CN106423755A - 涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法 - Google Patents

涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法 Download PDF

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Abstract

一种涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法。该涂布设备包括供给装置、涂布装置以及回收装置。所述供给装置包括进液口、出液口、连接所述进液口的涂布液供给单元和连接所述出液口的供给泵。所述涂布装置包括具有接收口、涂布口和排气口的涂布头，所述接收口与所述供给装置的出液口连接。所述回收装置包括至少一个回收入口和回收液出口，所述至少一个回收入口包括的供给过程回收入口与所述涂布头的排气口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。本发明实施例可以减少涂布液的浪费。

Description

涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法
技术领域
本发明实施例涉及一种涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法。
背景技术
在显示面板的生产过程中，采用涂布设备涂布形成显示面板中的一些薄膜(如光刻胶膜层、栅绝缘层、钝化层、平坦层等)是常见的薄膜制备方法。
以利用狭缝式涂布设备为例，涂布设备的基本使用过程包括：对涂布设备进行清洁，然后向涂布设备的涂布头供给涂布液，之后利用该涂布设备的涂布头制备薄膜。在制备薄膜的过程中，使涂布设备的涂布头以设定的速度沿待涂布基板表面从基板的一侧边缘移动到相对的另一侧边缘，同时涂布头的涂布口处以设定的速度吐出薄膜材料，随着涂布头的移动，薄膜材料涂布到基板的表面形成相应的薄膜。
发明内容
本发明实施例提供一种涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法，本发明实施例可以减少涂布液的浪费。
本发明的至少一个实施例提供一种涂布设备，其包括供给装置、涂布装置以及回收装置。所述供给装置包括进液口、出液口、以及相互连接的涂布液供给单元和供给泵，所述涂布液供给单元连接所述进液口，所述供给泵连接所述出液口。所述涂布装置包括涂布头，所述涂布头包括接收口、涂布口和排气口，所述涂布头的接收口与所述供给装置的出液口连接。所述回收装置包括至少一个回收入口和回收液出口，所述至少一个回收入口包括供给过程回收入口，所述供给过程回收入口与所述涂布头的排气口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。
本发明的至少一个实施例还提供一种利用以上所述的涂布设备回收涂布液的方法，该方法包括：利用所述回收装置回收从所述涂布头的排气口流出的涂布液；以及将所述回收装置回收的涂布液提供至所述供给装置。
本发明的至少一个实施例还提供一种根据以上所述的涂布设备的清洁方法，该方法包括：利用所述回收装置回收从所述供给装置和所述涂布装置中的至少一个流出的涂布液；然后，向所述供给装置和所述涂布装置中的所述至少一个通入液体清洁剂。
本发明的至少一个实施例还提供一种涂布设备，其包括供给装置、涂布装置和回收装置。所述供给装置包括进液口、出液口、以及依次连接的涂布液供给单元、过滤器和供给泵，所述涂布液供给单元连接所述进液口；所述供给泵连接所述出液口；所述过滤器包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述输入口与所述涂布液供给单元连接，所述第一输出口与所述供给泵连接。所述涂布装置包括涂布头，所述涂布头包括接收口、涂布口和排气口，所述涂布头的接收口与所述供给装置的出液口连接。所述回收装置包括供给过程回收入口和回收液出口，所述供给过程回收入口与所述过滤器的第二输出口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。
本发明实施例通过对涂布液进行回收并且将回收的涂布液重新提供至涂布液供给装置以用于后续涂布操作，可以有效减少涂布液的浪费。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
图1为本发明实施例提供的涂布设备的结构示意图一；
图2为本发明实施例提供的涂布设备的结构示意图二；
图3为本发明实施例提供的涂布设备的结构示意图三；
图4a为本发明实施例提供的涂布设备中供给位置清洁装置的结构示意图；
图4b为本发明实施例提供的涂布设备中涂布位置清洁装置的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的涂布设备的回收路径和清洁路径的示意图；
