CN106226931A - 调节装置与其应用 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种调节装置与其应用。该调节装置用于调节两个部件处于平行状态，两个部件分别为相对且间隔设置的第一部件与第二部件，第二部件的靠近第一部件的表面上设置有结构层，调节装置包括：感应单元、处理器与调整单元，感应单元与第一部件连接，用于感知第一部件的位置信息；处理器的一端与感应单元电连接，用于根据第一部件的位置信息判断第一部件与第二部件的位置关系；调整单元的一端与处理器电连接，另一端与第二部件连接，当第一部件与第二部件不平行时，调整单元根据处理器的判断结果调节第二部件的位置，以使第二部件与第一部件平行。该调节装置结构简单，避免了现有技术中的调节装置或者调节方法复杂的问题。

Description

调节装置与其应用

技术领域

本申请涉及显示领域，具体而言，涉及一种调节装置与其应用。

背景技术

目前，在2D/3D可切换显示装置的成盒工艺中，需要使用框胶(Seal)来粘结上下盖板。而现在的液晶注入方式是采用液晶滴下的方式(ODF)代替传统方式。

无论是采用传统的液晶注入方式还是采用液晶滴下的方式，均是采用框胶密封液晶，框胶是通过加热固化的方式成型的。众所周知的是，热能的传递需要时间框胶被热固化亦需要时间。因此，在上下盖板合体后，液晶(LC)因扩散与尚未固化的框胶接触，从而导致污染问题，通常称这种问题为穿刺，

为解决穿刺问题，在框胶中添加了可被紫外线(UV)固化的部分，通过使用特定波长UV照射，使Seal的部分固化；再采用加热固化的方式，实现了Seal的完全固化，从而最终实现了Seal对上下盖板的粘结。

上述引入UV光照射Seal，但UV光不可避免地会照射到LC及3D模组中的透镜结构。大量的实验及数据证明，LC及透镜结构在被UV照射后，其光学性能发生变化，因此，在ODF工艺中引入了紫外线光罩(UV Mask)来掩蔽不需要UV照射的LC以及透镜结构。

UV Mask的结构如图1所示，掩蔽区域01制作成类似镜子的反射面，用来掩蔽不需要UV照射的LC以及透镜结构。在具体的使用过程中，需要采用光罩基板(Mask Base，是一种透过率好，并依据UV Mask的尺寸四周开槽的石英玻璃)将UV Mask吸附在其的下方，实现UVMask的固定且不影响其他结构层的结构。

在采用UV固化Seal时，必须保持光罩基板5(已经吸附有紫外线光罩4)与工作基台1(Work Stage，用于放置基板2与透镜层3形成的结构的平台，基板以及透镜层均与该平台平行)平行，如果出现图2所示的情况，就会产生穿刺现象，并且，使得不需要被UV光照射的区域(LC与透镜结构所在的区域)暴露在UV光下，影响3D模组的光学性能。

现有技术中，为使UV Mask与Work Stage之间相对平行，主要通过水平仪分别调整Work Stage与Mask Base，使得二者均达到水平，这个方法存在以下缺点：因产品切换，需更换UV Mask，同时用于吸附的UV Mask的Mask Base需下机清洁。久之，优于机械磨损与累计误差，使得UV Mask与Mask Base无法保证水平，Work Stage也无法保证水平；该方法调整复杂，耗时久，水平治具精密度要求高，调整人员有较丰富的经验；该方法没有能够独立检测UV Mask与独立检测Work Stage是否保持水平的装置，待产品穿刺后，才能被察觉，器件的良率低。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种调节装置与其应用，以解决现有技术中的调节装置较复杂的问题。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种调节装置，该调节装置用于调节两个部件处于平行状态，两个上述部件分别为第一部件与第二部件，上述第一部件与上述第二部件相对且间隔设置，上述第二部件的靠近上述第一部件的表面上设置有结构层，上述调节装置包括：感应单元，与上述第一部件连接，用于感知上述第一部件的位置信息；处理器，一端与上述感应单元电连接，用于根据上述第一部件的位置信息判断上述第一部件与上述第二部件的位置关系；调整单元，一端与上述处理器电连接，另一端与上述第二部件连接，当上述第一部件与上述第二部件不平行时，上述调整单元根据上述处理器的判断结果调节上述第二部件的位置，以使上述第二部件与上述第一部件平行。

