CN106104009B - 油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器 - Google Patents

Abstract

提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备：在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。

Description

油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器

技术领域

本发明涉及作为真空泵的油扩散泵和组装于该泵中的油蒸气产生器，所述油扩散泵与构成蒸镀装置或溅镀装置等各种真空装置的真空容器连接，适用于对该容器内抽真空的用途。

背景技术

在蒸镀装置或溅镀装置等各种真空装置中，作为在对构成该装置的真空容器的内部抽真空的排气装置中使用的真空泵，利用了油扩散泵。在以往的油扩散泵中，已知这样的油扩散泵：利用具有加热线的电热加热器，来作为收纳在锅炉内的工作油的加热源(专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-23778号公报

发明内容

发明要解决的课题

在利用加热线作为工作油的加热源的情况下，虽然存在可廉价地形成装置的优点，但是也包含有可引起如下不良情况的因素：例如，由于加热线的断线而导致加热功能消失；由于加热线的绝缘不良而发生漏电；由于端子座的高温而发生接触不良；以及被加热体生锈等。另外，在油扩散泵工作时，加热线会产生接近赤热水平的高温，因此需要注意其安装场所，根据考虑了来自加热线的辐射热的设置场所，还存在自由度在安装位置处受限这样的设置环境的问题。

而且，作为工作油加热源的加热线在能量效率方面也会发生热传导损失，因此，除了加热效率低下而妨碍节能之外，还存在以下问题。

(1)加热的上升速度较慢(起动时间长)，

(2)热响应性差，

(3)难以选择性地对被加热体进行加热从而对被加热体的周边也进行了加热等。

根据本发明的一个方面，提供一种可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器、和具备该油蒸气产生器且能够有助于实现工作时的节能的油扩散泵。

用于解决问题的手段

本发明的油扩散泵是一种真空泵，其中，在配置于壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作来加热工作油从而产生油蒸气，将喷射器内的油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行高真空排气动作。

油蒸气产生器具备：被加热体；感应线圈，其电绝缘地配置在被加热体的附近；以及供电单元，其对感应线圈施加交流电。并且，特征在于，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈施加交流电，由此使被加热体自身加热，从而使工作油气化。

本发明的油蒸气产生器被用于对具有壳体和喷射器的油扩散泵内的工作油进行加热而产生油蒸气的用途。本发明的油蒸气产生器具备：被加热体，其以一部分或全部浸渍于储存在油扩散泵的壳体内的工作油中的方式配置在壳体内的喷射器内；感应线圈，其以一部分或全部浸渍于储存在壳体内的工作油中的方式电绝缘地配置在被加热体的附近；以及供电单元，其对该感应线圈施加交流电。并且，特征在于，通过使供电单元工作来使被加热体加热，从而使工作油气化。

在上述的两个发明中，构成油蒸气产生器的被加热体的形状并不特别限定，可以考虑例如板状、筒状或板状与筒状的组合等。例如在以沿立起设置方向延伸的筒状构成被加热体的情况下(图3～图5)，只要将感应线圈隔着绝缘材料缠绕在被加热体的周围即可(图3～图5)。在以圆板状等的板材构成被加热体的情况下，只要将感应线圈隔着绝缘材料配置在被加热体的周围(例如背面等)即可，在进行组合的情况下，除了分别使用单独的感应线圈且使用多个供电单元以外，也可以使用1个系统的感应线圈和供电单元来供电。无论哪种情况，在本发明中，被加热体和感应线圈都是以一部分或全部浸渍于储存在壳体内的工作油中的配置被组装于壳体。

在本发明中，能够在油扩散泵的壳体内设置可使油蒸气产生器工作来进行加热的工作油的流路。

在本发明中，能够构成为使配置于壳体内的油蒸气产生器与壳体底面之间热绝缘。

在本发明中，能够以进行了绝缘包覆的耐热电线构成油蒸气产生器的感应线圈。

发明效果

组装在本发明的油扩散泵中的油蒸气产生器构成为：使用将感应线圈隔着绝缘材料配置在被加热体的附近而成的加热源(作为一例，将感应线圈隔着绝缘材料绕筒状的被加热体缠绕而成的加热源)作为工作油加热源，通过对感应线圈施加交流电来使被加热体加热，通过该热使工作油气化。另外，构成为，被加热体和感应线圈以浸渍于储存在油扩散泵的壳体内的工作油中的配置被组装于壳体底部。

