CN106020111A - 定位装置的参数设定方法及定位装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可快速设定适用于待处理移动对象的适当的控制参数的定位装置等。本发明的定位装置1包括,受其控制,设定所用的控制参数的参数设定部8。参数设定部8,执行共振频率检测处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,检测所述移动装置产生的共振频率,以及惯量估计处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,估计作用于所述移动装置的惯量，同时,根据检测到的共振频率,进行阻尼滤波器的去除频带和速度增益的设定处理,以及根据所估计的惯量,进行快进时间常数的设定处理。

Description

定位装置的参数设定方法及定位装置
技术领域
本发明涉及一种定位装置以及对该定位装置的参数进行设定的参数设定方法,该定位装置,对使装有移动对象的移动台做旋转运动或线性运动的移动装置进行定位控制。
背景技术
以往,上述定位装置,例如,在机床领域,通常用作送料装置或旋转工作台的位置控制,举例来说,已知的有特开2009-101444号公报(下述专利文献1)所公开的定位装置。
该专利文献1所公开的定位装置,控制设置于5轴控制立式加工中心机等的机床上的耳轴结构的双轴部,包括函数发生器、位置控制部、速度控制部和扭矩/电流控制部,根据来自扭矩/电流控制部输出的信号,来控制驱动耳轴旋转的电机。
具体而言,在该定位装置中,根据NC装置输出的NC指令,由函数发生器生成位置指令,基于所生成的位置指令及位置增益,由位置控制部生成速度指令,基于所生成的速度指令和速度增益,由速度控制部生成扭矩指令,基于生成的扭矩指令和扭矩增益,由扭矩/电流控制部生成驱动扭矩相关信号,该信号对应的电流被供给电机,驱动该电机工作。
另外，该定位装置中设有角度误差估计装置,其计算耳轴弹性变形导致的角度误差并进行校正,角度误差Δθ通过该角度误差推定装置,由下式计算得出。
Δθ＝(Tm-Jm·α)/KθR
其中,Jm为枢轴部或轴承的惯量,Tm为速度控制部输出的扭矩指令,α为旋转角加速度,KθR为扭转刚度系数。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2009-101444号公报
发明内容
[发明要解决的问题]
然而，在现有的上述定位装置中,在函数发生器产生位置指令时,在快进移动的情况下,使用快进时间常数,另外,在位置控制部使用位置增益,在速度控制部使用速度增益,扭矩/电流控制部使用扭矩增益,为了实现稳定的控制,需要适当地设定快进时间常数、位置增益、速度增益和扭矩增益这些控制参数。
另外,在上述专利文献1中虽未被说明,但是在速度控制部和扭矩/电流控制部之间,通常设有阻尼滤波器,速度控制部输出的扭矩指令,经过阻尼滤波器,被去除特定频带的振动分量后,被输入到扭矩/电流控制器中。而且,该阻尼滤波器中设定的去除频带也是一个控制参数,为了实现稳定的控制,有必要对其进行适当地设定。
因此,以往，为了实现适宜的加工,这样的控制参数,会根据该机床上设置的加工规格,例如被加工物的最大尺寸,最大重量或最大加工负荷等,由机床制造商提前设定。
然而,近些年来,用户方的待处理被加工物的材料和形状变得多种多样,受此影响,上述定位控制出现了各种问题。例如,用户在加工极薄被加工物的情况下,移动它时该被加工物产生振动,在此振动(干扰振动)的影响下,导致定位控制系统也产生振动。另外,用户的待处理被加工物的重量超过预期的最大重量,将其以设定的快进加速度进行移动时,需要给电机施加超过预期的扭矩,而通常情况下,控制系统已被设定扭矩的上限值,因此电机扭矩达到饱和而不能被控制,此时，控制系统就会产生振动，如震荡或过冲。
