CN106348762B - 一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法 - Google Patents

一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106348762B
CN106348762B CN201610710863.7A CN201610710863A CN106348762B CN 106348762 B CN106348762 B CN 106348762B CN 201610710863 A CN201610710863 A CN 201610710863A CN 106348762 B CN106348762 B CN 106348762B
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon nitride
powder
silicon
nitride powder
polystyrene
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610710863.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106348762A (zh
Inventor
汪思保
林永兴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui Kechuang Zhongguang Technology Co ltd
Original Assignee
Anhui Technovo Lidar Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anhui Technovo Lidar Technology Co ltd filed Critical Anhui Technovo Lidar Technology Co ltd
Priority to CN201610710863.7A priority Critical patent/CN106348762B/zh
Publication of CN106348762A publication Critical patent/CN106348762A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106348762B publication Critical patent/CN106348762B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/591Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by reaction sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418Silicon oxide, silicic acids or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/42Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
    • C04B2235/428Silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,属于特种陶瓷材料技术领域,该方法包括以下步骤:将25~55wt%氮化硅粉、40~70wt%硅粉、5~35wt%聚苯乙烯‑二氧化硅颗粒与溶剂混合,在0.5~10Mpa下压制成球形,在氮气气氛中于1100~1600℃保温4~15h,烧结生成氮化硅,冷却至室温,粉碎,得氮化硅粉料。本发明采用氮化硅粉、硅粉、聚苯乙烯‑二氧化硅颗粒复合压制成球,当二氧化硅‑聚苯乙烯颗粒中的聚苯乙烯被高温除去后形成稳定的孔结构,用作氮气流通的通道,保证反应的充分进行;同时二氧化硅在被氮化成氮化硅的过程中,因为氧的逃逸而二次保持气体通道,从而保证了粉料的充分氮化。