进一步地，上述感应单元包括间隔设置的至少三个感应器，三个上述感应器位于第一平面内，上述第一平面与上述第一部件平行。

进一步地，上述感应器为压力传感器。

进一步地，上述调整单元包括第一调位部，上述第一调位部包括间隔设置的至少三个调位器，三个上述调位器设置在上述第二部件的远离上述第一部件的表面，各上述调位器用于调整上述第二部件的位置。

进一步地，上述感应单元包括三个感应器，上述感应器为压力传感器，上述第一调位部包括三个上述调位器。

进一步地，三个上述压力传感器分别是第一压力传感器、第二压力传感器与第三压力传感器，三个调位器分别是第一调位器、第二调位器与第三调位器，上述第一压力传感器与上述第二压力传感器之间的距离等于上述第一调位器与上述第二调位器之间的距离，上述第一压力传感器与上述第三压力传感器之间的距离等于上述第一调位器与上述第三调位器之间的距离，上述第三压力传感器与上述第二压力传感器之间的距离等于上述第三调位器与上述第二调位器之间的距离。

进一步地，三个上述压力传感器设置在第一部件的靠近上述第二部件的表面上或者各上述压力传感器至少有一部分嵌在上述第一部件内，三个上述压力传感器在第二平面上的投影位于上述结构层在上述第二平面上的投影的外部，三个上述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个上述调位器在上述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，上述第一三角形与上述第二三角形关于上述第二平面上的一条直线对称，上述第二平面为上述第一部件的远离上述第二部件的表面的延展平面。

进一步地，三个上述压力传感器嵌在上述第一部件内，三个上述压力传感器在第二平面上的投影位于上述结构层在第二平面上的投影的外部，三个上述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个上述调位器在上述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，上述第一三角形与上述第二三角形重合，上述第二平面为上述第一部件的远离上述第二部件的表面的延展平面。

进一步地，上述调节装置还包括：支撑层，设置在上述第一部件的靠近上述第二部件的表面上，上述感应单元设置在支撑层的靠近上述第二部件的表面上或者上述感应单元的至少一部分嵌在上述支撑层内。

进一步地，上述调整单元还包括：支撑台，设置在上述第一调位部的远离上述第二部件的表面上；第二调位部，设置在上述支撑台的远离上述第一调位部的表面上，上述第二调位部用于提升上述支撑台。

进一步地，上述第二调位部为提升马达。

进一步地，上述感应单元包括三个压力传感器，三个上述压力传感器位于第一平面内，上述第一平面与上述第一部件平行，上述调整单元包括第一调位部，上述第一调位部包括间隔设置的三个调位器，三个上述调位器设置在上述第二部件的远离上述第一部件的表面上，各上述调位器用于调整上述第二部件的位置，上述压力传感器与上述调位器一一对应，上述处理器包括：判断模块，与各上述压力传感器电连接，用于判断上述压力传感器的输出值是否等于预设值；控制模块，一端与上述判断模块电连接，另一端与各上述调位器电连接，当上述压力传感器的输出值不等于预设值时，上述控制模块发出控制信号调整对应的上述调位器的高度。

进一步地，上述调位器为电缸或气缸。

根据本申请的另一方面，提供了一种上述调节装置的应用，上述第一部件为吸附紫外线光罩的光罩基板，上述紫外线光罩靠近上述第二部件设置，上述第二部件为工作基台，上述结构层包括沿远离上述工作基台的方向依次设置在工作基台的靠近上述紫外线光罩的表面上的基板与透镜层。

