CN100450640C - 旋涂系统 - Google Patents

Abstract

一种旋涂系统，包括一旋涂机、一第一管线、一导出装置、一第一回收管线以及一检测装置。第一管线用以导入一第一液体至旋涂机。导出装置用以导出流经旋涂机的第一液体，其中导出装置具有一切换装置。第一回收管线连接至导出装置。检测装置设置在第一管线中，并电性连接至切换装置。其中，当第一液体流经于第一管线中时，检测装置传送信号至切换装置，使得来自于旋涂机中的第一液体，可经由导出装置，流入第一回收管线中。

Description

旋涂系统

技术领域

本发明关于一种旋涂系统及用于其液体回收的方法，特别是关于一种旋涂系统及用于其液体回收的方法，可将流入旋涂系统中的不同液体，分别的流入不同储存装置中，以利于后续的回收再利用。

背景技术

于LCD阵列微影制作工艺中，会将光阻液均匀的涂布于玻璃基板的表面，而为使光阻液可均匀的涂布于玻璃基板上，通常可通过一旋涂系统，以达到可均匀涂布的目的。

请参阅图1，图1为传统旋涂系统10示意图。旋涂系统10包括一旋涂机11、一第一管线13、一第二管线14、一导出装置15、一回收管线18以及一回收槽19。旋涂机11用以带动一玻璃基板12，使玻璃基板12可进行转动，以利于后续玻璃基板12可进行旋涂制作工艺。其中，旋涂机11包括一基座111、一转轴112、一旋转平台113以及一旋涂室114。其中，基座111设置在旋涂室114中。转轴112枢接于基座111内的一电机(未显示)，通过电机，使得转轴112可进行转动。而旋转平台113设置在转轴112的上方，通过转轴112，以带动旋转平台113转动，进而使设置在其上方的一玻璃基板12，可进行转动。

另外，第一管线13连接于旋涂机11，且用以导入光阻液13a于转动中的玻璃基板12上。通过旋转涂布的方式，将光阻液13a均匀的涂布于玻璃基板12上。其中，在涂布过程中，大约仅有10％以下的光阻液可涂布于玻璃基板12上，而多余的光阻液(约90％以上)会在后续流入导出装置15中。

导出装置15设置在旋涂机11的下方，且用以将多余液体排出于旋涂室114中。其中，导出装置15具有一流道151以及一出液口152，流道151通常设置在旋涂机11的下方，且具有斜度，以利于将液体集中，并通过出液口152，以将液体排出于旋涂室114中。

另外，回收管线18的两端分别连接于出液口152以及回收槽19。其中，来自于导出装置15的液体，可经由回收管线18，以流入回收槽19中。

此外，旋涂机11进行多片玻璃基板17的涂布后，第二管线14将清洗液14a导入旋涂机11中，以清洗旋涂机11(特别是旋涂机11中的旋转平台113)，此清洗目的在于避免旋涂机11因沾附过多的光阻液13a，而影响后续其它玻璃基板的涂布。其中，所用以清洗旋涂机11的清洗液14a会在后续经由导出装置15以及回收管线18，流入回收槽19中。

对于上述传统旋涂系统10而言，旋涂系统10将多余的光阻液以及清洗液，通过导出装置15以及回收管线18，以回收于回收槽19中。其中，此回收槽19中的混合液体会在后续通过一液体分离程序，以使混合液体中的光阻液以及清洗液，可回收再利用。

然而，由于上述光阻液于混合液体中的浓度很低，因此，要将光阻液于混合液体中分离出来，必需耗费大量的成本，才得以将光阻液分离于混合液体中。有鉴于此，本发明提供一种旋涂系统，可分别将光阻液以及清洗液分别储存于不同回收槽，以避免因光阻液于混合液体中的浓度过低，而增加液体分离程序的成本。

发明内容

本发明的主要目的提供一种旋涂系统及用于其液体回收的方法，可将流入旋涂系统中的不同液体，分别的流入不同储存装置中，以利于后续的回收再利用。

本发明提供一种旋涂系统，包括一旋涂机、一第一管线、一导出装置、一第一回收管线以及一检测装置。第一管线用以导入一第一液体至旋涂机。导出装置用以导出流经旋涂机的第一液体，其中导出装置具有一切换装置。第一回收管线连接至导出装置。检测装置设置在第一管线中，并电性连接至切换装置。其中，当第一液体流经于第一管线中时，检测装置传送信号至切换装置，使得来自于旋涂机中的第一液体，可经由导出装置，流入第一回收管线中。