图6为本发明实施例提供的另一种涂布设备的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
本申请的发明人注意到，为保证涂布品质，在向涂布设备的涂布头供给涂布液(例如光刻胶或其它的薄膜材料)的过程中，需要对进入涂布头的涂布液进行排泡处理；然而，在排泡过程中，在涂布头的排气口处，大量的涂布液随着气泡的排出而流出，造成涂布液的浪费。
本发明实施例提供一种涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法，该涂布设备对涂布液进行回收并将回收的涂布液重新提供至涂布液供给装置以用于后续的涂布操作，从而可以减少涂布液的浪费。
本发明实施例可以用于诸如显示基板(例如阵列基板或彩膜基板等)等任意需要进行薄膜涂覆的基板。
以下将结合附图对本发明实施例进行详细说明，以下实施例仅为示例，并不引以为限。需要说明的是，附图中的粗实线表示管道，和表示阀门。
本发明的至少一个实施例提供一种涂布设备，如图1所示，该涂布设备包括供给装置10、涂布装置20和回收装置30。供给装置10用于向涂布装置20供给涂布液(即用于在基板上涂布薄膜的液体)，其包括进液口10a、出液口10b、以及相互连接的涂布液供给单元11和供给泵12，涂布液供给单元11用于盛放涂布液且连接进液口10a，供给泵12(例如注射泵)连接出液口10b以将来自涂布液供给单元11的涂布液提供至涂布装置20。涂布装置20用于对基板进行涂布以制备需要的薄膜，其包括涂布头21，涂布头21包括与供给装置10的出液口10b连接以接收涂布液的接收口21a、用于向基板排出涂布液的涂布口21b和以及用于将气泡排出的排气口21c；例如，接收口21a位于涂布头21的顶面、涂布口21b位于涂布头21的底端、排气口21c位于涂布头21的侧面；例如，涂布头21可以包括多个排气口21c以提高排泡效果。回收装置30包括至少一个回收入口30a(图1以一个回收入口为例)和回收液出口30b，该至少一个回收入口30a包括供给过程回收入口3a，供给过程回收入口3a与涂布头21的排气口21c连接以接收从该排气口21c流出的涂布液，回收液出口30b与供给装置10的进液口10a连接以向供给装置10提供回收的涂布液，从而重新利用该回收的涂布液进行后续的涂布操作。
在涂布头中的涂布液的排泡过程中，通过对随着气泡从涂布头21的排气口21c排出的涂布液进行回收后再利用，可以有效减少涂布液的浪费；在涂布设备的清洁过程中，也可以对来自涂布头21的排气口21c的涂布液进行回收，以进一步减少涂布液的浪费；另一方面，从涂布头21的排气口21c沿回收装置30到供给装置10的进液口10a的管道之间可以密封连接，以避免回收的涂布液与空气接触，从而可以保证涂布液的清洁度。
例如，如图1所示，供给装置10的涂布液供给单元11可以包括依次连接的第一供给容器111、集气容器113和第二供给容器112。第一供给容器111用于盛放涂布液，例如，可以利用干净干燥的气体(clear dry air，以下简称为CDA)加压，使第一供给容器111中的涂布液进入集气容器113中。例如，集气容器113包括位于其下端的进液口a和出液口c、以及位于其上端的排气口b；第一供给容器111中的涂布液从进液口a进入集气容器113后，涂布液中的气体逐渐聚集到集气容器113的上方并从排气口b排出。第二供给容器112包括第一输入口112a、第二输入口112b和输出口112c，第一输入口112a连接集气容器113以接收从集气容器113的出液口c流出的涂布液，第二输入口112b连接供给装置10的进液口10a以接收回收装置30回收的涂布液，输出口112c连接供给泵12。例如，可以对第二供给容器112进行CDA加压，以向供给泵12提供涂布液。
在本发明实施例中，通过采用CDA加压的方式，可以使第一、二供给容器中的涂布液连续稳定地流出。例如，第二供给容器112起到缓冲作用以使从第一供给容器111和第二供给容器112流出的涂布液具有不同的流速，例如，从第二供给容器112的输出口112c流出的涂布液的速度可以大于从第一供给容器111流出的涂布液的速度。
例如，涂布液供给单元11可以包括多个第一供给容器111(例如两个第一供给容器)和与该多个第一供给容器111分别对应连接的集气容器113。通过设置多个第一供给容器111，可以避免因涂布液供给不足造成的生产中断。
例如，如图1所示，涂布装置20还可以包括排泡容器22，其与涂布头21的排气口21c和回收装置30的供给过程回收入口3a连接，用于盛放从排气口21c随气泡流出的涂布液。例如，在涂布头21包括多个排气口21c的情况下，涂布装置20可以包括分别与这些排气口21c连接的多个排泡容器22。