为了解决此类问题,有必要根据待处理被加工物，至少对上述控制参数中的,快进时间常数、速度增益和阻尼滤波器的去除频带,重新设定适当的值,然而以往,该控制参数的重新设定,只能依赖试错法，即尝试通过一点一点改变上述各控制参数来操作,因此,无法快速解决上述问题。
本发明是鉴于上述实际情况而提出的,目的是提供一种不依赖于试错法,可快速重新设定适用于待处理被加工物的合适的控制参数的,定位装置的参数设定方法及该定位装置。
[解决问题的手段]
用于解决上述课题的本发明方法,涉及一种对定位装置的控制参数进行设定的方法，该定位装置，对使装有移动对象的移动台做旋转运动或线性运动的移动装置的驱动电机进行控制,将所述移动台定位到指定目标位置,
该参数设定方法，至少设定快进时间常数、速度增益和阻尼滤波器的去除频带等相关控制参数,
执行共振频率检测处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,检测所述移动装置产生的共振频率,以及，惯量估计处理，使装有所述移动对象的移动台发生移动,估计作用于所述移动装置的惯量，同时,根据检测到的共振频率，设定所述阻尼滤波器的去除频带和速度增益,根据所估计的惯量,设定所述快进时间常数。
另外,本发明装置涉及一种定位装置,对使装有移动对象的移动台做旋转运动或线性运动的移动装置的驱动电机进行控制,将所述移动台定位到指定目标位置,其包括，
位置指令生成部,基于所述目标位置产生位置指令并输出,同时，在至少快进移动时,生成对应于该快进时间常数的位置指令并输出,
位置控制部,输入所述位置指令生成部输出的位置指令,基于输入的位置指令及位置增益,生成速度指令并输出,
速度控制部,输入所述位置控制部输出的速度指令,基于输入的速度指令及速度增益,生成扭矩指令并输出,
阻尼滤波器,输入所述速度控制部输出的扭矩指令,从输入的扭矩指令去除特定频带的分量并输出,
扭矩控制部,输入所述阻尼滤波器输出的扭矩指令,基于输入的扭矩指令及扭矩增益,生成所述驱动电机的驱动扭矩相关信号并输出,
该定位装置还包括,至少对快进时间常数,速度增益和阻尼滤波器的去除频带进行设定的参数设定部,
所述参数设定部被配置为,执行共振频率检测处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,检测所述移动装置产生的共振频率,以及，惯量估计处理，使装有所述移动对象的移动台发生移动,估计作用于所述移动装置的惯量，同时,根据检测到的共振频率，设定所述阻尼滤波器的去除频带和速度增益,根据所估计的惯量,设定所述快进时间常数。
根据该定位装置,首先,由位置指令生成部,基于所述目标位置生成位置指令,至少在快进移动的情况下,生成对应于快进时间常数的位置指令。然后,在位置控制部中,基于所述位置指令和位置增益生成速度指令,接着,在速度控制部中,基于所述速度指令和速度增益生成扭矩指令。再次,生成的扭矩指令,经阻尼滤波器去除特定的频带分量,然后被输入到扭矩控制部中,在该扭矩控制部中,基于扭矩指令及扭矩增益,生成所述驱动电机的驱动扭矩相关信号,根据该驱动扭矩相关信号来控制驱动电机。于是,通过上述被控制的驱动电机,驱动装有移动对象的移动台做旋转运动或线性运动。
然后,根据该定位装置,本发明所涉及的参数设定方法,通过参数设定部被优选地实施。即,通过所述参数设定部，首先，执行共振频率检测处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,检测所述移动装置产生的共振频率,以及，惯量估计处理，使装有所述移动对象的移动台发生移动,估计作用于所述移动装置的惯量。
该共振频率检测处理和惯量估计处理中,移动所述移动台的操作,例如,可列举出,通过所述位置指令生成部,产生具有恒定频率的激励信号,驱动所述移动台振动的操作,通过所述位置指令生成部,产生往复运动信号,驱动所述移动台往复运动的操作,通过所述位置指令生成部,产生使其在一个方向上以预定距离或角度反复移动的信号,驱动所述移动台反复移动的操作。另外在上述各操作中,可逐渐增加移动量,或逐渐增加移动速度,或逐渐增加移动量和移动速度。
