JP6435004B2 - 接合部材製造装置及び接合部材の製造方法 - Google Patents
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Description
10 下部電極
10c クランパ
11 基準部
12 押さえ部
20 上部電極
28 門柱
30 移動装置
41 ステムカメラ
46 温度センサ
60 制御装置
D デバイス
C キャップ
S ステム
Sp 基準位置
H 基準平面
V 垂直方向
Claims (7)
- 第1の接合対象部材と第2の接合対象部材とが接合した接合部材を製造する装置であって;
前記第1の接合対象部材を保持する第1の保持具と;
前記第2の接合対象部材を保持する第2の保持具と;
前記第1の保持具を、前記第2の保持具に対して、基準平面内で相対的に移動させると共に、前記基準平面に垂直な方向である垂直方向に相対的に往復移動させる移動装置と;
前記第1の接合対象部材の前記第1の保持具に保持される部分を前記基準平面に投影したときの輪郭を、前記基準平面に投影して見たときに前記第1の保持具から離れた位置で把握する輪郭把握部と;
前記移動装置を制御する制御装置とを備え;
前記第1の保持具は、前記第1の接合対象部材の前記輪郭の一部を基準位置として、前記第1の接合対象部材を保持するように構成され;
前記制御装置は、前記輪郭把握部が把握した前記輪郭に応じて、前記第1の保持具に保持された前記第1の接合対象部材と、前記第2の保持具に保持された前記第2の接合対象部材とが、前記第1の保持具の前記第2の保持具に対する相対的な前記垂直方向の移動によって適切に接合される位置に、前記第1の保持具を前記基準平面内で前記第2の保持具に対して相対的に移動させるように構成された;
接合部材製造装置。 - 前記接合部材における、前記第2の接合対象部材を前記基準平面に投影したときの外縁と、前記輪郭とを把握する接合部材状態把握部を備え;
前記制御装置は、前記接合部材状態把握部が把握した前記外縁と前記輪郭との位置関係に応じて、次に前記接合部材が製造される際の前記基準平面内における前記第1の保持具の前記第2の保持具に対する相対的な移動を調節するように構成された;
請求項1に記載の接合部材製造装置。 - 前記第1の保持具は、前記第1の接合対象部材を把持する把持機構を有し;
前記把持機構は、前記基準位置に接触する基準部と、前記基準部と協働して前記第1の接合対象部材を挟む押さえ部とを含み、前記基準部と前記押さえ部とは、相対的に相互に接近し及び離れる往復移動をするように構成された;
請求項1又は請求項2に記載の接合部材製造装置。 - 前記第1の保持具に保持された前記第1の接合対象部材の位置を決定する構造及び前記第2の保持具に保持された前記第2の接合対象部材の位置を決定する構造の少なくとも一方の温度の変化を検出する温度変化検出部を備え;
前記制御装置は、前記温度変化検出部が検出した温度の変化に応じて、前記基準平面内における前記第1の保持具の前記第2の保持具に対する相対的な移動を調節するように構成された;
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の接合部材製造装置。 - 第1の接合対象部材と第2の接合対象部材とが接合した接合部材を製造する装置であって;
前記第1の接合対象部材を保持する第1の保持具と;
前記第2の接合対象部材を保持する第2の保持具と;
前記第1の保持具を、前記第2の保持具に対して、基準平面内で相対的に移動させると共に、前記基準平面に垂直な方向である垂直方向に相対的に往復移動させる移動装置と;
前記第1の保持具に保持された前記第1の接合対象部材の位置を決定する構造及び前記第2の保持具に保持された前記第2の接合対象部材の位置を決定する構造の少なくとも一方の温度の変化を検出する温度変化検出部と;
前記移動装置を制御する制御装置とを備え;
前記制御装置は、基準温度のときに前記第1の保持具に保持された前記第1の接合対象部材と前記第2の保持具に保持された前記第2の接合対象部材との接合が行われる標準位置に対して、前記温度変化検出部で検出する温度の変化に対する前記構造のずれ分があらかじめ記憶されていると共に、前記温度変化検出部で検出した温度の変化を、あらかじめ記憶されている前記標準位置と前記構造のずれ分との関係に照らして、前記基準平面内における前記第1の保持具の前記第2の保持具に対する相対的な移動を調整するように構成された;
接合部材製造装置。 - 第1の接合対象部材と第2の接合対象部材とが接合した接合部材を製造する方法であって;
前記第1の接合対象部材を基準平面に投影したときの輪郭を把握する輪郭把握工程と;
前記第1の接合対象部材を、前記基準平面に投影して見たときに前記第2の接合対象部材との接合が行われる接合位置に移動する第1の接合対象部材移動工程と;
前記第2の接合対象部材を、前記基準平面に垂直な方向である垂直方向に前記第1の接合対象部材に対して離れ、前記基準平面に投影して見たときに前記接合位置に移動する第2の接合対象部材移動工程と;
前記垂直方向に離れていて前記基準平面に投影して見たときに前記接合位置にある前記第1の接合対象部材及び前記第2の接合対象部材を、前記垂直方向に近づけて接合して前記接合部材を製造する接合工程とを備え;
前記輪郭把握工程は、前記基準平面に投影して見たときに前記接合位置から離れた位置で前記輪郭の把握が行われるように構成され;
前記第1の接合対象部材移動工程は、前記輪郭把握工程で把握した前記輪郭に応じて、前記第1の接合対象部材の前記第2の接合対象部材に対する相対的な移動を調節するように構成された;
接合部材の製造方法。 - 第1の接合対象部材と第2の接合対象部材とが接合した接合部材を製造する方法であって;
前記第1の接合対象部材の位置を決定する構造及び前記第2の接合対象部材の位置を決定する構造の少なくとも一方の温度を検出する温度検出工程と;
前記第1の接合対象部材を、基準平面に投影して見たときに前記第2の接合対象部材との接合が行われる接合位置に移動する第1の接合対象部材移動工程と;
前記第2の接合対象部材を、前記基準平面に垂直な方向である垂直方向に前記第1の接合対象部材に対して離れ、前記基準平面に投影して見たときに前記接合位置に移動する第2の接合対象部材移動工程と;
前記垂直方向に離れていて前記基準平面に投影して見たときに前記接合位置にある前記第1の接合対象部材及び前記第2の接合対象部材を、前記垂直方向に近づけて接合して前記接合部材を製造する接合工程とを備え;
前記第1の接合対象部材移動工程は、基準温度のときに前記第1の接合対象部材と前記第2の接合対象部材との接合が行われる標準位置に対して、前記温度検出工程で検出する温度の変化に対する前記構造のずれ分があらかじめ把握されていると共に、前記温度検出工程で検出した温度の変化を、あらかじめ把握されている前記標準位置と前記構造のずれ分との関係に照らして、前記第1の接合対象部材の前記第2の接合対象部材に対する相対的な移動を調節するように構成された;
接合部材の製造方法。
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