即，根据组装于本发明的油扩散泵中的油蒸气产生器，不是对感应线圈进行加热，而是通过对感应线圈施加交流电，由此在被加热体的规定的方向上(在上述一例的外壳中，是在立起设置方向的上下)产生交链的磁通，利用该产生的磁通使被加热体产生感应电流、即涡电流，由此生成焦耳热(感应加热)。利用该生成的热使被加热体自身加热(被加热体自己加热)，由此加热工作油。

因此，由于不存在如加热线那样发生消耗的部件，因此不会因断线而导致发热功能消失。另外，在作为发热体的被加热体中消耗了全部的电流，因此不会发生因绝缘不良所引起的漏电，也不会发生因高温所引起的端子座的接触不良。另外，根据可局部地加热工作油加热源的性质，还存在感应线圈的配置场所的选择自由度扩大这样的有点。

另外，根据组装于本发明的油扩散泵中的油蒸气产生器，对被加热体和感应线圈以一部分或全部浸渍于储存在油扩散泵的壳体内的工作油中的配置进行组装。因此，即使在由于被加热体的升温而使得感应线圈的温度上升的情况下，也能够期待工作油的冷却效果，从而能够防止异常加热。因此，即使与例如将感应线圈配置在壳体外并对其进行空冷冷却的方式比较，也能够将感应线圈的上限温度抑制得较低。

本发明的油扩散泵在其壳体内组装有本发明的油蒸气产生器，因此能够使对油蒸气产生器的感应线圈施加的所有电流消耗在作为发热体的被加热体上。其结果是，发热体的能量效率高，能够节省电力。

通过在油扩散泵的壳体内设置使油蒸气产生器工作来进行加热的工作油的流路，由此，无需在壳体底部的大气侧(壳体外。以下相同)设置工作油循环用的管道作为工作油的流路，实现了壳体的简化。

使工作油通过被加热体加热了的流路，由此能够在工作油循环中途的流路通过中期待预备加热，形成为适合产生油蒸气的状态。

关于本发明的油扩散泵，如上所述，作为加热源的油蒸气产生器被配置在壳体内，在以往结构的油扩散泵具备加热源的壳体外不具有加热源。因此，还实现了壳体底部的大致平坦化，能够将油扩散泵平置，能够提高便利性。

并且，根据本发明的油蒸气产生器的一例，缠绕有感应线圈的、作为发热体的被加热体的立起设置方向上端从所接触的工作油的油面向上露出，因此，从油面升起的油蒸气与从油面向上露出的被加热体内壁的上部分接触，由此被进一步加热，从而在短时间内生成被充分加热的油蒸气。其结果是，在组装有这样的油蒸气产生器的油扩散泵中，能够以更短的时间进行工作油加热的升温(即油蒸气的生成)，而且，在能量效率方面也极其有益。

附图说明

图1是示出本发明的一个实施方式的真空装置的概要结构图。

图2是示出在图1的真空装置中使用的作为一例的油扩散泵的概要结构剖视图。

图3是示出在图2的油扩散泵中使用的作为一例的油蒸气产生器的重要部位的概要结构剖视图。

图4是从IV方向观察图3的概要俯视图。

图5是示出与图3对应的油蒸气产生器的重要部位的其他例的图。

图6是示出组装在本例的油扩散泵中的油蒸气产生器的配置方式的其他例的图。

图7是示出组装在本例的油扩散泵中的油蒸气产生器的配置方式的其他例的图。

标号说明

1：真空装置；10：真空容器；21、23、25～29：管路；31：主抽阀；33：泄漏阀；35：粗抽阀；37：辅助阀；39：泄漏阀；50：油扩散泵；51：壳体；53：喷射器；53a：喷嘴；55：进气部；57：排气部；58：水冷管；59：储油槽；60：粗抽泵；70：油蒸气产生器；70a：支架；71：外壳(被加热体的一例)；71a：内侧区域；71b：外侧区域；72：底座；72a：开口部；73：绝缘材料；75：感应线圈；76：磁屏蔽外壳；8：工作油；90：下盖(凸缘)；92：紧固构件。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的一例进行说明。

