CN106068467A - 介质反射镜 - Google Patents

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Abstract

一种介质反射镜，包括具交替的高、低折射率层的涂层。所述高折射率层含有氧化铌和/或氧化钛，且所述低折射率层含有氧化硅。所述在示例性实施例中，反射镜涂层没有铝或银的金属反射层，以及在示例性实施例中可具有约50‑90％的薄膜侧和/或玻璃侧可见光反射率(更优选是约60‑80％，且最优选是约65％‑75％)，以及约10‑50％的可见光透射率(更优选是约10‑40％或20‑40％)。所述层的厚度及相关厚度与其折射率一样被特定。所述玻璃基片侧和薄膜侧之间的非对称反射被实现。

Description

介质反射镜
本申请是2013年2月13日提交的美国申请No.13/766,025的部分续申请案(CIP)，其全部内容被纳入此处作为参考。
本发明的示例性实施例涉及一种介质反射镜和/或制备其的方法。示例性实施例涉及一种介质反射镜，其可实现约50-90％的薄膜侧和/或玻璃侧可见光反射率(更优选是约60-80％，最优选是约65％-75％)，以及约10-50％的可见光透射率(更优选是约10-40％，甚至更优选是约20-40％，最优选是约25-35％)。
发明的背景及示例性实施例概述
反射镜已存在多年并已在许多应用中被使用。反射镜通常具有以下特征：(a)第一表面反射镜，其中反射镜涂层被配置在观察器和支撑玻璃基片之间，或(b)第二表面反射镜，其中支撑玻璃基片被插在观察器和反射镜涂层之间。例如，参照美国专利Nos.7,276,289和7,678,459；美国公开Nos.2006/0077580；2007/0178316；2008/0073203；2008/0164173；2010/0229853；2011/0176212；和2011/0176236。上述各专利文件中的全部内容被纳入此处作为参考。
反射镜通常需要使用金属(铝或银)反射层。然而，如果在配置反射镜时无需铝或银的金属反射层将会更理想。
本发明的示例性实施例涉及一种介质反射镜和/或制备其的方法。特别是，示例性实施例涉及一种无金属反射层(例如，没有银层和没有铝层)的介质反射镜，且仍然可以实现约50-90％的薄膜侧和/或玻璃侧可见光反射率(最优选是约60-80％，且最优选是约65％-75％)和10-50％的可见光透射率(更优选是约10-40％，且更优选是约20-40％，最优选是约25-35％)。在示例性实施例中，含有NiCr或类似的层，可被轻微或明显地氧化，并在一些示例性情况下被提供。在示例性实施例中，介质反射镜可以是第一或第二表面反射镜，鉴于玻璃侧反射和薄膜侧反射两者具有良好性能。在示例性实施例中，该反射镜可以或也可以不被热处理(例如，热回火和/或热弯曲)。在一些实例中，该介质反射镜可用于类似相框，浴室反射镜，电视，和/或电子设备的消费市场，商业、和/或数字标牌应用中。
在本发明的示例性实施例，提供一种含有用于支撑涂层的玻璃基片的介质反射镜，所述涂层从所述玻璃基片向上依次包含：第一透明介质高折射率层，含有氧化铌和/或氧化钛，所述第一透明介质高折射率层的厚度为70-140nm；第二透明介质低折射率层，含有氧化硅，所述第二透明介质低折射率层的厚度为30-140nm；第三透明介质高折射率层，含有氧化铌和/或氧化钛；第四透明介质低折射率层，含有氧化硅；第五透明介质高折射率层，含有氧化铌和/或氧化钛，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，其与(a)所述含有氧化铌和/或氧化钛的第三透明介质高折射率层，和/或(a)所述含有氧化铌和/或氧化钛的第五透明介质高折射率层中的一个或两个相比，至少厚10nm；其中，所述涂层不包括任何基于铝或银的金属反射层，且其中，所述介质反射镜具有以下特征：(i)薄膜侧可见光反射率或玻璃侧可见光反射率约为50-90％，以及(ii)可见光透射率为约10-40％，且其中，所述反射镜的所述玻璃侧可见光反射率与所述反射镜的薄膜侧可见光反射率相比，至少高30％或至少低30％。该反射镜可进一步包括：对称调整层，位于所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层之间。该对称调整层可含有镍铬或类似等，并可至少部分被氧化。该对称调整层可位于所述第三透明介质高折射率层和所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层之间并与其接触，或者可位于所述第五透明介质高折射率层和所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层之间并与其接触。反射镜的玻璃基片可以是灰色的玻璃基片，而不是使用对称调整层，从而实现反射镜的薄膜侧和玻璃侧之间的可见光反射非对称。
在本发明的示例性实施例中，提供一种含有用于支撑涂层的基片的介质反射镜，所述涂层从所述基片向上依次包含：第一介质层，厚度为70-140nm，且折射率(n)为2.15-2.5；第二介质层，含有氧化硅；第三介质层，折射率为2.15-2.5；第四介质层，含有氧化硅；第五介质层，折射率为2.15-2.5，其中，所述第一介质层与所述第三介质层和/或第五介质层中的一个或两个相比，至少厚20nm，且其中，所述涂层不包含任何金属的反射层。
在本发明的示例性实施例，提供一种含有用于支撑涂层的玻璃基片的介质反射镜，所述涂层从所述玻璃基片向上依次包含：第一透明介质高折射率层，含有氧化铌，所述第一透明介质高折射率层的厚度为70-140nm；第二透明介质低折射率层，含有氧化硅，所述第二透明介质低折射率层的厚度为30-140nm；第三透明介质高折射率层，含有氧化铌；第四透明介质低折射率层，含有氧化硅；第五透明介质高折射率层，含有氧化铌，其中，所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层，其与所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层，和/或所述含有氧化铌的第五透明介质高折射率层中的一个或两个相比，至少厚10nm，其中，所述涂层不包括任何基于铝或银的金属反射层，且其中，所述介质反射镜，具有约50-90％的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率，以及约10-40％的可见光透射率。