例如，如图1所示，回收装置30可以包括相互连接的第一回收泵341和第一回收容器31。第一回收泵341与回收装置30的供给过程回收入口3a连接，用于将来自涂布头21的排气口21c的涂布液吸入第一回收容器31中。第一回收容器31设置于供给过程回收入口30a与回收液出口30b之间，用于盛放来自涂布头21的排气口21c的涂布液。例如，对于第一回收容器31中的涂布液，可以采用CDA对第一回收容器31进行加压，使其连续稳定地进入供给装置10中。
例如，如图1所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括废料装置70，该废料装置70与回收装置30的回收液出口30b连接。在不需对回收装置30回收的涂布液进行重新利用的情况下，可以将回收装置30中的材料排放至废料装置70。
例如，废料装置70还可以连接集气容器113的排气口b，以用于集气容器113中聚集的气体的排放。
例如，废料装置70可以包括废料容器71和分别连接该废料容器71的入口和出口的废料泵72，废料容器71的入口处的废料泵72用于将其连接的装置(例如回收装置30)中的材料吸入废料容器71中，废料容器71的出口处的废料泵72用于将废料容器71中的废料吸出后进行排放。废料装置70排放的废料可以根据生产需要进行处理。
例如，如图1所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括供给管道转换件42(例如三通阀)，该供给管道转换件42与供给装置10、回收装置30和废料装置70连接，并且该供给管道转换件42被配置为在第一状态下使回收装置30的回收液出口30b与供给装置10的进液口10a彼此连通以使回收装置30回收的涂布液进入供给装置10中被重新利用，并且在第二状态下使回收装置30的回收液出口30b与废料装置70彼此连通以使回收装置30中的材料被排放至废料装置70。
例如，如图2所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括供给液位传感器14、回收液位传感器35以及供给控制装置62。供给液位传感器14被配置为检测涂布液供给单元11的第二供给容器112中的涂布液的液面位置；回收液位传感器35被配置为检测回收装置30回收的涂布液(例如第一回收容器31中的涂布液)的液面位置；供给控制装置62被配置为根据供给液位传感器14和回收液位传感器35的检测结果控制回收装置30的回收液出口30b与供给装置10的进液口10a之间的连通状态。
在本发明实施例中，通过供给液位传感器14和回收液位传感器35可以分别获知第二供给容器112和回收装置30中是否有足够的涂布液，在第二供给容器112需要补给涂布液且回收装置30中有足够的涂布液的情况下，供给控制装置62控制供给管道转换件42将回收装置30的回收液出口30b与供给装置10的进液口10a连通，从而回收装置30回收的涂布液被提供至第二供给容器112。在本发明实施例中，在第二供给容器112需要补给的情况下，优先使用回收装置30回收的涂布液，在回收装置30回收的涂布液不足的情况下才使用涂布液供给单元11的第一供给容器111中的涂布液，有利于避免回收装置30回收的涂布液因滞留时间过长而变质。
例如，如图2所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括设置于供给过程回收入口3a处的第一电子阀门331、设置于回收液出口30b处的第二电子阀门332以及与第一、二电子阀门连接的滞留控制装置61，滞留控制装置61被配置为根据第一电子阀门331和第二电子阀门332的工作时长控制回收装置30的回收液出口30b与废料装置70之间的连通状态。
在本发明实施例中，通过监控第一、二电子阀门的工作时长，可以得出回收装置30回收的涂布液滞留的时间。如果涂布液滞留的时间超过预设时长(根据需要进行设置)，则认为涂布液变质而不能被重新利用，在这种情况下，通过将回收装置30的回收液出口30b与废料装置70连通，可以将回收装置30回收的涂布液排出至废料装置70中；如果涂布液滞留的时间不超过预设时长，则在涂布液供给单元11的第二供给容器112需要补给涂布液时将回收液出口30b与供给装置10的进液口10a连通，以重新利用回收装置30回收的涂布液。
例如，供给控制装置62和滞留控制装置61的具体结构都可以对应于处理器，例如，该处理器可以为中央处理器(CPU，Central Processing Unit)、微处理器(MCU，MicroController Unit)、数字信号处理器(DSP，Digital Signal Processing)或可编程逻辑器件(PLC，Programmable Logic Controller)等具有处理功能的电子元器件或电子元器件的集合。