如图1所示，本例的真空装置1具有真空容器10。在真空容器10的内部配置有蒸发源或溅射源等成膜源(省略图示)、或者对作为处理对象的基板进行保持的基板保持器等对于薄膜的形成(成膜)来说所需要的各种装备。管路21的下游侧与真空容器10连接。在真空容器10上连接有真空计(省略图示)，该真空计检测真空容器10内的气压(真空度)。

吸引管路23的下游侧经由主抽阀31与管路21的上游侧连接。吸引管路23的上游侧与油扩散泵50的进气部55连接。分支管路25的下游侧与管路21的中途连接。管路26的下游侧与分支管路25的中途连接，在管路26的上游侧设有泄漏阀33。

管路27的下游侧经由粗抽阀35与分支管路25的上游侧连接。管路27的上游侧与粗抽泵60连接。管路28的下游侧与管路27的中途连接。管路28的上游侧经由辅助阀37与油扩散泵50的排气部57连接。管路29的下游侧与管路27的管路28连接部连接，在管路29的上游侧设有泄漏阀39。在管路28内连接有真空计(省略图示)，来检测油扩散泵50内的压力。

本例的真空装置1除了上述的结构外，还具备对装置1的动作进行控制的控制装置(省略图示)。本例中所具备的控制装置构成为包含：包含各种处理电路的主控制电路(省略图示)；真空计驱动电路(省略图示)，其与和管路21内连接的真空计相连接；控制粗抽泵60运转的粗抽泵控制电路(省略图示)；以及控制油扩散泵50运转的油扩散泵控制电路(省略图示)。

在主控制电路上连接有各阀(主抽阀31、泄漏阀33、39、粗抽阀35、辅助阀37)，这些阀根据主控制电路的规定的时序进行开闭。在油扩散泵50上连接有粗抽泵60，油扩散泵50通过辅助阀37排出的气体被粗抽泵60吸引而从未图示的路径排出。

如图2所示，本例的油扩散泵50具有底部封闭的筒状的容器(壳体)51。在壳体51内的底部组装有对工作油8加热并使其气化的油蒸气产生器70，壳体51的底部大致平坦。在后面叙述油蒸气产生器70的详细情况。在壳体51内配置有喷射器53，这里，喷射器53将被油蒸气产生器70加热的工作油8(参照图3)气化而上升的油蒸气取入，并且通过喷嘴53a向粗抽方向喷射。在壳体51的上端设有进气部55，在壳体51的侧面设有排气部57。

接下来，对油扩散泵50的动作进行说明。

在打开主抽阀31后使油蒸气产生器70工作时，工作油8被油蒸气产生器70加热至沸点附近而气化并充满喷射器53内，并且从喷嘴53a喷射到壳体51的侧壁内表面。借助该喷射而从进气部55吸入的吸入气体(真空容器10内的空气)向喷流的行进方向喷洒，并从排气部57被排出。由此对真空容器10内进行抽真空。图2中的“圆圈(○)”示意性地表示使油气化而成的油蒸气的状态。并且，为了不使工作油8进入到真空容器10内，在油蒸气从喷嘴53a喷出后，打开进气部55。

此外，壳体51被水冷管58冷却，因此，附着于壳体51的内壁上的工作油8的油蒸气被冷却而凝结，返回到壳体51的下方的储油槽59中，被油蒸气产生器70再次加热而再次气化，形成循环的结构。

