CN106283101B - 一种超纯氢的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种超纯氢的制备方法，本发明采用电解制氢工艺，对电解前的软化水进行预处理，将软化水进行加热，将其中溶解的N2、Ar等各种气体全部脱除，通入高纯氧保压，再经催化剂催化脱氧和分子筛脱水工艺，过滤除尘工艺，钢瓶烘干处理工艺，生产出符合“GBT 3634.2‑2011纯氢、高纯氢和超纯氢”要求超纯氢。本发明的有益效果：成功避开了钯合金扩散膜（管）分离法成本高且生产量小、储氢合金吸放法中氢化物使用寿命短及生产不稳定、低温吸附法需要使用液氮对设备要求高等的缺点，具有生产能耗低、流程效率高，工艺简单、生产稳定等特点。

Description

一种超纯氢的制备方法
技术领域
本发明涉及氢气的制备方法，具体地说是一种超纯氢的制备方法。
背景技术
随着科学技术的发展，对氢气的质量技术要求愈来愈高，需要纯度为99.9999%的超纯氢。超纯氢应用范围极广，它是现代电子、光纤、石化等方面和一些尖端科技上的重要原料；是环境、卫生、飞船、海底实验室、潜艇等大气成分分析测定和星球物质即时测量必须的高纯气源；是半导体集成电路和光导纤维研制生产、集成光学和纳米研究、晶体外延生长等不可或缺的原料；是食品、药品、疾病控制、化学污染、运动员兴奋剂检测、贵金属熔炼、火箭燃料分析等领域开展工作的重要保障。
当前，国内外有三种生产方法，分别为：
1.钯合金扩散膜（管）分离法。以纯氢为原料，其膜（管）只允许氢及其同位素通过，从而获得超纯氢。该法的膜（管）极为昂贵，生产成本极高，生产量极小。
2.储氢合金吸放法。在一定温度、压力下，钛系、锆系、稀土系等金属能大量吸收氢气，单位体积吸储的氢气可为相同温度、压力下气态的1000倍，吸气时放热，加热就能够释放获得高压、质好、两大的超纯氢。该法由于氢化物自身很不稳定，易受有害成分毒害，长时间多次反复吸放使用，性能会明显下降。同时，还存在着机械强度问题，目前的储氢合金材料反复吸放，应用次数不多就要更换，成本高。
3.低温吸附法。此法一般以水电解制得氢，先采用催化吸附工艺制得高纯氢，后将高压高纯氢采用液氮蒸发温度下的低温吸附，除去微量的氮、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水等杂质，获得超纯氢。该法生产超纯氢耗能高，对设备要求高，而且在实际操作过程中对温度控制、液氮的调节还存在问题，使得装置不能正常生产，产品质量很不稳定。
针对以上三种超纯氢生产方法存在的不足，一些新型的超纯氢的制备方法已有些报道，方法也不止一种。CN 101691209 A 提供了一种以高压高纯氢为原料，筛选使用北京大学化学院研发，对氮氧吸附容量（尤其对氮）均大、同时可除其他微量杂质，不同一般4A、5A、13X等等吸附剂的pu-8新型吸附剂，并采用过量10倍吸附剂用量、低6倍常用吸附气速、自控在高压下净化杂质等的新工艺及直接罐充洁净超纯氢钢瓶，成功生产超纯氢的新方法。CN 105268282 A公开了一种低温变压吸附制备超纯氢的方法，该方法以电解水纯化后的99.999%高纯氢为原料，将其降温至-30~35℃，然后进入采用四塔式变压吸附法的变压吸附系统，四塔循环实现工业化。这些发明都在原有技术的基础上进行了创新，能够制备符合国标的超纯氢，但是依然存在工艺复杂，投资大，成本高的问题。
发明内容
针对上述制备超纯氢方法存在的问题，本发明采用电解制氢工艺，对电解前的软化水进行预处理，通入高纯氧保压，再利用催化脱氧和分子筛脱水工艺，过滤除尘，钢瓶烘干处理工艺，生产出的超纯氢纯度符合“GBT 3634.2-2011 纯氢、高纯氢和超纯氢”的要求，具有超纯氢产量高、投资少、生产稳定等特点。
本发明解决其技术问题所采取的技术方案是：
一种超纯氢的制备方法，包括以下步骤：
（1）预热：将软化水罐中的软化水进行预热；
（2）保压：向步骤（1）预热后的软化水罐中通入高纯氧气保压；
（3）电解：将步骤（2）中的软化水经冷却后通入水电解系统进行电解，产出电解氢；
（4）催化脱氧：将步骤（3）中产出的电解氢通过脱氧催化塔脱除氧等杂质；
（5）脱水干燥：将步骤（4）除杂后的电解氢经冷却器冷却后用汽水分离器脱除游离水，增压，增压后通过高压汽水分离器，进入分子筛塔除去水分和二氧化碳。
（6）过滤除尘：步骤（5）脱水干燥的电解氢经过滤器过滤，除去杂质，即得超纯氢。