应用本申请的技术方案，采用感应单元感知第一部件的位置信息并将该位置信息传输至处理器中，处理器根据该位置信息判断第一部件与第二部件的位置关系，即二者是否平行，如果不平行，处理器还可以根据该位置信息判断第一部件的哪个位置与第二部件的距离较近，哪个位置距离较远，并将最后的判断信息传输至调整单元，当第一部件与第二部件平行时，调整单元不对第二部件的位置进行调整，如果二者不平行，调整单元则根据处理器判断得到的信息对第二部件的位置进行调整，直到二者平行为止，该调节装置结构简单，调节过程不复杂，很好地避免了现有技术中的调节装置或者调节方法复杂的问题。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示出了现有技术中的紫外线光罩的结构示意图；

图2示出了现有技术中的一种实施例提供的光罩基板与工作基台不平行的情况示意图；

图3示出了本申请一种实施例提供的调整单元设置在工作基台的表面后的结构示意图；

图4示出了本申请的另一种实施例提供的感应单元设置在光罩基板的表面后的结构示意图；

图5示出了本申请的一种实施例提供的紫外线光罩与光罩基板形成的结构的示意图；以及

图6示出了本申请的再一种实施例提供的工作基台上依次设置基板与透镜层形成的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

01、掩蔽区域；1、工作基台；2、基板；3、透镜层；4、紫外线光罩；5、光罩基板；10、感应器；20、支撑层；30、调位器；40、支撑台；50、第二调位部。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

正如背景技术所介绍的，现有技术中的调节装置比较复杂，为了解决如上的技术问题，本申请提出了一种调节装置与其应用。

本申请的一种典型的实施方式中，提供了一种调节装置，上述调节装置用于调节两个部件处于平行状态，两个部件分别为第一部件与第二部件，第一部件与第二部件相对且间隔设置，上述第二部件的靠近上述第一部件的表面上设置有结构层，该调整装置包括感应单元、处理器与调整单元。其中，感应单元与上述第一部件连接，用于感知上述第一部件的位置信息；处理器的一端与上述感应单元电连接，用于根据上述第一部件的位置信息判断上述第一部件与上述第二部件的位置关系；调整单元的一端与上述处理器电连接，另一端与上述第二部件连接，当上述第一部件与上述第二部件不平行时，上述调整单元根据上述处理器的判断结果调节上述第二部件的位置，以使上述第二部件与上述第一部件平行。

上述的调节装置，采用感应单元感知第一部件的位置信息并将该位置信息传输至处理器中，处理器根据该位置信息判断第一部件与第二部件的位置关系，即二者是否平行，如果不平行，处理器还可以根据该位置信息判断第一部件的哪个位置与第二部件的距离较近，哪个位置距离较远，并将最后的判断信息传输至调整单元，当第一部件与第二部件平行时，调整单元不对第二部件的位置进行调整，如果二者不平行，调整单元则根据处理器判断得到的信息对第二部件的位置进行调整，直到二者平行为止，该调节装置结构简单，调节过程不复杂，很好地避免了现有技术中的调节装置或者调节方法复杂的问题。

本申请的一种实施例中，如图3所示，上述感应单元包括间隔设置的至少三个感应器10(由于是剖视图，所以图中只示出了两个)，三个上述感应器10位于第一平面内，上述第一平面与上述第一部件平行。通过该三个感应器10可以判断第一部件不同位置的位置信息，进而能够更加精确地获取第一部件的位置信息，进而可以对第一部件与第二部件的位置关系进行判断，并且可以更加精确地判断第一部件的哪个位置离第二部件的距离较近，哪个位置距离第二部件的距离较远，进而调整单元可以根据处理器得到的结果更加准确地对第二部件的位置进行调整，能够更加高效地将第一部件与第二部件调整为平行的状态。