如图3和图4所示，本例的油蒸气产生器70经由板状的支架70a组装在图2所示的油扩散泵50的壳体51内的底部。支架70a被下盖(凸缘)90从大气侧支承。在支架70a与下盖90之间也可以夹装隔热件(省略图示)。下盖90通过螺栓等紧固构件92装卸自如地安装于壳体51的底面，壳体51的底部的大气侧形成为大致平坦。

在支架70a的上方(图3的上方向)配置有作为被加热体的一例的筒状的外壳71。在本例中，外壳71的下端被在大致中心附近具有开口部72a的底座72支承。底座72经由规定的高度的腿部70b被支架70a支承，并且底座72被配置成在与支架70a之间形成有可使工作油8通过的程度的间隙。在本例中，上述的通过腿部70b形成的、底座72与支架70a之间的间隙作为工作油的预备加热流路发挥功能。另外，由于存在该间隙，配置在油扩散泵50的壳体51内的油蒸气产生器70与壳体51底面之间成为热绝缘的结构。

并且，作为外壳71，也可以使用一体化有具有开口部72a的底座72而成的带凸缘外壳(省略图示)。另外，底座72也可以经由后述的感应线圈75的绝缘用圆板部件(省略图示)支承在支架70a上方。

本例的外壳71由被加热材料构成。作为被加热材料，可以使用不锈钢、碳素钢、由JIS-G3101规定的一般结构用轧制钢材中的至少任意一种。

作为不锈钢，例如可使用SUS304、SUS303、SUS302、SUS316、SUS316L、SUS316J1、SUS316J1L、SUS405、SUS430、SUS434、SUS444、SUS429、SUS430F、SUS302等SUS的所有品种。碳素钢包括软钢材料等含碳量较少的低碳钢、硬钢材料等含碳量较多的高碳钢。一般结构用轧制钢材包括SS330、SS400、SS490、SS540。

其中，优选利用软钢材料等电阻率为大约10×10^-8Ωm至20×10^-8Ωm的具有低电阻的强磁性材料，来构成外壳71。在通过具有低电阻的强磁性材料(软钢等)构成外壳71的情况下，由于电阻较低，因而施加在感应线圈75上而产生的涡电流量变大，其结果是，外壳71本身的自我加热量也变大，可期望实现更高的效率。

另外，利用作为一般钢材的容易获得的SS400构成外壳71也是优选的。这种情况下，即使是成为高温的被加热体，由于在真空氛围气中始终浸渍于工作油中，因此能够期待显示出防锈性。并且，除此之外，也可以利用例如在被加热材料的感应线圈75侧的面上具备包覆材料而成的成型物，来形成外壳71。

在本例中，也可以利用被加热材料构成对外壳71的下端进行支承的底座72。

外壳71具备其周壁在立起设置方向(上下方向)上延伸的结构。外壳71的内侧区域71a和外侧区域71b这两个区域构成了储油槽59(参照图2)，在此填充并储存工作油8。例如，在以120mm的高度形成外壳71的情况下，以油蒸气产生器70停止工作时的油面水平L为大约30mm的方式填充工作油8。这种情况下，在使油蒸气产生器70开始工作时，工作油8的油面水平L例如下降至大约10mm。

在本例中，为了如后述那样通过低频交流电实现感应加热(低频感应加热)，外壳71的厚度优选形成在5mm至12mm的范围内。

并且，在本例中，外壳71的内侧区域71a经由底座72的开口部72a与外壳71的外侧区域71b连通(参照图3)。

在外壳71的外周，隔着绝缘材料73缠绕有感应线圈75。由此，感应线圈75被电绝缘地配置在外壳71的外周(附近的一例)。绝缘材料73可以由例如厚度为大约10μm～180μm的聚酰亚胺膜、云母或对被加热体外表面热喷涂绝缘材料而成的热喷涂物等构成。

关于构成感应线圈75的导线，使用电阻小且耐热温度高的进行了绝缘包覆的耐热电线。作为这样的电线，可举出例如对铝线进行氧化铝膜处理而成的氧化膜铝电线等。构成感应线圈75的导线的直径优选是从2mm到4mm的范围。感应线圈75的圈数优选是从7层到14层的范围。

