CN106205674A - Sram单元 - Google Patents

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CN106205674A
CN106205674A CN201510214830.9A CN201510214830A CN106205674A CN 106205674 A CN106205674 A CN 106205674A CN 201510214830 A CN201510214830 A CN 201510214830A CN 106205674 A CN106205674 A CN 106205674A
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张弓
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Abstract

一种SRAM单元,其中第一传输晶体管具有第一源极和第一栅极,第一下拉晶体管具有第二源极;第二传输晶体管具有第三源极和第二栅极,第二下拉晶体管具有第四源极;第一上拉晶体管具有第五源极,第二上拉晶体管具有第六源极;在第一、二互连线层中,其中一个互连线层包括字线和电源接线,另一个互连线层包括第一、二位线和接地线,或其中一个互连线层包括字线和接地线,另一个互连线层包括第一、二位线和电源接线;字线与第一、二栅极电连接,第一位线和第一源极电连接,第二位线和第三源极电连接;电源接线与第五、六源极电连接,接地线与第二、四源极电连接。本案中,两个互连线层所安排的外围控制电路数量相同,所承受的引线任务基本均衡。

Description

SRAM单元
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种SRAM单元。
背景技术
静态随机存储器(Static Random Access Memory,SRAM)作为存储器中的一员,具有高速度、低功耗与标准工艺相兼容等优点,广泛应用于PC、个人通信、消费电子产品(智能卡、数码相机、多媒体播放器)等领域。
一个静态随机存储器包括多个静态随机存储器单元(以下简称SRAM单元),该多个SRAM单元按照阵列排列。参照图1,图1为现有技术的包含六个晶体管(6-T)的SRAM单元的布图结构示意图,所述SRAM单元包括:
第一传输NMOS晶体管PG1和第一下拉NMOS晶体管PD1,PG1具有第一源极1和第一栅极2,PD1具有第二源极3,PG1和PD1共第一漏极4;
第一上拉PMOS晶体管PU1,具有第三源极5和第二漏极6,PU1和PD1共第二栅极7;
第二传输NMOS晶体管PG2和第二下拉NMOS晶体管PD2,PG2具有第四源极8和第三栅极9,PD2具有第五源极10,PG2和PD2共第三漏极11;
第二上拉PMS晶体管PU2,具有第六源极12和第四漏极13,PU2和PD2共第四栅极14;
零层互连线层15,位于所有晶体管上方,将第一漏极4、第四栅极14和第二漏极6电连接以形成第一存储节点,和将第三漏极11、第二栅极7和第四漏极13电连接以形成第二存储节点。
结合参照图2,SRAM单元还包括:位于零层互连线层15上方的第一互连线层16,包括字线WL,将第一栅极2和第三栅极9电连接,其中零层互连线层15被层间介质层(图中未标号)所阻挡,因此不可见;
位于第一互连线层16上方的第二互连线层17,包括第一位线BL、第二位线BLB、电源接线Vdd和接地线Vss,其中第一、二位线互为互补位线,第一位线BL与第一源极1电连接,第二位线BLB与第四源极8电连接,电源接线Vdd将第三源极5和第六源极12电连接,接地线Vss为2条,分别与第二源极3和第五源极10电连接。其中,在图2中,字线WL位于下层,因此用虚线表示,虚线框18表示导电插塞,第二互连线层17通过导电插塞与下方器件电连接。
参照图2,第一、二互连线层上的信号从SRAM单元外围的控制电路引入,对应字线WL、2条位线、电源接线Vdd和接地线Vss,需要四组不同的控制电路来分别控制互连线上的信号输入/输出。在外围控制电路配置方面,字线WL的控制电路从第一互连线层16引入,相比之下,2条位线、电源接线Vdd和接地线Vss的三组控制电路则从第二互连线层17引入。这样,第二互连线层17的有限尺寸却要安排三组控制电路接入,第二互连线层17相比于第一互连线层16需要承担较大的引线任务,负载较大,影响其中的信号传递效率,降低使用寿命。
发明内容
本发明解决的问题是,现有SRAM单元中,位线、电源接线和接地线所在互连线层,相比字线所在互连线层,需要安排三组不同的控制电路接入,承担较大引线任务,负载较大,影响其中的信号传递效率,降低使用寿命。