为了更加高效地获取第一部件的位置信息，本申请优选感应器为压力传感器。通过压力传感器感受到的压力与处理器中的预设值作比较，当各压力传感器感知到的压力值不相同，且有的压力值不等于预设值，则可以通过调整单元调整第二部件的位置，进而使得该压力传感器感知到的压力值与预设值相同，进而使得第一部件与第二部件处于平行状态。

上述的感应器并不限于压力传感器，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的感应器。

为了能够对第二部件的不同位置进行调整，进而更加高效地将第一部件与第二部件调整为平行状态，如图4所示，本申请优选上述调整单元包括第一调位部，上述第一调位部包括间隔设置的至少三个调位器30，三个上述调位器30设置在上述第二部件的远离上述第一部件的表面上，各上述调位器30用于调整上述第二部件的位置。

本申请的另一种实施例中，上述感应单元包括三个感应器，上述感应器为压力传感器，上述第一调位部包括三个上述调位器。这样不仅能够更加准确地获取第一部件的位置信息，还可以更加精确地对第二部件的位置进行调整，可以更加高效地调节进而使得第一部件与第二部件处于平行状态。

为了使得三个感应器与三个调位器之间具有一定的对应关系，进而处理器根据对应的传感器的位置信息判断第一部件的对应位置与第二部件上与对应的调位器对应位置关系，进而调整单元调整的时候可以根据处理器的判断结果针对性地通过某个调位器或某几个调位器的调整第二部件的某个区域的位置，使得第二部件与第一部件平行，这样可以更加高效地使第一部件与第二部件处于平行状态。本申请的一种实施例中，三个上述压力传感器分别是第一压力传感器、第二压力传感器与第三压力传感器，三个调位器分别是第一调位器、第二调位器与第三调位器，上述第一压力传感器与上述第二压力传感器之间的距离等于上述第一调位器与上述第二调位器之间的距离，上述第一压力传感器与上述第三压力传感器之间的距离等于上述第一调位器与上述第三调位器之间的距离，上述第三压力传感器与上述第二压力传感器之间的距离等于上述第三调位器与上述第二调位器之间的距离。

本申请的另一种实施例中，上述三个压力传感器设置在第一部件的靠近上述第二部件的表面上或者各上述压力传感器至少有一部分嵌在上述第一部件内，三个上述压力传感器在第二平面上的投影位于上述结构层在上述第二平面上的投影的外部(这样可以进一步保证压力传感器不会对透镜层造成损伤，影响器件的性能)，三个上述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个上述调位器在上述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，上述第一三角形与上述第二三角形关于上述第二平面上的一条直线对称，上述第二平面为上述第一部件的远离上述第二部件的表面的延展平面。这样如果第一压力传感器感受的压力不等于预设值，就可以通过调整第一调位器使得第一压力传感器的压力值达到预设值，以使第一部件与第二部件平行。

为了使得压力传感器与调位器严格一一对应，即如果第一(二或三)压力传感器感知到的压力值不等于预设值，则通过第一(二或三)调位器调整第二部件的位置就可以使得第一(二或三)压力传感器感知到的压力值与预设值相同，本申请优选三个上述压力传感器嵌在上述第一部件内，三个上述压力传感器在第二平面上的投影位于上述结构层在第二平面上的投影的外部，三个上述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个上述调位器30在上述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，上述第一三角形与上述第二三角形重合，上述第二平面为上述第一部件的远离上述第二部件的表面的延展平面。

本申请的另一种实施例中，如图3所示，上述调节装置还包括支撑层20，该层在上述第一部件的靠近上述第二部件的表面上，上述感应单元设置在支撑层20的靠近上述第二部件的表面上或者至少一部分嵌在上述支撑层20内，如图3所示，当三个压力传感器的一部分嵌在支撑层20内时，其另一部分嵌在第一部件内。这样可以使得压力传感器能够更准确地获得第一部件的位置信息。