本发明提供一种用于旋涂系统的液体回收的方法，包括下列步骤：1)设置一旋涂机。2)设置一第一管线，其中第一管线用以导入一第一液体至旋涂机。3)设置一导出装置，而导出装置用以导出流经旋涂机的第一液体，其中导出装置具有一切换装置。4)连接一第一回收管线至导出装置。5)设置一检测装置于第一管线中，其中，检测装置电性连接至切换装置。6)当第一液体流经于第一管线中时，检测装置传送信号至切换装置，使得来自于旋涂机中的第一液体，可经由导出装置，流入第一回收管线中。

关于本发明的优点与精神可以借由以下的发明详述及附图得到进一步的了解。

附图说明

借由以下详细的描述结合所附图标，将可轻易的了解上述内容及此项发明的诸多优点，其中：

图1为传统旋涂系统示意图；

图2为本发明旋涂系统示意图；

图3为本发明另一实施例旋涂系统示意图；

图4为本发明线性滑轨设置在底盘下的示意图；以及

图5为本发明另一实施例旋涂系统示意图。

主要组件符号说明

旋涂系统：10、20、30	旋涂机：11、21
		第一管线：13、23	第二管线：14、24
导出装置：15、25	回收管线：18
		回收槽：19、285	玻璃基板：12、22
光阻液：13a	清洗液：14a
		基座：111、211	转轴：112、212
旋转平台：113、213	旋涂室：114、214
		流道：151、251	出液口：152、252
第一回收管线：27	第二回收管线：28
		回收筒：29	控制单元：32
检测装置：26	第一液体：23a
		第二液体：24a	切换装置：253
导出管线：254	第一流道口：25a
		第二流道口：25b	第三流道口：25c
液位检测装置：33	底盘：34

泄漏感测装置：35	填充装置：36
		排气装置：37	线性滑轨：57
滑槽：571	第四流道口：41a
		第五流道口：41b	第六流道口：41c
第三回收管线：42	第三回收管线：44
		第一填充装置：51	第一排气装置：52
第二填充装置：53	第二排气装置：54
		第一液位检测装置：331	第二液位检测装置：332
第一泄漏感测装置：471	第二泄漏感测装置：472
		第二液体切换装置：41	回收备用筒：45
第一底盘：46	第二底盘：48
		第一线性滑轨：462	第二线性滑轨：482
第一滑槽：461	第二滑槽：481

具体实施方式

请参阅图2，图2为本发明旋涂系统20示意图。旋涂系统20包括一旋涂机21、一第一管线23、一第二管线24、一导出装置25、一第一回收管线27、一第二回收管线28、一回收筒29、一回收槽285、一控制单元32以及一检测装置26。旋涂机21用以带动一玻璃基板22，使玻璃基板22可进行转动，以利于后续玻璃基板22可进行旋涂制作工艺。其中，旋涂机21包括一基座211、一转轴212、一旋转平台213以及一旋涂室214。其中，基座211设置在旋涂室214中。转轴212枢接于基座211内的一电机(未显示)，通过电机，以使转轴212可进行转动。而旋转平台213设置在转轴212的上方，通过转轴212，以带动旋转平台213转动，进而使设置在其上方的一玻璃基板22，可进行转动。

另外，第二管线24连接于旋涂机21，并用以导入一第二液体24a至旋涂机21。在本实施例中，上述第二液体24a为一光阻液，且用以涂布于转动中的玻璃基板22上。通过玻璃基板22转动时的离心力，可使得光阻液可均匀的分布于玻璃基板22上。而大多的光阻液因玻璃基板22转动时的离心力，会溅散于旋涂室214中，并在后续流入导出装置25中。

以及，第一管线23连接于旋涂机21，并用以导入一第一液体23a至旋涂机21。在本实施例中，上述第一液体23a为一清洁液，而清洁液的主要目的在于清洗旋涂机21(特别是旋涂机21中的旋转平台213)，以避免旋涂机21因沾附过多的光阻液，而影响后续其它玻璃基板的涂布。而清洗旋涂机21后的清洁液，会在后续流入导出装置25中。

