JP7140210B2 - 保管システム - Google Patents

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Description

本発明は、保管システムに関する。
半導体製造工場等では、半導体ウエハを収容するFOUPあるいはレチクルを収容するレチクルポッドなどの物品を天井搬送車システムに備える天井搬送車により搬送して、処理装置のロードポートなどの移載先に対して物品の受け渡しを行うことが知られている。また、物品を天井搬送車により搬送し、建屋等の天井に設けられた棚の保管部に載置して保管することが提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1では、天井に設けられた天井軌道に沿って走行する天井搬送車により、物品を棚の保管部に対して受け渡すことについて開示されている。
特開2017-030944号公報
特許文献1では、棚と天井搬送車とが側面視において重なるように配置されている。また、天井搬送車が走行する天井軌道は、ロードポートなどの移載先に対応して、例えば移載先の直上を通るように配置される。従って、移載先に合わせて天井軌道を敷設した結果、この天井軌道を避けたスペースに棚を配置しなければならず、棚を水平方向に拡張することが難しいといった問題がある。例えば、並行する天井軌道の間のスペースが狭い場合は棚を設けることができず、又は、並行する天井軌道の間のスペースによっては棚を整数倍に並べて配置できないなど、物品の保管効率がよくないといった課題がある。
本発明は、物品を保管する棚を水平方向に容易に拡張することが可能な保管システムを提供することを目的とする。
本発明の態様においては、保管システムが提供される。保管システムは、クレーン用天井軌道と、物品を載置する保管部を上下方向に複数段備える棚と、クレーン用天井軌道に沿って走行し、複数段の保管部の間で物品を移載するクレーンと、を備える天井ストッカを備える。保管システムは、所定の移載先に対して物品の受け渡しを行う天井搬送車システムを備える。保管システムは、天井ストッカと天井搬送車システムとの間で上下方向に物品を搬送する搬送装置を備える保管システム天井搬送車システムと搬送装置との間で物品を受け渡すための受け渡しポートを備える。天井搬送車システムは、天井ストッカの下端より下方に設けられる。搬送装置は、保持した物品を昇降させる搬送装置用昇降駆動部を備える。搬送装置は、受け渡しポートの上方と複数段の保管部のうちの少なくとも1つの保管部の上方との間で昇降駆動部を横方向に移動させる搬送装置用横出し機構を備える。搬送装置は、搬送装置用昇降駆動部を受け渡しポートの上方に位置させた状態で、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能である。搬送装置は、搬送装置用昇降駆動部を少なくとも1つの保管部の上方に移動させた状態で、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する保管部との間で物品を受け渡し可能である。
け渡しポートは、複数配置されてよい。
井搬送車システムは、天井ストッカの下端よりも下方に配置された天井軌道を備えてよい。天井搬送車システムは、天井軌道に沿って走行する天井搬送車を備えてよい。天井搬送車は、天井軌道に沿って走行する走行部を備えてよい。天井搬送車は、保持した物品を昇降させる昇降駆動部を備えてよい。天井搬送車は、走行部に対して昇降駆動部を横方向に移動させる横出し機構を備えてよい。受け渡しポートは、天井軌道に対して横方向かつ下方に設けられてよい。天井搬送車は、昇降駆動部により物品を昇降させて、所定の移載先との間で物品を受け渡し可能であってよい。天井搬送車は、横出し機構により昇降駆動部を受け渡しポートの上方に移動させた状態で、昇降駆動部により物品を昇降させて、横出し機構により移動された昇降駆動部の下方に存在する受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であってよい。
送装置は、クレーン用天井軌道を走行する搬送装置用走行部を備えてよい。受け渡しポートは、搬装置に対して下方に設けられてよい。搬送装置は、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であってよい。搬送装置は搬送装置用横出し機構により搬送装置用昇降駆動部を複数段の保管部のうちの少なくとも1つの保管部の上方に移動させた状態で、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、搬送装置用横出し機構により移動された搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する保管部との間で物品を受け渡し可能であってよい。
け渡しポートと所定の移載先とは、平面視においてずれていてよ。棚の一部と所定の移載先とは、平面視において重なっていてよ。クレーンは、クレーン用天井軌道を走行するクレーン用走行部を備えてよい。クレーンは、複数段の保管部の間で物品を移載する移載装置を備えてよい。移載装置は、クレーン用走行部から吊り下げられた状態で上下方向に延在するマストを備えてよい。移載装置は、マストに沿って昇降する昇降台を備えてよい。移載装置は、昇降台を昇降させる駆動部を備えてよい。移載装置は、昇降台からクレーン用走行部の走行方向と直交する方向に伸縮可能に設けられた伸縮部を備えてよい。移載装置は、伸縮部の先端に設けられて物品を保持する保持部を備えてよい。
上記態様の保管システムによれば、天井ストッカと天井搬送車システムとが側面視において重なっていない。従って、天井搬送車システムの天井軌道を所定の移載先に合わせて敷設した場合でも、この天井軌道の配置に関わらず棚を配置できるので、棚を水平方向に容易に拡張することができ、多くの物品を効率よく保管することができる。また、クレーンにより複数段の保管部の間で物品を移載するので、棚が水平方向に拡張された場合であっても物品の移載を容易に行うことができる。また、搬送装置により天井ストッカと天井搬送車システムとの間で物品を効率よく搬送することができ、物品の搬送効率を向上させることができる。