例如，如图3所示，在本发明的至少一个实施例提供的涂布设备中，供给装置10还可以包括用于对来自涂布液供给单元11的涂布液进行过滤的过滤器13，其包括输入口13c、第一输出口13a和第二输出口13b，输入口13c与涂布液供给单元11连接且用于使来自涂布液供给单元11的涂布液进入过滤器13，第一输出口13a与供给泵12连接且用于使过滤后的涂布液进入供给泵12，第二输出口13b与回收装置30连接，从而涂布液中的颗粒物或纤维等杂质被分离出来后从第二输出口13b进入回收装置30。在本发明实施例中，通过对来自过滤器13的第二输出口13b的涂布液进行回收，可以进一步减少涂布液的浪费。
例如，从过滤器13的第二输出口13b经回收装置30到供给装置10的进液口10a的管道之间可以密封连接，以避免回收的涂布液与空气接触，从而保证涂布液的清洁度。
例如，如图2所示，过滤器13的第二输出口13b与涂布头21的排气口21c可以分别与不同的供给过程回收入口30a和不同的回收泵连接。例如，涂布头21的排气口21c连接供给过程回收入口3a后连接第一回收泵341，过滤器13的第二输出口13b连接供给过程回收入口3b后连接第二回收泵342(用于将来自第二输出口13b的涂布液吸入回收装置30中)。这样可以在不同的阶段分别对来自涂布头21和过滤器13的涂布液进行回收，以简化管道设计。
例如，在过滤器13的第二输出口13b与涂布头21的排气口21c分别与不同的供给过程回收入口30a连接的情况下，每个供给过程回收入口30a处都可以设置第一电子阀门331，如图3所示。
例如，来自过滤器13和涂布头21的涂布液可以被回收到同一回收容器31中，如图2所示，从而第一回收容器31用于盛放来自涂布头21的排气口21c和来自过滤器13的第二输出口13b的涂布液；或者，来自过滤器13和涂布头21的涂布液也可以分别被回收到不同的回收容器中，以便于管道设计并且保证各回收容器中的涂布液的来源一致。
例如，如图3所示，供给装置10还可以包括与脱气装置15，其入口与过滤器13的第一输出口13a连接并且其出口与供给泵12连接。脱气装置15用于使从过滤器13流入供给泵12的涂布液中的气泡排出。
例如，如图3所示，在本发明的至少一个实施例中，回收装置30的至少一个回收入口30a还可以包括清洁过程回收入口3c，该清洁过程回收入口3c与供给装置10的出液口10b连接。在本发明实施例中，在对涂布头中的涂布液进行排泡处理之前，还可以对涂布设备进行清洁处理，通过设置清洁过程回收入口3c，可以在清洁过程中对来自供给装置10的出液口10b的涂布液进行回收，以进一步减少涂布液的浪费。
例如，如图3所示，回收装置30可以包括第一回收容器31和第二回收容器32，第一回收容器31设置于供给过程回收入口30a与回收液出口30b之间，第二回收容器32不同于第一回收容器31并且与清洁过程回收入口3c连接以用于回收涂布设备的清洁过程中的涂布液。由于清洁过程和向涂布头供给涂布液的过程不是同时进行的，通过将清洁过程中的涂布液和向涂布头供给涂布液的过程中的涂布液分别回收到不同的容器中，有利于使各容器中回收的涂布液的来源一致并且保证各容器中回收的涂布液的质量。
例如，第一回收容器31和第二回收容器32都可以采用耐腐蚀的容器，以避免容器被涂布液腐蚀。
例如，如图3所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括与供给装置10的出液口10b连接的清洁管道转换件41(例如三通阀或者管道转换接头)，该清洁管道转换件41被配置为在第一状态下使供给装置10的出液口10b与涂布头21的接收口21a彼此连通以使来自供给装置10的涂布液进入涂布头21中，并且在第二状态下使第二回收容器32与供给装置10的出液口10b彼此连通以在涂布设备的清洁过程中对来自供给装置的出液口10b的涂布液进行回收。需要说明的是，清洁管道转换件41具有第一状态和第二状态是指其具有两种不同的使用方式，其第一、二状态不同于供给管道转换件42的第一、二状态。
例如，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括供给位置清洁装置和涂布位置清洁装置。供给位置清洁装置用于从供给装置处向涂布设备通入清洁剂(用于清洁的物质，例如气体或液体)，其例如与供给装置的集气容器连接；涂布位置清洁装置用于从涂布装置的排泡容器处向涂布设备通入清洁剂。例如，供给位置清洁装置和涂布位置清洁装置都可以包括用于通入清洁剂的清洁剂供给管道以及设置于该清洁剂供给管道处的阀门。下面结合图4a和图4b分别对供给位置清洁装置和涂布位置清洁装置进行说明。
例如，如图4a所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备可以包括供给位置清洁装置52，其被配置为向集气容器113提供清洁剂以至少对从集气容器113到供给装置的出液口之间的管道进行清洁。例如，供给位置清洁装置52可以包括管道J1和J2以及位于二者之间的阀门。在需要对涂布设备进行清洁时，断开第一供给容器111与集气容器113的进液口a之间的连接，将管道J2可以与该进液口a连接，并且向管道J1中通入清洁剂，该清洁剂从集气容器113的出液口c流出后进入第二供给容器(图4a中未示出)中。