并且，导出装置25设置在旋涂机21的下方，用以导出流经旋涂机21的第一液体23a以及第二液体24a。以本实施例而言，导出装置25具有一流道251、一出液口252、一导出管线254以及一切换装置253。流道251通常设置在旋涂机21的下方，且具有斜度，以利于将液体(23a、24a)集中，并通过出液口252，以将液体(23a、24a)排出于旋涂室214中。导出管线254的一端连接于出液口252，另一端则连接于切换装置253。切换装置253具有第一流道口25a、第二流道口25b以及第三流道口25c。

其中，第一流道口25a连接导出管线254，第二流道口25b连接第一回收管线27，而第三流道口25c连接第二回收管线28。通过切换装置253，可将来自于第一流道口25a中的液体，经由第二流道口25b，流入第一回收管线27中，或经由第三流道口25c，流入第二回收管线28中。其中，上述切换装置253可为三相阀，但不以此为限，只要切换装置253具有三个流道口(A流道口、B流道口以及C流道口)，且可将来自于A流道口的液体，流入B流道口或C流道口中，均应属于本发明切换装置253的发明范畴之内。

以上述实施例而言，导出装置25具有一流道251、一出液口252、一导出管线254以及一切换装置253，此外，导出装置25亦可如图3所示，具有一流道251、一出液口252以及一切换装置253，其中不同的是，图3所示的切换装置253的第一流道口25a连接出液口252，并不需要通过图2所示实施例中的导出管线254。然而，本发明导出装置25并非仅局限于上述实施例的情形，只要导出装置25可将来自于旋涂机21的液体导出，且具有一切换装置253，可用以切换流道，均应属于本发明导出装置25的发明范畴之内。

请回到图2，第一回收管线27的一端连接于导出装置25中切换装置253的第二流道口25b，另一端则连接于回收槽285。而且，第二回收管线28的一端连接于导出装置25中切换装置253的第三流道口25c，另一端则连接于回收筒29。

另外，检测装置26设置在第一管线23中，且可用以判别第一液体23a是否流经于第一管线23中。其中，检测装置26电性连接至切换装置253。另外，检测装置26可为一流量检测器，但不以此为限，只要检测装置26可用以检测第一液体23a流动于第一管线23，且可在后续传送信号至切换装置253，均应属于本发明检测装置26的发明范畴之内。

以及，控制单元32电性连接至检测装置26以及切换装置253，借此，以使得检测装置26可电性连接至切换装置253。其中，当第一液体23a流经于第一管线23中时，检测装置26会传送信号至切换装置253，使得来自于旋涂机21的第一液体23a，可经由导出装置25，流入第一回收管线27中，进而流入回收槽285中。而且，当检测装置26并未传送信号至切换装置253时，来自于旋涂机21中的第二液体24a经由导出装置25，流入第二回收管线28中，进而流入回收筒29中。其中，在本实施例中，控制单元32可为一可编程逻辑控制器(programmable logic controller，PLC)，此外亦可为微控制芯片或已建立旋涂系统20中的控制模块(未显示)，但并未以此为限，只要可将检测装置26所检测的信息传至切换装置253，均应属于本发明控制单元32的发明范畴之内。

此外，值得一提的是，上述本发明实施例的第一液体23a为一清洁液，而第二液体24a为一光阻液，其中，当检测装置26检测清洁液流动于第一管线23时，通过切换装置253，使清洁液在后续流入回收槽285中，但并不以此为限，本发明的第一液体23a亦可为一光阻液，而第二液体24a可为一清洁液，因此，当检测装置26检测光阻液流动于第一管线23时，通过切换装置253，可使光阻液在后续流入回收筒29中，而当检测装置26并未传送信号至切换装置253时，通过切换装置253，可使来自于旋涂机21中的清洁液在后续流入回收槽285中。此外，本发明第一液体23a或第二液体24a除了可为上述光阻液、清洁液之外，所有运用于本发明旋涂系统20的任何液体，均应属于本发明第一液体及第二液体的发明范畴之内。

此外，本发明旋涂系统20还包括一液位检测装置33、一底盘34、一泄漏感测装置35、一填充装置36、一排气装置37以及两线性滑轨57。液位检测装置33设置在回收筒29，且用以检测回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因第二液体过多而溢出的情形。其中，液位检测装置33电性连接至控制单元32，借此，使得液位检测装置33可将回收筒29中的液位高度的数据，送至控制单元32中。其中，当液位高度过于一液位临界高度时，控制单元32会输出一警示信号，以告知现场人员，或者，可停止旋涂系统20的运作，以避免回收筒29中第二液体的泄漏。