而且,在所述共振频率检测处理中,例如,通过FFT分析所述扭矩控制部输出的驱动扭矩信号,检测出峰值频率作为共振频率。另外,在惯量估计处理中,例如,所述扭矩控制部输出的驱动扭矩为Tm,预先的实测值或设计值为摩擦扭矩Tf,驱动电机的加速度的实测值为ω,作用于移动装置上的惯量J由下式估计得出。
J＝(Tm-Tf)/ω
并且,参数设定部,根据检测出的共振频率设定阻尼滤波器的去除频带和速度增益,另外,根据所估计出的惯量设定所述快进时间常数。
这样,根据该定位装置的参数设定部和参数设定方法,根据装设在移动台上的移动对象检测移动装置上产生的共振频率,同时,根据该移动对象估计作用于移动装置的惯量,接着,根据检测到的共振频率,设定阻尼滤波器的去除频带和速度增益,另外,根据所估计的惯量,设定所述快进时间常数,因此,和现有的试错法相比,它可以快速地设定(重新设定)对应于该移动对象的适当的控制参数。
此外,上述定位装置的参数设定部和参数设定方法中,可根据下列步骤设定所述控制参数。
即,首先,进行所述共振频率检测处理,基于得到的共振频率,临时设定阻尼滤波器的去除频带,
其次,在临时设定了去除频带的阻尼滤波器的条件下,执行所述惯量估计处理,基于得到的惯量,设定所述快进时间常数,
再次,在临时设定了去除频带的阻尼滤波器及设定了快进时间常数的条件下,进行共振频率检测处理,基于得到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带，同时,设定所述速度增益。
若所述移动对象移动时容易产生振动的话,在进行所述惯量估计处理时,移动装置产生振动(干扰振动),由于该干扰振动的振动频率分量与控制系统的信号重叠,将阻尼滤波器的去除频带设定为该振动频率,如果不去除该振动频率分量,那么可推测出，根据使用所述扭矩控制部输出的驱动扭矩的最大值Tmax、驱动电机的最大加速度的实测值ωmax的上述公式,将无法估计出正确的惯量。
因此,首先,执行所述共振频率检测处理,基于得到的共振频率,临时设定所述阻尼滤波器的去除频带,其次,如果使用临时设定了去除频带的阻尼滤波器,进行所述惯量估计处理的话，在惯量估计处理时,与控制系统的信号重叠的干扰振动频率分量,可通过振动阻尼滤波器适当地除去,这样不仅能够通过除去干扰振动的频率分量,估计正确的惯量,也能够根据准确估计的惯量设定适当的快进时间常数。
并且,再次,在临时设定了去除频带的阻尼滤波器和适当设定了快进时间常数的条件下,还可通过执行共振频率检测处理,检测出较准确的共振频率,根据该准确的共振频率设定较适当的去除频带,以及设定适当的速度增益。
这样，根据该步骤,即使移动对象容易产生振动,也能够设定适当的控制参数。
或者,在上述定位装置的参数设定部和参数设定方法中,也可根据下列步骤设定所述控制参数。
即,首先,执行所述惯量估计处理,基于得到的惯量设定所述快进时间常数的同时,临时设定所述速度增益,
其次,在设定了快进时间常数及临时设定了速度增益的情况下,执行共振频率检测处理,基于得到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带，同时,正式设定所述速度增益。
所述移动对象不易产生振动的话,在进行所述惯量估计处理时,由于不易产生干扰振动,因此可以在一定程度上准确估计惯量。因此,先进行惯量估计处理,根据得到的惯量,可以设定适当的快进时间常数,还可以临时设定适当的速度增益。
然后,通过使用以这种方式设定的快进时间常数以及临时设定的速度增益,进行共振频率检测处理,能检测出准确的共振频率,基于检测到的准确的共振频率,可以设定阻尼滤波器的适当的去除频带,另外,也能够正式设定适当的速度增益。
这样,根据该步骤,当移动对象不易产生振动时,可以设定适当的控制参数,由于惯量估计处理和共振频率检测处理分别进行一次，步骤简单,因此可以比较快速的进行参数的设定。