在本发明的示例性实施例，提供了一种含有用于支撑涂层的基片(例如玻璃基片)的介质反射镜，所述涂层从所述基片向上依次包含：第一介质层，厚度为70-140nm，且折射率(n)为2.15-2.5；第二介质层，含有氧化硅；第三介质层，折射率为2.15-2.5；第四介质层，含有氧化硅；第五介质层，折射率为2.15-2.5，其中，所述第一介质层与所述第三介质层和/或第五介质层中的一个或两个相比，至少厚10nm，其中，所述涂层不包含任何金属的反射层，且其中，所述反射镜，具有约50-90％的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率，以及约20-40％的可见光透射率。
附图简要说明
图1是示出根据本发明的示例性实施例的介质反射镜的横截面示图。
图2是示出根据图1实施例的示例性介质反射镜的光学特性的图表，其中调制波长(nm)与可见光透射(Ts)、薄膜侧反射(BRs)、玻璃侧反射(Ra)相比较。
图3是示出根据图1实施例的示例性介质反射镜的反射颜色的角分布图表，其中调制角度(度数)与玻璃侧反射a*和b*颜色值相比较。
图4是示出根据本发明的示例性实施例的介质反射镜的横截面示图。
图5(a)和5(b)是示出根据本发明的示例性实施例的介质反射镜的横截面示图。
本发明示例性实施例的具体说明
以下参照附图进行详细说明，其中多个附图中的相同的参照符号表示相同的部件/材料。
图1是示出根据本发明的示例性实施例的介质反射镜100的横截面示图。反射镜包括：位于玻璃基片1上的介质涂层150。在本发明的示例性实施例中，玻璃基片1可以是基于钠钙硅的玻璃或任何其他合适的类型的玻璃，且厚度可约为1-10毫米，更优选是厚度约为2-6毫米。另外，基片1可以是石英，硅，或类似等。反射镜涂层150包括：含有氧化铌(例如，Nb2O5，NbO2和/或NbO)的高折射率透明介质层2、4、6，和含有氧化硅(例如SiO2，可以或也可以不掺杂铝和/或氮)的低折射率透明介质层3和5。在示例性实施例中，氧化硅层3和/或5中的一个或两个可掺杂其他材料，例如约1-8％的铝和/或约1-10％的氮。在示例性的例子中，层2、4和6中的一个或多个也可掺杂其他材料。在图1的实施例中，层6是涂层150的最外层，可暴露于空气中。由于层2-7中每一个是独立的，对于可见光为基本透明(例如，至少约50％透明，对于可见光更优选是至少约60％或70％透明)，因此，层2-7中每一个可被认为是“透明”的。
含有氧化铌的高折射率透明介质层2、4和6可具有约2.15-2.5的折射率(n)，更优选是约2.2-2.4，且最优选是约2.25-2.35(在550nm处)。在另一实施例中，高折射率层2、4、和/或6中的一个或多个中，氧化铌可替换成氧化钛(如TiO2)、氧化锆、氧化铪(例如，HfO2)、氧化铈(如CeO2)、硫化锌、或氧化铋(如Bi2O3)。因此，在该示例，层6可含有氧化钛，而层2和4可含有氧化铌，且层3和5可含有氧化硅。含有氧化硅的低折射率透明介质层3和5可具有约1.4-1.7的折射率(n)，更优选是约1.4-1.6，且最优选是约1.45-1.55(在此，所有的折射率n值在550nm处被测量)。
在本发明的示例性实施例中，透明介质层2-6优选是经溅射被沉积。例如，含有氧化铌的透明介质层2、4和6可通过在含有氩气和活性氧气体混合物的大气中溅射至少一个含有Nb的溅射对象被溅射沉积。例如，含有氧化硅的透明介质层3和5或可通过在含有氩气和活性氧气体混合物的大气中溅射至少一个含有Si或SiAl的溅射对象被溅射沉积。可是用旋转C-Mag溅射对象、或其他类型的对象。在溅射操作中，可使用足够的活性氧气体来实现在此所述的折射率值。另外可使用陶瓷对象来溅射沉积一个或多个层。虽然层2-6优选是通过溅射被沉积，但在本发明的其他实施例中还可通过其他技术被沉积。虽然图1实施例中示出反射镜涂层150由五层组成，在其他实施例中，还可提供附加的层。
在图1实施例中和其他实施例中，虽然介质反射镜100不包含金属反射层(例如，没有银层和铝层)，但仍然能够实现约50-90％的薄膜侧和/或玻璃侧可见光反射率(更优选是约60-80％，且最优选是约65％-75％)，以及约10-50％的可见光透射率(更优选是约10-40％，甚至更优选是约20-40％，最优选是约25-35％)。虽然没有金属反射层，但通过将涂层150中相邻层之间较大的折射率差异与在此所述的层厚度值相结合，可实现高反射值。在示例性实施例中，玻璃侧反射(从反射镜的玻璃1侧被测量的反射)以及薄膜侧反射(从反射镜的薄膜150侧被测量的反射)可能基本对称(例如，反射镜的玻璃侧反射率和薄膜侧反射率的差异可约为10％以下)。在此所述折射率和厚度值也可以被定制，以允许透射和反射的颜色值(例如，a*和/或b*颜色值)是基本上中性的。在示例性实施例中，介质反射镜100可以是第一或第二表面反射镜。例如介质反射镜100可作为分束器被使用。在示例性实施例中，反射镜100可被热处理或也可以不被热处理(例如，热回火和/或热弯曲)。在示例性的例子中，该介质反射镜100可用于类似相框，浴室反射镜，电视，和/或电子设备的消费市场，商业、和/或数字标牌应用中。该反射镜可在消费市场、保安、商业和/或数字标牌的应用中用于电子反射镜或隐蔽电视。在电子应用中，当显示器被打开，通过玻璃1可以看到屏幕上的图像，当显示被关闭，反射镜100具有反射镜的外观，提供在此所述的反射和可见光透射值。
图4是根据本发明的另一个示例性实施例的介质反射镜的横截面示图。除了透明介质阻挡层7被配置在玻璃基片1和高折射率层2之间以外。图4的实施例与图1的实施例相同。在本发明的示例性实施例中，阻挡层7含有氮化硅(如Si3N4)。在示例性实施例中，基于氮化硅的阻挡层7可掺杂其他材料，例如约1-8％的铝和/或约1-10％的氧。图4的实施例在热处理(例如，热回火)的实施例中特别有用，其中，阻挡层7有助于防止或减少元素(例如，钠)在高温热处理过程中从玻璃基片上迁移。该热处理(例如，热回火)可包括：例如在至少约580摄氏度的加热炉中加热涂层制品，更优选是至少约600摄氏度。在本发明的示例性实施例中，如图4实施例中的反射镜可以或也可以不热处理(例如，热回火)。
在本发明的示例性实施例中，含氧化铌的透明介质层2的厚度可约为70-140nm，更优选是厚度约为80130nm，更优选是厚度约为90-120nm，用一个例子厚度约105nm。在本发明的示例性实施例中，含氧化铌的透明介质层4的厚度可约为20-90nm，更优选是厚度约为30～80nm，更优选是厚度约为40-65nm，示例性的厚度约为52nm。同样，在本发明的示例性实施例中，含氧化铌的透明介质层6的厚度可约为20-90nm，更优选是厚度约为30～80nm，更优选是厚度约为40-70nm，示例性厚度约为54nm。为了实现所需的反射率和透射率，在此，基于氧化铌的层2优选是比基于氧化铌的层4和6中的每一个厚。例如，在示例性实施例中，基于氧化铌的层2与基于氧化铌的层4和/或6中一个或两个相比，至少厚约10nm(更优选是至少厚约25nm，且最优选是至少厚约40nm)。