Description

一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法
技术领域
本发明涉及一种氮化硅,具体涉及一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,属于特种陶瓷材料技术领域。
背景技术
激光设备功率大,发热量大,需要采用合适高强度耐高温的高性能材料。氮化硅分子式为Si3N4,是一种重要的特种陶瓷材料,属于超硬物质,本身具有润滑性,并且耐磨损,可用作高温陶瓷原料。除氢氟酸外,它不与其他无机酸反应。通常,氮化硅可由硅粉在氮气中加热或卤化硅与氨反应而制得。
由于氮化硅是高键能共价化合物,在空气中能形成氧化物保护膜防止进一步氧化,还具有良好的化学稳定性,不被铝、铅、锡、银、黄铜、镍等很多种熔融金属或合金所浸润或腐蚀,但能被镁、镍铬合金、不锈钢等熔液所腐蚀。
目前氮化硅工业上规模化生产主要采用硅粉直接氮化法,该法存在以下问题:
1)硅粉的导热性差,导致硅粉原料内部与外部温差大,使反应过程不稳定;
2)硅粉的烧结阻碍氮气的渗透,使生产过程能耗增大,纯度难以控制。
发明内容
为了克服氮化硅合成过程存在的导热性差、烧结引起的产品质量问题,本发明提供一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法。
为了实现上述目的,本发明采用的一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,该方法包括以下步骤:
将25~55wt%氮化硅粉、40~70wt%硅粉、5~35wt%聚苯乙烯-二氧化硅颗粒与溶剂混合,在0.5~10Mpa下压制成球形,在氮气气氛中于1100~1600℃保温4~15h,烧结生成氮化硅,冷却至室温,粉碎,得氮化硅粉料;
所述氮化硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料;
所述硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料;
所述聚苯乙烯-二氧化硅颗粒的粒径为0.5~5mm;
所述溶剂由水与乙醇按照体积比1:(0.1~2)混合组成。
作为改进,采用氮化硅粉中粗料与细料的比例为0.5~10:1;
采用硅粉中的粗料与细料的比例为0.1~5:1。
作为改进,所述聚苯乙烯-二氧化硅颗粒采用以下步骤制得:
1)将二乙醇胺与甲苯磺酸按1~10:1的重量比混合形成溶液;
2)将所得溶液与二氧化硅纳米粉体按1~10:1的重量比混合,混合后转移至高压釜中进行溶剂热反应,通入氮气保护,在110~150℃中加热1~12h,减压除去液体,得到表面改性的纳米二氧化硅;
3)将改性纳米二氧化硅与聚苯乙烯按0.1~1:1的重量比混合,加热融化搅拌,冷却后粉碎过30目筛,将筛上的剩余粉料再经过16目筛,经16目筛下的粉料即为所需直径在0.5~5mm的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒。
作为改进,在压制过程中,压力为0.5~3MPa。
作为改进,所述烧结的温度为1200~1350℃。
作为改进,保温时间为6~8h。
作为改进,所述氮气气氛为高纯氮气。
与现有技术相比,本发明采用氮化硅粉、硅粉、聚苯乙烯-二氧化硅颗粒复合压制成球,当二氧化硅-聚苯乙烯颗粒中的聚苯乙烯被高温除去后形成稳定的孔结构,可用作氮气流通的通道,保证反应的充分进行;同时二氧化硅在被氮化成氮化硅的过程中,因为氧的逃逸而二次保持气体通道,从而保证了粉料的充分氮化。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面通过实施例,对本发明进行进一步详细说明。但是应该理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限制本发明的范围。除非另有定义,本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同,本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本发明。
实施例一
一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,该方法包括以下步骤:
将30wt%氮化硅粉、45wt%硅粉、25wt%聚苯乙烯-二氧化硅颗粒加入至由水与乙醇按照体积比1:0.1混合成的溶剂中,在0.8Mpa下压制成球形,再置于高纯氮气中,在1200℃下保温6h,烧结得到氮化硅,冷却至室温,粉碎,即得氮化硅粉料;
其中,上述采用的氮化硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料,且粗料与细料的比例为1.3:1;
采用的硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料,粗料与细料的比例为0.1:1;
采用的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒的粒径为0.5~5mm,是通过以下步骤制得:
1)将二乙醇胺与甲苯磺酸按2:1的重量比混合形成溶液;
2)将所得溶液与二氧化硅纳米粉体按重量比1:1的比例混合,混合后转移至高压釜中进行溶剂热反应,通入氮气保护,在110℃中加热2h,减压除去液体,得到表面改性的纳米二氧化硅;
3)将改性纳米二氧化硅与聚苯乙烯按0.2:1的重量比混合,加热融化搅拌,冷却后粉碎过30目筛,将筛上的剩余粉料再经过16目筛,经16目筛下的粉料即为所需直径在0.5~5mm的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒。
实施例二
一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,该方法包括以下步骤:
将30wt%氮化硅粉、55wt%硅粉、15wt%聚苯乙烯-二氧化硅颗粒加入至由水与乙醇按照体积比2:3混合成的溶剂中,在5Mpa下压制成球形,再置于高纯氮气中,在1350℃下保温8h,烧结得到氮化硅,冷却至室温,粉碎,即得氮化硅粉料;
其中,上述采用的氮化硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料,且粗料与细料的比例为5:1;