另外，底盘34设置在回收筒29的下方。并且，泄漏感测装置35设置在未放置回收筒29的底盘34中，并用以感测第二液体是否泄漏自回收筒29。其中，泄漏感测装置35电性连接至控制单元32，借此，使得泄漏感测装置35可将第二液体是否泄漏自回收筒29的数据，送至控制单元32中。其中，当第二液体泄漏自回收筒29时，控制单元32会输出一警示信号，以告知现场人员，或者，可停止旋涂系统20的运作，以避免回收筒29中第二液体的继续泄漏。

并且，填充装置36连接至回收筒29，且用以填充一惰性气体(如：氮气)至回收筒29中。而排气装置37连接至回收筒29，且用以排出回收筒29中的部分惰性气体。通过填充装置36与排气装置37，可使得惰性气体循环于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液体因与空气接触，而造成第二液体的变质或导致含水率过高的情形。

另外，进一步参阅图4，两线性滑轨57设置在底盘34的下方，且底盘34下具有相对应于两线性滑轨57的两滑槽571。通过线性滑轨57以及滑槽571，可使得底盘34可移动于线性滑轨57上，借此，使得回收筒29可轻易进行搬动，以利于回收筒29中第二液体的回收。

相较于传统技术，本发明旋涂系统20明显的具有下述优点：1)第一液体23a以及第二液体24a，可分别回收于回收槽285以及回收筒29中，使得回收槽285中的第一液体23a以及回收筒29中的第二液体24a，均具有较高的浓度，借此，便可降低传统技术中因混合液的浓度过低，而得大幅增加液体分离程序的成本。2)由于本发明的切换装置253、一控制单元32、一检测装置26、第二回收管线28以及回收筒29，可直接套用于传统既有的旋涂系统(如图1所示的传统旋涂系统10)，便可具有本发明检测液体以及切换流道的功效，因此，可设置在需要进行各别液体回收的旋涂系统，且由于设置上并不需要变动既有的旋涂系统，因此，具有设置上的便利性。3)通过本发明液位检测装置33或泄漏感测装置35，使得当发生不预期的泄漏时，控制单元32可发出警讯或停止机台动作，进而避免不必要的工安危害。4)通过本发明填充装置36与排气装置37，可使得惰性气体循环于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液体因与空气接触，而造成第二液体的变质或导致含水率过高的情形。

由于当回收筒已满时，旋涂系统20必需先停止作动，等待另一回收筒的置入，才可继续作动。有鉴于此，本发明提供另一实施例的旋涂系统30，以解决上述的问题。请参阅图5，图5为本发明另一实施例旋涂系统30示意图。其中，本实施例旋涂系统30的一旋涂机21、一第一管线23、一第一液体23a、一第二管线24、一第二液体24a、一导出装置25、一第一回收管线27、一回收槽285、一控制单元32、一检测装置26其及彼此间设置关系、功能等，均与图2所示实施例类似或相同，在此，便不再予以赘述。

本实施例旋涂系统30除相同于图2所示的上述组件外，还包括一第二回收管线28、一第二液体切换装置41、一第三回收管线42、一回收筒29、一第一液位检测装置331、一第一底盘46、一第一泄漏感测装置471、一第四回收管线44以及一回收备用筒45。第二回收管线28的一端连接于切换装置253，另一端则连接于第二液体切换装置41。第二液体切换装置41具有一第四流道口41a、一第五流道口41b以及一第六流道口41c。其中，第四流道口41a连接第二回收管线28，第五流道口41b连接第三回收管线42，而第六流道口41c连接第四回收管线44。其中，上述第二液体切换装置41可为三相阀，但不以此为限，只要第二液体切换装置41具有三个流道口(A流道口、B流道口以及C流道口)，且可将来自于A流道口的液体，流入B流道口或C流道口中，均应属于本发明第二液体切换装置41的发明范畴内。

另外，第一液位检测装置331设置在回收筒29，且用以检测回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因液体过多而溢出的情形。其中，第一液位检测装置331电性连接至控制单元32，借此，使得第一液位检测装置331可将回收筒29中液位高度的数据，送至控制单元32中。

另外，第一底盘46设置在回收筒29的下方。并且，第一泄漏感测装置471设置在未放置回收筒29的第一底盘46中，并用以感测第一液体是否泄漏自回收筒29。其中，第一泄漏感测装置471电性连接至控制单元32，借此，使得第一泄漏感测装置471可将第一液体是否泄漏自回收筒29的数据，送至控制单元32中。