本领域技术人员可以根据本申请的调节装置的应用场景，将支撑层设置在第一部件的不同位置上，当本申请中的调节装置用于调节紫外基板与工作基台的平行时，如图5所示，支撑层20设置在光罩基板5的表面上且环绕紫外线光罩4设置，该应用场景中的支撑层20不仅用于嵌入感应单元，还用于支撑光罩基板5。

为了更快捷高效地将第二部件的位置，使得第一部件与第二部件的位置处于平行且达到预设的距离，如图4所示，本申请优选上述调整单元还包括支撑台40与第二调位部50，其中，支撑台40设置在上述第一调位部的远离上述第二部件的表面上；第二调位部50，设置在上述支撑台40的远离上述第一调位部的表面上，上述第二调位部50用于提升上述支撑台40到预定位置。这样在具体的调节第二部件的位置时，可以通过第二调位部将第二部件的位置粗调到一个位置，该位置与第二部件的预设位置距离较近，然后再通过第一调位部精确地调整第二部件的位置，使得第一部件与第二部件平行且使得第一部件与第二部件达到预设的距离。

本申请的一种实施例中，上述第二调位部为提升马达。

为了使得处理器高效地判断第一部件与第二部件的位置关系并对第二部件的位置进行准确地判断，本申请的再一种实施例中，上述感应单元包括三个压力传感器，三个上述压力传感器位于第一平面内，上述第一平面与上述第一部件平行，上述调整单元包括第一调位部，上述第一调位部包括间隔设置的三个调位器，三个上述调位器设置在上述第二部件的远离上述第一部件的表面上，各上述调位器用于调整上述第二部件的位置，上述压力传感器与上述调位器一一对应，上述处理器包括判断模块与控制模块，其中，判断模块与各上述压力传感器电连接，用于判断上述压力传感器的输出值是否等于预设值；控制模块的一端与上述判断模块电连接，另一端与各上述调位器电连接，当上述压力传感器的输出值不等于预设值时，上述控制模块发出控制信号调整对应的上述调位器的高度，以使该压力传感器感知到的电压值等于预设值。

本申请的一种实施例中，上述调节装置在应用时，控制各调位器的高度持续上升，当一个上述压力传感器的输出值等于预设值时，对应的调位器的高度停止上升。当三个压力传感器的输出值等于预设值时，停止三个的调位器的高度停止上升，第一部件与第二部件处于平行状态且达到预定的距离。

本申请中的压力的预设值可以根据实际情况选择，例如选择20KN或30KN。

本申请的一种实施例中，上述调位器为电缸或气缸。

但是调位器并不限于是电缸或者气缸，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适调位器。

本申请的另一种优选的实施例中，上述调位器为电缸，电缸的定位精度更高。

不是的另一种典型的实施方式中，提供了一种上述调节装置的应用，采用该调节装置调整光罩基板5与工作基台1的位置使得二者平行，其中，如图5所示，光罩基板5吸附有紫外线光罩4，如图6所示，结构层包括基板2与透镜层3，基板2与透镜层3依次设置在上述工作基台1的靠近上述光罩基板5的表面上。这样通过调整光罩基板5与工作基台1平行，就可以使得透镜层3与紫外线光罩4平行。

将该调整装置应用到调整紫外线光罩与透镜层的平行过程中，使得紫外线光罩与透镜层能够快速地处于平行状态，进而提高了制作3D模组的效率，且提高了3D模组的良率。

为了使得本领域技术人员能够更加清楚地了解本申请的方案，以下将结合具体的实施例说明本申请的技术方案。

实施例

采用调节装置调节光罩基板5与工作基台1的位置使得二者平行，其中，如图5所示，光罩基板5吸附有紫外线光罩4，支撑层20设置在光罩基板5的靠近结构层的表面上，且环绕紫外线光罩5设置，如图6所示，基板2与透镜层3依次设置在工作基台1的靠近第一部件的表面上。这样通过调整光罩基板5与工作基台1平行，就可以使得透镜层3与紫外线光罩4平行。

