CN106205973B - 线圈单元及其制造方法以及电力电感器及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种线圈单元及其制造方法以及电力电感器及其制造方法。该线圈单元包括绝缘基板和线圈图案，其中，线圈图案具有：第一镀覆部，形成在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上，其中，第一镀覆部的上侧呈锥形形状；第二镀覆部，形成为围住第一镀覆部，且与第一镀覆部的形状相对应。

Description

线圈单元及其制造方法以及电力电感器及其制造方法

通过引用要求并包含的国内优先权申请和国外优先权申请如下：本申请要求于2014年9月5日提交的第10-2014-0118546号韩国专利申请的权益，其全部内容通过引用包含于本申请中。

技术领域

本发明涉及一种用于电力电感器的线圈单元，一种用于电力电感器的线圈单元的制造方法，一种电力电感器以及一种电力电感器的制造方法。

背景技术

由于电感器器件是一种与电容器一起组成电子电路的主要无源器件之一，所以电感器器件主要用于如电子装置中的DC-DC转换器等的电源电路中或者被广泛地用作消除噪声的组件或形成LC谐振电路的组件。其中，具体地，根据如移动电话和平板电脑等中的通信、照相以及游戏的多驱动需要，电力电感器的使用已经逐渐增加，用以减小电流损失并改善效率。

电感器器件根据其结构可分为如多层式、绕组式或者薄膜式等多种形式；并且由于近来的电子器件的小型化与纤薄化，薄膜式电感器器件被广泛使用。

更具体地，薄膜式电感器可使用具有高饱和磁化强度值的材料，并且在将其制造为小尺寸时的情况下，由于与多层式电感器或绕组式电感器相比，可容易地形成线圈图案，所以薄膜式电感器被广泛地使用。

但是，在将薄膜式电感器制造为更小尺寸时的情况下，其在提高线宽和线圈图案的尺寸方面仍受到限制。

因此，为了提高线圈图案的体积，已经通过以下方式不断地努力：在材料方面通过使用具有更高饱和磁化强度值的铁氧体，在工艺方面通过使用能够增大线圈图案的宽度与厚度之间的比率(即，宽厚比)的工艺，或者使用能够形成高的宽厚比的结构工艺。

发明内容

为了解决以上描述的问题提出了本发明，因此，本发明的目的在于提供一种用于电力电感器的线圈单元、一种用于电力电感器的线圈单元的制造方法、一种电力电感器以及一种电力电感器的制造方法，其能够在同样的尺寸的条件下实现小型化并实现高的电感。

并且，本发明的另一目的在于提供一种用于电力电感器的线圈单元、一种用于电力电感器的线圈单元的制造方法、一种电力电感器以及一种电力电感器的制造方法，其能够通过容易地涂覆绝缘材料而确保可靠性。

根据本发明的一方面，为了实现所述目标，提供一种用于电力电感器的线圈单元以及一种使用所述用于电力电感器的线圈单元的电力电感器，所述用于电力电感器的线圈单元在第一镀覆部的上侧呈锥形形状的情况下，形成围住第一镀覆部的第二镀覆部，以便使其与第一镀覆部的形状相对应。

此外，可通过提供一种用于电力电感器的线圈单元的制造方法以及一种使用用于电力电感器的线圈单元的制造方法的电力电感器的制造方法来实现本发明的所述目的，所述制造方法采用在蚀刻第一镀覆部的上边缘之后，形成围住第一镀覆部的第二镀覆部，以便使其与第一镀覆部相对应的工艺。