为解决上述问题,本发明提供一种SRAM单元,该SRAM单元包括:
第一传输晶体管和第一下拉晶体管,所述第一传输晶体管具有第一源极和第一栅极,所述第一下拉晶体管具有第二源极;
第二传输晶体管和第二下拉晶体管,所述第二传输晶体管具有第三源极和第二栅极,所述第二下拉晶体管具有第四源极;
第一上拉晶体管和第二上拉晶体管,所述第一上拉晶体管具有第五源极,所述第二上拉晶体管具有第六源极;
位于所有晶体管上方的第一互连线层、和位于所述第一互连线层上方的第二互连线层;
在第一、二互连线层中,其中一个互连线层包括字线、电源接线,另一个互连线层包括第一位线、第二位线和接地线;或者,其中一个互连线层包括字线和接地线,另一个互连线层包括第一位线、第二位线和电源接线;
所述字线与所述第一栅极和第二栅极电连接,第一、二位线互为互补位线,所述第一位线和所述第一源极电连接,所述第二位线和所述第三源极电连接;
所述电源接线与所述第五源极和第六源极电连接,所述接地线与所述第二源极和第四源极电连接。
可选地,所述字线垂直于第一、二位线。
可选地,所述第一上拉晶体管为第一上拉PMOS晶体管,所述第二上拉晶体管为第二上拉PMOS晶体管;
所述第一下拉晶体管为第一下拉NMOS晶体管,所述第二下拉晶体管为第二下拉NMOS晶体管。
可选地,所述第一上拉PMOS晶体管和第二上拉PMOS晶体管的结构相同。
可选地,所述第一下拉NMOS晶体管和第二下拉NMOS晶体管的结构相同。
可选地,所述第一传输晶体管和第二传输晶体管均为NMOS晶体管或PMOS晶体管。
可选地,所述第一传输晶体管和第二传输晶体管的结构相同。
可选地,所述第一传输晶体管和第一下拉晶体管共第一漏极;
所述第二传输晶体管和第二下拉晶体管共第二漏极;
所述第一上拉晶体管还具有第三漏极,并与所述第一下拉晶体管共第三栅极;
所述第二上拉晶体管还具有第四漏极,并与所述第二下拉晶体管共第四栅极;
所述SRAM单元还包括:位于所有晶体管和所述第一互连线层之间的零层互连线层;
所述零层互连线层包括:第一互连线和第二互连线,所述第一互连线与所述第一漏极、第三漏极和第四栅极电连接,所述第二互连线与所述第二漏极、第四漏极和第三栅极电连接。
与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下优点:
第一,在第一、二互连线层中,其中一个互连线层包括字线、电源接线,另一个互连线层包括第一位线、第二位线和接地线;或者,其中一个互连线层包括字线和接地线,另一个互连线层包括第一位线、第二位线和电源接线。这样,每个互连线层对应需要安排2组外围控制电路接入。
因此,对于第一互连线层和第二互连线层,两个互连线层所安排的外围控制电路数量相同,所承受的引线任务基本均衡,避免某一个互连线层承受较多引线任务,两个互连线层的负载均衡,解决了某个互连线层负载过大的问题,平衡两个互连线层中信号传递效率,提升SRAM单元中信号传递的稳定性。
第二,当第一、二位线位于字线下方时,字线相比于第一、二位线为强信号线,第一位线和第二位线为弱信号线。SRAM单元的外围控制电路的互连线层架设在SRAM单元上方,设计第一、二位线位于字线下方,第一、二位线比字线远离外围控制电路,第一、二位线中的若电信号不易受到外围控制电路的干扰,而且字线为强信号线,也不易受到外围控制电路的干扰。这样,整个SRAM单元的工作稳定性高。
附图说明
图1是现有技术的SRAM单元的布图结构示意图;
图2是图1所示SRAM单元中,所有晶体管上方的第一互连线层和第二互连线层的布线结构示意图,其中第二互连线层位于第一互连线层上方;
图3是本发明第一实施例的SRAM单元的布图结构示意图,其中还示出了零层互连线层的布线结构示意图;
图4是对应图3所示SRAM单元,所有晶体管和零层互连线层上方的第一互连线层和第二互连线层的布线结构示意图;
图5是本发明第二实施例的SRAM单元中,第一互连线层和第二互连线层的布线结构示意图,第二互连线层位于第一互连线层上方;
图6是本发明第三实施例的SRAM单元中,第一互连线层和第二互连线层的布线结构示意图,第二互连线层位于第一互连线层上方;
图7是本发明第四实施例的SRAM单元中,第一互连线层和第二互连线层的布线结构示意图,第二互连线层位于第一互连线层上方。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
参照图3,本示例的SRAM单元包括:
第一传输晶体管PG1和第一下拉晶体管PD1,第一传输晶体管PG1具有第一源极21和第一栅极31,第一下拉晶体管PD1具有第二源极22,第一传输晶体管PG1和第一下拉晶体管PD1共第一漏极41;
第二传输晶体管PG2和第二下拉晶体管PD2,第二传输晶体管PG2具有第三源极23和第二栅极32,第二下拉晶体管PD2具有第四源极24,第二传输晶体管PG2和第二下拉晶体管PD2共第二漏极42;
第一上拉晶体管PU1,具有第五源极25和第三漏极43,第一上拉晶体管PU1和第一下拉晶体管PD1共第三栅极33;
第二上拉晶体管PU2,具有第六源极26和第四漏极44,第二上拉晶体管PU2和第二下拉晶体管PD2共第四栅极34;
位于所有晶体管上方的零层互连线层50(图3中的虚线框区域),包括第一互连线51和第二互连线52,第一互连线51与第一漏极41、第三漏极43和第四栅极34电连接以形成第一存储节点,第二互连线52与第二漏极42、第四漏极44和第三栅极33电连接以形成第二存储节点,第一、二存储节点形成互补对(complementary Pair)。这样,第一上拉晶体管PU1和第一下拉晶体管PD1构成第一反相器,第二上拉晶体管PU2和第二下拉晶体管PD2构成第二反相器,第一、二反相器通过零层互连线层50交叉耦接而构成锁存电路,该锁存电路用于锁存数据逻辑值。
结合参照图4,SRAM单元还包括:
位于零层互连线层50上方的第一互连线层60(图4中的虚线框区域),第一互连线层60包括字线WL、接地线Vss,字线WL与下方的第一栅极31和第二栅极32电连接,第一、二栅极均与字线WL电连接,接地线Vss为2条,分别与下方的第二源极22和第四源极24电连接;
位于第一互连线层60上方的第二互连线层70,第二互连线层70包括第一位线BL、第二位线BLB和电源接线Vdd,第一、二位线为两互补位线,第一位线BL与下方的第一源极21电连接,第二位线BLB与下方的第三源极23电连接,电源接线Vdd与第五源极25和第六源极26电连接,第五、六源极均与电源接线Vdd电连接。
与现有技术相比,第一互连线层60包括字线WL、接地线Vss,对应需要两组外围控制电路来分别控制字线WL、接地线Vss上的信号,因此第一互连线层60需要安排2组外围控制电路接入。相比之下,第二互连线层70包括2条位线、电源接线Vdd,对应需要两组外围控制电路来分别控制2条位线、电源接线Vdd上的信号,因此第二互连线层70需要安排2组外围控制电路接入。
因此,对于第一互连线层60和第二互连线层70,两个互连线层所安排的外围控制电路数量相同,所承受的引线任务基本均衡,避免某一个互连线层承受较多引线任务,两个互连线层的负载均衡,解决了某个互连线层负载过大的问题,平衡两个互连线层中信号传递效率,提升SRAM单元中信号传递的稳定性。
向SRAM单元中写入数据的方法为:
字线WL接系统高电压,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2开启;
若写入“1”,第一位线BL接高电平,第二位线BLB接低电平,第一传输晶体管PG1导通和第二传输晶体管PG2导通,第一存储节点记录为“1”,第二存储节点记录为“0”,数据“1”被写入;
若写入“0”时,第一位线BL接低电平,第二位线BLB接高电平。在数据被写入后,字线WL接低电压,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2关闭,数据存储在锁存电路中。
从SRAM单元中读取数据的方法为:
在读取之前,第一位线BL和第二位线BLB均为高电平,字线WL接系统高电压,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2开启;
当锁存电路中存储的数据为“1”,即第一存储节点为高电平,第二存储节点为低电平,第一上拉晶体管PU1和第一传输晶体管PG1导通,第一读取电流由第五源极25、第三漏极43、第一互连线51、第一漏极41、第一源极21,进入第一位线BL,第一存储节点的高电平传递给第一位线BL,读取第一位线BL为高电平;同时第二传输晶体管PG2和第二下拉晶体管PD2也导通,第二读取电流由第三源极23、第二漏极44、第四源极24,进入接地线Vss,第二存储节点的低电平传递给第二位线BLB,第二位线BLB的高电平被泻掉而变为低电平,读取第二位线BLB为低电平,完成数据“1”读取;