图4a以供给装置包括两个第一供给容器111以及两个集气容器113为例进行说明，相应地，供给位置清洁装置52包括两个管道J1和两个管道J2；当然，第一供给容器111和集气容器113的数量也可以都为一个。
例如，供给位置清洁装置52也可以与集气容器113的上端的进气口d连接，以向进气口d通入清洁剂。
例如，如图4b所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备可以包括涂布位置清洁装置51，涂布位置清洁装置51被配置为向涂布装置包括的排泡容器22提供清洁剂，例如，涂布位置清洁装置51还被配置为向涂布装置包括的涂布头21提供清洁剂。
图4b以涂布头21以两个排泡容器22连接为例。
例如，对于第一排泡容器22a，涂布位置清洁装置51可以包括相互连接的管道K1和K2以及位于二者之间的电子阀门512，管道K2与第一排泡容器22a连接，在电子阀门512使管道K1和K2连通的情况下，向管道K1通入清洁剂，该清洁剂沿着管道K2进入第一排泡容器22a之后从第一排泡容器22a下端的出口排出，以实现对第一排泡容器22a的清洁。
例如，对于第二排泡容器22b和涂布头21，涂布位置清洁装置51可以包括管道K3、以及与管道K3连接的管道M1和L1，例如管道K3、M1和L1可以都与三通阀511连接，管道M1与涂布头21连接，管道L1与第二排泡容器22b连接。在三通阀511将K3与M1连通的情况下，进入管道K3的清洁剂从涂布头21的涂布口21b流出，以用于对涂布头21进行清洗；在三通阀511将K3与L1连通的情况下，进入管道K3的清洁剂从与第二排泡容器22b下端的出口流出，以用于清洗第二排泡容器22b。
需要说明的是，管道M1、L1和K3之间也可以不采用三通阀，而是将管道M1和L1分别与不同的管道K3连接；另外，在本发明的至少一个实施例中，涂布装置也可以只包括第一排泡容器22a或第二排泡容器22b。
例如，如图4b所示，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括防混胶控制装置63，其被配置为根据排泡容器22的清洁剂供给管道处的电子阀门(参见电子阀门512和三通阀511)的开闭状态控制回收装置的回收液出口与供给装置的进液口之间的连通状态。在本发明实施例中，在排泡容器22被通入液体清洁剂的情况下，通过监控排泡容器22的清洁剂供给管道中的电子阀门的状态，防混胶控制装置63控制回收装置的回收液出口与供给装置的进液口之间不连通，从而可以防止该液体清洁剂进入供给装置中而造成混胶现象。
例如，防混胶控制装置63的具体结构可对应于处理器，例如，该处理器可以为中央处理器、微处理器、数字信号处理器或可编程逻辑器件等具有处理功能的电子元器件或电子元器件的集合。
下面结合图5，对本发明实施例提供的涂布设备的使用过程进行详细说明。例如，涂布设备的使用过程包括以下步骤S51至S53。
步骤S51：对涂布设备进行整体清洁。例如，步骤S51可以包括依次进行的排出涂布液过程S511、液体清洁过程S512和气体清洁过程S513。下面进行详细说明。
S511：排出涂布液过程，即将涂布设备中的涂布液整体上排出的过程。例如，该过程S511包括以下步骤S511a-S511e。
步骤S511a：通过清洁管道转换件41将供给装置10的出液口10b与回收装置30的清洁过程回收入口3c连通，即将管道B3与管道G1连通。
步骤S511b：沿管道A1-A2-A3-A4-B1-B2-B3-G1将从集气容器113到供给泵12的路径中的涂布液回收到回收装置30的第二回收容器32中。例如，在该步骤中，利用如图4a所示的供给位置清洁装置52向集气容器113中通入气体(例如CDA)以提供回收动力。
步骤S511c：沿管道C3-C4-C5-D1将排泡容器22中的涂布液回收到第一回收容器31中。例如，利用如图4b所示的涂布位置清洁装置51向排泡容器22通入气体(例如CDA)或者利用第一回收泵341提供回收动力。
步骤S511d：沿管道F1-F2-D1将过滤器13中的涂布液回收到第一回收容器31中。例如，在该步骤中，利用第二回收泵342提供回收动力。
步骤S511e：沿管道D2-E1-A4-B1-B2-B3-G1将第一回收容器31中的涂布液回收至第二回收容器32中。在该步骤中，供给管道转换件42将回收装置30的回收液出口30b与供给装置10的进液口10a连通。例如，在该步骤中，向第一回收容器31中通入气体(例如CDA)以提供回收动力。
需要说明的是，以上步骤S511b至步骤S511d的顺序可以根据需要进行调整。例如，步骤S511c和S511d的顺序可以互换，步骤S511b与S511c或S511d的顺序可以互换。