附图说明

通过以下参照附图对实施例的描述，本发明构思的这些和/或其他方面及优点将变得清晰且易于领会，附图中：

图1是示出了根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的截面图；

图2是示出了根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造方法的流程图；

图3是示出了形成种子层的工艺的截面图；

图4是示出了形成阻镀层的工艺的截面图；

图5是示出了形成第一镀覆部的工艺的截面图；

图6是示出了蚀刻第一镀覆部的工艺的截面图；

图7是示出了去除阻镀层的工艺的截面图；

图8是示出了去除种子层的工艺的截面图；

图9是示出了形成第二镀覆部的工艺的截面图；

图10是示出了形成绝缘层的工艺的截面图；以及

图11是示出了根据本发明的实施例的电力电感器的截面图。

具体实施方式

在下文中，将详细描述本发明的优选实施例。以下实施例仅仅举例说明了本发明，不应被解释为本发明的范围局限于以下实施例。

在阐释本发明时，附图示出了总体结构形式，并且可能省去对公知特征和技术的细节及描述，以免不必要地使对本发明的描述的实施例的讨论变得模糊。此外，附图中的元件并不一定按比例绘制。例如，可将附图中的一些元件的尺寸相对于其他元件夸大，以帮助提高对本发明的实施例的理解。在不同的附图中，相同标号指示相同的元件。

在阐释本发明时，除了元件被描述成被“直接连接”或“直接结合”到其他元件之外，当所述元件被描述成被“连接”或“结合”到另一元件时，其可被“直接”连接或结合到其他元件，或者连接或结合到其他元件，且二者之间接有另一元件。提供在这里使用的术语用于解释实施例，而不是限制本发明。在整个说明书中，除非上下文另外指出，否则单数形式包括复数形式的含义。除了所述组件、步骤、操作和/或装置之外，这里使用的术语“包括”和/或“包括有”并不排除存在和添加另外的组件、步骤、操作和/或装置。

在下文中，将参照附图详细地描述本发明的实施例，以便本领域的技术人员能够容易地实施本发明。

<用于电力电感器的线圈单元>

图1是示出了根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的截面图。

如图1所示，根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元100包括用于薄膜电感器的绝缘基板110和线圈图案120，线圈图案120形成在绝缘基板110的上表面和下表面中的至少一个上。

绝缘基板110可形成为具有预定厚度的板状，以支撑形成的线圈图案120。

此外，绝缘基板110可由绝缘材料形成。例如，绝缘基板110可由环氧绝缘树脂或者从丙烯酸聚合物、苯酚基聚合物、聚酰亚胺聚合物等中选择的至少一种材料形成。但是本发明并不局限于此，并且将这些材料中至少两种材料混合的多种应用是可行的。

线圈图案120包括第一镀覆部121和第二镀覆部122。

第一镀覆部121可按照在绝缘基板110上缠绕至少一圈的线圈形状形成。

此外，第一镀覆部121可由导电材料形成，尽管其可由从由Ni、Al、Fe、Cu、Ti、Cr、Au、Ag、Pd等组成的组中选择的任何一种形成，但是其并不局限于此，并且可通过混合来自以上金属中的至少两种金属来形成第一镀覆部121。

此外，第一镀覆部121还可包括形成在其下部的种子层111。

此时，种子层111可由与第一镀覆部121相同的材料形成，其可通过化学镀或者喷镀按照薄膜形状形成在绝缘基板110上。

因此，如果通过使用形成在绝缘基板110上的种子层111作为种子来执行电镀，则可通过从种子层111镀覆并生长金属导电材料来形成第一镀覆部121。

另一方面，第一镀覆部121的上侧可按照锥形形状形成。

这里，在通过电镀等使第一镀覆部121的截面按照矩形形状形成后，可通过对其上边缘进行蚀刻来形成第一镀覆部121。

此时，蚀刻后的第一镀覆部121的上边缘部分可按照具有预定斜率的倾斜的形状或者弯曲的形状形成。

也就是说，在第一镀覆部121的底部直至上侧处的预定高度，所述截面一致地形成，并且随着从上侧处的预定高度向顶部行进，所述截面逐渐减小地形成。

如果第一镀覆部121的上侧并不按照锥形形状形成，则当通过电镀形成第二镀覆部122时，电流会集中在第一镀覆部121的上边缘。因此，电流集中的上边缘部分的生长速度快，并且通过在上边缘部分集中地生长并形成第二镀覆部122会在相邻的第二镀覆部122之间产生间隔小的问题。此外，由于相邻的第二镀覆部122之间的间隔窄小，所以将难以形成绝缘层130。