当锁存电路中的数据为“0”,即第一存储节点为低电平,第二存储节点为高电平,第一传输晶体管PG1和第一下拉晶体管PD1导通,第一读取电流由第一源极21、第一漏极41、第二源极22,进入接地线Vss,第一存储节点的低电平传递给第一位线BL,第一位线BL的高电平被泻掉而变为低电平,读取第一位线BL为低电平;同时,第二传输晶体管PG2和第二上拉晶体管PU2导通,第二读取电流由第六源极26、第四漏极44、第二互连线52、第二漏极42、第三源极23,进入第二位线BLB,第二存储节点的高电平传递给第二位线BLB,读取第二位线BLB为高电平,完成数据“0”的读取。
因此,本实施例对第一互连线层60和第二互连线层70的改进,不影响SRAM单元的正常工作。
零层互连线层50、第一互连线层60和第二互连线层70均形成于层间介质层100中,相互之间及三者与下方的晶体管通过以下方式电连接:
参照图3,零层互连线层50还包括:
第五互连线53,位于第一源极21上方且与第一源极21通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第六互连线54,位于第二源极22上方且与第二源极22通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第七互连线55,位于第三源极23上方且与第三源极23通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第八互连线56,位于第四源极24上方且与第四源极24通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第九互连线57,位于第五源极25上方且与第五源极25通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第十互连线58,位于第六源极26上方且与第六源极26通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第十一互连线59,位于第一栅极31上方且与第一栅极31通过导电插塞(图中未示出)电连接;
第十二互连线510,位于第二栅极32上方且与第二栅极32通过导电插塞(图中未示出)电连接;
在第五~第十二互连线中,在每个互连线上形成有1个零层导电插塞80,零层导电插塞80用于与下方的互连线电连接。
结合参照图4,第一互连线层60还包括:
第十三互连线62,位于第五互连线53上方且通过零层导电插塞80与第五互连线53电连接,进一步实现与第一源极21电连接;
第十四互连线63,位于第九互连线57上方且通过零层导电插塞80与第九互连线57电连接,进一步实现与第五源极25电连接;
第十五互连线64,位于第十互连线58上方且通过零层导电插塞80与第十互连线58电连接,进一步实现与第六源极26电连接;
第十六互连线65,位于第七互连线55上方且通过零层导电插塞80与第七互连线55点连接,进一步实现与第三源极23电连接;
字线WL位于第十一互连线59和第十二互连线510上方,且其两端分别通过零层导电插塞80与第十一、十二互连线电连接,进一步实现与第一、二栅极电连接;
在2条接地线Vss中,其中一条接地线Vss位于第六互连线54上方,且通过零层导电插塞80与第六互连线54电连接,进一步实现与第二源极22电连接,另一条接地线Vss位于第八互连线56上方,且通过零层导电插塞80与第八互连线56电连接,进一步实现与第四源极24电连接。其中,在图4中,零层互连线层80被上方的第一互连线层60所遮挡而不可见。
在第十三~十六互连线中,在每个互连线上形成有1个第一层导电插塞81(图4中的阴影框),第一层导电插塞81与下方的互连线电连接。
在第二互连线层70中,第一位线BL通过第一层导电插塞81与下方的第十三互连线62电连接,进一步实现与第一源极21电连接;
第二位线BLB通过第一导电插塞81第一层导电插塞81与下方的第十六互连线65电连接,进一步实现与第三源极23点连接;
电源接线Vdd的两端分别通过第一层导电插塞81与第十四、十五互连线电连接,进一步实现与第五、六源极电连接。
因此,本实施例第一互连线层60和第二互连线层70的布线方式不会影响到所有晶体管的布局和形成方法,所有晶体管的排布方式无需作出改进。
参照图4,第一位线BL、第二位线BLB相互平行,字线WL垂直于第一、二位线。在由若干SRAM单元组成的SRAM中,所有字线和位线为垂直交错以形成矩阵阵列。
在本实施例中,第一反相器中,第一上拉晶体管PU1为第一上拉PMOS晶体管,第一下拉晶体管PD1为第一下拉NMOS晶体管;在第二反相器中,第二上拉晶体管PU2为第二上拉PMOS晶体管,第二下拉晶体管PD2为第二下拉NMOS晶体管。进一步地,第一上拉PMOS晶体管和第二上拉PMOS晶体管的结构相同,则两者的电学性能匹配,可以提升SRAM单元的性能,保持性能稳定。第一下拉NMOS晶体管和第二下拉NMOS晶体管的结构相同,则两者的电学性能匹配,可以提升SRAM单元的性能,保持性能稳定。