所述步骤（1）中，预热温度优选95~100℃，在此温度范围内，Ar、N2、CO、CO2、CH4和Cl2在水中的溶解度几乎为零（见表1、表2），优选预热时间为10~30min，将溶解在其中的Ar、N2、CO、CO2、CH4和Cl2全部去除。
所述步骤（2）中预热软化水充高纯氧保压，保压压力优选0.02~0.04MPa，边保压边降温冷却，冷却温度优选0~40℃。由于高纯氧的保压作用，避免空气中Ar、N2、CO、CO2、CH4和Cl2再次溶解在软化水中。
所述步骤（4）中采用脱氧催化塔，可降低催化脱氧反应的耗能，作为优化的，所述脱氧催化塔所用催化剂为中国科学院大连化学物理研究所研制的催化剂HC-1，所述脱氧催化塔工作温度优选50±20℃，通过该步骤可以进一步去除电解氢中的氧等杂质。
所述步骤（5）中采用汽水分离器、高压汽水分离器和分子筛等设备，充分去除电解氢中的水分、二氧化碳等杂质，作为优化的，电解氢增压至15MPa，所述分子筛优选13XAPG分子筛，由两组组成，工作时一组使用，一组再生。
所述步骤（6）进一步对脱水干燥后的电解氢进行机械杂质的去除，使氢的纯度得到进一步的提高。通过步骤（6）获得的超纯氢在压缩充瓶前。对钢瓶进行特殊烘干处理，去除瓶内粉尘和水，抽至真空后进行充装。
表1 气体在水中的溶解度
表2 氩气（Ar）吸收系数
注：吸收系数，是指在气体分压等于101.325KPa时，被1体积水所吸收的该气体体积。
本发明的有益效果是：本发明研究出一种新型操作简单、行之有效的超纯氢制备方法，成功避开了钯合金扩散膜（管）分离法成本高、储氢合金吸放法中氢化物使用寿命短、低温吸附法需要使用液氮且工艺不稳定等的缺点。在对原料软化水进行预热处理时，N2、Ar、CH4等各种难于去除的杂质即被脱除，经电解后可得到超纯氢，区别于其他方法中先电解生成高纯氢，再将高纯氢进行纯化的工艺路线，具有生产能耗低、流程效率高，工艺简单、成本低等特点。
具体实施方式
以下对本发明的优选实施例进行详细描述，优选实施例中未注明具体条件的实验方法，按照常规条件进行。
以下实施例使用的主要设备的信息为：2m3软化水罐，该软化水罐中设有加热盘管和冷凝装置；水电解制氢装置：型号：ZDQ-125/1.5，氢气额定产量：125Nm3/h；催化脱氧塔，该催化脱氧塔采用两组电加热装置来保证反应温度：干燥器：包括汽水分离器、高压汽水分离器和分子筛塔，其中分子筛塔为2组，在工作时一组工作，另一组再生。前述未标明具体型号的设备为工业常规设备，由市售购买所得。
实施例1
通过上述生产装置，按下述流程进行高纯氧的制备：
（1）预热：在常压下将2m3软化水罐中的软化水加热至100℃，加热时间为15min，将溶解在水中Ar、N2、CO、CO2、CH4和Cl2全部除去；
（2）保压：向步骤（1）预热后的软化水罐中通入高纯氧气保压，保压压力为0.3MPa，边保压边降温冷却，冷却温度优选30℃，由于高纯氧的保压作用，避免空气中Ar、N2、CO、CO2、CH4和Cl2再次溶解在软化水中。
（3）电解：将步骤（2）中冷却至30℃的软化水通入水电解制氢装置进行电解，产出电解氢，经检测，其中还有水、二氧化碳等杂质。
（4）催化脱氧：将步骤（3）中产出的电解氢引入脱氧催化塔脱，在温度为50±20℃下，采用中国科学院大连化学物理研究所研制的催化剂HC-1进行催化，使电解氢中的杂质氧与氢反应生成水，得到含氢99.999%的电解氢。
（5）脱水干燥：将步骤（4）除杂后的电解氢经冷却器冷却后用汽水分离器脱除游离水，然后增压至15MPa后通过高压汽水分离器，随后进入分子筛塔除去水分和二氧化碳，所述分子筛优选13XAPG分子筛，由两组组成，工作时一组使用，一组再生。
（6）过滤除尘：步骤（5）脱水干燥的电解氧经过滤器过滤，除去机械杂质，即得纯度为99.99995%的超纯氢，其各项指标详见表3。
在压缩充瓶前，盛装超纯氢的钢瓶经过特殊烘干处理，去除瓶内粉尘和水，抽至真空后进行充装，生产出瓶装超纯氢。
表3 实施例测试结果
上述具体实施方式仅是本发明的具体个案，本发明的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本发明权利要求书的一种超纯氢的制备方法且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本发明的专利保护范围。