また、天井搬送車システムと搬送装置との間で物品を受け渡すための受け渡しポートを備える構成では、受け渡し対象の物品を受け渡しポートに載置することで、天井搬送車システム又は搬送装置は次の作業を開始することができ、物品を効率よく受け渡すことができる。また、受け渡しポートが、複数配置される構成では、複数の受け渡しポートに物品を載置させることにより、天井搬送車システムと搬送装置との間で効率よく物品を受け渡すことができる。
また、天井搬送車システムが、天井ストッカの下端よりも下方に配置された天井軌道と、天井軌道を走行する走行部と、昇降駆動部と、横出し機構と、を備えた天井搬送車と、を有し、受け渡しポートが、天井軌道に対して横方向かつ下方に設けられ、天井搬送車が、昇降駆動部により物品を昇降させて、所定の移載先との間で物品を受け渡し可能であり、横出し機構により昇降駆動部を受け渡しポートの上方に移動させた状態で、昇降駆動部により物品を昇降させて、横出し機構により移動された昇降駆動部の下方に存在する受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能な構成では、天井搬送車システムにおいて、上記した天井搬送車を用いることにより、所定の移載先及び受け渡しポートに対して、それぞれ物品を迅速かつ正確に受け渡すことができる。
また、搬送装置が、クレーン用天井軌道を走行する第2走行部と、第2昇降駆動部と、第2横出し機構と、を備える第2天井搬送車であり、受け渡しポートが、第2天井搬送車に対して下方に設けられ、第2天井搬送車が、第2昇降駆動部により物品を昇降させて、受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であり、第2横出し機構により第2昇降駆動部を複数段の保管部のうちの少なくとも1つの保管部の上方に移動させた状態で、第2昇降駆動部により物品を昇降させて、第2横出し機構により移動された第2昇降駆動部の下方に存在する保管部との間で物品を受け渡し可能な構成では、第2天井搬送車の第2走行部がクレーン用天井軌道を走行するので、搬送装置のための軌道を別途設ける必要がない。さらに、このような第2天井搬送車を用いることにより、棚の保管部及び受け渡しポートに対して、それぞれ物品を迅速かつ正確に受け渡すことができる。
また、受け渡しポートと、所定の移載先とは、平面視においてずれている構成では、所定の移載先の直上に天井搬送車システムの天井軌道を配置でき、天井搬送車が物品を昇降させることにより、所定の移載先に対して物品の受け渡しを行うことができる。また、棚の一部と、所定の移載先とが、平面視において重なっている構成では、所定の移載先の上方まで棚を水平方向に拡張することができ、多くの物品を棚の保管部に保管させることができる。また、クレーンが、上記したクレーン用走行部と、移載装置と、を備え、移載装置が、上記したマストと、昇降台と、駆動部と、伸縮部と、保持部と、を備える構成では、複数段の保管部との間で物品を効率よく移載することができる。
第1実施形態に係る保管システムの一例をY方向から見た図である。 図1に示す保管システムの一例をX方向から見た図である。 保管システムを平面視で模式的に示した図である。 天井ストッカのクレーンの一例を示す図である。 搬送装置としての第2天井搬送車の一例を示す図である。 図3の一部を拡大して示す図である。 図3の一部を拡大して示す図である。 搬送装置により保管部の物品を受け取る動作を示す図である。 搬送装置により受け渡しポートに物品を渡す動作を示す図である。 天井搬送車システムにより受け渡しポートの物品を受け取る動作を示す図である。 天井搬送車システムにより所定の移載先に物品を渡す動作を示す図である。 第2実施形態に係る保管システムの一例をX方向から見た図である。
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図においては、XYZ座標系を用いて図中の方向を説明する。このXYZ座標系では、鉛直方向をZ方向とし、水平方向をX方向、Y方向とする。Y方向は、水平方向内における一方向であって、後述するクレーン40、天井搬送車50、第2天井搬送車60の走行方向である。X方向は、Y方向と直交する方向である。また、X、Y、Z方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを+方向(例えば、+X方向)と表現し、矢印が指す向きとは反対方向を-方向(例えば、-X方向)と表現する。
[第1実施形態]
図1は、第1実施形態に係る保管システムSYSの一例をY方向から見た図である。図2は、保管システムSYSをX方向から見た図である。図3は、保管システムSYSを平面視で模式的に示した図である。なお、図3では、図を判別しやすくするため、天井ストッカ100のクレーン用天井軌道20及び保管部11を白地で示し、天井搬送車システム200の天井軌道30及び受け渡しポート12をハッチングで示し、処理装置TLのロードポートLPを黒で塗って示している。
図1から図3に示す保管システムSYSは、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設けられ、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したFOUP、あるいはレチクルなどを収容したレチクルポッドなどの物品2を保管する。本実施形態では、物品2がFOUPである例を用いて説明するが、物品2は、FOUP以外であってもよい。また、保管システムSYSは、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品2は、保管システムSYSで保管可能な他の物品でもよい。
保管システムSYSは、図1から図3に示すように、天井ストッカ100と、天井搬送車システム200と、搬送装置300と、を備える。天井ストッカ100は、複数の保管部11を備える棚10と、クレーン用天井軌道20と、クレーン40とを備える。棚10は、平面視において、クレーン40が走行するクレーン用天井軌道20の内側及び外側に配置される(図3参照)。また、棚10に備える複数の保管部11は、図1に示すように、フレーム13に保持されて、上下方向(Z方向)に3段配置されている。保管部11の段数は任意に設定できる。また、複数の保管部11は、後述するクレーン40の走行方向(Y方向)に沿って複数並んで配置される。本実施形態において、保管部11は、物品2を載置して保管する空間、あるいは保管スペースの意味で用いている。すなわち、保管部11は、物品2を載置する面(例えば棚板11aの上面)と、この面から上方の天井等(例えば棚板11aの下面)までの空間とを合わせた物品2の保管空間あるいは保管スペースである。
