保持面40aと光フィルタ13の主面13bとの間に生ずるファンデルワールス力(分子間引力)又は静電気力により起こりうるものと推測される。このとき、保持面40aの平坦度は0.1μm以下であり、光フィルタ13の主面13b全面がその保持面40a上に保持されるので、光フィルタ13を確実に密着保持することができる。
このように保持用チップ40の保持面40aに光フィルタ13を密着保持させる際には、保持用チップ40と光フィルタ13との間に何も介在させる必要がなく、保持面40a上に光フィルタ13を置けば足りる。したがって、光フィルタ13を容易に密着保持することができる。また、光フィルタ13の一部が保持面40aからはみ出ることはなく、光フィルタ13の主面13b全面が保持面40a上に置かれるので、光フィルタ13の平坦度も0.1μm以下となる。すなわち、光フィルタ13を保持面40aに保持した時点で、光フィルタ13の反りを解消することができる。光フィルタ13のような誘電体多層膜フィルタの中には、基板の厚さが極めて薄いために元々持つ反りの度合いが大きいものがあるが、そのようなフィルタも0.1μm以下の平坦度で保持することができる。
続いて、図5(b)に示すように、光フィルタ13の反対側の主面13aに紫外線硬化型接着剤50を塗布する(工程S4)。なお、接着剤の種類はこれに限定されず、例えば熱硬化型接着剤を用いてもよい。紫外線硬化型接着剤50を塗布する際は、この紫外線硬化型接着剤50が光フィルタ13の主面13aから溢れない程度に塗布量を計算した上で実施することが好ましい。例えば、接着層の厚さ及び面積に基づいて紫外線硬化型接着剤50の塗布量を算出し、主面13aに塗布する。
続いて、第1導波路部材11と光フィルタ13とを接合する(工程S5)。具体的には、まず、第1導波路部材11の端面11aにおける第1光導波路16と第2光導波路17との交差断面が光フィルタ13の主面13aの範囲内に配置されるように、光フィルタ13と第1導波路部材11とを突き合わせる。
この際には、第1支持ユニット21のZ軸方向移動ステージ24a、X軸方向移動ステージ24b及びY軸方向移動ステージ25aにより第1導波路部材11と保持用チップ40との距離を調整することで、第1導波路部材11と光フィルタ13との間隔及び光フィルタ13の貼付位置を調整する。また、第1支持ユニット21のZ軸回り回転ステージ24c、Y軸回り回転ステージ25b及びX軸回り回転ステージ25cにより第1導波路部材11と保持用チップ40との相対角度を調整することで、第1導波路部材11と光フィルタ13との相対角度を調整する。このように、光モジュール製造装置20は第1導波路部材11と光フィルタ13との相対位置及び相対角度を調整することができるので、光フィルタ13を第1導波路部材11に精度よく接合することが可能になる。
次に、第1支持ユニット21により、保持用チップ40に密着保持された光フィルタ13に第1導波路部材11を押し付けながら、光フィルタ13の主面13aに塗布された紫外線硬化型接着剤50に紫外線を照射して、紫外線硬化型接着剤50を硬化させる。これにより、図5(c)に示すように、紫外線硬化型接着剤50が硬化して接着層14が形成されるとともに第1導波路部材11と光フィルタ13とが接合される。なお、第1導波路部材11に光フィルタ13を貼り付ける際には、第1支持ユニット21のZ軸方向移動ステージ24aを制御することで、第1導波路部材11と光フィルタ13との間に介在する紫外線硬化型接着剤50の厚み、すなわち接着層14の厚みを調整することが可能である。
この間、光フィルタ13は、保持用チップ40の保持面40aに平らな状態で密着保持され続けているので、光フィルタ13の反りが解消された状態を維持しつつ第1導波路部材11と光フィルタ13とを接合することができる。また、光フィルタ13の反りは解消されているので、光フィルタ13と第1導波路部材11とを接合する際に過度に押し付ける必要がない。そのため、過度の押し付けにより光フィルタ13にうねりが生ずることもない。更に、光フィルタ13と保持面40aとの間には接着剤が介在されていないため、接着層のうねりに倣って光フィルタ13にうねりが生ずることもない。
続いて、図5(d)に示すように、第1支持ユニット21の支持台25dを保持ユニット22からZ軸方向に沿って離すように移動させ、保持用チップ40と光フィルタ13とを引き離す(工程S6)。このとき、保持用チップ40と光フィルタ13との間には、何らの接着剤や保持部材も介在させておらず、光フィルタ13が保持用チップ40に直接密着しているだけであるので、容易に保持用チップ40から光フィルタ13をはがすことができる。その後、保持ユニット22に取り付けられていた保持用チップ40を取り外す。
続いて、光フィルタ13の主面13bに紫外線硬化型接着剤50を塗布する(工程S7)。この際には、紫外線硬化型接着剤50が光フィルタ13の主面13bから溢れない程度に塗布量を計算した上で実施することが好ましい。