在感应线圈75上连接有用于对该感应线圈75供电的供电单元(省略图示)，该供电单元的供电状况由未图示的控制装置控制。

在本例中，外壳71和感应线圈75一起以它们的一部分或全部浸渍于工作油8中的配置进行组装，因此，感应线圈75不会被异常加热至工作油8的温度以上，另外，即使在感应线圈75自身的温度上升的情况下，也能够期待工作油8的冷却效果。而且，感应线圈75的升温有助于工作油8的加热，从而会对节能做出贡献。

接下来，对油蒸气产生器70的动作进行说明。

首先，使供电单元工作，对感应线圈75施加交流电。对感应线圈75施加的交流电的频率并不特别限定，作为一例，可以举出从数10Hz至数100Hz的低频交流电，但也可以是高频交流电。即使供给高频交流电，也能够获得同样的效果。另外，对供电单元的控制采用电流控制方式，但也可以是功率控制方式。以下，对通过电流控制方式施加低频交流电的情况进行例示。

在使供电单元工作而对感应线圈75施加50Hz或60Hz的商用频率的交流电时，在外壳71的立起设置方向上产生上下交链的磁通，通过该磁通在外壳71中产生涡电流，生成焦耳热。利用该热使外壳71自身加热，由此直接加热储存在外壳71的内侧区域71a中的工作油8。从外壳71内的油面升起的油蒸气与从油面向上露出的外壳71上部的高温部分接触而进一步被加热，成为被充分加热的高温油蒸气而在喷射器53内上升，并从喷嘴53a喷射出去。

如上所述，油扩散泵50的壳体51被水冷管58冷却，因此，附着在壳体51的内壁上的工作油8的油蒸气被冷却而凝结，并返回壳体51的下方的、外壳71的外侧区域71b(与图2的储油槽59意思相同)中。在本例中，由于外壳71的内侧区域71a经由底座72的开口部72a与外壳71的外侧区域71b连通(参照图3)，因此，凝结并返回的工作油8穿过由腿部70b形成的底座72与支架70a之间的间隙，并通过底座72的开口部72a向外壳71的内侧区域71a流动，并被油蒸气产生器70再次加热，工作油8再次气化而循环。

并且，在本例中，在利用被加热材料构成对外壳71的下端进行支承的底座72的情况下，该底座72部分也可以与外壳71一起作为被加热体来利用。这种情况下，能够在底座72与支架70a之间的间隙(即流路)中，对被壳体51冷却并返回外壳71的外侧区域71b的工作油8进行预备加热，从而能够期待对在内侧区域71a中进行再加热时的、工作油8的蒸发效率的提高做出贡献。

在经由腿部70b从背面支承底座72的支架70a与外壳71和底座72相同地由被加热材料构成的情况下，也能够期待该支架70a作为被加热体起作用。

在本例的油蒸气产生器70中，作为工作油8的加热源，采用了在由软钢材料或SS400等被加热材料构成的筒状的外壳71的外周隔着绝缘材料73缠绕感应线圈75而成的加热源，通过对感应线圈75施加低频交流电来使外壳71加热，利用该热使工作油8气化。由于不加热感应线圈75，因此不存在断线的问题，并且不会因断线而导致发热功能消失从而损害油扩散泵50的排气功能。另外，不会发生因绝缘不良所引起的漏电。另外，感应线圈75自身不会成为发热体，而是收纳在壳体51内，因此也不会发生因高温劣化所引起的端子座的接触不良。

而且，在对外壳71的下端进行支承的底座72也由被加热材料构成的情况下，通过对感应线圈75施加低频交流电，也能够加热底座72，从而也能够使气化的效率提高。

在从背面支承底座72的支架70a也由被加热材料构成的情况下，通过对感应线圈75施加低频交流电，也能够将该支架70a作为被加热体来利用，从而能够期待气化效率的提高。这种情况下，通过在支架70a与下盖90之间夹装隔热件(省略图示)，可以进一步提高气化效率。

