CN105914127A - 两端密封型短弧闪光灯 - Google Patents

Abstract

一种两端密封型短弧闪光灯，在发光管内具有启动辅助电极和一对主电极、在上述发光管的第1密封管中，第1主电极的芯线被密封并被导出到发光管外；在上述第2密封管上熔接着密封用玻璃管、第2主电极的芯线被密封在该密封用玻璃管中并被导出到发光管外；在上述第2密封管与上述密封用玻璃管的熔接作业时能得到上述启动辅助电极的内部引线、外部引线、金属箔等的正确的固定位置、能够使封接作业极大地简单化。在上述密封用玻璃管的与上述第2密封管的熔接区域的外周面上，以将上述内部引线、外部引线及金属箔覆盖的方式熔接着一次密封用玻璃部件。

Description

两端密封型短弧闪光灯

技术领域

本发明涉及两端密封型短弧闪光灯，特别涉及一方的密封管部分为双重管构造的两端密封型短弧闪光灯。

背景技术

进行闪光点亮的放电灯广泛地用于以半导体制造工序中的闪光退火为代表的产业用途中，本发明的灯特别在使用了真空紫外光的曝光工序中使用。

在上述曝光工序中，要求使用能够对小区域将高密度的光在短时间中照射、在光的方向性及分布中不均匀比较少的接近于平行光的光。

为此，希望将闪光灯通过凹面反射镜等聚光而形成平行光，为了提高聚光效率，密封部的直径较小的两端密封型短弧闪光灯是有利的。

在日本特许第5360033号公报中公开了这样的两端密封型短弧闪光灯。

在图4中表示其概略构造，在两端密封型短弧闪光灯中，在发光管1的两端连设有第1密封管2和第2密封管3。并且，在上述第2密封管3中插入着密封用玻璃管4，两者被熔接。

在发光管1内对置配置有一对第1主电极5和第2主电极6。上述第1主电极5的芯线7通过接续玻璃等的单元单元被支承、密封在第1密封管2中并被向其外方导出，另一方面，上述第2主电极6其芯线8通过接续玻璃等的单元被支承、密封在上述密封用玻璃管4中并被向其外方导出。

在发光管1内的主电极5、6之间，配设有一对第1启动辅助电极10和第2启动辅助电极11，各个内部引线12、15和外部引线13、16在上述第2密封管3与密封用玻璃管4之间的熔接区域中经由金属箔14、17电地连接。

并且，在发光管部1内，作为发光气体例如封入有氙气。

该两端密封型短弧闪光灯为以下结构：通过被施加规定的电压，首先在启动辅助电极10、11间预放电，使发光管1内产生辅助主电极5、6间的放电的带电粒子。

这样的两端密封型短弧闪光灯构成为，通过例如使灯的发光点(亮点)与抛物面反射面镜的焦点一致而配置，将从灯放射的光作为平行光照射的光源装置。

可是，在采取这样的双重管构造的第2密封部侧，在其熔接工序中，进行以下这样的作业：在密封用玻璃管4的外周面配置启动辅助电极10、11的内部引线12、15和外部引线13、16以及金属箔14、17，将其插入到第2密封管3内并从其外周用燃烧器加热，将密封用玻璃管4和第2密封管熔接。

在这样的熔接作业中，存在如下的问题：难以在将密封用玻璃管4的外周的内部引线12、15、外部引线13、16及金属箔14、17保持在正确的位置的状态下进行熔接、在熔接后不能得到正确的位置处的组装构造。

专利文献1：日本特许第5360033号公报

发明内容

本发明要解决的课题是，鉴于上述以往技术的问题，提供一种两端密封型短弧闪光灯，在玻璃制的发光管的内部具有一对主电极和启动辅助电极，在该发光管的两端具备第1密封管和第2密封管；在上述第1密封管中，第1主电极的芯线被密封并被导出到发光管外、在上述第2密封管上熔接着插入到上述第2密封管的内部的密封用玻璃管，在该密封玻璃管中，第2主电极的芯线被密封并被导出到发光管外，在上述第2密封管与上述密封用玻璃管的熔接作业时能够得到上述启动辅助电极的内部引线、外部引线、金属箔等的正确的固定位置，能够使封装作业非常简单化。