S512：液体清洁过程，即向涂布设备中通入液体以对涂布设备整体上进行清洁的过程。在该步骤中，通过清洁管道转换件41将供给装置10的出液口10b与涂布头21连通(即将管道B3与管道C1连通)，并且向供给装置10和涂布装置20的排泡容器22通入液体清洁剂。例如，利用如图4a所示的供给位置清洁装置52向供给装置10(例如集气容器113)通入液体清洁剂；例如，利用如图4b所示的涂布位置清洁装置51向涂布装置20的排泡容器22通入液体清洁剂。
在该步骤S512中，供给管道转换件42将回收装置30与废料装置70连通并且使回收装置30与供给装置10之间不连通，即将管道D2与H1连通并且将管道D2与E1断开，从而涂布设备中的废料最终进入废料装置70中，例如，从回收装置30的回收液出口30b沿管道D2-H1-H2-H3进入废料容器71中。
S513：气体清洁过程，即向涂布设备中通入气体以去除涂布设备中的液体清洁剂的过程。例如，在供给装置10的出液口10b与涂布头21彼此连通的情况下，向供给装置10(例如供给装置10中的集气容器113)和涂布装置20的排泡容器22通入气体(例如CDA)。在该步骤S513中，供给管道转换件42将回收装置30与废料装置70连通且使回收装置30与供给装置10不连通，从而涂布设备中的废料最终进入废料装置70中。
步骤S52：利用供给装置10向涂布头21中提供涂布液。在该步骤中，清洁管道转换件41将供给装置10与涂布头21连通，涂布头21的排气口21c处的阀门被打开以使气泡从排气口21c排出(即排泡过程)，同时，例如沿管道C2-C3-C4-C5-D1，利用回收装置30回收随气泡从排气口21c排出的涂布液，例如，利用第一回收泵341提供回收动力。
例如，在该步骤S52中，还可以沿管道F1-F2-D1将来自过滤器13的第二输出口13b的涂布液回收到第一回收容器31中。
步骤S53：涂布头21的涂布口21b向基板吐出涂布液以形成需要的薄膜。在该步骤中，涂布头21的排气口21c处的阀门关闭，使涂布头21中的涂布液无法从排气口21c处流出，回收装置30不进行回收操作。
例如，在步骤S53中，可以对多个基板进行涂布操作，例如对500个基板或其它数量的基板进行涂布操作。
步骤S53之后的步骤可以包括以下情形。
情形一：在利用涂布头21制备一定数量的薄膜之后，如果涂布头21或排泡容器22处发生污染，则可以对涂布头21或排泡容器22进行局部清洁。由于涂布头21和排泡容器22处的涂布液容易被污染，通过对该位置进行局部清洁，与对涂布设备进行整体清洁的方式相比，可以提高清洁效率。
在情形一中，例如，对涂布头21进行局部清洁包括：向涂布头21中通入液体清洁剂，之后向涂布头21中通入气体以去除该液体清洁剂。
在情形一中，例如，对排泡容器22进行局部清洁包括：将排泡容器22中的涂布液回收至第一回收容器31中，例如利用第一回收泵341提供回收动力；然后，向排泡容器22中通入液体清洁剂，该液体清洁剂在进入回收装置30后进入废料装置70中；之后，向排泡容器22中通入气体以去除液体清洁剂，在该过程中，来自排泡容器22的材料进入废料装置70中。
情形二：在利用涂布头21制备一定数量的薄膜之后，如果涂布头21中的涂布液不足，则利用供给装置10向涂布头21供给涂布液，之后继续利用涂布头21制备薄膜(参见步骤S53)。
情形三：在利用涂布头21制备一定数量的薄膜之后，如果需要更换涂布液，则对涂布设备进行整体清洁(参见步骤S51)，然后利用供给装置10将新的涂布液供给至涂布头21(参见步骤S52)，之后利用涂布头21制备薄膜(参见步骤S53)。
本发明的至少一个实施例还提供一种利用以上任一实施例提供的涂布设备回收涂布液的方法，以图1所示的涂布设备为例，该方法包括：利用回收装置30回收从涂布头21的排气口21c流出的涂布液；以及将回收装置30回收的涂布液供给至供给装置10。
本发明实施例提供的方法可以在涂布设备的清洁过程中和/或向涂布头供给涂布液的过程中对来自涂布头的排气口的涂布液进行回收，并且将回收的涂布液重新提供至涂布液供给装置以用于后续的涂布操作，可以减少涂布液的浪费。另一方面，由于从涂布头的排气口到供给装置的进液口之间可以形成密封管道，因而回收的涂布液不与空气接触，具有较高的洁净度。
例如，如图3所示，供给装置10还可以包括过滤器13，其包括输入口13c、第一输出口13a和第二输出口13b，输入口13c与涂布液供给单元11连接，第一输出口13a与供给泵12连接，第二输出口13b与回收装置30连接；在这种情况下，本发明的至少一个实施例提供的方法还可以包括：利用回收装置30回收从过滤器13的第二输出口13b流出的涂布液。在本发明实施例中，可以在涂布设备的清洁过程中和/或向涂布头供给涂布液的过程中对来自过滤器13的第二输出口13b的涂布液进行回收，以进一步减少涂布液的浪费。