Claims (5)

1.一种超纯氢的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）预热：将软化水罐中的软化水加热至95~100℃，预热时间为10~30min；
（2）保压：向步骤（1）预热后的软化水罐中通入高纯氧气保压，保压压力为0.02~0.04MPa，边保压边降温，冷却温度控制在0~40℃；
（3）电解：将步骤（2）中的软化水经冷却后通入水电解系统进行电解，产出电解氢；
（4）催化脱氧：将步骤（3）中产出的电解氢通过脱氧催化塔脱除杂质氧；
（5）脱水干燥：将步骤（4）除杂质后的电解氢经冷却器冷却后用汽水分离器脱除游离水，电解氢增压至15MPa，增压后通过高压汽水分离器，进入分子筛塔除去水分和二氧化碳；
（6）过滤除尘：步骤（5）脱水干燥的电解氢经过滤器过滤，除去杂质，即得超纯氢。
2.根据权利要求1所述的一种超纯氢的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）脱氧催化塔所用催化剂为中国科学院大连化学物理研究所研制的催化剂HC-1。
3.根据权利要求1所述的一种超纯氢的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）脱氧催化塔工作温度控制在30~70℃。
4.根据权利要求1所述的一种超纯氢的制备方法，其特征在于：所述步骤（5）分子筛为13XAPG分子筛。
5.根据权利要求1所述的一种超纯氢的制备方法，其特征在于：所述步骤（6）获得的超纯氢在压缩充瓶前，对钢瓶进行烘干处理，去除瓶内粉尘和水，抽真空灌装。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022231658A1 (en) * 2021-04-28 2022-11-03 Messer Industries Usa, Inc. Argon stripping from water for high purity hydrogen and oxygen production

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3581683A1 (de) * 2018-06-15 2019-12-18 Siemens Aktiengesellschaft Elektrolysevorrichtung mit einem rekombinator und verfahren zum betreiben der elektrolysevorrichtung
CN112805411A (zh) * 2018-11-05 2021-05-14 旭化成株式会社 氢的制造方法
CN110965069B (zh) * 2019-12-25 2022-07-12 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 电解水生产高纯氢气和/或氧气的装置和方法
CN111874863B (zh) * 2020-08-07 2023-05-30 华北电力大学（保定） 一种太阳能光催化制氢燃料电池发电系统
WO2023132876A1 (en) * 2022-01-04 2023-07-13 Praxair Technology, Inc. System and method for co-producing ultra-high purity oxygen and ultra-high purity hydrogen
CN115341226A (zh) * 2022-08-30 2022-11-15 昭科有限公司 一种制备超纯氢的预处理方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1070128A (zh) * 1991-09-06 1993-03-24 中国科学院大连化学物理研究所 一种钯/氧化锰脱氧剂
CN101407920A (zh) * 2008-10-31 2009-04-15 西南化工研究设计院 一种由水电解连续生产高纯氢的工艺
CN101691209A (zh) * 2009-09-28 2010-04-07 苏州市金宏气体有限公司 高压超纯氢制备方法
CN204589320U (zh) * 2015-03-27 2015-08-26 淄博安泽特种气体有限公司 电解水制高氢普氧装置
CN105268282A (zh) * 2015-09-18 2016-01-27 北京环宇京辉京城气体科技有限公司 一种低温变压吸附制备超纯氢的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1751139B (zh) * 2003-02-21 2010-12-08 阿维伦斯有限责任公司 电解器设备和制氢方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1070128A (zh) * 1991-09-06 1993-03-24 中国科学院大连化学物理研究所 一种钯/氧化锰脱氧剂
CN101407920A (zh) * 2008-10-31 2009-04-15 西南化工研究设计院 一种由水电解连续生产高纯氢的工艺
CN101691209A (zh) * 2009-09-28 2010-04-07 苏州市金宏气体有限公司 高压超纯氢制备方法
CN204589320U (zh) * 2015-03-27 2015-08-26 淄博安泽特种气体有限公司 电解水制高氢普氧装置
CN105268282A (zh) * 2015-09-18 2016-01-27 北京环宇京辉京城气体科技有限公司 一种低温变压吸附制备超纯氢的方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"新型高效气体净化剂";唐学渊等;《低温与特气》;19920401(第1期);第67-70页 *
"气体纯化用脱氧剂和催化剂";张俊香等;《低温与特气》;19940330(第1期);第51-54页 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022231658A1 (en) * 2021-04-28 2022-11-03 Messer Industries Usa, Inc. Argon stripping from water for high purity hydrogen and oxygen production

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Registration number: Y2021980012061

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
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Denomination of invention: A Preparation Method of Ultrapure Hydrogen

Effective date of registration: 20221202

Granted publication date: 20180810

Pledgee: Shandong Yishui Rural Commercial Bank Co.,Ltd.

Pledgor: SHANDONG HONGDA BIOTECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: Y2022980024777