另外,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2的结构相同。一方面,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2的类型相同,均为NMOS晶体管或均为PMOS晶体管。当第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2均为NMOS晶体管,字线WL接系统高电压时,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2同时开启。在本实施例中,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2均为NMOS晶体管。这主要是因为NMOS晶体管的沟道区中的载流子主要为电子,相比于PMOS晶体管沟道区中的空穴载流子,电子的迁移率大于空穴的迁移率,进而NMOS晶体管的驱动电流大于PMOS晶体管的驱动电流。因而,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2均为NMOS晶体管极大提高了通过第一位线和第二位线读写数据逻辑值的速率,提升SRAM单元的存储速率。
另一方面,第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2的结构相同,可以保证第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2的电学性能匹配,确保第一传输晶体管PG1和第二传输晶体管PG2的开启电压基本相同,提升存储器单元的稳定性。
第二实施例
参照图5,与第一实施例相比,第二实施例的不同之处在于:
第一互连线层60′包括字线WL和2条电源接线Vdd;
第二互连线层70′包括第一位线BL、第二位线BLB和2条接地线Vss。
相应地,第一互连线层60′还包括:位于每条接地线Vss下方的第一互连线61,接地线Vss通过第一层导电插塞81′与下方第一互连线61电连接。
在本实施例中,在第一互连线层60′中,需要通过两不同外围控制电路分别控制字线WL和电源接线Vdd上的信号,第一互连线层60′需要安排2组外围控制电路接入。相比之下,在第二互连线层70′中,需要通过两不同外围控制电路分别控制位线和接地线Vss上的信号,第二互连线层70′需要安排2组外围控制电路接入。因此,两个互连线层所安排的外围控制电路数量相同,所承受的引线任务基本均衡。
参照图5,在包括若干SRAM单元的SRAM中,若干SRAM单元呈阵列排布,字线和位线相互垂直交错,因此,SRAM单元中,字线和位线的形状和布线方式不会作出改变,保持相互垂直交错状。在此基础上,可对接地线和电源接线的布局作出改进。
在第一实施例中,字线WL和电源接线Vdd处于两不同互连线层中,因此两者垂直交错。与第一实施例相比,参照图5,由于字线WL和电源接线Vdd位于同一互连线层中,由于字线WL的布局方式未作改进,因此相比于第一实施例,电源接线Vdd相当于被字线WL间隔为两部分,每一部分与下方对应的一个上拉晶体管的源极电连接。
除与第一实施例的不同之处外,第二实施例中SRAM单元的其他结构可参考第一实施例的相关内容。
第三实施例
参照图6,与第一、二实施例相比,第三实施例的不同之处在于:
第一互连线层600包括:第一位线BL、第二位线BLB和电源接线Vdd;
位于第一互连线层600上方的第二互连线层700包括:字线WL、2条接地线Vss。
与第一、二实施例相比,在本实施例中,第一位线BL、第二位线BLB位于零层互连线层(图中未示出)和第二互连线层700之间。字线WL相比于第一、二位线为强信号线,第一位线BL和第二位线BLB为弱信号线。SRAM单元的外围控制电路的互连线层架设在SRAM单元上方,当第一、二位线位于字线WL上方时,其中的信号会受到上方外围控制电路中信号的干扰,造成SRAM单元读/写操作不稳定。本实施例中,设计第一、二位线位于字线WL下方,第一、二位线比字线WL远离外围控制电路,第一、二位线中的信号不易受到外围控制电路的干扰,而且字线WL为强信号线,也不易受到外围控制电路的干扰。这样,整个SRAM单元的工作稳定性高。
除与第一、二实施例的不同之处外,第三实施例的SRAM单元的其他结构可参考第一、二实施例的相关内容。
第四实施例
参照图7,与第三实施例相比,第四实施例的不同之处在于:
第一互连线层620包括:第一位线BL、第二位线BLB和接地线Vss;
第二互连线层720包括:字线WL和2条电源接线Vdd。与第三实施例相比,本实施例的2条电源接线Vdd被字线WL间隔为两部分。
虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (8)

1.一种SRAM单元,其特征在于,包括:
第一传输晶体管和第一下拉晶体管,所述第一传输晶体管具有第一源极和第一栅极,所述第一下拉晶体管具有第二源极;
第二传输晶体管和第二下拉晶体管,所述第二传输晶体管具有第三源极和第二栅极,所述第二下拉晶体管具有第四源极;
第一上拉晶体管和第二上拉晶体管,所述第一上拉晶体管具有第五源极,所述第二上拉晶体管具有第六源极;
位于所有晶体管上方的第一互连线层、和位于所述第一互连线层上方的第二互连线层;
在第一、二互连线层中,其中一个互连线层包括字线、电源接线,另一个互连线层包括第一位线、第二位线和接地线;或者,其中一个互连线层包括字线和接地线,另一个互连线层包括第一位线、第二位线和电源接线;
所述字线与所述第一栅极和第二栅极电连接,第一、二位线互为互补位线,所述第一位线和所述第一源极电连接,所述第二位线和所述第三源极电连接;
所述电源接线与所述第五源极和第六源极电连接,所述接地线与所述第二源极和第四源极电连接。
2.如权利要求1所述的SRAM单元,其特征在于,所述字线垂直于第一、二位线。
3.如权利要求1所述的SRAM单元,其特征在于,所述第一上拉晶体管为第一上拉PMOS晶体管,所述第二上拉晶体管为第二上拉PMOS晶体管;
所述第一下拉晶体管为第一下拉NMOS晶体管,所述第二下拉晶体管为第二下拉NMOS晶体管。
4.如权利要求3所述的SRAM单元,其特征在于,所述第一上拉PMOS晶体管和第二上拉PMOS晶体管的结构相同。
5.如权利要求3所述的SRAM单元,其特征在于,所述第一下拉NMOS晶体管和第二下拉NMOS晶体管的结构相同。
6.如权利要求1所述的SRAM单元,其特征在于,所述第一传输晶体管和第二传输晶体管均为NMOS晶体管或PMOS晶体管。
7.如权利要求6所述的SRAM单元,其特征在于,所述第一传输晶体管和第二传输晶体管的结构相同。
8.如权利要求1所述的SRAM单元,其特征在于,所述第一传输晶体管和第一下拉晶体管共第一漏极;
所述第二传输晶体管和第二下拉晶体管共第二漏极;
所述第一上拉晶体管还具有第三漏极,并与所述第一下拉晶体管共第三栅极;
所述第二上拉晶体管还具有第四漏极,并与所述第二下拉晶体管共第四栅极;
所述SRAM单元还包括:位于所有晶体管和所述第一互连线层之间的零层互连线层;
所述零层互连线层包括:第一互连线和第二互连线,所述第一互连线与所述第一漏极、第三漏极和第四栅极电连接,所述第二互连线与所述第二漏极、第四漏极和第三栅极电连接。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040196705A1 (en) * 2003-04-04 2004-10-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor memory device
CN101814504A (zh) * 2009-02-23 2010-08-25 台湾积体电路制造股份有限公司 用于存储器件的金属结构
CN102290099A (zh) * 2011-07-04 2011-12-21 上海宏力半导体制造有限公司 Sram存储器及其形成方法
CN102800674A (zh) * 2011-05-24 2012-11-28 瑞萨电子株式会社 半导体器件

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040196705A1 (en) * 2003-04-04 2004-10-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor memory device
CN101814504A (zh) * 2009-02-23 2010-08-25 台湾积体电路制造股份有限公司 用于存储器件的金属结构
CN102800674A (zh) * 2011-05-24 2012-11-28 瑞萨电子株式会社 半导体器件
CN102290099A (zh) * 2011-07-04 2011-12-21 上海宏力半导体制造有限公司 Sram存储器及其形成方法

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