由于在本例的油扩散泵50中组装有本例的油蒸气产生器70，因此，能够使在油蒸气产生器70的感应线圈75中流过的全部电流消耗于外壳71(或者外壳71和底座72)自身上。其结果是，存在如下效果：能量效率高，促进了节能，还能够对缩短工作油8的加热的升温时间做出贡献(能够缩短油扩散泵50的起动时间)等。

在本例的油蒸气产生器70中，将其主要部分(外壳71、绝缘体73和感应线圈75)以下端配置在平坦的支架70a上方的状态组装在壳体51底部，因此，能够使壳体51的底部的大气侧形成为大致平坦。其结果是，也能够提供可平置的油扩散泵50，提高了便利性。

在本例的油蒸气产生器70中，由于形成为如下结构：缠绕有感应线圈75的、作为发热体的外壳71的立起设置方向上端U比所接触的工作油8的油面L向上露出，因此，从油面L升起的油蒸气与从油面L向上露出的外壳71的上部部分接触而被进一步加热，从而生成被充分地加热了的油蒸气。其结果是，在组装有本例的油蒸气产生器70的油扩散泵50中，能够提高从喷射器53喷出的喷出蒸气的温度，对于实现排气速度的提高非常有益。

并且，上述的例子是为了容易理解本发明而记载的例子，不是为了限定本发明而记载的。因此，在上述的实施方式中所公开的各要素还包含属于本发明的技术范围的所有的设计变更或均等物。

例如，在上述的例子中，隔着绝缘材料73将感应线圈75缠绕在由软钢材料或SS400等形成的单一结构的外壳71的外周，使感应线圈75的外周部分露出(参照图3)，但不限定于该方式，例如，也可以通过外壳内壁和外壳外壁这样的双层结构形成外壳71，从而成为外侧区域71b/外壳外壁/绝缘材料73/感应线圈75/绝缘材料73/外壳内壁/内侧区域71a的结构，实现本例的作用效果。

如果是该方式，能够将储存在外侧区域71b中的工作油8与储存在内侧区域71a中的工作油8一起加热，因此，可以期待飞跃性地提高工作油8的加热效率。

筒状的被加热体不限于例示的板材，在使用被加热材料的结构中，也可以是对能够使工作油通过的多孔金属体或网进行缠绕而成的结构。

另外，在上述的例子中，使感应线圈75的外周侧露出(参照图3)，但不限定于该方式，例如如图5所示，也可以形成为如下方式：利用由与外壳71的材质不同的材质形成的磁屏蔽外壳76覆盖大致整个感应线圈75(但是，除了下部的一部分。参照图5)。通过形成为这样的方式，能够期待进一步提高在通过对感应线圈75施加交流电来使外壳71加热时的加热效率，是优选的方式。

另外，在上述的例子中，作为构成油蒸气产生器70的被加热体，使用了筒状的外壳71，但不限定于该方式，作为被加热体，也可以使用圆板状等的板材(省略图示)，并将该板材整体配置成一部分或全部浸渍于所储存的工作油8中。这种情况下，可以在板材的周围、例如板材的背面(壳体51的底部侧)隔着绝缘材料73配置感应线圈75。根据这样的方式，也能够实现本例的作用效果。

另外，在上述的例子中，在单一的油扩散泵50中设置有1个油蒸气产生器70，但不限定于该方式，特别是在研究油扩散泵的大型化等的情况下，例如如图6和图7所示，也可以在壳体51内的底部配置多个本例的油蒸气产生器70。

实施例

接下来，对本发明的实例(实施例)和比较例进行说明。

[实施例]

在本例中，准备了如下所示的油扩散泵50(图2)，并在下述条件下进行了评价，其中，在该油扩散泵50中组装有1个作为工作油加热源的油蒸气产生器70(图3)。

(油扩散泵50)