例如，如图3所示，回收装置30的至少一个回收入口30a还可以包括清洁过程回收入口3c，清洁过程回收入口3c与供给装置10的出液口10b连接；在这种情况下，本发明的至少一个实施例提供的方法还可以包括：利用回收装置30的清洁过程回收入口3c回收来自供给装置10的出液口10b的涂布液。例如，在本发明的至少一个实施例提供的方法中，向供给装置10通入气体，并且利用回收装置30的清洁过程回收入口3c回收来自供给装置10的出液口10b的涂布液(例如参见上述步骤S511b)；之后向供给装置10通入液体清洁剂(例如参见上述步骤S512)。在本发明实施例中，通过对涂布设备的清洁过程中的涂布液进行回收，可以进一步减少涂布液的浪费。
本发明的至少一个实施例还提供一种以上任一项实施例提供的涂布设备的清洁方法，以图1所示的涂布设备为例，该清洁方法包括：利用回收装置30从供给装置10和涂布装置20中的至少一个回收涂布液；然后，向该供给装置10和涂布装置20的所述至少一个中相应地通入液体清洁剂。
本发明实施例提供的清洁方法通过在涂布设备的清洁过程中对涂布液进行回收，可以减少涂布液的浪费。另一方面，由于从供给装置和/或涂布装置20到回收装置30之间可以形成密封管道，因而回收的涂布液不与空气接触，具有较高的洁净度。
例如，在本发明的至少一个实施例提供的清洁方法中，在涂布装置20包括排泡容器22的情况下，利用回收装置30从涂布装置20回收涂布液包括：利用回收装置30回收来自排泡容器22的涂布液。(参见涂布设备的实施例中的步骤S511c、S52)。
例如，在本发明的至少一个实施例提供的清洁方法中，在涂布设备的供给装置10包括如图3所示的过滤器13的情况下，利用回收装置30从供给装置10回收涂布液包括：利用回收装置30回收来自过滤器13的第二输出口13b的涂布液(参见涂布设备的实施例中的步骤S511d)。
例如，在本发明的至少一个实施例提供的清洁方法中，在涂布设备的供给装置10的出液口10b连接回收装置30的清洁过程回收入口3c(如图3所示)的情况下，利用回收装置30从供给装置10回收涂布液包括：利用回收装置30的清洁过程回收入口回收来自供给装置10的出液口10b的涂布液(参见涂布设备的实施例中的步骤S511b和S511e)。
本发明实施例提供的清洁方法可参考上述涂布设备的实施例中的整体清洁方式(参见步骤S511至步骤S513)和局部清洁方式，重复之处不再赘述。
本发明的至少一个实施例还提供一种涂布设备，如图6所示，该涂布设备包括供给装置100、涂布装置200、回收装置300。供给装置100包括进液口100a、出液口100b、以及依次连接的涂布液供给单元110、过滤器130和供给泵120；涂布液供给单元110连接进液口100a；供给泵120连接出液口100b；过滤器130包括输入口130c、第一输出口130a和第二输出口130b，输入口130c与涂布液供给单元110连接，第一输出口130a与供给泵120连接。涂布装置200包括涂布头210，涂布头210包括接收口210a、涂布口210b和排气口210c，涂布头210的接收口210a与供给装置100的出液口100b连接。回收装置300包括供给过程回收入口300a和回收液出口300b，该供给过程回收入口300a与过滤器130的第二输出口130b连接，回收液出口300b与供给装置100的进液口100a连接。
本发明实施例提供的涂布设备可以对来自过滤器130的涂布液进行回收并将回收的涂布液重新提供至涂布液供给装置以用于后续的涂布操作，可以减少涂布液的浪费。另一方面，由于从过滤器130的第二输出口130b到回收装置300的供给过程回收入口300a之间可以形成密封管道，因而回收的涂布液不与空气接触，具有较高的洁净度。
例如，涂布液供给单元110可以包括依次连接的第一供给容器111、集气容器113和第二供给容器112。例如，涂布装置200可以包括与涂布头210的排气口210c连接的排泡容器22。例如，本发明的至少一个实施例提供的涂布设备还可以包括废料装置70，其例如包括两个废料泵72和位于二者之间的废料容器71。例如，回收装置300可以包括相互连接的回收泵34和回收容器39，回收泵34用于将来自过滤器130的第二输出口130b的涂布液吸入回收容器39中。
本发明实施例提供的涂布设备可以参照以上如图1所示的涂布设备的实施例中的相关描述，重复之处不再赘述。
有以下几点需要说明：(1)本发明实施例附图中，只涉及到与本发明实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；(2)在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。

Claims (15)

1.一种涂布设备，包括：
供给装置，其包括进液口、出液口、以及相互连接的涂布液供给单元和供给泵，其中，所述涂布液供给单元连接所述进液口，所述供给泵连接所述出液口；
涂布装置，其包括涂布头，其中，所述涂布头包括接收口、涂布口和排气口，所述涂布头的接收口与所述供给装置的出液口连接；以及
回收装置，其包括至少一个回收入口和回收液出口，其中，所述至少一个回收入口包括供给过程回收入口，所述供给过程回收入口与所述涂布头的排气口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。