複数の保管部11は、物品2を載置する棚板11aを備えている。以下の説明において、保管部11に物品2を置くことは、保管部11の棚板11aに物品2を置くことを意味する。なお、保管部11の棚板11aには、それぞれ物品2を載置した際に物品2の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品2の溝部に入り込むことにより、物品2は、保管部11に対して位置決めされる。
棚10は、フレーム13によりシステム天井SC1から吊り下げられた状態で設けられる。システム天井SC1は、吊り金具3により建屋の天井Cから吊り下げられた状態で配置されている。なお、フレーム13は、システム天井SC1から吊り下げられることに代えて、天井Cから直接吊り下げられてもよい。棚10の下端は、床面Fからの処理装置TLの高さよりも高くなるように設定されている。処理装置TLは、例えば、物品2であるFOUPに収容されている半導体ウエハに対して製膜処理又はエッチング処理等の各種処理を行う。また、後述するクレーン40の下端の高さも処理装置TLの高さよりも高くなるように設定されている。すなわち、天井ストッカ100は、処理装置TLよりも上方に配置されている。なお、クレーン40の下端は、作業者等が床面Fを支障なく通行することが可能な高さに設定される。その結果、天井ストッカ100の下方の空間の一部を、作業者用通路PSとして利用可能となる。
保管部11は、クレーン40により物品2が載置され、また、物品2が取り出される。また、保管部11は、後述する第2天井搬送車60により物品2が載置され、また、物品2が取り出される。第2天井搬送車60により物品2が受け渡される保管部11は、棚10のうち最上段の保管部11である。保管部11の上下寸法は、後述するクレーン40の移載装置42が物品2を持ち上げるために必要な寸法である。クレーン40の移載装置42は、例えば、物品2を下面側から支持して持ち上げる構成が採用されており、物品2の上方に大きなスペースを必要としない。例えば、保管部11の上下寸法は、物品2の上下寸法に数センチ加える程度の寸法とすることも可能である。
クレーン用天井軌道20は、図1に示すように、システム天井SC1から吊り金具5により吊り下げられた状態で設けられる。なお、クレーン用天井軌道20は、システム天井SC1から吊り下げられることに代えて、天井Cから直接吊り下げられてもよい。クレーン用天井軌道20は、図3に示すように、Y方向に延びる直線部21と、周回部22とを有する環状の軌道である。クレーン用天井軌道20が環状の軌道であることにより、平面視において棚10を2本の直線部21に対してX方向の両側に設置することができる。クレーン用天井軌道20は、図1に示すように、天井搬送車システム200の天井軌道30よりも床面Fからの高さが高い。
クレーン40は、クレーン用天井軌道20を走行して物品2を保持して移動する。クレーン40は、保管部11と他の保管部11との間で物品2を移載する。クレーン40は、クレーン用天井軌道20を周回走行する。なお、1つのクレーン用天井軌道20に配置されるクレーン40は、1台に限定されない。例えば、1つのクレーン用天井軌道20に2台以上のクレーン40が配置されてもよい。クレーン40は、図1及び図2に示すように、クレーン用天井軌道20から吊り下げられた状態で設けられる。
図4は、クレーン40の一例を示す図である。クレーン40は、天井側に敷設されたクレーン用天井軌道20を走行するので、床面F側(地上側)に軌道を設ける必要がない。クレーン40は、2台のクレーン用走行部41(図2参照)と、移載装置42と、を備える。クレーン用走行部41の下方には、取付部46を介して上部支持部47が取り付けられ、上部支持部47により2台のクレーン用走行部41が連結されている。各クレーン用走行部41は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪41aを備え、クレーン用天井軌道20に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、クレーン用走行部41に備えられて車輪41aを駆動する電動モータであってもよいし、クレーン用天井軌道20を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
本実施形態のクレーン40では、2台のクレーン用走行部41を用いることにより、重量物である移載装置42及び物品2を確実に支持することができる。なお、クレーン40は、2台のクレーン用走行部41が用いられているが、この構成に限定されず、1台又は3台以上のクレーン用走行部41が用いられてもよい。
移載装置42は、マスト43と、昇降台44と、駆動部45と、伸縮部48と、載置台49とを備える。マスト43は、上部支持部47(クレーン用走行部41)から吊り下げられた状態で上下方向に延在し、クレーン用走行部41の走行方向の前後にそれぞれ1本ずつ設けられている(図2参照)。マスト43は、中空又は中実の棒状に形成され、断面が円形状、楕円形状、長円形状、又は四角形状等の多角形状に形成される。上部支持部47へのマスト43の取り付けは、例えば、ボルト及びナットなどの締結部材が用いられてもよいし、溶接などが用いられてもよい。なお、マスト43は、合計2本であることに限定されず、1本であってもよい。マスト43は、上記したように、床面Fからの下端の高さが処理装置TLの高さよりも高くなるように設けられている。例えば、マスト43の下端がクレーン40の下端である。
伸縮部48は、クレーン用走行部41の走行方向と直交する方向に伸縮可能な複数のアームにより構成されている。載置台49は、伸縮部48の先端に設けられている。載置台49は、物品2を載置可能な三角形状の板状部材である。載置台49は、物品2が載置されることにより物品2を保持する保持部である。載置台49の上面には、物品2の底面に備える溝部に挿入して物品2を位置決めするピンが設けられている。なお、上記した棚板11aには、載置台49が上下方向に通過可能な不図示の切り欠きが設けられている。