·排气口的直径：250mm，

·排气速度：2900L/sec，

·真空容器内的极限压力：6.7×10^-6Pa(帕斯卡)以下，

·所需功率：0.7KW，

·工作油：LION S，1L。

(油蒸气产生器70)

·外壳71的高度：120mm，

·工作油的油面水平L：30mm(停止时)，10mm(工作时)。

[比较例]

在本例中，准备了以往结构的油扩散泵，并在下述条件下进行了评价，其中，在所述以往结构的油扩散泵中，将利用加热线(镍线)作为工作油加热源的电热器配置在泵底部。

(以往的油扩散泵)

·排气口的直径：250mm，

·排气速度：2900L/sec，

·真空容器内的极限压力：6.7×10^-6Pa(帕斯卡)以下，

·所需功率：2.0KW(200V)，

·工作油：LION S，1L。

[评价]

使用各例的油扩散泵进行了运转功率的测定。具体而言，通过钩表功率计测定对镍线(比较例)和对感应线圈(实施例)供给电力的部分，根据电压、电流、功率因数计算功率(起动时功率、运转时功率)，计算了实施例与比较例之比(与以往之比)。其结果，实施例的运转功率在起动时比以往减少了40％，而在运转时比以往减少了65％，由此可知在起动时和运转时都能够实现大幅的功率削减。

针对各例的油扩散泵测定了温度(侧面、底面)。其结果是，实施例的侧面温度(大气侧)为170℃。这比比较例(230℃)减少了26％，并确认到：能够使加热集中于锅炉内筒，有助于削减耗电。另外，实施例的底面温度为120℃。将其与赤热的加热块露出且成为非常高的温度的比较例(赤热状态)相比较，可知能够大幅抑制热损失。另外，还知道了能够达到不必考虑地板的损伤的水准。

Claims (9)

1.一种油扩散泵，在配置于该油扩散泵的壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作来加热工作油从而产生油蒸气，将喷射器内的油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行高真空排气动作，其特征在于，

所述油蒸气产生器具备：

被加热体；

感应线圈，其电绝缘地配置在该被加热体的附近；以及

供电单元，其对该感应线圈施加交流电，

所述被加热体和感应线圈以一部分或全部浸渍于储存在壳体内的工作油中的配置被组装于壳体，

所述油扩散泵构成为，通过使所述供电单元工作来使所述被加热体加热，从而使所述工作油气化。

2.根据权利要求1所述的油扩散泵，其中，

所述油蒸气产生器的被加热体是在立起设置方向上延伸的筒状，在该筒状的被加热体的周围隔着绝缘材料缠绕有感应线圈。

3.根据权利要求1所述的油扩散泵，其中，

所述油蒸气产生器的被加热体是板状，在该板状的被加热体的周围隔着绝缘材料配置有感应线圈。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的油扩散泵，其中，

在壳体内具有工作油流路。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的油扩散泵，其中，

在壳体底部的大气侧不具有加热源。

6.根据权利要求1～3中的任意一项所述的油扩散泵，其中，

所述油扩散泵构成为使配置在壳体内的油蒸气产生器与壳体底面之间热绝缘。

7.根据权利要求1～3中的任意一项所述的油扩散泵，其中，

所述感应线圈由进行了绝缘包覆的耐热电线构成。

8.一种真空装置，其具备用于对真空容器内抽真空的排气装置，其特征在于，

使用权利要求1～7中的任意一项所述的油扩散泵作为所述排气装置。

9.一种油蒸气产生器，其对具有壳体和喷射器的油扩散泵内的工作油进行加热而产生油蒸气，其特征在于，

该油蒸气产生器被组装于所述油扩散泵内的壳体来使用，

所述油蒸气产生器具备：

被加热体，其以一部分或全部浸渍于储存在所述壳体内的工作油中的方式配置于所述喷射器内；

感应线圈，其以一部分或全部浸渍于储存在所述壳体内的工作油中的方式电绝缘地配置在所述被加热体的附近；以及

供电单元，其对该感应线圈施加交流电，

通过使所述供电单元工作来使所述被加热体加热，从而使所述工作油气化。