2.根据权利要求1所述的涂布设备，其中，
所述供给装置还包括过滤器，其包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述输入口与所述涂布液供给单元连接，所述第一输出口与所述供给泵连接，所述第二输出口与所述回收装置连接。
3.根据权利要求1所述的涂布设备，其中，
所述回收装置的至少一个回收入口还包括清洁过程回收入口，所述清洁过程回收入口与所述供给装置的出液口连接。
4.根据权利要求3所述的涂布设备，其中，所述回收装置包括：
第一回收容器，其设置于所述供给过程回收入口与所述回收液出口之间；以及
第二回收容器，其不同于所述第一回收容器并且与所述清洁过程回收入口连接。
5.根据权利要求4所述的涂布设备，还包括与所述供给装置的出液口连接的清洁管道转换件，其中，所述清洁管道转换件被配置为在第一状态下使所述供给装置的出液口与所述涂布头的接收口彼此连通，并且在第二状态下使所述第二回收容器与所述供给装置的出液口彼此连通。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的涂布设备，还包括废料装置，其中，所述废料装置与所述回收装置的回收液出口连接。
7.根据权利要求6所述的涂布设备，还包括供给管道转换件，其中，所述供给管道转换件与所述供给装置、回收装置和废料装置连接，并且所述供给管道转换件被配置为在第一状态下使所述回收装置的回收液出口与所述供给装置的进液口彼此连通，并且在第二状态下使所述回收装置的回收液出口与所述废料装置彼此连通。
8.根据权利要求6所述的涂布设备，还包括：
第一电子阀门，其设置于所述回收装置的供给过程回收入口处；
第二电子阀门，其设置于所述回收装置的回收液出口处；以及
滞留控制装置，其被配置为根据所述第一电子阀门和所述第二电子阀门的工作时长控制所述回收装置的回收液出口与所述废料装置之间的连通状态。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的涂布设备，其中，所述涂布液供给单元包括依次连接的第一供给容器、集气容器和第二供给容器，所述第二供给容器包括第一输入口、第二输入口和输出口，所述第一输入口连接所述集气容器，所述第二输入口连接所述供给装置的进液口，所述输出口连接所述供给泵。
10.根据权利要求9所述的涂布设备，还包括：
供给液位传感器，其被配置为检测所述第二供给容器中的涂布液的液面位置；
回收液位传感器，其被配置为检测所述回收装置回收的涂布液的液面位置；以及
供给控制装置，其被配置为根据所述供给液位传感器和所述回收液位传感器的检测结果控制所述回收装置的回收液出口与所述供给装置的进液口之间的连通状态。
11.一种利用权利要求1、6-10中任一项所述的涂布设备回收涂布液的方法，包括：
利用所述回收装置回收从所述涂布头的排气口流出的涂布液；以及
将所述回收装置回收的涂布液提供至所述供给装置。
12.根据权利要求11所述的方法，其中，
所述供给装置还包括过滤器，其包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述输入口与所述涂布液供给单元连接，所述第一输出口与所述供给泵连接，所述第二输出口与所述回收装置连接；
所述方法还包括：利用所述回收装置回收从所述过滤器的第二输出口流出的涂布液。
13.根据权利要求11或12所述的方法，其中，
所述回收装置的至少一个回收入口还包括清洁过程回收入口，所述清洁过程回收入口与所述供给装置的出液口连接；
所述方法还包括：通过所述回收装置的清洁过程回收入口回收来自所述供给装置的出液口的涂布液。
14.一种根据权利要求1-10中任一项所述的涂布设备的清洁方法，包括：
利用所述回收装置回收从所述供给装置和所述涂布装置中的至少一个流出的涂布液；
然后，向所述供给装置和所述涂布装置中的所述至少一个通入液体清洁剂。
15.一种涂布设备，包括：
供给装置，其包括进液口、出液口、以及依次连接的涂布液供给单元、过滤器和供给泵，其中，所述涂布液供给单元连接所述进液口；所述供给泵连接所述出液口；所述过滤器包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述输入口与所述涂布液供给单元连接，所述第一输出口与所述供给泵连接；
涂布装置，其包括涂布头，其中，所述涂布头包括接收口、涂布口和排气口，所述涂布头的接收口与所述供给装置的出液口连接；以及
回收装置，其包括供给过程回收入口和回收液出口，其中，所述供给过程回收入口与所述过滤器的第二输出口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。
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