在本发明的示例性实施例中，含有氧化硅的透明介质层3的厚度约为30-140nm，更优选约40120nm厚，更优选是厚度约为60-120nm，更优选是厚度约为75-100nm，示例性厚度约为88nm。同样，在本发明的示例性实施例，含有氧化硅的透明介质层5的厚度可约为30-140nm，更优选是厚度约为40-120nm，更优选是厚度约为60-120nm，甚至更优选是厚度约为75-100nm，示例性厚度约为88nm。因此，在示例性实施例中，基于氧化硅的层3和5可基本上具有相同的厚度(即，在示例性实施例中，基于氧化硅层3和5的厚度差异不超过20nm，更优选是不超过10nm)。在示例性实施例中，基于氧化硅的层3和/或5中的一个或两个与基于氧化铌的层2相比，至少薄约10nm(更优选是至少薄约15nm)，并且与基于氧化铌的层4和/或6相比，至少厚约10nm(更优选是至少厚约20nm)。
在示例性实施例中，透明介质阻挡层7(其可被溅射沉积)厚度可约为10-150nm，更优选是厚度约为10-40nm，更优选是厚度约为10-30nm，示例性厚度约为20nm。在示例性实施例中，阻挡层7可具有约1.95-2.10的折射率，更优选是约2-2.05。
示例1
根据本发明实施例的一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：105nm厚
氧化硅层3：88nm厚
氧化铌层4：53nm厚
氧化硅层5：88nm厚
氧化铌层6：53nm厚
本示例性反射镜的光学性质如图2-3所示。使用透明的玻璃基片。图2是示出示例性介质反射镜的光学特性的图表，其中调制波长(nm)与可见光透射(Ts)、薄膜侧反射(BRs)、玻璃侧反射(Ra)相比较；图3是示出示例性介质反射镜的反射颜色的角分布图表，其中调制角度(度数)与玻璃侧反射a*和b*颜色值相比较。以下可见光值(L*、可见光透射率值(TY或TaY)，可见光反射率值(薄膜侧RfY或BRa，玻璃侧RgY或Ra)，可见光透射/反射颜色值a*和b*)被测定：
表1
因此，从上述表1中示出，介质反射镜具有30％的可见光透射率，70％的玻璃侧可见光反射率，和68％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。在图3中可以看出，反射a*和b*颜色值的角分布没有大的波动，角度约为0-30度。
如图2所示，反射镜的优点在于385nm处的紫外线(UV)透射率至少约为70％以上，更优选是至少约为75％，且更优选是至少约为80％或85％(图2中385nm处的Ts曲线)，此外，如图2所示，可见光透射率约为40％以下，更优选是约为35％以下。该较高的紫外线透射，与较低的可见光透射和高反射率值相耦合，使反射镜特别适合于高紫外线的一些应用中。
示例2
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：108nm厚
氧化硅层3：88nm厚
氧化铌层4：55nm厚
氧化硅层5：90nm厚
氧化铌层6：53nm厚
以下示出有关示例2反射镜的可见光透射(Ts或TY)、可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表2
因此，从上述表2中可以看出，本示例性介质反射镜具有约29％的可见光透射率，约70％的玻璃侧可见光反射率，以及约71％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例3
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氮化硅层7：20nm厚
氧化铌层2：98nm厚
氧化硅层3：88nm厚
氧化铌层4：55nm厚
氧化硅层5：90nm厚
氧化铌层6：53nm厚
以下示出有关本示例3反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表3
因此，从上述表3中可以看出，本示例性介质反射镜(例如参照图4)具有约29％的可见光透射率，约69％的玻璃侧可见光反射率，以及约71％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例4
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：124nm厚
氧化硅层3：45nm厚
氧化铌层4：72nm厚
氧化硅层5：68nm厚
氧化铌层6：71nm厚
以下示出有关本示例4反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表4
因此，从上述表4中可以看出，本示例性介质反射镜具有约39％的可见光透射率，约58％的玻璃侧可见光反射率，以及约60％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-3.0至+3.0)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例5
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氮化硅层7：21.4nm厚
氧化铌层2：106.6nm厚
氧化硅层3：43.3nm厚
氧化铌层4：59.4nm厚
氧化硅层5：80.1nm厚
氧化铌层6：67.3nm厚
以下示出有关本示例5反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表5
因此，从上述表5中可以看出，本示例性介质反射镜具有约39％的可见光透射率，约58％的玻璃侧可见光反射率，以及约60％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例6
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：19.5nm厚
氧化硅层3：27nm厚
氧化铌层4：59.1nm厚
氧化硅层5：91.8nm厚
氧化铌层6：57.6nm厚
以下示出有关本示例6反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表6
因此，从上述表6中可以看出，本示例性介质反射镜具有约48％的可见光透射率，约50％的玻璃侧可见光反射率，约51％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例7
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氮化硅层7：20nm厚
氧化铌层2：8.4nm厚
氧化硅层3：20nm厚
氧化铌层4：55.6nm厚
氧化硅层5：89.4nm厚
氧化铌层6：56.3nm厚
以下示出有关本示例7反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表7