为了解决上述课题，有关本发明的两端密封型短弧闪光灯的特征在于，在上述密封用玻璃管的与上述第2密封管的熔接区域的外周面上，以将上述内部引线、外部引线及金属箔覆盖的方式熔接着一次密封用玻璃部件。

此外，两端密封型短弧闪光灯的特征在于，上述一次密封用玻璃部件的材料是无水石英玻璃，上述第2密封管的玻璃是有水石英玻璃。

发明的效果

根据本发明的两端密封型短弧闪光灯，由于在被插入熔接于第2密封管的密封用玻璃管的外周面上覆盖并熔接着一次密封用玻璃部件，所以处于密封用玻璃管的外周的启动辅助电极的内部引线、外部引线及金属箔被该一次密封用玻璃部件正确地定位并覆盖，当将该状态的密封用玻璃管熔接到第2密封管上时，使该熔接作业非常简单化。因此，在最终成形为灯形状时，将内部引线、外部引线、金属箔正确地定位固定。

此外，通过使一次密封用玻璃部件为无水石英玻璃，使第2密封管为有水石英玻璃，从而在熔接后的熔接部的界面上作用压缩应力，所以即使是封入例如0.1MPa以上即大致大气压以上那样的高压的惰性气体的情况，也起到提高密封部的耐压性、降低灯的破裂的危险性那样的效果。

附图说明

图1是本发明的两端密封型短弧闪光灯的剖视图。

图2是图1的主要部的分解放大剖视图。

图3是本发明的灯的制造工序图。

图4是以往的两端密封型短弧闪光灯的剖视图。

附图标记说明

1 发光管；

2 第1密封管；

3 第2密封管；

4 密封用玻璃管；

5 第1主电极；

6 第2主电极；

7 第1主电极的芯线；

8 第2主电极的芯线；

10 第1启动辅助电极；

11 第2启动辅助电极；

12 第1启动辅助电极的内部引线；

13 第1启动辅助电极的外部引线；

14 金属箔；

15 第2启动辅助电极的内部引线；

16 第2启动辅助电极的外部引线；

17 金属箔；

20 一次密封用玻璃部件；

21 阴极固定件；

22 阀。

具体实施方式

图1是本发明的固定了灯头的两端密封型短弧闪光灯的整体的剖视图，图2是图1的主要部的分解放大剖视图。

该短弧型闪光灯是所谓的两端密封型，关于其基本的结构与图4所示的以往例是同样的。即，具有形成发光空间的例如椭圆球形状的发光管1、连接在该发光管1的一端上并沿着管轴方向向外方延伸的第1密封管2、和连接在发光管1的另一端上并沿着管轴方向向外方延伸的第2密封管3，在上述第2密封管3中插入着密封用玻璃管4，在其重叠区域中将两者熔接。

在上述发光管1内，对置配置有一对第1主电极5和第2主电极6。上述第1主电极5的芯线7通过接续玻璃等的单元被封装在第1密封管2上并被向外方气密地导出，另一方面，上述第2主电极6的芯线8通过接续玻璃等的单元被封装在上述密封用玻璃管4上并被向外方气密地导出。

并且，在上述发光管1内的一对主电极5、6之间配设有一对第1启动辅助电极10和第2启动辅助电极11，各个内部引线12、15和外部引线13、16在上述第2密封管3与密封用玻璃管4之间的熔接区域中经由金属箔14、17被电连接。

另外，在该实施例中，上述密封用玻璃管4在被插入到上述第2密封管4内并被重叠熔接的区域中，其外径被缩径，来自指导辅助电极10、11的外部引线13、16被从该缩径的区域导出到第2密封管3的外部。

根据图2的分解放大图也可知，在密封用玻璃管4的前端侧的与第2密封管3的重叠区域即熔接区域中，在其外周上以将上述内部引线12、15、外部引线13、16及金属箔14、17覆盖的方式熔接着一次密封用玻璃部件20。

这样，将在前端区域中熔接着一次密封用玻璃部件20的密封用玻璃管4向第2密封管4内插入，将该第2密封管4与密封用玻璃管4熔接。

此外，在本发明的说明中，第1主电极5构成阳极，第2主电极6构成阴极，但在与第1密封管2及第2密封管3的关系中也可以是相反的关系，也可以是将作为阴极的第2主电极6的芯线8从第1密封管2侧导出、将作为阳极的第1主电极5的芯线7从熔接在第2密封管3上的密封用玻璃管4侧导出的结构。

