CN106032242A - 晶片盒缓冲储存台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了使用于天车运输系统的晶片盒缓冲储存台，包括支撑部、载台和多个活动杆。其中，支撑部会被固定于吊轨，载台会悬吊于支撑部下方，活动杆会被设置于支撑部和载台之间。各活动杆的一末端会固定于载台，使得载台可以在吊轨的下方升降。

Description

晶片盒缓冲储存台

技术领域

本发明涉及一种晶片盒缓冲储存台，尤其是涉及一种整合于天车运输系统的晶片盒缓冲储存台。

背景技术

随着半导体工业持续的进展，超大型集成电路(ultra large scale integratedcircuits,ULSI)需经过多道的处理工艺，例如，蚀刻、抛光、扩散、沉积等等步骤，才能生产出来。对同一批次的晶片来说，由投片开始至出货，必须在数个机台间重复的传递运送并进行各站点的工艺。目前，无论是在区域间(interbay)或区域内(intrabay)，大部分是利用自动化物料搬运系统(automaticmaterial handling system,AMHS)的天车运输系统(overhead transport system)以搬运晶片。天车运输系统可夹起装载有晶片的晶片盒，并沿着吊轨在各个机台间传送，使得晶片进入各机台而进行各种半导体工艺。此外，自动化物料搬运系统内另外可以设置有多个悬吊于厂房天花板上的缓冲承载台，或称晶片盒储存台，用来暂时承载前开式晶片盒。

但是，上述现有技术中的缓冲承载台具有许多缺陷。举例来说，因为缓冲承载台一般是被固定在厂房天花板，其底面通常会略低于机台的顶部高度，因此当遇到要将机台在厂房内移动的情况时，就必须先通过人力，将机台预定移动路径内的缓冲承载台拆卸下来。之后等到机台移至定点后，再通过人力将缓冲承载台装设回去，此作法一般会耗费许多时间和人力成本。此外，因为缓冲承载台会被固定于一定点，因此当发生前开式晶片盒误置在缓冲承载台上的情形时，也必须借由人力和阶梯辅助才能取下误置的前开式晶片盒，此作法不利于生产效能。

因此，必须提出一种改良的晶片盒缓冲储存台，以克服现有技术中存在的缺陷。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供一种改良的晶片盒缓冲储存台，以解决现有技术中存在的缺陷。

本发明的一个优选实施例提供了一种使用于天车运输系统的晶片盒缓冲储存台。晶片盒缓冲储存台包括支撑部、载台和多个活动杆。其中，支撑部是固定于吊轨，载台是悬吊于支撑部下方，活动杆是设置于支撑部和载台之间。各活动杆的一末端是固定于载台，使得载台可以在吊轨的下方升降。

为让本发明的特征及优点能更明显易懂，下文公开了多种优选实施例和附图。但是，以下的优选实施例和附图只是当作参照与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

图1是高架天车运输系统的局部俯视示意图。

图2到图5是第一优选实施例的晶片盒缓冲储存台的结构示意图。

图6是第一优选实施例的支撑机构的结构示意图。

图7和图8是第二优选实施例的晶片盒缓冲储存台的结构示意图。

图9和图10是第三优选实施例的晶片盒缓冲储存台的结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

天车运输系统 2

跨区域吊轨 4

区域内吊轨 6、8

天车 10

晶片盒缓冲储存台 14、14’、24

支撑机构 16

可动部 16a

凸块 16b

顶抵部 16c

工艺机台 20

负载埠 24

供电系统 28

晶片盒 40

支撑部 142、142’、242

活动杆 144、144’、244

末端 1441、1442

缸体 144a、144b、144c、144a’

活塞杆 144b’

载台 146、146’、246

通孔 2421

具体实施方式

虽然本发明以优选实施例公开如下，然而其并非用来限定本发明，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求书所界定的为标准，为了不使本发明的精神难懂，部分公知结构和工艺步骤的细节将不在此揭露。

同样地，附图所表示为优选实施例中的装置示意图，但并非用来限定装置的尺寸，特别是，为使本发明可更清晰地呈现，部分元件的尺寸可能放大呈现在图中。而且，多个优选实施例中所公开相同的元件将标示相同或相似的符号，以使说明更容易且清晰。