因此，从上述表7中可以看出，本示例性介质反射镜具有约48％的可见光透射率，约50％的玻璃侧可见光反射率，以及约51％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例8
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：9nm厚
氧化硅层3：20nm厚
氧化铌层4：85nm厚
氧化硅层5：103nm厚
氧化铌层6：30nm厚
以下示出有关本示例8反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表8
因此，从上述表8中可以看出，本示例性介质反射镜具有约58％的可见光透射率，约40％的玻璃侧可见光反射率，以及约41％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
示例9
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氮化硅层7：20nm厚
氧化铌层2：8.4nm厚
氧化硅层3：28.8nm厚
氧化铌层4：60.3nm厚
氧化硅层5：49nm厚
氧化铌层6：80.1nm厚
以下示出有关本示例9反射镜的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表9
因此，从上述表9中可以看出，本示例性介质反射镜具有约59％的可见光透射率，约38％的玻璃侧可见光反射率，以及约40％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。
如上所述，根据本发明的示例1-9，使用透明玻璃基片1、导致在每一种情况下反射镜的玻璃侧可见光反射率与反射镜的薄膜侧可见光反射率基本上相同。然而，在本发明的另一个实施例中，对称的玻璃侧和薄膜侧可见光反射率并不总是可取的。在一些情况下，反射镜可能需要非对称的玻璃侧和薄膜侧可见光反射率。本发明的示例性实施例中已经提供了几种方法。第一种方法(例如，参见下面的示例10)是使用灰色玻璃基片1而不是图1-4中所述的透明玻璃基片，在此发现可实现非对称的玻璃侧与薄膜侧可见光反射率。第二种方法是提供对称调整层(例如含有镍铬、氧化镍铬或类似等)被配置在堆栈中，位于被设计用来调整玻璃侧与薄膜侧之间可见光反射对称性的位置，从而来使其不对称。通过这两种方法，反射镜的玻璃侧可见光反射率与反射镜薄膜侧可见光反射率至少约30％不同，更优选是至少约40％不同。示例10是第一种方法的例子，其中玻璃基片被调整以提供非对称性。
示例10
根据本发明实施例的另一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
灰色玻璃基板1
氧化铌层2：105nm厚
氧化硅层3：110nm厚
氧化铌层4：40nm厚
氧化硅层5：110nm厚
氧化铌层6：45nm厚
以下示出有关本示例10反射镜零度视角处的可见光透射(Ts或TY)，可见光反射(薄膜侧RfY和玻璃侧RgY可见光反射)以及颜色值a*、b*的光学特性：
表10
因此，从上述表10中可以看出，本示例性介质反射镜具有约14％的可见光透射率，约69％的玻璃侧可见光反射率，以及约18％的薄膜侧可见光反射率(玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同)。此外，还可以看到，反射镜具有中性的(-2至+2)玻璃侧和薄膜侧反射颜色值a*和b*。上述都按照Ill.C,2degree被测量。此外，在示例10中提供了灰色(灰白)玻璃基片，提供非对称可见光反射值，且在一些情况下具有优势。因此，在本发明的示例性实施例中，反射镜的玻璃侧可见光反射率与薄膜侧可见光反射率至少约30％不同，更优选是至少约40％不同。
示例11和12为第二方法的实例，对称调整层(例如，含有NiCr、NiCrOx，或类似)被配置在反射镜堆栈中，位于被设计用来调整玻璃侧与薄膜侧之间可见光反射对称性的位置，从而来使其不对称。示例11反射镜在图5(a)中被示出且示例12反射镜在图5(b)中被示出。除了附加的对称调整层8被配置在堆栈中以外，图5(a)和5(b)实施例与上述图1-4实施例相同。当然，如果需要的话，还可以在图5(a)-(b)实施例中选择性地配置含有氮化硅的层7。
示例11
根据本发明实施例的一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：130nm厚
氧化硅层3：41nm厚
氧化铌层4：67nm厚
氧化硅层5：93nm厚
NiCr对称调整层8：20nm厚
氧化铌层6：35.5nm厚
示例12
根据本发明实施例的一个示例性介质反射镜100，其通过以下结构被制备：
透明玻璃基板1
氧化铌层2：102nm厚
氧化硅层3：95nm厚
氧化铌层4：52nm厚
NiCr对称调整层8：10nm厚
氧化硅层5：49nm厚
氧化铌层6：65nm厚
与上述说明的示例10相似，提供含有镍铬的对称调整层8可使薄膜侧和玻璃侧的可见光反射非对称。然而，在图5(a)和5(b)所示的定位之间转换NiCr对称调整层8(其可被轻微或明显氧化)的位置时被发现可反转不对称。换句话说，通过使用层8位置中的一个可实现较高的玻璃侧可见光反射率和较低的薄膜侧可见光反射率，反之通过使用层8位置中的另一个可实现较低的玻璃侧可见光反射率和较高的薄膜侧可见光反射率。在该两个示例11-12中，反射镜的可见光透射率约为18-20％。但是，在该两个示例的一个中，玻璃侧可见光反射率为66％，且薄膜侧可见光反射率为10％，而在该两个示例的另一个中，玻璃侧可见光反射率为30％，且薄膜侧可见光反射率为73％。因此，基于镍铬的层8不是产生反射的层(相反，基于镍铬的层8降低基于其所在位置中的一侧的反射)，但是在一定情况下，其可使可见光反射在玻璃侧和薄膜侧之间不对称。在本发明的示例性实施例，对称调整层8(例如含有镍铬，可以或也可以不氧化)的厚度约为3-50nm，更优选是厚度约为5-45nm，甚至更优选是厚度约为5-30nm，且最优选是厚度约为10-20nm。
应注意，在此被测量的类似可见光透射、a*和b*值、玻璃侧可见光反射，和薄膜侧可见光反射的光学特性，无须考虑任何选择性漆层或物理底板来应用于或容纳反射镜。
虽然层、系统层、涂层，或类似等，被说明位于基片、层、层系统，涂层等“上”或“由其支撑”，但也可在其之间配置其他的层。因此，就算其他层在配置在其之间，上述的涂层或层也可被认为是位于基片和/或其他涂层或层“上”以及“由其支撑”。