因此，由于本发明通过使第一镀覆部121的上侧按照锥形形状形成而防止第二镀覆部122集中地形成在第一镀覆部121的某部分(上边缘)，所以第一镀覆部可防止相邻的第二镀覆部122之间产生间隔小的问题，并可容易地形成绝缘层130。

第二镀覆部122可形成为围住第一镀覆部121。

此时，如果通过使用第一镀覆部121作为种子执行电镀，则通过从第一镀覆部121镀覆和生长金属导电材料来形成第二镀覆部122。

因此，通过对应于第一镀覆部121的形状形成可使第二镀覆部122的上侧按照锥形形状形成。

此外，第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的顶表面的厚度可比第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的侧表面的厚度厚。

也就是说，当通过电镀形成第二镀覆部122时，通过使第一镀覆部121的上侧按照锥形形状形成，第一镀覆部121的上侧的生长速度可比其侧表面的生长速度快。最终，第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的顶表面的厚度可比第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的侧表面的厚度厚得多。

因此，可在防止相邻的第二镀覆部122之间的间隔小的问题的同时确保线圈图案120的体积。

因此，在与现有技术尺寸相同的情况下，可实现用于电力电感器的线圈单元以及使用该线圈单元的电力电感器的小型化，从而有利于实现更高的电感。

另一方面，根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元100，如图1所示，可形成有绝缘层130，以覆盖用于绝缘的绝缘基板的表面和第二镀覆部122上，第二镀覆部122形成在所述表面上。但是，本发明并不限于此，并且第二镀覆部122可沿着所述表面形成，以使其不暴露。

此时，通过使第二镀覆部122的上侧按照与第一镀覆部121对应的锥形形状形成，第一镀覆部相邻的第二镀覆部122之间在顶部的间隙可形成为宽于其底部的间隙。

因此，由于绝缘层130容易地形成在第二镀覆部122之间的间隙处，而且绝缘层130穿过相邻的第二镀覆部122之间的间隙形成到第二镀覆部122和绝缘基板110的表面上，以进行保护，从而确保可靠性。

在本发明的实施例中，虽然阐释了用于电力电感器的线圈单元100的线圈图案120形成在绝缘基板110的一个表面上，但是本发明并不限于此，并且线圈图案120可形成在绝缘基板110的两个表面上。此时，绝缘基板110的两个表面上的线圈图案120可按照上面所描述的相同的结构形成。

<用于电力电感器的线圈单元的制造方法>

在下文中，将详细描述根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造方法的说明。

图2是示出了根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造方法的流程图，图3至图10是示出了根据本发明的另一实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造工艺的截面图。

参照图2，根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造方法可包括：在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上形成第一镀覆部(S110)，蚀刻第一镀覆部的上边缘(S120)并形成第二镀覆部以使其与蚀刻后的第一镀覆部的形状对应(S130)。此外，在形成第二镀覆部的步骤(S130)之后，本发明还包括形成绝缘层(S140)。

参照图3至图10，将在下文中详细描述根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造方法。

首先，图3至图5是示出了在绝缘基板上形成第一镀覆部的步骤(S110)的截面图。

如图3至图5所示，在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上形成第一镀覆部的步骤(S110)可包括：在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上形成种子层的步骤(S111)，在种子层上形成阻镀层以使种子层的一部分暴露的步骤(S112)以及在暴露的种子层上镀覆第一镀覆部的步骤(S113)。

如图3所示，种子层111可形成在绝缘层110的一个表面上。

这里，由于将种子层111用作通过镀覆工艺形成第一镀覆部的种子，所以其可由导电材料形成。例如，尽管其可由从Ni、Al、Fe、Cu、Ti、Cr、Au、Ag、Pd等组成的组中选择的任何一种制成，但是本发明并不限于此，并且可通过混合所述金属中的至少两种来形成种子层111。

此时，可通过化学镀或者喷镀方法在绝缘基板110的一个表面上形成种子层111。

此外，如图4所示，阻镀层10可形成在种子层111上，以使种子层111的一部分暴露(S112)。

这里，当作为接下来的工艺进行方法执行镀覆过程时，由于在除了用以形成第一镀覆部121的部分之外，在其他区域是阻碍镀覆执行的，因此，在除了用以形成第一镀覆部121的区域之外可形成阻镀层10。