采用的硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料,粗料与细料的比例为3:1;
采用的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒的粒径为0.5~5mm,是通过以下步骤制得:
1)将二乙醇胺与甲苯磺酸按6:1的比例混合形成溶液;
2)将所得溶液与二氧化硅纳米粉体按7:1的比例混合,混合后转移至高压釜中,通入氮气保护,在130℃中加热8h,减压除去液体,得到表面改性的纳米二氧化硅;
3)将改性纳米二氧化硅与聚苯乙烯按1:2混合,加热融化搅拌,冷却后粉碎过30目筛,将筛上的剩余粉料再经过16目筛,经16目筛下的粉料即为所需直径在0.5~5mm的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒。
实施例三
一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,该方法包括以下步骤:
将50wt%氮化硅粉、40wt%硅粉、10wt%聚苯乙烯-二氧化硅颗粒加入至由水与乙醇按照体积比1:2混合成的溶剂中,在10Mpa下压制成球形,再置于高纯氮气中,在1600℃下保温4h,烧结得到氮化硅,冷却至室温,粉碎,即得氮化硅粉料;
其中,上述采用的氮化硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料,且粗料与细料的比例为10:1;
采用的硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料,粗料与细料的比例为5:1;
采用的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒的粒径为0.5~5mm,是通过以下步骤制得:
1)将二乙醇胺与甲苯磺酸按10:1的比例混合形成溶液;
2)将所得溶液与二氧化硅纳米粉体按10:1的比例混合,混合后转移至高压釜中,通入氮气保护,在150℃中加热1h,减压除去液体,得到表面改性的纳米二氧化硅;
3)将纳米二氧化硅与聚苯乙烯按0.8:1的重量比混合,加热融化搅拌,冷却后粉碎过30目筛,将筛上的剩余粉料再经过16目筛,经16目筛下的粉料即为所需直径在0.5~5mm的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒。
实施例四
该实施例在0.5Mpa下压制成球形,再置于高纯氮气中,在1100℃下保温8h,烧结得到氮化硅;采用的其他工艺参数与实施例三中相同。
实施例五
该实施例中采用的氮化硅粉中粗料与细料的比例为10:1,采用的硅粉中粗料与细料的比例为5:1,其余工艺参数与实施例二中相同。
实施例六
该实施例中采用25wt%氮化硅粉、55wt%硅粉、20wt%聚苯乙烯-二氧化硅颗粒,其余工艺参数与实施例一中相同。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
将25~55wt%氮化硅粉、40~70wt%硅粉、5~35wt%聚苯乙烯-二氧化硅颗粒与溶剂混合,在0.5~10Mpa下压制成球形,在氮气气氛中于1100~1600℃保温4~15h,烧结生成氮化硅,冷却至室温,粉碎,得氮化硅粉料;
所述氮化硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料;
所述硅粉包括直径在100μm~1mm的粗料和直径为100μm以下的细料;
所述聚苯乙烯-二氧化硅颗粒的粒径为0.5~5mm;
所述溶剂由水与乙醇按照体积比1:(0.1~2)混合组成;
所述聚苯乙烯-二氧化硅颗粒采用以下步骤制得:
1)将二乙醇胺与甲苯磺酸按1~10:1的重量比混合形成溶液;
2)将所得溶液与二氧化硅纳米粉体按1~10:1的重量比混合,混合后转移至高压釜中进行溶剂热反应,通入氮气保护,在110~150℃中加热1~12h,减压除去液体,得到表面改性的纳米二氧化硅;
3)将改性纳米二氧化硅与聚苯乙烯按0.1~1:1的重量比混合,加热融化搅拌,冷却后粉碎过30目筛,将筛上的剩余粉料再经过16目筛,经16目筛下的粉料即为所需直径在0.5~5mm的聚苯乙烯-二氧化硅颗粒。
2.如权利要求1所述的一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,其特征在于,采用氮化硅粉中粗料与细料的比例为0.5~10:1;
采用硅粉中的粗料与细料的比例为0.1~5:1。
3.如权利要求1所述的一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,其特征在于,在压制过程中,压力为0.5~3MPa。
4.如权利要求1所述的一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,其特征在于,所述烧结的温度为1200~1350℃。
5.如权利要求1或4所述的一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,其特征在于,保温时间为6~8h。
6.如权利要求1所述的一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法,其特征在于,所述氮气气氛为高纯氮气。
CN201610710863.7A 2016-08-23 2016-08-23 一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法 Active CN106348762B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610710863.7A CN106348762B (zh) 2016-08-23 2016-08-23 一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610710863.7A CN106348762B (zh) 2016-08-23 2016-08-23 一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106348762A CN106348762A (zh) 2017-01-25
CN106348762B true CN106348762B (zh) 2019-02-05