其中，当控制单元32并未接受来自于第一液位检测装置331中液位高于液位临界高度的信号，或是第一泄漏感测装置471的警告信号时，来自于第二回收管线28中的第二液体，会经由第二液体切换装置41以及第三回收管线42，流入回收筒29中。而当液位高度过于一液位临界高度时或当第一液体泄漏自回收筒29时，控制单元32会输出信号至第二液体切换装置41，使得来自于第二回收管线28中的第二液体，仅可经由第二液体切换装置41以及第四回收管线44，以流入回收备用筒45中。

其中，本实施例旋涂系统30还包括一第二液位检测装置332、一第二泄漏感测装置472、一第二底盘48。其中，第二液位检测装置332设置在回收备用筒45，且用以检测回收备用筒45中的液位，以避免回收备用筒45中因液体过多而溢出的情形。

并且，第二底盘48设置在回收备用筒45的下方。第二泄漏感测装置472设置在未放置回收备用筒45的第二底盘48中，并用以感测第二液体是否泄漏自回收备用筒45。其中，第二泄漏感测装置472电性连接至控制单元32，借此，使得第二泄漏感测装置472可将第二液体是否泄漏自回收备用筒45的数据，送至控制单元32中。其中，当液位高度过于一液位临界高度时，或是当第二液体泄漏自回收备用筒45时，控制单元32会输出一警示信号，以告知现场人员，或者，可停止旋涂系统30的运作，以避免回收备用筒45中第二液体的继续泄漏。

此外，本实施例旋涂系统30还包括一第一填充装置51、一第一排气装置52、一第二填充装置53以及一第二排气装置54。第一填充装置51连接至回收筒29，且用以填充一惰性气体至回收筒29中，而第一排气装置52连接至回收筒29，且用以排出回收筒29中的部分惰性气体。而第二填充装置53连接至回收备用筒45，且用以填充一惰性气体至回收备用筒45中，而第二排气装置54连接至回收备用筒45，且用以排出回收备用筒45中的部分惰性气体。其中，第一填充装置51及第一排气装置52(或第二填充装置53及第二排气装置54)与前述图2所示的填充装置36及排气装置37其功能与目的均相似，在此便不在予以赘述。

本实施例旋涂系统30亦具有线性滑轨(第一线性滑轨462以及第二线性滑轨482)以及相对应线性滑轨的滑槽(第一滑槽461以及第二滑槽481)，其中本实施例中的线性滑轨462、482以及滑槽461、481均于图2所示实施例中的线性滑轨57及滑槽571具有类似或相同的功能，在此便不再予以赘述。

相较于传统技术，本实施例旋涂系统30不仅具有图2所示实施例的优点外，更具有下述优点，当回收筒56已满时，本实施例旋涂系统30不需要停止运转，而是将第二液体回收至回收备用筒45中，如此一来，本实施例旋涂系统30将会具有更高的使用效率。

本发明提供一种用于旋涂系统20的液体回收的方法，如图2所示，包括下列步骤：

首先，设置一旋涂机21。旋涂机21用以带动一玻璃基板22，使玻璃基板22可进行转动，以利于后续玻璃基板22可进行旋涂制作工艺。其中，旋涂机21包括一基座211、一转轴212、一旋转平台213以及一旋涂室214。其中，基座211设置在旋涂室214中。转轴212枢接于基座211内的一电机(未显示)，通过电机，以使转轴212可进行转动。而旋转平台213设置在转轴212的上方，通过转轴212，以带动旋转平台213转动，进而使设置在其上方的一玻璃基板22，可进行转动。

另外，连接一第一管线23于旋涂机21。第一管线23用以导入一第一液体23a至旋涂机21。并且，亦连接一第二管线24于旋涂机21。第二管线24用以导入一第二液体24a至旋涂机21。其中，上述第一液体23a可为一清洁液，而第二液体24a可为一光阻液。