在本发明的示例性实施例中，提供一种含有用于支撑涂层的玻璃基片1的介质反射镜，所述涂层从所述玻璃基片向上依次包含：第一透明介质高折射率层2，含有氧化铌和/或氧化钛，所述第一透明介质高折射率层的厚度为70-140nm；第二透明介质低折射率层3，含有氧化硅，所述第二透明介质低折射率层的厚度为30-140nm；第三透明介质高折射率层4，含有氧化铌和/或氧化钛；第四透明介质低折射率层5，含有氧化硅；第五透明介质高折射率层6，含有氧化铌和/或氧化钛，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，其与(a)所述含有氧化铌和/或氧化钛的第三透明介质高折射率层，和/或(b)所述含有氧化铌和/或氧化钛的第五透明介质高折射率层中的一个或两个相比，至少厚10nm；其中，所述涂层不包括任何基于铝或银的金属反射层，且其中，所述介质反射镜具有以下特征：(i)薄膜侧可见光反射率或玻璃侧可见光反射率为50-90％，以及(ii)可见光透射率为10-40％，且其中，所述反射镜的所述玻璃侧可见光反射率与所述反射镜的薄膜侧可见光反射率相比，至少高30％或至少低30％。
根据前段落中的反射镜，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，与所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层中的两个相比，可至少厚10nm。
根据前两个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，与所述第三透明介质高折射率层和/或所述第五透明介质高折射率层相比，可至少厚25nm。
根据前三个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，与所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层相比，可至少厚25nm。
根据前四个段落中任何一个的反射镜，可进一步包括：对称调整层8，位于所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层之间。所述对称调整层可含有镍铬或类似等，并可至少部分被氧化。所述对称调整层8可位于所述第三透明介质高折射率层和所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层之间并与其接触，或是可位于所述第五透明介质高折射率层和所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层之间并与其接触。选择性地，前四个段落中任何一个的反射镜的玻璃基片可以是灰色玻璃基片。
根据前五个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一透明介质高折射率层可含有氧化铌或实质上由氧化铌构成。
根据前六个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第三透明介质高折射率层可含有氧化铌或实质上由氧化铌构成。
根据前七个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第五透明介质高折射率层可含有氧化铌或实质上由氧化铌构成。
根据前八个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第三透明介质高折射率层的厚度可为30～80nm。
根据前九个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层的厚度可为40-120nm。
根据前十个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第五透明介质高折射率层的厚度可为30～80nm。
根据前十一个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一透明介质高折射率层可直接接触所述玻璃基片，或是选择性地，含有氮化硅的层7，可位于所述玻璃基片1和所述第一透明介质高折射率层2之间并与其接触。
根据前十二个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二透明介质低折射率层，可位于所述第一和第三透明介质高折射率层之间并与其直接接触。
根据前十三个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一、第二、第三、第四、和第五层可为溅射沉积层。
根据前十四个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二和第四透明介质低折射率层中的每一个可掺杂铝。
根据前十五个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五透明介质高折射率层分别具有2.15-2.5的折射率。
根据前十六个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二、和第四透明介质低折射率层可分别具有1.4-1.7的折射率。
根据前十七个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二和第四透明介质低折射率层分别具有以下特征：(i)比所述第一透明介质高折射率层薄(ii)比所述第三和第五透明介质高折射率层中的至少一个厚。
根据前十八个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜可被热回火。
根据前十九个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜可具有中性玻璃侧反射颜色值a*和b*，所述玻璃侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
根据前二十个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜可具有中性薄膜侧反射颜色值a*和b*，所述薄膜侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
在本发明的示例性实施例中，提供一种含有用于支撑涂层的基片的介质反射镜，所述涂层从所述基片向上依次包含：第一介质层2，折射率n为2.15-2.5；第二介质层3，含有氧化硅；第三介质层4，折射率为2.15-2.5；第四介质层5，含有氧化硅；第五介质层6，折射率为2.15-2.5，其中，所述第一介质层与所述第三介质层和/或第五介质层中的一个或两个相比，至少厚20nm，且其中，所述涂层不包含任何金属的反射层。
根据前段落中的反射镜，其中，所述反射镜可具有40-90％的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率，以及20-60％的可见光透射率。