移載装置42は、保管部11から物品2を受け取る際、伸縮部48を伸ばして載置台49を物品2の下方に位置させた状態で昇降台44を上昇させることにより、載置台49で物品2をすくい上げる。移載装置42は、載置台49に物品2を載置したまま伸縮部48を縮めることにより、物品2を載置した載置台49を昇降台44の上方に配置させる。また、移載装置42により物品2を保管部11に渡す際は、上記の逆の動作により行う。なお、移載装置42は、上記した構成に限定されず、物品2の一部(例えば、物品2であるFOUPの上部に設けられたフランジ部2a)を保持して持ち上げる構成など、他の構成が用いられてもよい。
駆動部45は、例えば、ホイストなどが用いられ、マスト43に沿って昇降台44を昇降させる。駆動部45は、吊り下げ部材45a及び不図示の駆動部を備える。吊り下げ部材45aは、例えば、ベルトあるいはワイヤなどであり、昇降台44は、この吊り下げ部材45aによって上部支持部47から吊り下げられている。不図示の駆動部は、例えば上部支持部47に設けられ、吊り下げ部材45aの繰り出し、巻き取りを行う。昇降台44は、駆動部が吊り下げ部材を繰り出すと、マスト43に案内されて下降する。また、昇降台44は、駆動部が吊り下げ部材45aを巻き取ると、マスト43に案内されて上昇する。駆動部45は、不図示の制御装置等に制御されて、所定の速度で昇降台44を下降あるいは上昇させる。また、駆動部45は、制御装置等に制御されて、昇降台44を目標の高さに保持する。
駆動部45は、図4に示すように、上部支持部47(クレーン用走行部41)に設けられる。なお、駆動部45は、上部支持部47に設けられることに代えて、例えば、昇降台44に設けられてもよい。昇降台44に駆動部45が設けられる構成としては、例えば、上部支持部47から吊り下げたベルトあるいはワイヤなどを昇降台44に搭載したホイストなどにより巻き上げ又は繰り出しを行って昇降台44を昇降させてもよい。また、昇降台44にピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックがマスト43に形成され、電動モータ等を駆動してピニオンギアを回転させることにより昇降台44を昇降させてもよい。
天井搬送車システム200は、天井軌道30に沿って走行し、天井軌道30より下方に配置された所定の移載先である処理装置TLのロードポートLPに対して物品2の受け渡しを行う天井搬送車50を備える。天井軌道30は、図1に示すように、システム天井SC2の下面側に取り付けられた状態で設けられる。システム天井SC2は、天井Cから吊り金具4により吊り下げられた状態で設けられる。なお、天井軌道30は、システム天井SC2から吊り下げられることに代えて、システム天井SC1から吊り下げられてもよいし、天井Cから吊り下げられてもよい。
天井軌道30は、平面視でインターベイルート(ベイ間軌道)R1とインターベイルートR2との間に配置されている。天井軌道30は、ベイ内(イントラベイ内)にそれぞれ設けられたイントラベイルートであり、インターベイルートR1等は、イントラベイルートとしての複数の天井軌道30を相互に接続するために設けられている。天井軌道30は、インターベイルートR1から進入用又は退出用の2本の支線S1を介して接続され、インターベイルートR2から進入用又は退出用の2本の支線S2を介して接続されている。
天井軌道30は、直線部31と、周回部32と、分岐部33とを有する。天井搬送車50は、直線部31及び周回部32に沿って一方向(例えば平面視で時計回りの方向)に周回走行することが可能である。直線部31は、ロードポートLPの直上において、複数のロードポートLPに沿ってY方向に配置される。2本の直線部31は、平面視でクレーン用天井軌道20の直線部21と並行するように配置されている。周回部32は、曲線部を含んで+Y側及び-Y側の両端に配置され、2つの直線部31同士を接続する。分岐部33は、周回軌道である天井軌道30において平面視で内側に配置され、2本の直線部31同士を接続する(図3参照)。分岐部33の+X側及び-X側には、物品2を載置可能なバッファBが設けられる(図1参照)。なお、分岐部33及びバッファBは、設けられなくてもよい。
天井軌道30は、クレーン40(マスト43)の下端(天井ストッカ100の下端)より下方に配置される。クレーン40の下端は、床面Fから高さH1に設定され、天井軌道30の上端は、床面Fから高さH2に設定されている(図2参照)。高さH2は、高さH1より低く設定されており、その結果、天井軌道30は、天井ストッカ100の下端より下方に配置される。また、この天井軌道30を走行する天井搬送車50は、天井ストッカ100の下端より下方において走行する。この構成により、天井ストッカ100と天井搬送車システム200の天井搬送車50とが側面視において重ならない。
天井搬送車50は、インターベイルートR1、R2から支線S1、S2を介して天井軌道30に進入し、又は天井軌道30から支線S1、S2を介してインターベイルートR1、R2に退出する。天井搬送車50は、天井軌道30に沿って走行し、直線部31において処理装置TLのロードポートLPと、後述する受け渡しポート12との間で物品2の移載を行う。
天井軌道30の直線部31は、所定の間隔(作業者用通路PS)を隔てて相対向する複数のロードポートLPの直上に沿って設けられている。本実施形態では、ロードポートLPが、1台の処理装置TLにおいて4カ所設けられているが(図3参照)、この形態に限定されない。例えば、1台の処理装置TLにおいて1カ所から3カ所のロードポートLPが設けられてもよいし、5か所以上のロードポートLPが設けられてもよい。天井軌道30は、ロードポートLPの直上に設けられているので、天井軌道30の天井搬送車50が物品2を昇降させるだけでロードポートLPとの間で物品2の受け渡しを行うことができる。また、天井軌道30の天井搬送車50が、受け渡しポート12に対しては把持部53を横出しして(横移載により)物品2の受け渡しを行うことができる。