続いて、第2導波路部材12と光フィルタ13とを接合する(工程S8)。具体的には、まず、第1導波路部材11の端面11aと第2導波路部材12の端面12aとを対向させるように突き合せつつ、第1導波路部材11と第2導波路部材12とを調芯する。すなわち、第1導波路部材11の第1光導波路16から出射した光が光フィルタ13を透過して第2導波路部材12の光導波路18に入射するように、第1導波路部材11と第2導波路部材12との相対位置を調整し、光の透過に最適となる第1導波路部材11と第2導波路部材12との位置を確認する。
この際には、第1支持ユニット21又は第2支持ユニット23の各移動ステージにより第2導波路部材12と光フィルタ13との距離を調整することで、第2導波路部材12と光フィルタ13との間隔及び光フィルタ13の貼付位置を調整する。また、第1支持ユニット21又は第2支持ユニット23の各回転ステージにより第2導波路部材12と光フィルタ13との相対角度を調整することで、第2導波路部材12と光フィルタ13との相対角度を調整する。したがって、光フィルタ13を第2導波路部材12に精度よく接合することが可能になる。
第1導波路部材11と第2導波路部材12とを調芯した後、第2支持ユニット23により第2導波路部材12を光フィルタ13に押し付けながら、主面13bに塗布された紫外線硬化型接着剤50に紫外線を照射して、紫外線硬化型接着剤50を硬化させる。これにより、図5(e)に示すように、主面13bに塗布された紫外線硬化型接着剤50が硬化され接着層15が形成される。そして、第2導波路部材12と光フィルタ13とが接合される。なお、第2導波路部材12と光フィルタ13とを貼り付ける際には、第1支持ユニット21のZ軸方向移動ステージ24a又は第2支持ユニット23のZ軸方向移動ステージ29aを制御することで、第2導波路部材12と光フィルタ13との間に介在する紫外線硬化型接着剤50の厚み、すなわち接着層15の厚みを調整することが可能である。
以上により、導波路型光モジュール10が完成する。光フィルタ13は、0.1μm以下の平坦度を維持したまま第1導波路部材11に接合されているので、光フィルタ13と第2導波路部材12とが接合された際の光フィルタ13の平坦度も0.1μm以下である。したがって、光フィルタ13で反射する光又は光フィルタ13を透過する光の損失を防止し、導波路型光モジュール10の光学特性を向上させることができる。また、光フィルタ13を平坦に維持するための部材を導波路型光モジュール10に設ける必要が無く、導波路型光モジュール10の小型化を妨げない。
以上、本発明をその実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で以下のような様々な変形が可能である。
上記実施形態では、単チャンネルの導波路型光モジュールの製造方法について説明したが、本発明は、上記の光導波路16〜18を複数ずつ有する多チャンネルの導波路型光モジュールに適用してもよい。
また、本発明は、導波路型光モジュールに限られず、コリメータ型光モジュールにも適用可能である。コリメータ型光モジュールの一例を図6に示す。図6において、コリメータ型光モジュール60は導波路部材61を有し、導波路部材61は、2本の光ファイバ64を保持した円筒状ガラス62と、この円筒状ガラス62に固定されたロッドレンズ63とを有している。ロッドレンズ63の端面には、上記の光フィルタ13が接合され、一方の光ファイバ64から入射した光はロッドレンズ63中を伝播し、光フィルタ13で反射した後、他方の光ファイバ64に入射する。このようなコリメータ型光モジュールの場合は、上述の第2導波路部材12に対応する部材がないので、用意した導波路部材61を第1支持ユニット21の支持台25dに載置した上で、上述の工程S1から工程S6の工程を経ることで、上記のコリメータ型光モジュールを製造することができる。
上記実施形態では、第1導波路部材11又は第2導波路部材12と光フィルタ13とを接合する際に、光フィルタ13の主面13a又は主面13bに紫外線硬化型接着剤50を塗布した。しかし、接着剤の介在方法はこれに限定されず、導波路部材11、12の端面に接着剤を塗布した上で導波路部材11、12と光フィルタ13とを接合してもよい。
また、上記実施形態では、導波路部材11、12の端面に光フィルタ13を接着固定するものとしたが、導波路部材の端面に固定される平面状光学部品としては、反射ミラーなどであってもよい。