根据前两个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五介质层中的至少一个可含有氧化铌。
根据前三个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五介质层中的至少一个可含有氧化钛。
根据前四个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一介质层与所述第三和第五介质层中的两个相比，可至少薄20nm。
根据前五个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二介质层：(i)比所述第一介质层厚，以及(ii)比所述第三和第五介质层中的每一个薄。
根据前六个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜的玻璃侧和薄膜侧可见光反射率可基本相同。
根据前七个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜具有中性玻璃侧和/或薄膜侧反射颜色值a*和b*，所述玻璃侧和/或薄膜侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
根据前八个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜可进一步包括：含有氮化硅的层，位于所述基片和第一介质层之间。
根据前九个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一介质层与所述第三介质层和第五介质层中的两个相比，可至少薄40nm。
在本发明的示例性实施例中，提供一种含有用于支撑涂层的玻璃基片的介质反射镜，所述涂层从所述玻璃基片向上依次包含：第一透明介质高折射率层，含有氧化铌，所述第一透明介质高折射率层的厚度为70-140nm；第二透明介质低折射率层，含有氧化硅，所述第二透明介质低折射率层的厚度为30-140nm；第三透明介质高折射率层，含有氧化铌；第四透明介质低折射率层，含有氧化硅；第五透明介质高折射率层，含有氧化铌，其中，所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层，其与所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层和/或所述含有氧化铌的第五透明介质高折射率层中的一个或两个相比，至少厚10nm；其中，所述涂层不包括任何基于铝或银的金属反射层，且其中，所述介质反射镜的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率约为50-90％，以及可见光透射率约为10-40％。
根据前段落中的反射镜，其中，所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层，与所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层和所述氧化铌的第五透明介质高折射率层中的两个相比，可至少厚10nm。
根据前两个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层，与所述氧化铌的第三透明介质高折射率层和/或所述氧化铌的第五透明介质高折射率层相比，可至少厚25nm。
根据前三个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层，与所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层和所述含有氧化铌的第五透明介质高折射率层相比，可至少厚25nm。
根据前四个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五层中的一个、两个、或三个可由氧化铌构成。
根据前五个段落中任何一个的反射镜，其中，所述介质反射镜可具有约60-80％的薄膜侧可见光反射率和约60-80％的玻璃侧可见光反射率。
根据前六个段落中任何一个的反射镜，所述介质反射镜可具有约25-35％的可见光透射率。
根据前七个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层的厚度可为30～80nm。
根据前八个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层的厚度可约为40-120nm。
根据前九个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌的第五透明介质高折射率层的厚度可约为30～80nm。
根据前十个段落中任何一个的反射镜，
根据前十一个段落中任何一个的反射镜，所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层可直接接触所述玻璃基片。
根据前十二个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二透明介质低折射率层，可位于所述含有氧化铌的第一透明介质高折射率层和所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层之间并与其直接接触。
根据前十三个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层，可位于所述含有氧化铌的第三透明介质高折射率层和所述含有氧化铌的第五透明介质高折射率层之间并与其直接接触。
根据前十四个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一、第二、第三、第四、和第五层可为溅射沉积层。
根据前十五个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二和第四透明介质低折射率层中的每一个被掺杂铝和/或氮。
根据前十六个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化铌的第一、第三、和第五透明介质高折射率层可具有约2.15-2.5的折射率，更优选是约2.2-2.4。
根据前十七个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二、和第四透明介质低折射率层可具有约1.4-1.7的折射率，更优选是约1.4-1.6。
根据前十八个段落中任何一个的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二和第四透明介质低折射率层分别具有以下特征：(i)比所述氧化铌的第一透明介质高折射率层薄(ii)比所述氧化铌的第三和第五透明介质高折射率层中的至少一个厚。