换言之，表示了将启动辅助电极10、11的内部引线12、15及外部引线13、16从阴极6侧导出的结构，但也可以是从相反的阳极侧5侧导出的结构。

并且，优选的是使用有水石英玻璃作为上述第2密封管3的材料，使用无水石英玻璃作为上述一次密封用玻璃部件20的材料。

另外，这里所谓有水石英玻璃，通常是指含有水，即OH基50重量ppm以上的石英玻璃，所谓无水石英玻璃，是指含有OH基小于50ppm的石英玻璃。

已知石英玻璃越多含有OH基则玻璃的软化温度越低、膨胀率越大，通过做成上述那样的组合，通过热膨胀率较大的第2密封管3与热膨胀率较小的一次密封用玻璃部件20的热膨胀率的差，从而在冷却时在其熔接界面上在一次密封用玻璃部件20侧作用压缩应力。

通过向该一次密封用玻璃部件20作用压缩应力，即使是在发光管1内封入大气压以上的高压的惰性气体的情况下，也提高熔接部的耐压性，使灯的破裂的危险性下降。

通过图3说明本发明的两端密封型短弧闪光灯的制造方法。

(A)将阴极6的芯线8插通到密封用玻璃管4的内部，在其端部接续密封；

(B)在密封用玻璃管4的前端侧的熔接区域中，配置启动辅助电极10、11的内部引线12、15和金属箔14、17及外部引线13、16。

(C)使一次密封用玻璃部件20嵌合在密封用玻璃管4的熔接区域上。将其加热熔接并一次密封。

(D)由此，在密封用玻璃管4的熔接区域中，形成以将内部引线12、15、金属箔14、17、外部引线13、16覆盖的方式熔接着一次密封用玻璃部件20的阴极固定件21。

另一方面，在发光管1上连接设置第1密封管2和第2密封管3而成的阀22中插通阳极5的芯线7，在第1密封管2的端部被接续密封。

向该阀22的第2密封管3内插入上述阴极固定件21，使一次密封用玻璃部件20位于第2密封管3的端部。

(E)接着，从第2密封管3的外周通过氢氧燃烧器等加热，将该第2密封管3与密封用玻璃管4的一次密封用玻璃部件20熔接(收缩密封)。

如以上说明，在有关本发明的两端密封型短弧闪光灯中，通过做成在密封用玻璃管的前端侧的熔接区域中熔接一次密封用玻璃部件、将其熔接到第2密封管内的结构，将位于密封用玻璃管的外周的启动辅助电极的内部引线、外部引线及金属箔正确地定位，将其熔接到第2密封管上，所以其熔接作业被极大地简单化，并且能正确地进行内部引线、外部引线、金属箔的定位。

另外，在向密封用玻璃管熔接作为简单的圆筒管的一次密封用玻璃部件的情况、和熔接由阳极被密封的长条状的发光管、第1密封管、第2密封管构成的阀的情况中，显然如本发明那样熔接一次密封用玻璃部件的情况时作业更容易。并且，熔接了一次密封用玻璃部件的密封用玻璃管的上述内部引线、外部引线金属箔被正确地定位固定，能够容易地熔接到第2密封管上。

Claims (2)

1.一种两端密封型短弧闪光灯，

在玻璃制的发光管的内部具有启动辅助电极和一对主电极，在该发光管的两端具备第1密封管和第2密封管；

在上述第1密封管中，第1主电极的芯线被密封并被导出到发光管外；

在上述第2密封管上熔接有被插入在该第2密封管的内部的密封用玻璃管，在该密封用玻璃管中，第2主电极的芯线被密封并被导出到发光管外；

在上述第2密封管与上述密封用玻璃管之间，密封着上述启动辅助电极的内部引线和外部引线、以及将它们电连接的金属箔；

该两端密封型短弧闪光灯特征在于，

在上述密封用玻璃管的与上述第2密封管的熔接区域的外周面上，以将上述内部引线、外部引线及金属箔覆盖的方式熔接着一次密封用玻璃部件。

2.如权利要求1所述的两端密封型短弧闪光灯，其特征在于，

上述一次密封用玻璃部件的材料是无水石英玻璃；

上述第2密封管的玻璃是有水石英玻璃。