此时，阻镀层10可为干膜或者光致抗蚀剂。例如，在阻镀层10为干膜的情况时，通过与种子层111上的干膜相接触，暴露并显影用于形成第一镀覆部121的部分并去除干膜的用于形成第一镀覆部121的部分而使种子层111暴露。或者，在阻镀层10为流体形式的光致抗蚀剂的情况下，在将流体形式的光致抗蚀剂涂覆在种子层111上并通过曝光而硬化之后，通过显影而去除光致抗蚀剂的用于形成第一镀覆部121的部分，可使种子层111暴露。但是本发明并不限于此，如果能够防止在除了用于形成第一镀覆部121的部分之外的剩余区域进行镀覆，则可使用任何类型的阻镀剂。

并且如图5所示，可将第一镀覆部121涂覆在暴露的种子层111上(S113)。

这里，可通过使用种子层111作为种子执行电镀，在种子层111上镀覆和生长由导电材料制成的金属而形成第一镀覆部121。

此时，第一镀覆部121的截面可为矩形，并且第一镀覆部121可由与种子层111的材料相同的材料形成。

以下，图6是示出了用于蚀刻第一镀覆部的上边缘的步骤(S120)的截面图。

如图6所示，第一镀覆部121的上边缘可被蚀刻。

这里，在阻镀层10未去除的状态下，可通过使用酸性蚀刻剂进行湿法蚀刻来对第一镀覆部121进行蚀刻。但是，本发明并不限于此，如果可以对由金属材料制成的第一镀覆部121进行蚀刻，则任何方法均是可行的。

此时，在本步骤中，只有第一镀覆部121的截面为矩形的上边缘可被蚀刻。

此时，当在阻镀层10并未去除的状态下通过蚀刻剂执行蚀刻时，由于从由彼此不同的材料制成的第一镀覆部121和阻镀层10之间的边界处开始蚀刻，所以可通过控制蚀刻时间仅对第一镀覆部121的上边缘进行蚀刻。

此时，第一镀覆部121的蚀刻部分可按照弯曲的形状或者倾斜的形状形成，所述弯曲的形状具有从底部到顶部的行进更大或更小的斜率，所述倾斜的形状具有预定斜率。

也就是说，通过在上述步骤通过镀覆工艺仅仅蚀刻第一镀覆部121的截面按照矩形形状形成的上边缘，第一镀覆部121可按照锥形形状形成，其截面从底部到上侧的预定高度一致地形成，而从上侧的预定高度到顶部逐渐变窄。

在第一镀覆部121的上侧并不按照锥形形状形成的情况下，在形成第二镀覆部122的随后的步骤中，电流会集中在第一镀覆部121的上边缘。因此，由于通过使电流集中处的第一镀覆部121的上边缘的快速生长，使得第二镀覆部122被集中形成在上边缘部分，因此在相邻的第二镀覆部122之间会发生间隔小的问题。

因此，由于在本步骤通过蚀刻第一镀覆部121的上边缘，使得上侧按照锥形形状形成，所以当执行用于形成第二镀覆部122的随后的工艺时，本发明可防止第二镀覆部122集中在第一镀覆部121的一部分(上边缘)。

以下，图7至图9是示出了形成第二镀覆部的步骤(S130)的截面图。

如图7至图9所示，步骤(S130)可包括：去除阻镀层的步骤(S131)、去除在阻镀层的底部上的种子层的步骤(S132)和使用第一镀覆部作为种子镀覆第二镀覆部以便使其与第一镀覆部的形状相对应的步骤(S133)。

首先，如图7所示，可去除阻镀层10(S131)。

并且如图8所示，可去除阻镀层10的底部上的种子层111(S132)。

也就是说，通过去除除了第一镀覆部121处的种子层之外的其余种子层111，可使绝缘基板10暴露。

此时，尽管可通过闪光蚀刻(flash etching)法喷射蚀刻剂来去除种子层111，但是，本发明并不限于此。

此外，如图9所示，可使用第一镀覆部121作为种子镀覆第二镀覆部122，以便使其与第一镀覆部121的形状相对应(S133)。

这里，如果使用第一镀覆部121作为种子执行电镀，则通过从第一镀覆部121镀覆并生长由导电材料制成的金属，可形成第二镀覆部122。

此时，由于通过使其与第一镀覆部121的形状相对应地形成第二镀覆部122，所以其上侧可按照锥形形状形成。

具体地讲，第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的顶表面的厚度可比第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的侧表面的厚度厚。