根据前十九个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜在385nm处可具有至少约75％的紫外线(UV)透射率。
根据前两十个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜可被热处理(例如，热回火)。
根据前两十一个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第五层可以是涂层的最外层
根据前两十二个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜具有中性玻璃侧和/或薄膜侧反射颜色值a*和b*，所述玻璃侧和/薄膜侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
根据前两十三个段落中任何一个的反射镜，可进一步包括含有镍铬的层，位于至少所述第三介质层和第五介质层之间。所述含有镍铬的层可以或也可以不包含一些氧气，并也可以是位于所述第三和第四介质层之间与其接触，或是位于所述第四和第五介质层之间并与其接触。
在本发明的示例性实施例中，提供一种含有用于支撑涂层的基片的介质反射镜，所述涂层从所述基片向上依次包含：第一介质层，厚度为70-140nm，且折射率(n)为2.15-2.5；第二介质层，含有氧化硅；第三介质层，折射率为2.15-2.5；第四介质层，含有氧化硅；第五介质层，折射率为2.15-2.5；其中，所述第一介质层与所述第三介质层和/或第五介质层中的一个或两个相比，至少厚10nm，其中，所述涂层不包含任何金属的反射层，且其中，所述反射镜具有50-90％的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率，以及20-40％的可见光透射率。
根据前段落中的反射镜，其中，(i)所述第一、第三和第五介质层中的至少一个可含有氧化铌或实质上由氧化铌构成，和/或(ii)所述第一、第三和第五介质层中的至少一个含有氧化钛。
根据前两个段落中任何一个的反射镜，其中，所述第一介质层与所述第三和第五介质层中的两个相比，可至少厚10nm。
根据前三个段落中任何一个的反射镜，其中，所述涂层可主要由所述第一、第二、第三、第四、和第五层组成。
根据前四个段落中任何一个的反射镜，所述含有氧化硅的第二和第四介质层分别具有以下特征：(i)比所述第一介质层薄，且(ii)比所述第三和第五介质层中的两个厚。
根据前五个段落中任何一个的反射镜，其中，所述反射镜在385nm处可具有至少约75％的紫外线(UV)透射率，更优选是至少约80％或85％。
虽然参照最实用和优选的实施例对本发明进行了说明，但是应理解，本发明并不局限于所述实施例，相反可进行各种修改和等效的配置，修改将由后附的权利要求范围定义。

Claims (45)

1.一种含有用于支撑涂层的玻璃基片的介质反射镜，所述涂层从所述玻璃基片向上依次包含：
第一透明介质高折射率层，含有氧化铌和/或氧化钛，所述第一透明介质高折射率层的厚度为70-140nm；
第二透明介质低折射率层，含有氧化硅，所述第二透明介质低折射率层的厚度为30-140nm；
第三透明介质高折射率层，含有氧化铌和/或氧化钛；
第四透明介质低折射率层，含有氧化硅；
第五透明介质高折射率层，含有氧化铌和/或氧化钛，
其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，其与(a)所述含有氧化铌和/或氧化钛的第三透明介质高折射率层，和/或(b)所述含有氧化铌和/或氧化钛的第五透明介质高折射率层中的一个或两个相比，至少厚10nm；
其中，所述涂层不包括任何基于铝或银的金属反射层，且
其中，所述介质反射镜具有以下特征：(i)薄膜侧可见光反射率或玻璃侧可见光反射率为50-90％，以及(ii)可见光透射率为10-40％，且
其中，所述反射镜的所述玻璃侧可见光反射率与所述反射镜的薄膜侧可见光反射率相比，至少高30％或至少低30％。
2.根据权利要求1所述的反射镜，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，与所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层中的两个相比，至少厚10nm。
3.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，与所述第三透明介质高折射率层和/或所述第五透明介质高折射率层相比，至少厚25nm。
4.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化铌和/或氧化钛的第一透明介质高折射率层，与所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层相比，至少厚25nm。
5.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，进一步包括：对称调整层，位于所述第三透明介质高折射率层和所述第五透明介质高折射率层之间。
6.根据权利要求5所述的反射镜，其中，所述对称调整层含有镍铬。
7.根据权利要求6所述的反射镜，其中，所述含有镍铬的对称调整层至少部分被氧化。
8.根据权利要求5-7中任何一项所述的反射镜，其中，所述对称调整层位于所述第三透明介质高折射率层和所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层之间并与其接触。
9.根据权利要求5-7中任何一项所述的反射镜，其中，所述对称调整层位于所述第五透明介质高折射率层和所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层之间并与其接触。
10.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述玻璃基片为灰色玻璃基片。
11.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第一透明介质高折射率层含有氧化铌。
12.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第三透明介质高折射率层含有氧化铌。
13.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第五透明介质高折射率层含有氧化铌。
14.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第三透明介质高折射率层的厚度为30-80nm。