图1是天车运输系统局部区域的平面示意图。参照图1，天车运输系统2是自动化物料搬运系统(automatic material handling system,AMHS)的一部分，其至少包括天车10、跨区域(interbay)吊轨4、区域内(intrabay)吊轨6、区域内吊轨8、晶片盒缓冲储存台14和供电系统28。其中，天车10可以夹持、运送装载有晶片的晶片盒，例如前开式晶片盒(front open united pod,FOUP)或标准机械介面盒(standard mechanical interfaces,SMIFs)，使得晶片盒可以被移入或移出于预定工艺机台20的负载埠(load port)24。跨区域吊轨4和区域内吊轨6、8是天车10的运行路径，使得天车10可以沿着跨区域吊轨4和/或区域内吊轨6、8运行。晶片盒缓冲储存台14是至少固定于跨区域吊轨4及区域内吊轨6，以作为暂时存放晶片盒的空间，而供电系统28是提供运行天车10所需的电力。

图2是第一优选实施例晶片盒缓冲储存台处于常规模式的结构示意图。进一步来说，上述的晶片盒缓冲储存台14至少具有支撑部142、载台146和多个活动杆144。其中，支撑部142会固定于跨区域吊轨4，载台146会悬吊于支撑部142下方，用来暂时存放晶片盒40，而活动杆144是设置于支撑部142和载台146间。各活动杆144的两末端1441、1442会分别固定于支撑部142和载台146，使得载台146可以在跨区域吊轨4的下方升降。

本发明第一优选实施例的技术特征在于，因为晶片盒缓冲储存台14的载台146可以在跨区域吊轨4的下方升降，因此当遇到要将工艺机台在厂房内移动的情况时，只需要通过自动化设备抬升载台146，使载台146底面的高度高于工艺机台20的顶部高度，而不需通过人力将晶片盒缓冲储存台14自跨区域吊轨4拆卸下来。因此相较于现有技术，本发明第一优选实施例的晶片盒缓冲储存台14可以节省时间和人力成本。

为了使本技术领域的技术人员可以实施本发明，以下进一步具体描述本发明晶片盒缓冲储存台14结构和运作方法。

图3是第一优选实施例晶片盒缓冲储存台处于常规模式的剖面结构示意图，其中图3是沿着图2中A-A’剖线所绘示的剖面结构。根据本优选实施例，活动杆144是具有可变长度的可伸缩杆，其包括多个依序叠套在一起的套筒，或称缸体144a、144b、144c。通过外加的驱动装置，可使得各缸体144a、144b、144c沿着其长轴方向移动，从而带动载台146升降。举例来说，驱动装置可以是对应各活动杆144而设置的卷索装置，各卷索装置可包括基座、轴设于基座上的卷索轮、固定于基座上的伺服马达和缆索。缆索的一端会固定于载台146或缸体的底部，而另一端则会缠绕于卷索轮。当伺服马达驱动卷索轮正/反转时，便可带动缆索而驱使载台146沿着特定方向移动。

除了上述部件之外，缸体144a和载台146的侧边还可以包括由可动部16a、凸块16b和顶抵部(图未示)所构成的支撑机构16。当晶片盒缓冲储存台14处于收缩模式时，便可利用支撑机构16辅助固定载台146。此外，上述的活动杆144不仅限于是由缸体144a、144b、144c所组成的可伸缩杆，其也可以是气压伸缩杆或是液压伸缩杆，但不限定于此。

图4和图5是第一优选实施例晶片盒缓冲储存台处于收缩模式的结构示意图。当晶片盒缓冲储存台14由上述的常规模式转换成收缩模式时，晶片盒缓冲储存台14的载台146会沿着缸体144a、144b、144c的长轴方向而往跨区域吊轨4的方向移动，使得缸体144c最终后收缩至缸体144a的内部。在此收缩模式之下，载台146几乎会和跨区域吊轨4的底面齐平，从而不会妨碍机台的移动。

图6是第一优选实施例支撑机构的结构示意图。当晶片盒缓冲储存台14处于收缩模式时，也可以利用支撑机构16以辅助固定住载台146。具体来说，当晶片盒缓冲储存台14处于常规模式时，支撑机构16的可动部16a会由顶抵部16c顶抵住，从而处于一固定状态。之后，当晶片盒缓冲储存台14由常规模式转换成收缩模式时，可动部16a会以其枢接部为中心旋转，而转换至一可动状态。因为可动部16a邻近凸块16b的一端具有圆弧的底面，因此当凸块16b逐渐往上移动并接触至可动部16a时，可动部16a便会自动地卡住凸块16b，从而辅助固定载台146。

本发明除了上述第一优选实施例外，还可以包括其他的优选实施例。为了简化说明，以下主要针对各优选实施例不同之处进行描述。此外，本发明的各优选实施例中相同的元件会用相同的附图标记，以方便各优选实施例间互相对照。