调节装置包括感应单元、处理器、支撑层与调整单元。感应单元包括三个感应器，感应器10为压力传感器，三个压力传感器分别是第一压力传感器、第二压力传感器与第三压力传感器，三个压力传感器一部分嵌在支撑层内，另一部分嵌在光罩基板内，三个压力传感器在第二平面上的投影位于结构层在第二平面上的投影的外部，三个压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形。

调整单元包括第一调整部、支撑台与第二调整部。其中，第一调整部包括三个调位器，分别是第一调位器、第二调位器与第三调位器，调整器为电缸。其中，三个调位器在第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，第一三角形与第二三角形重合，第二平面为第一部件的远离第二部件的表面的延展平面，第二调位部为提升马达。

且第一压力传感器与第二压力传感器之间的距离等于第一调位器与第二调位器之间的距离，第一压力传感器与第三压力传感器之间的距离等于第一调位器与第三调位器之间的距离，第三压力传感器与第二压力传感器之间的距离等于第三调位器与第二调位器之间的距离。该调节装置中，第一压力传感器与第一调位器对应，第二压力传感器与第二调位器对应，第三压力传感器与第三调位器对应。

处理器包括判断模块与控制模块。该调节装置中的各个部件的连接关系与上述记载的内容中的相同，此处就不再赘述了。

具体的调节过程为：

采用提升马达提升第二部件的高度，逐渐减小第二部件与第一部件的距离，当二者的距离为3～5cm时，停止提升马达的上升，开启三个调位器，增加调位器的高度，使得第二部件与第一部件的距离逐渐缩小。三个压力传感器获取第一部件上对应位置的压力值，并将这些压力值传送至处理器的判断模块中，判断模块将这些压力值分别与预设值比较，当某个压力传感器输出的压力值达到预设值20KN时，停止调节该调位器的高度，当某个压力传感器输出的压力值小于预设值时，对应的调位器高度继续上升，直到对应的压力传感器的压力值达到预设值。当三个压力传感器的压力值均达到预设值时，第一部件与第二部件平行，且到达预定的距离。

从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果：

1)、本申请的调节装置，采用感应单元感知第一部件的位置信息并将该位置信息传输至处理器中，处理器根据该位置信息判断第一部件与第二部件的位置关系，即二者是否平行，如果不平行，处理器还可以根据该位置信息判断第一部件的哪个位置与第二部件的距离较近，哪个位置距离较远，并将最后的判断信息传输至调整单元，当第一部件与第二部件平行时，调整单元不对第二部件的位置进行调整，如果二者不平行，调整单元则根据处理器判断得到的信息对第二部件的位置进行调整，直到二者平行为止，该调节装置结构简单，调节过程不复杂，很好地避免了现有技术中的调节装置或者调节方法复杂的问题。

2)、将上述的调整装置应用到调整紫外线光罩与透镜层的平行过程中，使得紫外线光罩与透镜层能够快速地处于平行状态，进而提高了制作3D模组的效率，且提高了3D模组的良率。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种调节装置，所述调节装置用于调节两个部件处于平行状态，两个所述部件分别为第一部件与第二部件，所述第一部件与所述第二部件相对且间隔设置，所述第二部件的靠近所述第一部件的表面上设置有结构层，其特征在于，所述调节装置包括：

感应单元，与所述第一部件连接，用于感知所述第一部件的位置信息；

处理器，一端与所述感应单元电连接，用于根据所述第一部件的位置信息判断所述第一部件与所述第二部件的位置关系；以及

调整单元，一端与所述处理器电连接，另一端与所述第二部件连接，当所述第一部件与所述第二部件不平行时，所述调整单元根据所述处理器的判断结果调节所述第二部件的位置，以使所述第二部件与所述第一部件平行。