接着，设置一导出装置25于旋涂机21的下方。导出装置25用以导出流经旋涂机21的第一液体23a以及第二液体24a。以本实施例而言，导出装置25具有一流道251、一出液口252、一导出管线254以及一切换装置253。流道251通常设置在旋涂机21的下方，且具有斜度，以利于将液体(23a、24a)集中，并通过出液口252，以将液体(23a、24a)排出于旋涂室214中。导出管线254的一端连接于出液口252，另一端则连接于切换装置253。切换装置253具有第一流道口25a、第二流道口25b以及第三流道口25c。其中，第一流道口25a连接导出管线254，第二流道口25b连接第一回收管线27，而第三流道口25c连接第二回收管线28。通过切换装置253，可将来自于第一流道口25a中的液体，经由第二流道口25b，流入第一回收管线27中，或经由第三流道口25c，流入第二回收管线28中。其中，上述切换装置253可为三相阀。

另外，连接一第一回收管线27的一端至导出装置25中切换装置253的第二流道口25b，另一端则连接于回收槽285。并且，连接一第二回收管线28的一端至导出装置25中切换装置253的第三流道口25c，另一端则连接于回收筒29。

然后，设置一检测装置26在第一管线23中，并电性连接至切换装置253。检测装置26可用以判别第一液体23a是否流经于第一管线23中。其中，检测装置26可为一流量检测器。

另外，电性连接一控制单元32于检测装置26与切换装置253之间，借此，以使得检测装置26可电性连接至切换装置253。其中，当第一液体23a流经于第一管线23中时，检测装置26会传送信号至切换装置253，使得来自于旋涂机21的第一液体23a，可经由导出装置25，流入第一回收管线27中，进而流入回收槽285中。而且，当检测装置26并未传送信号至切换装置253时，来自于旋涂机21中的第二液体24a经由导出装置25，流入第二回收管线28中，进而流入回收筒29中。其中，在本实施例中，控制单元32可为一可程控器、一微控制芯片或于建立旋涂系统20中的控制模块(未显示)。

此外，值得一提的是，上述本发明实施例的第一液体23a为一清洁液，而第二液体24a为一光阻液，其中，当检测装置26检测清洁液流动于第一管线23时，通过切换装置253，使清洁液在后续流入回收槽285中，但并不以此为限，本发明的第一液体23a亦可为一光阻液，而第二液体24a可为一清洁液，因此，当检测装置26检测光阻液流动于第一管线23时，通过切换装置253，可使光阻液在后续流入回收筒29中，而当检测装置26并未传送信号至切换装置253时，通过切换装置253，可使来自于旋涂机21中的清洁液在后续流入回收槽285中。

接着，设置一液位检测装置33于回收筒29。液位检测装置33用以检测回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因第二液体过多而溢出的情形。其中，液位检测装置33电性连接至控制单元32，借此，使得液位检测装置33可将回收筒29中的液位高度的数据，送至控制单元32中。其中，当液位高度过于一液位临界高度时，控制单元32会输出一警示信号，以告知现场人员，或者，可停止旋涂系统20的运作，以避免回收筒29中第二液体的泄漏。

并且，设置一底盘34于回收筒29的下方。另外，设置一泄漏感测装置35于未放置回收筒29的底盘34中，泄漏感测装置35用以感测第二液体是否泄漏自回收筒29。其中，泄漏感测装置35电性连接至控制单元32，借此，使得泄漏感测装置35可将第二液体是否泄漏自回收筒29的数据，送至控制单元32中。其中，当第二液体泄漏自回收筒29时，控制单元32会输出一警示信号，以告知现场人员，或者，可停止旋涂系统20的运作，以避免回收筒29中第二液体的继续泄漏。

另外，连接一填充装置36至回收筒29，填充装置36用以填充一惰性气体(如：氮气)至回收筒29中。并且，连接一排气装置37至回收筒29，排气装置37用以排出回收筒29中的部分惰性气体。通过填充装置36与排气装置37，可使得惰性气体循环于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液体因与空气接触，而造成第二液体的变质或导致含水率过高的情形。

以及，设置两线性滑轨57于底盘34的下方，且更设置相对应于两线性滑轨57的两滑槽571于底盘34下。通过线性滑轨57以及滑槽571，可使得底盘34可移动于线性滑轨57上，借此，使得回收筒29可轻易进行搬动，以利于回收筒29中第二液体的回收。

有鉴于此，本发明用于旋涂系统的液体回收的方法，具有下述优点：1)由于可将第一液体23a以及第二液体24a分别回收于回收槽285以及回收筒29中，使得回收槽285中的第一液体23a以及回收筒29中的第二液体24a，均具有较高的浓度，借此，便可降低传统技术中因混合液的浓度过低，而得大幅增加液体分离程序的成本。2)当回收筒中的液位过高，或回收筒中第二液体泄露时，通过控制单元32，可发出警讯或停止机台动作，进而避免不必要的工安危害。3)通过将惰性气体循环于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液体因与空气接触，而造成第二液体的变质或导致含水率过高的情形。