天井搬送車50は、図1及び図2に示すように、走行部51と、本体部52とを有する。本体部52は、物品2を保持する把持部53と、保持した物品2を昇降させる昇降駆動部54と、走行部51に対して昇降駆動部54を横方向に移動させる横出し機構55と、を備える。走行部51は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪51aを備え、天井軌道30に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、走行部51に備えられて車輪51aを駆動する電動モータであってもよいし、天井軌道30を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
本体部52は、取付部52aを介して走行部51の下部に取り付けられている。本体部52は、物品2を保持する把持部53と、把持部53を吊り下げて昇降させる昇降駆動部54と、昇降駆動部54を軌道の側方に移動させる横出し機構55とを有する。把持部53は、物品2のフランジ部2aを上方から把持することにより、物品2を吊り下げて保持する。把持部53は、例えば、水平方向に進退可能な複数の爪部53aを有するチャックであり、爪部53aを物品2のフランジ部2aの下方に進入させ、把持部53を上昇させることにより物品2を吊り下げた状態で保持する。把持部53は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材53bと接続されている。把持部53は、昇降駆動部54から吊り下げられた状態で昇降する。
昇降駆動部54は、例えばホイストであり、吊り下げ部材53bを繰り出すことにより把持部53を下降させ、吊り下げ部材53bを巻き取ることにより把持部53を上昇させる。昇降駆動部54は、不図示の制御装置等に制御され、所定の速度で把持部53を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部54は、制御装置等により制御され、把持部53を目標の高さに保持する。
横出し機構55は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、走行部51の走行方向の側方(走行方向に直交する方向、横方向)に移動可能である。可動板には、昇降駆動部54が取り付けられている。本体部52は、横出し機構55を案内する不図示のガイド、及び横出し機構55を駆動する不図示の駆動部などを有する。横出し機構55は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部54及び把持部53を突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、本体部52から把持部53を側方に突出する位置である。格納位置は、本体部52内に把持部53を格納する位置である。なお、昇降駆動部54と把持部53との間には、昇降駆動部54(把持部53)を上下方向の軸周りに回転させるための回転機構が設けられてもよい。
天井搬送車50は、昇降駆動部54により物品2を昇降させて、ロードポートLPとの間で物品2を受け渡すことが可能である。また、天井搬送車50は、横出し機構55により昇降駆動部54を複数の受け渡しポート12のいずれかの上方に移動させた状態で、昇降駆動部54により物品2を昇降させて、横出し機構55により移動された昇降駆動部54の下方に存在する受け渡しポート12との間で物品2を受け渡すことが可能である。
搬送装置300は、天井ストッカ100と天井搬送車システム200との間で上下方向に物品2を搬送する。本実施形態では、搬送装置300は、第2天井搬送車60である。また、保管システムSYSは、天井搬送車システム200と搬送装置300(第2天井搬送車60)との間で物品を受け渡すための受け渡しポート12を備える。受け渡しポート12は、第2天井搬送車60が走行するクレーン用天井軌道20の直線部21の下方に複数配置される。また、受け渡しポート12は、天井軌道30に対して横方向かつ下方に配置される。その結果、上記のように、天井搬送車50は受け渡しポート12に対して横移載により物品2の受け渡しが可能である。
第2天井搬送車60は、天井ストッカ100と、受け渡しポート12との間で上下方向に物品2を搬送する。図5は、第2天井搬送車60の一例を示す図である。第2天井搬送車60は、第2走行部61と、第2本体部62とを有する。第2走行部61は、クレーン40のクレーン用走行部41と同様の構成が適用されており、不図示の走行駆動部及び複数の車輪61aを備え、クレーン用天井軌道20に沿って走行する。
第2本体部62は、取付部62aを介して第2走行部61の下部に取り付けられている。第2本体部62は、物品2を保持する第2把持部63と、第2把持部63を昇降させる第2昇降駆動部64と、第2昇降駆動部64を軌道の側方に移動させる第2横出し機構65とを有する。第2把持部63は、例えば、爪部63aを有するチャックであり、吊り下げ部材63bと接続されている。
第2昇降駆動部64は、例えばホイストであり、吊り下げ部材63bの繰り出し又は巻き取りにより第2把持部63を昇降させる。第2横出し機構65は、第2昇降駆動部64及び第2把持部63を、突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、第2本体部62から第2把持部63を側方に突出する位置である。格納位置は、第2本体部62内に第2把持部63を格納する位置である。なお、第2横出し機構65と第2昇降駆動部64との間には、第2昇降駆動部64(第2把持部63)を上下方向の軸周りに回転させるための回転機構が設けられてもよい。
これら第2走行部61、第2本体部62、第2把持部63、第2昇降駆動部64、及び第2横出し機構65は、上記した天井搬送車50の走行部51、本体部52、把持部53、昇降駆動部54、横出し機構55と同様の構成が適用される。従って、第2天井搬送車60は、天井搬送車システム200の天井搬送車50をそのまま適用可能である。さらに、第2天井搬送車60は、クレーン用天井軌道20を走行するので別途軌道を設ける必要がなく、保管システムSYSの製造コストを低減できる。
第2天井搬送車60は、第2昇降駆動部64により物品2を昇降させて、受け渡しポート12との間で物品2を受け渡すことが可能である。また、第2天井搬送車60は、第2横出し機構65により第2昇降駆動部64を複数段の保管部11のうちの少なくとも1つの保管部11の上方に移動させた状態で、第2昇降駆動部64により物品2を昇降させて、第2横出し機構65により移動された第2昇降駆動部64の下方に存在する保管部11との間で物品2を受け渡すことが可能である。本実施形態では、棚10のうち最上段の保管部11との間で物品2を受け渡すことが可能である。なお、第2天井搬送車60との間で物品2を受け渡す保管部11は、最上段以外の保管部11であってもよい。