[发明的效果]
如上所述,根据本发明,根据装设在移动台上的移动对象,对移动装置产生的共振频率进行检测的同时,根据该移动对象,估计作用于移动装置上的惯量,然后,根据检测到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带和速度增益,另外,根据所估计的惯量,设定快进时间常数,因此,和现有的试错法相比,它可以快速地设定对应于该移动对象的适当的控制参数。
附图说明
图1是表示本发明一实施例的定位装置的方框图。
图2是将本实施例中的控制对象旋转工作台进行模型化表示的示意图。
图3是表示本实施例的参数设定部中的处理过程的流程图。
图4是表示本实施例的参数设定部中的另一处理过程的流程图。
附图标记说明：1-定位装置；10-旋转工作台；11-工作台底座；12-电机；13-定子；14-转子；15-位置检测器；16-部件；17-部件；18-平台；19-工件；2-位置指令生成部；3-位置控制部；4-速度控制部；5-陷波滤波器；6-扭矩控制部；7-微分器；8-参数设定部；9-参数存储部。
具体实施方式
以下,对本发明的具体实施例参照附图进行说明。图1是表示本发明一实施例的定位装置的方框图,图2是将本实施例中的控制对象旋转工作台进行模型化表示的示意图。此外,图2仅仅是一个抽象的示意图,并没有显示旋转工作台的具体结构。
首先,在对本实施例的定位装置1进行说明之前,对控制对象旋转工作台的概述进行说明。
如图2所示,本实施例的旋转工作台10,包括工作台底座11,配置于该工作台底座11上,围绕垂直的转轴自由旋转的平台18,驱动该平台18围绕所述转轴旋转的电机12。电机12,由固定设置于工作台底座11的定子13,固定于所述平台18且设置在定子内的转子14构成。另外,该转子14，其以所述转轴为中心的旋转位置是由位置检测器15检测的，该位置检测器由设置在转子14的下表面的部件17,和与该部件17相对设置于所述定子13上的部件16所构成。此外,平台18上装设有适当的工件19。
所述定位装置1包括,如图1所示的,位置指令生成部2、位置控制部3、速度控制部4、陷波滤波器5、扭矩控制部6、微分器7、参数设定部8和参数存储部9。
所述位置指令生成部2,基于输入的目标旋转位置及旋转速度,生成位置指令并进行输出处理。此外,输入的旋转速度是快进速度时,生成对应于快进时间常数的位置指令并输出。
所述位置控制部3,基于从位置指令生成部2输入的位置指令,与从旋转工作台10的位置检测器15输出的当前位置信号之间的偏差,以及位置增益,生成速度指令并进行输出处理。
所述速度控制部4,基于从位置控制部3输入的速度指令,与从所述位置检测器15输出的,并由微分器微分处理并输出的当前速度信号之间的偏差,以及速度增益,生成扭矩指令并进行输出处理。
所述陷波滤波器5,输入从所述速度控制部4输出的扭矩指令,从输入的扭矩指令中除去特定频带分量并输出。
所述扭矩控制部6,输入从陷波滤波器5输出的扭矩指令,基于输入的扭矩指令和扭矩增益,生成所述电机12的驱动扭矩相关信号并进行输出处理。
此外,所述参数存储部9,为存储用于该定位装置1的控制参数的功能部,存储有，作为控制参数的所述快进时间常数、位置增益、速度增益、陷波滤波器5中的去除频带和扭矩增益,这些控制参数分别被对应的位置指令生成部2,位置控制部3,速度控制部4,陷波滤波器5和扭矩控制部6读出并使用。此外,这些控制参数可以从外部存储到参数存储部9中,并由参数设定部8进行更新。此外,关于该参数设定部8的具体处理将在后面进行说明。
这样,根据该定位装置1,首先,在位置指令生成部2中,基于目标旋转位置和旋转速度生成位置指令,当旋转速度为快进速度时,生成对应于快进时间常数的位置指令。然后,在位置控制部3中,基于位置指令和当前位置信号的偏差,以及位置增益,生成速度指令,然后,在速度控制部4中,基于速度指令和当前速度信号的偏差,以及速度增益,生成扭矩指令。