而且，当回收筒已满时，上述方法实施例中的旋涂系统20必需先停止作动，等待另一回收筒的置入，才可继续作动。有鉴于此，本发明提供另一方法实施例，以解决上述的问题。其中，如图5所示，本方法实施例旋涂系统30的一旋涂机21、一第一管线23、一第一液体23a、一第二管线24、一第二液体24a、一导出装置25、一第一回收管线27、一回收槽285、一控制单元32、一检测装置26其及彼此间设置关系、功能等，均与图2所示实施例类似或相同，在此，便不再予以赘述。

本实施例方法还包括下列步骤：首先，连接一第二液体切换装置41至第二回收管线28的一端。第二液体切换装置41具有一第四流道口41a、一第五流道口41b以及一第六流道口41c。其中，第四流道口41a连接第二回收管线28。

首先，设置一第三回收管线42。其中，第三回收管线42的一端连接至第二液体切换装置41的第五流道口41b，另一端则连接至一回收筒29。

接着，设置一第四回收管线44。其中，第四回收管线44的一端连接至第二液体切换装置41的第六流道口41c，另一端则连接至一回收备用筒45。

然后，设置一第一液位检测装置331于回收筒29。第一液位检测装置331用以检测回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因液体过多而溢出的情形。其中，第一液位检测装置331电性连接至控制单元32，借此，使得第一液位检测装置331可将回收筒29中液位高度的数据，送至控制单元32中。

以及，设置一第一底盘46于回收筒29的下方。另外，设置一第一泄漏感测装置471于未放置回收筒29的第一底盘46中。第一泄漏感测装置471用以感测第一液体是否泄漏自回收筒29。其中，第一泄漏感测装置471电性连接至控制单元32，借此，使得第一泄漏感测装置471可将第一液体是否泄漏自回收筒29的数据，送至控制单元32中。

其中，当控制单元32并未接受来自于第一液位检测装置331中液位高于液位临界高度的信号，或是第一泄漏感测装置471的警告信号时，来自于第二回收管线28中的第二液体，会经由第二液体切换装置41以及第三回收管线42，流入回收筒29中。而当液位高度过于一液位临界高度时或当第一液体泄漏自回收筒29时，控制单元32会输出信号至第二液体切换装置41，使得来自于第二回收管线28中的第二液体，仅可经由第二液体切换装置41以及第四回收管线44，以流入回收备用筒45中。

此外，本实施例方法还包括，设置第二液位检测装置332于回收备用筒45。第二液位检测装置332用以检测回收备用筒45中的液位，以避免回收备用筒45中因液体过多而溢出的情形。

并且，设置一第二底盘48于回收备用筒45的下方。以及，设置一第二泄漏感测装置472于未放置回收备用筒45的第二底盘48中。第二泄漏感测装置472用以感测第二液体是否泄漏自回收备用筒45。其中，第二泄漏感测装置472电性连接至控制单元32，借此，使得第二泄漏感测装置472可将第二液体是否泄漏自回收备用筒45的数据，送至控制单元32中。其中，当液位高度过于一液位临界高度时，或是当第二液体泄漏自回收备用筒45时，控制单元32会输出一警示信号，以告知现场人员，或者，可停止旋涂系统30的运作，以避免回收备用筒45中第二液体的继续泄漏。

接着，连接第一填充装置51至回收筒29，且用以填充一惰性气体至回收筒29中。并且，连接第一排气装置52至回收筒29，且用以排出回收筒29中的部分惰性气体。

另外，连接第二填充装置53至回收备用筒45，且用以填充一惰性气体至回收备用筒45中，且第二排气装置54连接至回收备用筒45，且用以排出回收备用筒45中的部分惰性气体。其中，第一填充装置51及第一排气装置52(或第二填充装置53及第二排气装置54)与前述图2所示的填充装置36及排气装置37其功能与目的均相似，在此便不在予以赘述。

然后，设置两第一线性滑轨462于第一底盘46的下方，且更设置相对应于两第一线性滑轨462的两第一滑槽461在第一底盘46下。通过第一线性滑轨462以及第一滑槽461，可使得第一底盘46可移动于第一线性滑轨462上，借此，使得回收筒29可轻易进行搬动，以利于回收筒29中第二液体的回收。