图7和图8是第二优选实施例晶片盒缓冲储存台的结构示意图。其中，图7是晶片盒缓冲储存台处于常规模式的示意图，图8是晶片盒缓冲储存台处于延伸模式的示意图。类似上述第一优选实施例，第二优选实施例的晶片盒缓冲储存台14’同样具有支撑部142’、载台146’和多个活动杆144’。其中，支撑部142’是固定于跨区域吊轨4，载台146’是悬吊于支撑部142’下方，活动杆144’是设置于支撑部142’和载台146’之间。

但是，第二优选实施例和第一优选实施例的主要差别在于，第二优选实施例的活动杆144’是气压伸缩杆或液压伸缩杆，也就是说，活动杆144’包括至少一缸体144a’和活塞杆144b’，其中活塞杆144b’是可滑动地插设于缸体144a’中，使得活塞杆144b’沿着其方向而移动。

进一步来说，当发生晶片盒40误置在晶片盒缓冲储存台14’的情况时，可以将晶片盒缓冲储存台14’由图7所示的常规模式转换成图8所示的延伸模式。也就是说，可将活塞杆144b’从缸体144a’中滑动出，使得载台146’往地面移动，直至邻近或接触地面。之后，便可以进一步取下误置于载台146’上的晶片盒40。本优选实施例的晶片盒缓冲储存台14’除了改变活动杆144’的结构外，其余各部件的特征和设置位置与上述第一优选实施例相似，所以在此不再描述。

图9和图10是第三优选实施例晶片盒缓冲储存台的结构示意图。其中，图9是晶片盒缓冲储存台处于常规模式的示意图，图10是晶片盒缓冲储存台处于收缩模式的示意图。类似上述第一优选实施例，第三优选实施例的晶片盒缓冲储存台24同样具有支撑部242、载台246和多个活动杆244。其中，支撑部242是固定于跨区域吊轨4，载台246是悬吊于支撑部242下方，活动杆244是设置于支撑部242和载台246之间。但是，第三优选实施例和第一优选实施例的主要差别在于，活动杆244会具有一固定长度，而且是可滑动地连接至支撑部242，而非固定于支撑部242。具体来说，支撑部242可以具有可以让各活动杆244移动的通孔2421，使得各活动杆244可以沿着其长轴方向进行升降。

因此，当遇到要将机台在厂房内移动的情况时，可将各活动杆244沿着其长轴方向往上移动，使得晶片盒缓冲储存台24由图9所示的常规模式转换成图10所示的收缩模式。也就是说，不需将晶片盒缓冲储存台24从跨区域吊轨4拆卸下来。因此相较于现有技术，本发明第三优选实施例的晶片盒缓冲储存台24可以节省时间和人力成本。本优选实施例的晶片盒缓冲储存台24除了改变活动杆244的结构外，其余各部件的特征和设置位置与上述第一优选实施例相似，所以在此并不再描述。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种晶片盒缓冲储存台，被整合于天车运输系统之中，其中所述天车运输系统包括一吊轨和沿着所述吊轨下方运行的一天车，其特征在于，所述晶片盒缓冲储存台包括：

一支撑部，固定于所述吊轨；

一载台，悬吊于所述支撑部下方；和

多个活动杆，设置于所述支撑部和所述载台之间，其中各所述活动杆的一个末端固定于所述载台，使得所述载台可以在所述吊轨的下方升降。

2.根据权利要求1所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述活动杆的另一末端是固定于所述于支撑部。

3.根据权利要求2所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述活动杆具有一可变长度。

4.根据权利要求1或3所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述活动杆是一可伸缩杆。

5.根据权利要求4所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述可伸缩杆包括：

至少一缸体；和

一活塞杆，可滑动地插设于所述缸体中。

6.根据权利要求4所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述可伸缩杆包括多个依序叠套的缸体。

7.根据权利要求4所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，所述晶片盒储存装置还包括多个用来控制所述载台升降的卷索装置，分别对应各所述可伸缩杆设置，各所述卷索装置包括：

一基座；

一卷索轮，轴设于所述基座上；

一伺服马达，固定于所述基座上，用来驱动所述卷索轮正/反转；和

一缆索，缠绕所述卷索轮。

8.根据权利要求1所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述活动杆可滑动地连接至所述支撑部。

9.根据权利要求8所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，所述支撑部还包括多个通孔，对应各所述活动杆设置，其中各所述活动杆可滑动地插设于各所述通孔中。

10.根据权利要求1或8所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，各所述活动杆具有一固定长度。

11.根据权利要求1所述的晶片盒缓冲储存台，其特征在于，所述载台是用来承载一前开式晶片盒。