也就是说，通过在上一步骤将第一镀覆部121的上侧按照锥形形状形成，当使用第一镀覆部121作为种子通过电镀形成第二镀覆部122时，与第一镀覆部分121的侧表面相比，第一镀覆部121的顶部可快速生长。此时，由于第一镀覆部121的顶部的上边缘的镀层生长速度与其它区域相比较快，因此也可确保顶部的区域。

因此，第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的顶表面的厚度可比第二镀覆部122的围住第一镀覆部121的侧表面的厚度厚。

因此，通过防止相邻的第二镀覆部122之间的间隔小的问题，可确保线圈图案120的体积，可实现用于电力电感器的线圈单元的最小化；并且在其尺寸与现有技术的一样的情况下，可实现高的电感。

以下，如图2和图10所示，根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元的制造方法在形成第二镀覆部122的步骤(S130)之后，还可包括形成绝缘层130的步骤(S140)。

这里，如图10所示，可形成绝缘层130以便覆盖住绝缘基板110的形成第二镀覆部122的表面(用于绝缘)以及第二镀覆部122。但是，形成本发明的绝缘层130的方法并不限于此，并且可沿着第二镀覆部122的表面形成绝缘层130，以不暴露第二镀覆部122。

此时，通过将熔融的膏状的绝缘材料涂覆在其上形成有第二镀覆部122的绝缘基板100的表面上，可形成绝缘层130。但是，本发明并不局限于此，如果可形成绝缘层130以使第二镀覆部122不暴露以进行绝缘，则任何方法均是可行的。

另一方面，通过形成其上侧为锥形形状的第二镀覆部122，在相邻的第二镀覆部122之间按照其顶部宽于底部的形式形成间隙。

因此，通过使其上侧按照锥形形状形成使第二镀覆部122形成使得相邻的第二镀覆部122之间顶部的间隙比底部的宽。

因此，在将熔融的绝缘材料涂覆在形成有第二镀覆部122的绝缘基板110的表面上的情况下，熔融的绝缘材料可容易地穿入相邻的第二镀覆部122之间的间隙，并且由于将绝缘层130形成到绝缘层110的表面和第二镀覆部122的底部用以保护第二镀覆部122，因此可确保可靠性。

<电力电感器及电力电感器的制造方法>

图11是示出了根据本发明的实施例的电力电感器的截面图。

如图11所示，可通过包括磁性材料210形成根据本发明的实施例的电力电感器200，所述磁性材料210连接到如图1所示的根据本发明的实施例的用于电力电感器的线圈单元110。

此时，尽管本发明的实施例举例说明了磁性材料210连接到用于电力电感器的线圈单元100的线圈图案120的一个表面的情况，但本发明并不限于此，在线圈图案120形成在用于电力电感器的线圈单元100的上表面以及下表面上的情况下，可通过将磁性材料210连接到全部的上下表面而形成功电力电感器200。此外，即使在线圈图案120仅仅形成在用于电力电感器的线圈单元100的一个表面上的情况下，也可通过将磁性材料210连接到上表面和下表面来形成电力电感器200。

另一方面，在将磁性材料210连接到用于电力电感器的线圈单元100的情况下，可通过如环氧树脂的聚合物、聚合物或者其他粘合剂将其结合。

此外，尽管可使用传统的铁氧体粉末作为磁性材料210，但是在玻璃或其他基板上形成铁氧体的材料也可用作磁性材料，并且也可使用由薄膜制造工艺形成的软磁材料层或者多层绝缘层。

另一方面，在形成如上所述的根据本发明的实施例的制造方法形成的用于功电力感器的线圈单元100之后，即，图10中示出的用于电力电感的线圈单元100，可通过包括将磁性材料210连接到用于电力电感器的线圈单元100的上表面和下表面中的至少一个上的步骤来形成图11中示出的电力电感器200。