并且，设置两第二线性滑轨482在第二底盘48的下方，且更设置相对应于两第二线性滑轨482的两第二滑槽481在第二底盘48下。通过第二线性滑轨482以及第二滑槽481，可使得第二底盘48可移动于第二线性滑轨482上，借此，使得回收备用筒45可轻易进行搬动，以利于回收备用筒45中第二液体的回收。

有鉴于此，本实施例用于旋涂系统的液体回收的方法，不仅可将第一液体23a以及第二液体24a分别回收于回收槽285以及回收筒29中，以利于后续的回收再使用之外，更具有当回收筒56已满时，本实施例的方法并不需要停止运转，而是将第二液体回收至回收备用筒45中，如此说来，本实施例的方法将会具有更高的使用效率。

本发明虽以优选实例阐明如上，然其并非用以限定本发明精神与发明实体仅止于上述实施例。对业内人士，当可轻易了解并利用其它组件或方式来产生相同的功效。所以，在不脱离本发明的精神与范围内所作的修改，均应包括在下述的权利要求书内。

Claims (12)

1.一种旋涂系统，包括：

一旋涂机；

一第一管线，用以导入一第一液体至该旋涂机；

一导出装置，用以导出流经该旋涂机的该第一液体，其中该导出装置具有一切换装置；

一第一回收管线，连接至该导出装置；以及

一检测装置，设置在该第一管线中，并电性连接至该切换装置，

其中，当该第一液体流经于第一管线中时，该检测装置传送信号至该切换装置，使得来自于该旋涂机中的该第一液体，可经由该导出装置，流入该第一回收管线中。

2.根据权利要求1所述的旋涂系统，其特征在于，该切换装置为三相阀。

3.根据权利要求1所述的旋涂系统，其特征在于，该检测装置为一流量检测装置。

4.根据权利要求1所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一第二管线，用以导入一第二液体至该旋涂机；以及

一第二回收管线，连接至该导出装置，

其中，当该检测装置并未传送该信号至该切换装置时，来自于该旋涂机中的该第二液体经由该导出装置，流入该第二回收管线中。

5.根据权利要求4所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一回收筒，连接该第二回收管线，且用以回收该第二液体。

6.根据权利要求5所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一液位检测装置，设置在该回收筒，且用以检测回收筒中的该第二液体的液位。

7.根据权利要求5所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一底盘，设置在该回收筒的下方；以及

一泄漏感测装置，设置在该底盘中，且用以感测该第二液体是否泄漏自该回收筒。

8.根据权利要求5所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一填充装置，连接至该回收筒，且用以填充一惰性气体至该回收筒中；以及

一排气装置，连接至该回收筒，且用以排出该回收筒中的部分该惰性气体。

9.根据权利要求4所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一第二液体切换装置，连接该第二回收管线；

一第三回收管线，一端连接至该第二液体切换装置，另一端连接至一回收筒；

一第四回收管线，一端连接至该第二液体切换装置，另一端连接至一回收备用筒；以及

一液位检测装置，设置在该回收筒，且用以检测回收筒中的该第二液体的液位，其中该液位检测装置电性连接至该第二液体切换装置；

其中，当该回收筒中的该第二液体的液位高于一预定高度时，该液位检测装置传送信号至该第二液体切换装置，使得来自于该第二回收管线的该第二液体，经由该第四回收管线，流入该回收备用筒中。

10.根据权利要求9所述的旋涂系统，其特征在于，该第二液体切换装置为三相阀。

11.根据权利要求9所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一第一底盘，设置在该回收筒的下方；

一第一泄漏感测装置，设置在该第一底盘中，且用以感测该第二液体是否泄漏自该回收筒；

一第二底盘，设置在该回收备用筒的下方；以及

一第二泄漏感测装置，设置在该第二底盘中，且用以感测该第二液体是否泄漏自该回收备用筒。

12.根据权利要求9所述的旋涂系统，其特征在于，进一步包括：

一第一填充装置，连接至该回收筒，且用以填充一惰性气体至该回收筒中；

一第一排气装置，连接至该回收筒，且用以排出该回收筒中的部分该惰性气体；

一第二填充装置，连接至该回收备用筒，且用以填充一惰性气体至该回收备用筒中；以及

一第二排气装置，连接至该回收备用筒，且用以排出该回收备用筒中的部分该惰性气体。

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