15.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第四透明介质低折射率层的厚度为40-120nm。
16.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第五透明介质高折射率层的厚度为30-80nm。
17.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第一透明介质高折射率层直接接触所述玻璃基片。
18.根据权利要求1-16中任何一项所述的反射镜，进一步包括：含有氮化硅的层，位于所述玻璃基片和所述第一透明介质高折射率层之间并与其接触。
19.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二透明介质低折射率层，位于所述第一和第三透明介质高折射率层之间并与其直接接触。
20.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第一、第二、第三、第四、和第五层为溅射沉积层。
21.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二和第四透明介质低折射率层中的每一个被掺杂铝。
22.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五透明介质高折射率层分别具有2.15-2.5的折射率。
23.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二、和第四透明介质低折射率层分别具有1.4-1.7的折射率。
24.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二和第四透明介质低折射率层分别具有以下特征：(i)比所述第一透明介质高折射率层薄(ii)比所述第三和第五透明介质高折射率层中的至少一个厚。
25.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述反射镜被热回火。
26.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述反射镜具有中性玻璃侧反射颜色值a*和b*，所述玻璃侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
27.根据上述权利要求中任何一项所述的反射镜，其中，所述反射镜具有中性薄膜侧反射颜色值a*和b*，所述薄膜侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
28.一种含有用于支撑涂层的基片的介质反射镜，所述涂层从所述基片向上依次包含：
第一介质层，厚度为70-140nm，且折射率n为2.15-2.5；
第二介质层，含有氧化硅；
第三介质层，折射率为2.15-2.5；
第四介质层，含有氧化硅；
第五介质层，折射率为2.15-2.5；
其中，所述第一介质层与所述第三介质层和/或第五介质层中的一个或两个相比，至少厚10nm，
其中，所述涂层不包含任何金属的反射层，且
其中，所述反射镜，具有50-90％的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率，以及10-50％的可见光透射率。
29.根据权利要求28所述的反射镜，其中，所述第一、第三和第五介质层中的至少一个含有氧化铌。
30.根据权利要求28所述的反射镜，其中，所述第一、第三和第五介质层中的至少一个含有氧化钛。
31.根据权利要求28所述的反射镜，其中，所述第一介质层与所述第三和第五介质层中的两个相比，至少厚10nm。
32.根据权利要求28所述的反射镜，所述涂层主要由所述第一、第二、第三、第四、和第五层组成。
33.根据权利要求28所述的反射镜，所述含有氧化硅的第二和第四介质层分别具有以下特征：(i)比所述第一介质层薄，以及(ii)比所述第三和第五介质层中的两个厚。
34.根据权利要求28所述的反射镜，其中，所述反射镜具有中性玻璃侧反射和薄膜侧反射颜色值a*和b*，所述玻璃侧和薄膜侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
35.根据权利要求28所述的反射镜，其中，所述反射镜进一步包括：含有氮化硅的层，位于所述基片和所述第一介质层之间。
36.一种含有用于支撑涂层的基片的介质反射镜，所述涂层从所述基片向上依次包含：
第一介质层，折射率n为2.15-2.5；
第二介质层，含有氧化硅；
第三介质层，折射率为2.15-2.5；
第四介质层，含有氧化硅；
第五介质层，折射率为2.15-2.5，
其中，所述第一介质层与所述第三介质层和/或第五介质层中的一个或两个相比，至少厚20nm，且
其中，所述涂层不包含任何金属的反射层。
37.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述反射镜具有40-90％的薄膜侧可见光反射率和/或玻璃侧可见光反射率，以及20-60％的可见光透射率。
38.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五介质层中的至少一个含有氧化铌。
39.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述第一、第三、和第五介质层中的至少一个含有氧化钛。
40.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述第一介质层与所述第三和第五介质层中的两个相比，至少薄20nm。
41.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述含有氧化硅的第二介质层：(i)比所述第一介质层厚，以及(ii)比所述第三和第五介质层中的每一个薄。
42.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述反射镜的玻璃侧和薄膜侧可见光反射率基本相同。
43.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述反射镜具有中性玻璃侧和/或薄膜侧反射颜色值a*和b*，所述玻璃侧和/或薄膜侧反射a*和b*值分别为-2至+2。
44.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述反射镜进一步包括：含有氮化硅的层，位于所述基片和第一介质层之间。
45.根据权利要求36所述的反射镜，其中，所述第一介质层与所述第三介质层和第五介质层中的两个相比，至少薄40nm。
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