接着,生成的扭矩指令,经阻尼滤波器5被去除特定的频带分量,然后被输入扭矩控制部6,在该扭矩控制部6中,基于扭矩指令及扭矩增益,生成所述驱动电机12的驱动扭矩相关信号,该驱动扭矩相关信号相应的电流被供给电机12,驱动该电机12工作。于是,通过上述被控制的电机12,驱移动台18旋转。
所述参数设定部8是一个功能部，其执行如图3所示的步骤S1-S7的处理,接收外部输入的处理开始信号,开始步骤S1-S7的处理。此外,在本实施例中,在装设有工件19的平台18上进行处理。
具体而言,参数设定部8,首先,在步骤S1中进行共振频率检测处理。该共振频率检测处理,在所述位置指令生成部2输入指令,使其生成按一定频率振动的位置指令,或者,输入指令,使所述旋转工作台10按预定角度向正反方向往复旋转,或者,重复输入指令,使所述旋转工作台10按预定角度单方向旋转,使该旋转工作台10进行检测操作,在该旋转工作台10的检测操作过程中,对从所述扭矩控制部6输出的扭矩信号进行FFT分析,检测出其峰值频率作为共振频率。此外,该各检测操作中,可逐渐增加移动量,或逐渐增加移动速度,或逐渐增加移动量和移动速度。
当以这种方式检测到共振频率后,接着,参数设定部8,基于检测到的共振频率,临时设定所述陷波滤波器5中使用的去除频带,将临时设定的去除频带相关数据存储到所述参数存储部9中,即,以此数据来更新存储在参数存储部9中的数据(步骤S2)。
然后,参数设定部8,进行惯量估计处理(步骤S3)。即,参数设定部8,首先,跟所述共振频率检测处理一样,在所述位置指令生成部2输入指令,使其生成按一定频率振动的位置指令,或者,输入指令,使所述旋转工作台10按预定角度向正反方向往复旋转,或者,重复输入指令,使所述旋转工作台10按预定角度单方向旋转,然后使该旋转工作台10进行检测操作。此外,在该旋转工作台10的检测操作的控制过程中,在所述陷波滤波器5中使用的去除频带中,使用步骤S2设定的频带。另外,在该各检测操作中,也可逐渐增加移动量,或逐渐增加移动速度,或逐渐增加移动量和移动速度。
而且,参数设定部8,在该旋转工作台10的检测操作中,根据从扭矩控制部6输出驱动扭矩的信号(Tm),及由位置检测器15实测的电机12的角加速度(ω),以及预先实测的或作为设计值获得的摩擦扭矩(Tf),通过下式估计作用于该旋转工作台10的惯量。此外,该惯量是由平台18及工件19产生的。
J＝(Tm-Tf)/ω
接着,参数设定部8,设定对应于以这种方式所估计出的惯量J的快进时间常数,将设定的快进时间常数的相关数据存储到参数存储部9,即,以此数据更新存储在参数存储部9中的数据(步骤S4)。
然后,参数设定部8,进行第二次共振频率检测处理(步骤S5)。该第二次共振频率检测处理,和上述步骤S1的共振频率检测处理相同,在旋转工作台10的检测操作的控制中,位置指令生成部的快进时间常数,使用步骤S4中设定的值。
再次,参数设定部8,基于步骤S5中检测出的共振频率,正式设定所述陷波滤波器中使用的去除频带,将设定的去除频带相关数据存储到所述参数存储部9中,即,以此数据更新存储在参数存储部9中的数据(步骤S6),同时,设定速度控制部中使用的速度增益,将设定的速度增益相关数据存储到参数存储部9中,即,以此数据更新存储在参数存储部9中的数据(步骤S7),然后上述参数设定处理结束。
因此,根据本实施例的参数设定部8,由于是先将工件19装设在平台之后,再进行上述参数处理,即,共振频率检测处理(步骤S1)、陷波滤波器临时设定处理(步骤S2)、惯量估计处理(步骤S3)、快进时间常数设定处理(步骤S4)、共振频率检测处理(步骤S5)、陷波滤波器设定处理(步骤S6)以及速度增益设定处理(步骤S7),因此可以设定适用于工件19的适当的控制参数,和现有的试错法相比,可快速地设定(重新设定)该控制参数。