Family

ID=57844626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610710863.7A Active CN106348762B (zh) 2016-08-23 2016-08-23 一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106348762B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108623308B (zh) * 2018-05-23 2021-02-02 淄博恒世科技发展有限公司 氮化硅球用母核及其生产工艺

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0240414A1 (fr) * 1986-04-03 1987-10-07 Elf Atochem S.A. Poudres pour céramiques en nitrure de silicium par réduction carbothermique et leur procédé de fabrication
CN1569744A (zh) * 2004-05-10 2005-01-26 三河燕郊新宇高新技术陶瓷材料有限公司 一种造粒燃烧合成氮化硅的生产方法
CN1733652A (zh) * 2005-06-30 2006-02-15 北京科技大学 应用于选区激光烧结快速成型的陶瓷粉末材料的制备方法
CN104529470A (zh) * 2014-12-08 2015-04-22 北京中材人工晶体研究院有限公司 一种氮化硅粉料的制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0240414A1 (fr) * 1986-04-03 1987-10-07 Elf Atochem S.A. Poudres pour céramiques en nitrure de silicium par réduction carbothermique et leur procédé de fabrication
CN87102970A (zh) * 1986-04-03 1987-10-21 阿托化学公司 通过碳热还原制成的陶瓷用氮化硅粉末及其制造工艺
CN1569744A (zh) * 2004-05-10 2005-01-26 三河燕郊新宇高新技术陶瓷材料有限公司 一种造粒燃烧合成氮化硅的生产方法
CN1733652A (zh) * 2005-06-30 2006-02-15 北京科技大学 应用于选区激光烧结快速成型的陶瓷粉末材料的制备方法
CN104529470A (zh) * 2014-12-08 2015-04-22 北京中材人工晶体研究院有限公司 一种氮化硅粉料的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106348762A (zh) 2017-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104909765B (zh) 一种低成本、快速制备高性能Si3N4陶瓷球的方法
CN106187225B (zh) 一种抗侵蚀镁碳砖及其制备方法
CN110407213B (zh) 一种(Ta, Nb, Ti, V)C高熵碳化物纳米粉体及其制备方法
RU2014101964A (ru) Способы изготовления порошков диборида титана
CN103332662A (zh) 一种改进的直接氮化法制备α相和β相氮化硅粉体的方法
CN108751961B (zh) 一种铝氧燃烧合成水雾法制备氧化铝基固溶体陶瓷粉末的方法
CN111018531A (zh) 碳纳米管增韧碳化硼陶瓷制备方法
CN106348762B (zh) 一种用于激光设备的氮化硅粉体的合成方法
CN108585887A (zh) 一种TixZr1-xB2超高温固溶体陶瓷粉体的制备方法
CN100516262C (zh) 镁及镁合金复合晶粒细化剂的制备方法
CN108558417A (zh) 一种钛铝酸钙隔热耐火材料及其制备方法
CN114213049A (zh) 一种油井水泥用抗二氧化碳腐蚀材料及其制备方法与应用
CN102584181B (zh) 原位反应制备方镁石-碳化硅-碳复合粉体的方法
CN110029261A (zh) 一种微纳米硬质合金刀具材料的制备方法
CN103011834A (zh) 一种高致密度复合陶瓷的制备方法
CN103880425A (zh) 一种Al3BC3粉体及其制备方法
CN105514413A (zh) 一种锂离子正负极材料的气氛浸透式烧结工艺及相关烧结设备
TW201512099A (zh) 鉻金屬粉末
CN104911384B (zh) 一种钨基难熔碳化物复合材料的低温制备方法
CN115417662B (zh) 一种氢冶金用微孔刚玉砖及其制备方法
CN112062576A (zh) 一种石墨烯增韧的高熵硅化物陶瓷及其制备方法和应用
CN107935598B (zh) 一种高性能的碳化硅陶瓷材料低温烧结方法
CN103253668B (zh) 一种碳化钛陶瓷粉末的低温固相合成方法
CN106187203B (zh) 一种基于碳化铝制备氮化铝粉体的方法及其产品
CN113735074B (zh) 一种可生物降解材料用无机成核剂的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 230000 building D3, phase I, innovation industrial park, No. 800, Wangjiang West Road, high tech Zone, Hefei, China (Anhui) pilot Free Trade Zone, Hefei, Anhui

Patentee after: Anhui Kechuang Zhongguang Technology Co.,Ltd.

Address before: 230088 University Science Park c509, No. 602 Huangshan Road, high tech Zone, Hefei, Anhui Province

Patentee before: ANHUI TECHNOVO LIDAR TECHNOLOGY CO.,LTD.