10…導波路型光モジュール、11…第1導波路部材(導波路部材)、11a、12…第2導波路部材、12a…端面、13…光フィルタ(平面状光学部品)、13a…主面(他方の主面)、13b…主面(一方の主面)、20…光モジュール製造装置、24a、29a…Z軸方向移動ステージ(距離調整手段)、24b、29b…X軸方向移動ステージ(距離調整手段)、24c、29c…Z軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)、25a、30a…Y軸方向移動ステージ(距離調整手段)、25b、30b…Y軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)、25c、30c…X軸回り回転ステージ(相対角度調整手段)、25d、30d…支持台(支持部)、40…保持用チップ(保持部材)、40a…保持面、50…紫外線硬化型接着剤(接着剤)
Claims (4)
- 光導波路を有する導波路部材と、前記導波路部材の端面に固定され、前記光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、
前記平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を有し前記平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面全面を前記保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、
前記導波路部材の端面と前記平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、前記導波路部材と前記平面状光学部品とを接合する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面から前記保持部材を引き離す工程とを含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。 - 第1光導波路を有する第1導波路部材と、第2光導波路を有する第2導波路部材と、前記第1導波路部材の端面と前記第2導波路部材の端面とに挟まれるように固定され、前記第1導波路又は前記第2導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、
前記平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を有し前記平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面全面を前記保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、
前記第1導波路部材の端面と前記平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、前記第1導波路部材と前記平面状光学部品とを接合する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面から前記保持部材を引き離す工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面と前記第2導波路部材の端面とを接合する工程とを含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。 - 前記平面状光学部品を誘電体多層膜フィルタとすることを特徴とする請求項1又は2に記載の光モジュールの製造方法。
- 光導波路を有する導波路部材と、前記導波路部材の端面に固定され、前記光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造装置であって、
前記導波路部材を支持する支持部と、
前記平面状光学部品を保持する保持部材と、
前記導波路部材と前記保持部材との距離を調整する距離調整手段と、
前記導波路部材と前記保持部材との相対角度を調整する相対角度調整手段とを備え、
前記保持部材は、前記平面状光学部品の対向する2つの主面と同等以上の面積を持った平面状の保持面を有し、
前記平面状の保持面は、前記平面状光学部品の主面全面を直接的に密着保持可能であることを特徴とする光モジュールの製造装置。
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JP2006220518A JP2008046271A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置 |
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JP2018040819A (ja) * | 2015-03-24 | 2018-03-15 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光装置の製造方法 |
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2006
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