同时,当所述工件19厚度极薄,旋转时容易产生振动的话,在进行所述惯量估计处理(步骤S3)时,旋转工作台10产生振动(干扰振动),由于该干扰振动相关振动频率分量与控制系统(位置控制部3、速度控制部4及扭矩控制部6等)的各信号重叠,将陷波滤波器5的去除频带设定为该振动频率,如果不去除该振动频率分量的话,那么根据使用从所述扭矩控制部输出的驱动扭矩Tm、电机12的加速度的实测值ω的上述公式,将有可能无法估计出正确的惯量。
因此,本实施例中,首先,进行共振频率检测处理(步骤S1),基于得到的共振频率,临时设定所述陷波滤波器5的去除频带(步骤S2),然后,在临时设定了去除频带的陷波滤波器5下,进行惯量估计处理(步骤S3),因此在进行惯量估计处理时,可以通过陷波滤波器5去除与控制系统重叠的外部干扰的振动频率分量,这样通过除去外部干扰振动的频率分量,可以估计正确的惯量,同时可根据准确估计的惯量,设定适当的快进时间常数(步骤S4)。
然后,在设定了适当的快进时间常数的情况下,还可以通过进行共振频率处理(步骤5),检测出较准确的共振频率,根据此准确的共振频率,可以设定陷波滤波器5的较适当的去除频带,另外,还可设定适当的速度增益。
这样,根据包括本实施例的参数设定部8的定位装置1,即使工件19容易产生振动,也可快速的设定适当的控制参数。
以上,对于本发明的一个实施例进行了说明,但本发明可采取的具体的实施方案并不限于此。
例如,上述陷波滤波器5的去除频带的正式设定处理(步骤S6)、速度增益的设定处理(步骤S7)的执行顺序,可以是相反的。
另外,当工件19不易产生振动时,所述参数设定部8可配置为按照图4所示的处理流程进行操作。
即,参数设定部8,首先,进行和上实施例的步骤S3相同的惯量估计处理(步骤S11),然后,和上实施例的步骤S4相同,基于得到的惯量设定所述快进时间常数(步骤S12),同时临时设定所述速度增益(步骤S13)。
参数设定部8,接着,根据设定的快进时间常数、及临时设定的速度增益,进行与上述实施例的步骤S1及S5相同的共振频率检测处理(步骤S4),和上述实施例的步骤S6相同,基于得到的共振频率,设定陷波滤波器5的去除频带(步骤S15),同时和上述实施例的步骤S7相同,正式设定所述速度增益(步骤S16)。
若所述工件19具有高刚性,不易产生振动的话,在执行所述惯量估计处理(步骤S11)时,不易产生干扰振动,因此可在一定程度上准确估计惯量。因此,可先执行惯量估计处理(步骤S11),根据得到的惯量,设定适当的快进时间常数(步骤S12),另外,还可临时设定适当的速度增益(步骤S13)。
而且,可通过使用这样设定的快进时间常数、及临时设定的速度增益进行共振频率检测处理(步骤S14),检测出准确的共振频率,可基于检测到的共振频率,设定陷波滤波器5的适当去除频带(步骤S15),另外,还可正式设定适当的速度增益(步骤S16)。
因此,根据图4所示步骤,当工件19不易产生振动时,可设定适当的控制参数,另外,与上实施例的图3所示步骤相比,由于惯量估计处理(步骤S11)和共振频率检测处理(步骤S1)分别各进行一次,步骤简单,可较快速地进行参数的设定。
此外,该图4所示实施例中,快进时间常数设定处理(步骤S12)和速度增益临时设定处理(步骤S13)的执行顺序也可以相反,同样的,陷波滤波器5的去除频带设定处理(步骤S15)和速度增益正式设定处理(步骤S16)的执行顺序也可以相反。
另外,上述实施例中,对定位装置1的控制对象旋转工作台进行了举例说明,而作为控制对象的移动装置并不局限于此,例如,其可以是驱动移动对象进行直线运动的装置。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化，或等效，但都将落入本发明的保护范围内。

Claims (6)

1.一种定位装置的参数设定方法,该定位装置，对使装有移动对象的移动台做旋转运动或线性运动的移动装置的驱动电机进行控制,将所述移动台定位到指定目标位置,其特征在于，