図6は、図3の一部を拡大して示す図であり、天井ストッカ100の棚10とロードポートLPとの位置関係の一例を示している。図6に示すように、本実施形態では、棚10の一部と、所定の移載先である処理装置TLのロードポートLPとが、平面視において重なっている。従って、棚10をロードポートLPの上方まで水平方向に拡張することができ、多くの物品2を保管することができる。また、棚10は、天井搬送車システム200の天井軌道30に対しても平面視で重なっている。すなわち、天井搬送車システム200の天井軌道30の配置にかかわらず、棚10を設けることができるので、棚10の配置の自由度が高く、物品2の収納効率がよい棚10の配置を容易に実現できる。
図7は、図3の一部を拡大して示す図であり、受け渡しポート12とロードポートLPとの位置関係の一例を示している。図7では、図を判別しやすくするため、天井ストッカ100側の構成を省略している。図7に示すように、受け渡しポート12と、ロードポートLPとは、平面視においてずれて配置されている。すなわち、受け渡しポート12と、ロードポートLPの直上にある天井搬送車システム200の天井軌道30とは、平面視においてずれて配置されている(平面視において重なっていない)。
このため、第2天井搬送車60が受け渡しポート12に対して物品2の受け渡しを行う際に、天井軌道30あるいは天井軌道30を走行する天井搬送車50との干渉を回避できる。また、第2天井搬送車60が受け渡しポート12に対して物品2の受け渡しを行う際に、天井搬送車50の走行を許容するので、天井搬送車システム200による物品2の搬送効率を低下させることを回避できる。
また、保管システムSYSは、不図示の制御装置を有する。この制御装置は、保管システムSYSを統括して制御する。制御装置は、無線又は有線による通信によりクレーン40、天井搬送車50、及び第2天井搬送車60の動作を制御する。なお、制御装置は、クレーン40を制御する制御装置と、天井搬送車50を制御する制御装置と、第2天井搬送車60を制御する制御装置と、に分割されてもよい。
図8から図11は、保管システムSYSにおいて保管部11からロードポートLPに物品2を搬送する場合の動作の一例を示す図である。不図示の制御装置は、最上段の保管部11から搬送対象の物品2を受け取り、指定された受け渡しポート12に物品2を渡すように第2天井搬送車60(搬送装置300)を制御する。まず、搬送対象の物品2が最上段以外の保管部11にある場合、天井ストッカ100のクレーン40は、物品2を棚10における最上段の保管部11に移載する。
続いて、図8に示すように、第2天井搬送車60は、クレーン用天井軌道20に沿って走行し、搬送対象の物品2が載置された保管部11の側方に停止して、第2横出し機構65により第2昇降駆動部64を突出させた後に第2昇降駆動部64により第2把持部63を下降させ、第2把持部63により物品2を把持する。続いて、第2天井搬送車60は、第2昇降駆動部64により第2把持部63を上昇させた後、第2横出し機構65を縮めて第2把持部63を格納位置に戻すことにより、物品2を第2本体部62内に収容する。
続いて、第2天井搬送車60は、第2把持部63により物品2を保持した状態でクレーン用天井軌道20に沿って走行し、指定された受け渡しポート12の直上で停止する。続いて、図9に示すように、第2天井搬送車60は、第2昇降駆動部64を駆動して第2把持部63及び物品2を下降させ、物品2を受け渡しポート12に載置させた後に第2把持部63による把持を解放することにより物品2を受け渡しポート12に渡す。
次に、不図示の制御装置は、受け渡しポート12から物品2を受け取り、指定されたロードポートLPに物品2を渡すように天井搬送車システム200の天井搬送車50を制御する。図10に示すように、天井搬送車50は、天井軌道30に沿って走行し、物品2が載置された受け渡しポート12の側方に停止して、横出し機構55により昇降駆動部54を突出させた後に昇降駆動部54により把持部53を下降させ、把持部53により物品2を把持する。その後、天井搬送車50は、昇降駆動部54により把持部53を上昇させた後、横出し機構55を縮めて把持部53を格納位置に戻すことにより、物品2を本体部52内に収容する。
続いて、天井搬送車50は、把持部53により物品2を保持した状態で天井軌道30に沿って走行し、指定されたロードポートLPの直上で停止する。続いて、図11に示すように、天井搬送車50は、昇降駆動部54を駆動して把持部53及び物品2を下降させ、物品2をロードポートLPに載置させた後に把持部53による把持を解放することにより物品2をロードポートLPに渡す。この一連の動作によって、物品2は、受け渡しポート12を経由して天井ストッカ100の保管部11(棚10)から処理装置TLのロードポートLPに搬送される。
また、処理装置TLのロードポートLPから天井ストッカ100の保管部11に物品2を搬送する場合は、上記した図8から図11に示す一連の動作の逆の動作を行うことにより、物品2は、受け渡しポート12を経由して処理装置TLのロードポートLPから天井ストッカ100の保管部11に搬送される。なお、物品2の移載先がロードポートLP以外であっても上記と同様であり、ロードポートLP以外から物品2を受ける場合についても上記と同様である。
このように、本実施形態に係る保管システムSYSによれば、天井ストッカ100の下端より下方において天井搬送車システム200の第2天井搬送車60が走行するので、天井搬送車システム200の天井軌道30をロードポートLPに合わせて敷設した場合でも、天井軌道30の配置にかかわらず棚10を配置でき、物品2の保管効率を向上させることができる。さらに、棚10を水平方向に容易に拡張することにより、多くの物品2を保管することができる。また、クレーン40により複数段の保管部11の間で物品2を移載するので、棚10が水平方向に拡張された場合であっても物品2の移載を容易に行うことができる。また、第2天井搬送車60(搬送装置300)により天井ストッカ100と天井搬送車システム200との間で物品2を効率よく搬送することができ、物品2の搬送効率を向上させることができる。