2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述感应单元包括间隔设置的至少三个感应器(10)，三个所述感应器(10)位于第一平面内，所述第一平面与所述第一部件平行。

3.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述感应器(10)为压力传感器。

4.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述调整单元包括第一调位部，所述第一调位部包括间隔设置的至少三个调位器(30)，三个所述调位器(30)设置在所述第二部件的远离所述第一部件的表面上，各所述调位器(30)用于调整所述第二部件的位置。

5.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述感应单元包括三个感应器(10)，所述感应器(10)为压力传感器，所述第一调位部包括三个所述调位器(30)。

6.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，三个所述压力传感器分别是第一压力传感器、第二压力传感器与第三压力传感器，三个调位器(30)分别是第一调位器、第二调位器与第三调位器，所述第一压力传感器与所述第二压力传感器之间的距离等于所述第一调位器与所述第二调位器之间的距离，所述第一压力传感器与所述第三压力传感器之间的距离等于所述第一调位器与所述第三调位器之间的距离，所述第三压力传感器与所述第二压力传感器之间的距离等于所述第三调位器与所述第二调位器之间的距离。

7.根据权利要求6所述的调节装置，其特征在于，三个所述压力传感器设置在第一部件的靠近所述第二部件的表面上或者各所述压力传感器至少有一部分嵌在所述第一部件内，三个所述压力传感器在第二平面上的投影位于所述结构层在所述第二平面上的投影的外部，三个所述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个所述调位器(30)在所述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，所述第一三角形与所述第二三角形关于所述第二平面上的一条直线对称，所述第二平面为所述第一部件的远离所述第二部件的表面的延展平面。

8.根据权利要求6所述的调节装置，其特征在于，三个所述压力传感器嵌在所述第一部件内，三个所述压力传感器在第二平面上的投影位于所述结构层在第二平面上的投影的外部，三个所述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个所述调位器(30)在所述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，所述第一三角形与所述第二三角形重合，所述第二平面为所述第一部件的远离所述第二部件的表面的延展平面。

9.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述调节装置还包括：

支撑层(20)，设置在所述第一部件的靠近所述第二部件的表面上，所述感应单元设置在支撑层(20)的靠近所述第二部件的表面上或者所述感应单元的至少一部分嵌在所述支撑层(20)内。

10.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述调整单元还包括：

支撑台(40)，设置在所述第一调位部的远离所述第二部件的表面上；以及

第二调位部(50)，设置在所述支撑台(40)的远离所述第一调位部的表面上，所述第二调位部(50)用于提升所述支撑台(40)。

11.根据权利要求10所述的调节装置，其特征在于，所述第二调位部(50)为提升马达。

12.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述感应单元包括三个压力传感器，三个所述压力传感器位于第一平面内，所述第一平面与所述第一部件平行，所述调整单元包括第一调位部，所述第一调位部包括间隔设置的三个调位器(30)，三个所述调位器(30)设置在所述第二部件的远离所述第一部件的表面上，各所述调位器(30)用于调整所述第二部件的位置，所述压力传感器与所述调位器(30)一一对应，所述处理器包括：

判断模块，与各所述压力传感器电连接，用于判断所述压力传感器的输出值是否等于预设值；以及

控制模块，一端与所述判断模块电连接，另一端与各所述调位器(30)电连接，当所述压力传感器的输出值不等于预设值时，所述控制模块发出控制信号调整对应的所述调位器(30)的高度。

13.根据权利要求4至8、10与11中任一项所述的调节装置，其特征在于，所述调位器(30)为电缸或气缸。

14.一种权利要求1至13中任一项所述的调节装置的应用，其特征在于，所述第一部件为吸附紫外线光罩(4)的光罩基板(5)，所述紫外线光罩(4)靠近所述第二部件设置，所述第二部件为工作基台(1)，所述结构层包括沿远离所述工作基台的方向依次设置在工作基台的靠近所述紫外线光罩(4)的表面上的基板(2)与透镜层(3)。