该参数设定方法，至少设定快进时间常数,速度增益和阻尼滤波器的去除频带等的控制参数,
执行共振频率检测处理,使所述装有所述移动对象的移动台发生移动,检测所述移动装置产生的共振频率,以及执行惯量估计处理,使所述装有所述移动对象的移动台发生移动,估计作用于所述移动装置的惯量，同时,根据检测到的所述共振频率,设定阻尼滤波器的去除频带和速度增益,根据所估计的惯量,设置所述快进时间常数。
2.根据权利要求1所述的定位装置的参数设定方法,其特征在于,
首先,执行所述共振频率的检测处理,基于得到的共振频率,临时设定所述阻尼滤波器的去除频带,
其次,在临时设定了去除频带的阻尼滤波器的条件下,执行所述惯量估计处理,基于得到的惯量,设定所述快进时间常数,
再次,在临时设定了去除频带的阻尼滤波器及设定了快进时间常数的情况下,执行共振频率检测处理,基于得到的共振频率,正式设定所述阻尼滤波器的去除频带,同时,设定所述速度增益。
3.根据权利要求1所述的定位装置的参数设定方法,其特征在于,
首先,进行所述惯量估计处理,基于得到的惯量设定所述快进时间常数,同时,临时设定所述速度增益,
其次,在设定了快进时间常数及临时设定了速度增益的情况下,进行共振频率检测处理,基于得到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带,同时,正式设定所述速度增益。
4.一种定位装置,其对使装有移动对象的移动台做旋转运动或线性运动的移动装置的驱动电机进行控制,将所述移动台定位到指定目标位置,
该定位装置包括：
位置指令生成部,基于所述目标位置产生位置指令并输出,同时,至少在快进移动时,生成对应于快进时间常数的位置指令并输出,
位置控制部,输入所述位置指令生成部输出的位置指令,基于输入的位置指令及位置增益,生成速度指令并输出,
速度控制部,输入所述位置控制部输出的速度指令,基于输入的速度指令及速度增益,生成扭矩指令并输出,
阻尼滤波器,输入所述速度控制部输出的扭矩指令,从输入的扭矩指令去除特定频带的分量并输出,
扭矩控制部,输入从所述阻尼滤波器输出的扭矩指令,基于输入的扭矩指令及扭矩增益,生成驱动电机的驱动扭矩相关信号并输出,
该定位装置还包括,至少对快进时间常数,速度增益和阻尼滤波器的去除频带进行设定的参数设定部,
所述参数设定部被配置为,执行共振频率检测处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,检测所述移动装置产生的共振频率,以及执行惯量估计处理,使装有所述移动对象的移动台发生移动,估计作用于所述移动装置的惯量,同时,根据检测到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带和速度增益,根据所估计的惯量,设置所述快进时间常数。
5.根据权利要求4所述的定位装置,其特征在于,
所述参数设定部被配置为,
首先,执行所述共振频率检测处理,基于得到的共振频率,进行阻尼滤波器的去除频带的临时设定处理,
其次,在临时设定了去除频带的阻尼滤波器的条件下,执行所述惯量估计处理,基于得到的惯量,进行所述设定所述快进时间常数的处理,
再次,在临时设定去除频带的阻尼滤波器及设定快进时间常数的情况下,进行共振频率检测处理,基于得到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带的同时,设定所述速度增益。
6.根据权利要求4所述的定位装置,其特征在于,
所述参数设定部被配置为,
首先,执行所述惯量估计处理,基于得到的惯量,设定所述快进时间常数,同时,进行所述速度增益的临时设定处理,
其次,在设定快进时间常数及临时设定速度增益的情况下,进行共振频率检测处理,基于得到的共振频率,设定所述阻尼滤波器的去除频带,同时,执行所述速度增益的正式设定处理。
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