上述的用于电力电感器的线圈单元、用于电力电感器的线圈单元的制造方法、电力电感器以及电力电感器的制造方法可实现小型化，可在相同的尺寸下实现高的电感，并可获得可靠性。

如上所述，尽管已经示出并描述了本发明的优选实施例，但是本领域的技术人员将领会，在不脱离本发明构思的原理和精神的情况下，可对这些实施例进行替换、修改和变化，本发明构思由权利要求及其等同物限定。

因此，本发明的范围不限于描述的实施例，而是由权利要求以及权利要求的所有修改、等同物和替换物所限定。

Claims (13)

1.一种用于电力电感器的线圈单元，包括：

绝缘基板；

线圈图案，

其中，所述线圈图案包括：

第一镀覆部，形成在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上，其中，第一镀覆部的上侧呈锥形形状；

第二镀覆部，形成为包围第一镀覆部的侧表面和顶表面，其中，第二镀覆部的上侧呈与第一镀覆部的锥形形状相对应的锥形形状。

2.根据权利要求1所述的用于电力电感器的线圈单元，其中，第二镀覆部的围住第一镀覆部的顶表面的厚度比第二镀覆部的围住第一镀覆部的侧表面的厚度厚。

3.根据权利要求1所述的用于电力电感器的线圈单元，其中，第一镀覆部还包括形成在第一镀覆部的底部上的种子层。

4.根据权利要求1所述的用于电力电感器的线圈单元，还包括绝缘层，所述绝缘层形成为覆盖绝缘基板的上表面和下表面中的形成有第二镀覆部的表面以及第二镀覆部。

5.根据权利要求1所述的用于电力电感器的线圈单元，还包括沿着第二镀覆部的表面形成的绝缘层。

6.一种电力电感器，包括：

根据权利要求1所述的用于电力电感器的线圈单元；

磁性材料，连接到用于电力电感器的线圈单元的上表面和下表面中的至少一个表面。

7.一种用于电力电感器的线圈单元的制造方法，包括：

(a)在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上形成第一镀覆部；

(b)蚀刻第一镀覆部的上边缘，其中，第一镀覆部的上侧呈锥形形状；

(c)形成第二镀覆部，以包围第一镀覆部的侧表面和顶表面，以使第二镀覆部与蚀刻后的第一镀覆部的形状相对应。

8.根据权利要求7所述的用于电力电感器的线圈单元的制造方法，其中，所述步骤(a)包括：

(a-1)在绝缘基板的上表面和下表面中的至少一个表面上形成种子层；

(a-2)在种子层上形成阻镀层，以使种子层的一部分暴露；

(a-3)在暴露的种子层上镀覆第一镀覆部。

9.根据权利要求8所述的用于电力电感器的线圈单元的制造方法，其中，所述步骤(c)包括：

(c-1)去除阻镀层；

(c-2)去除阻镀层的底部上的种子层；

(c-3)使用蚀刻后的第一镀覆部作为种子镀覆第二镀覆部，以使第二镀覆部与第一镀覆部的形状相对应。

10.根据权利要求7所述的用于电力电感器的线圈单元的制造方法，其中，在步骤(c)中，第二镀覆部的围住第一镀覆部的顶表面的厚度比第二镀覆部的围住第一镀覆部的侧表面的厚度厚。

11.根据权利要求7所述的用于电力电感器的线圈单元的制造方法，其中，在步骤(c)之后，还包括：

(d)形成绝缘层以覆盖绝缘基板的上表面和下表面中的形成有第二镀覆部的表面以及第二镀覆部。

12.根据权利要求7所述的用于电力电感器的线圈单元的制造方法，其中，在步骤(c)之后，还包括：

(d)沿着第二镀覆部的表面形成绝缘层。

13.一种电力电感器的制造方法，包括：

在根据权利要求7所述的用于电力电感器的线圈单元的制造方法制造的用于电力电感器的线圈单元的上表面和下表面中的至少一个表面上形成磁性材料。