[第2実施形態]
上記した第1実施形態では、搬送装置300が第2天井搬送車60である構成を示しているが、この構成に限定されない。図12は、第2実施形態に係る保管システムSYS2の一例を示す側面図である。図12は、保管システムSYS2をX方向から見た図である。なお、以下の説明において、上記した第1実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付けて説明を省略又は簡略化する。
図12に示す保管システムSYS2では、搬送装置300Aとしてコンベヤ装置70が用いられる。コンベヤ装置70は、複数の保管部11の最下段の一部に配置される上部ポート14と、天井搬送車システム200との間で物品2の受け渡しを行う下部ポート15とを有する。従って、下部ポート15は、コンベヤ装置70(搬送装置300A)と天井搬送車システム200との間で物品2の受け渡しを行う受け渡しポート12である。上部ポート14及び下部ポート15には、上下方向に昇降可能な昇降棚板11bが配置される。昇降棚板11bは、物品2を載置可能に設けられており、不図示の昇降駆動部によって上部ポート14に設定される第1位置P1と、下部ポート15に設定される第2位置P2との間を昇降可能である。
図12では、2基のコンベヤ装置70が用いられている。この場合、2基のコンベヤ装置70の双方において、天井ストッカ100に対する物品2の搬入及び搬出を行う形態であってもよいし、一方のコンベヤ装置70を天井ストッカ100からの物品2の搬出用として用い、他方のコンベヤ装置70を天井ストッカ100への物品2の搬入用として用いる形態であってもよい。なお、コンベヤ装置70の数は任意であり、搬送装置300Aとして1基のコンベヤ装置70が用いられてもよいし、3基以上のコンベヤ装置70が用いられてもよい。
保管システムSYS2において、保管部11からロードポートLPに物品2を搬送する場合、不図示の制御装置は、天井ストッカ100のクレーン40が保管部11から上部ポート14に物品2を移動するようにクレーン40を制御する。クレーン40は、所定の保管部11から物品2を受け取った後、クレーン用天井軌道20に沿って走行し、上部ポート14の側方に停止して、移載装置42により物品2を上部ポート14の昇降棚板11bに渡す。この動作により、物品2は、保管部11から上部ポート14に搬送される。
続いて、不図示の制御装置は、コンベヤ装置70により物品2を上部ポート14から下部ポート15に搬送するようにコンベヤ装置70を制御する。コンベヤ装置70は、物品2が載置された状態の昇降棚板11bを第1位置P1から第2位置P2に下降させる。その結果、物品2は、下部ポート15に移動する。すなわち、物品2は、受け渡しポート12に載置された状態となる。
次に、不図示の制御装置は、天井搬送車システム200の天井搬送車50が下部ポート15の昇降棚板11bから物品2を受け取ってロードポートLPに渡すように天井搬送車50を制御する。天井搬送車50は、天井軌道30に沿って走行し、物品2が載置された下部ポート15の昇降棚板11bの側方に停止して、横出し機構55を突出させた後に昇降駆動部54により把持部53を下降させ、把持部53により物品2を把持する。その後、天井搬送車50は、昇降駆動部54により把持部53を上昇させた後、横出し機構55を縮めて把持部53を格納位置に戻すことにより、物品2を本体部52内に収容する。
続いて、天井搬送車50は、把持部53により保持した物品2を指定されたロードポートLPに渡す点は、上記した第1実施形態と同様である。また、処理装置TLのロードポートLPから天井ストッカ100の保管部11に物品2を搬送する場合は、上記した動作の逆の動作を行うことにより、物品2は、コンベヤ装置70の昇降棚板11bを介して処理装置TLのロードポートLPから天井ストッカ100の保管部11に搬送される。なお、物品2の移載先がロードポートLP以外であっても上記と同様であり、ロードポートLP以外から物品2を受ける場合についても上記と同様である。
このように、第2実施形態に係る保管システムSYS2によれば、第1実施形態の保管システムSYSと同様に、天井搬送車システム200の天井軌道30をロードポートLPに合わせて敷設した場合でも、天井軌道30の配置にかかわらず棚10を配置でき、物品2の保管効率を向上させることができる。さらに、棚10を水平方向に容易に拡張することにより、多くの物品2を保管することができる。また、クレーン40により複数段の保管部11の間で物品2を移載するので、棚10が水平方向に拡張された場合であっても物品2の移載を容易に行うことができる。また、コンベヤ装置70(搬送装置300A)により天井ストッカ100と天井搬送車システム200との間で物品2を効率よく搬送することができ、物品2の搬送効率を向上させることができる。
なお、保管システムSYS2は、搬送装置300Aであるコンベヤ装置70に代えて、例えば、ローカル搬送台車が用いられてもよい。このローカル搬送台車は、1つ又は複数の保管部11の直上から受け渡しポート12の直上にわたって設けられたローカル軌道に沿って走行し、物品2を保持して昇降させるホイストを備えている。ローカル搬送台車は、ローカル軌道に沿って走行し、ローカル軌道の直下の保管部11に載置された物品2を受け取り、ローカル軌道に沿って走行して受け渡しポート12の直上で停止した後、物品2をホイストにより下降させて受け渡しポート12に物品2を渡すことができる。また、ローカル搬送台車は、受け渡しポート12に載置された物品2を受け取ってホイストにより物品2を上昇させた後、ローカル軌道に沿って走行して保管部11の直上に停止し、ローカル搬送台車の直下の保管部11に物品2を渡すことができる。
このように、保管システムSYS2では、コンベヤ装置70に代えて、例えば、ローカル搬送台車を搬送装置として用いる構成であっても、天井ストッカ100と天井搬送車システム200との間で上下方向に物品2を搬送することができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、保管システムSYS、SYS2において、クレーン用天井軌道20と天井軌道30とが接続されない構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、クレーン用天井軌道20と天井軌道30とが接続軌道等を介して接続されてもよい。
また、上記した実施形態では、保管システムSYS、SYS2において、棚10、クレーン用天井軌道20、天井軌道30が、天井C又はシステム天井SC1、SC2から吊り下げられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、棚10、クレーン用天井軌道20、及び天井軌道30の少なくとも1つが、床面F上に設けられた支柱あるいはフレーム、架台等によって支持され、棚10等の荷重を床面Fで受けるような構成であってもよい。
なお、上述の実施形態などで説明した要件の1つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願2018-242936、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
LP・・・ロードポート(移載先)
SYS、SYS2・・・保管システム
TL・・・処理装置
2・・・物品
10・・・棚
11・・・保管部
11a・・・棚板
12・・・受け渡しポート
20・・・クレーン用天井軌道
30・・・搬送車用軌道
40・・・クレーン
41・・・クレーン用走行部
42・・・移載装置
45・・・駆動部
54,64・・・昇降駆動部
50・・・天井搬送車
51・・・走行部
52・・・本体部
53・・・把持部
55・・・横出し機構
60・・・第2天井搬送車
61・・・第2走行部(搬送装置用走行部)
62・・・第2本体部
63・・・第2把持部
64・・・第2昇降駆動部(搬送装置用昇降駆動部)
65・・・第2横出し機構(搬送装置用横出し機構)
70・・・コンベヤ装置
100・・・天井ストッカ
200・・・天井搬送車システム
300,300A・・・搬送装置

Claims (7)

  1. クレーン用天井軌道と、物品を載置する保管部を上下方向に複数段備える棚と、前記クレーン用天井軌道に沿って走行し、複数段の前記保管部の間で物品を移載するクレーンと、を備える天井ストッカと、
    所定の移載先に対して物品の受け渡しを行う天井搬送車システムと、
    前記天井ストッカと前記天井搬送車システムとの間で上下方向に物品を搬送する搬送装置と、
    前記天井搬送車システムと前記搬送装置との間で物品を受け渡すための受け渡しポートと、を備え、
    前記天井搬送車システムは、前記天井ストッカの下端より下方に設けられ、
    前記搬送装置は、
    保持した物品を昇降させる搬送装置用昇降駆動部と、
    前記受け渡しポートの上方と複数段の前記保管部のうちの少なくとも1つの前記保管部の上方との間で前記搬送装置用昇降駆動部を横方向に移動させる搬送装置用横出し機構と、を備え、
    前記搬送装置用昇降駆動部を前記受け渡しポートの上方に位置させた状態で、前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であり、
    前記搬送装置用昇降駆動部を前記少なくとも1つの前記保管部の上方に移動させた状態で、前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する前記保管部との間で物品を受け渡し可能である、保管システム。
  2. 前記受け渡しポートは、複数配置される、請求項に記載の保管システム。
  3. 前記天井搬送車システムは、
    前記天井ストッカの下端よりも下方に配置された天井軌道と、
    前記天井軌道に沿って走行する天井搬送車と、を備え、
    前記天井搬送車は、
    前記天井軌道に沿って走行する走行部と、
    保持した物品を昇降させる昇降駆動部と、
    前記走行部に対して前記昇降駆動部を横方向に移動させる横出し機構と、を備え、
    前記受け渡しポートは、前記天井軌道に対して横方向かつ下方に設けられ、
    前記天井搬送車は、
    前記昇降駆動部により物品を昇降させて、前記所定の移載先との間で物品を受け渡し可能であり、
    前記横出し機構により前記昇降駆動部を前記受け渡しポートの上方に移動させた状態で、前記昇降駆動部により物品を昇降させて、前記横出し機構により移動された前記昇降駆動部の下方に存在する前記受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能である、請求項又は請求項に記載の保管システム。
  4. 前記搬送装置は、前記クレーン用天井軌道を走行する搬送装置用走行部をえ、
    前記受け渡しポートは、前記搬装置に対して下方に設けられ、
    記搬装置は、
    前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であり、
    前記搬送装置用横出し機構により前記搬送装置用昇降駆動部を複数段の前記保管部のうちの少なくとも1つの前記保管部の上方に移動させた状態で、前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記搬送装置用横出し機構により移動された前記搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する前記保管部との間で物品を受け渡し可能である、請求項から請求項のいずれか一項に記載の保管システム。
  5. 前記受け渡しポートと前記所定の移載先とは、平面視においてずれている、請求項から請求項のいずれか一項に記載の保管システム。
  6. 前記棚の一部と前記所定の移載先とは、平面視において重なっている、請求項1から請求項のいずれか一項に記載の保管システム。
  7. 前記クレーンは、
    前記クレーン用天井軌道を走行するクレーン用走行部と、
    複数段の前記保管部の間で物品を移載する移載装置と、を備え、
    前記移載装置は、
    前記クレーン用走行部から吊り下げられた状態で上下方向に延在するマストと、
    前記マストに沿って昇降する昇降台と、
    前記昇降台を昇降させる駆動部と、
    前記昇降台から前記クレーン用走行部の走行方向と直交する方向に伸縮可能に設けられた伸縮部と、
    前記伸縮部の先端に設けられて物品を保持する保持部と、を備える、請求項1から請求項のいずれか一項に記載の保管システム。
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