CN106373861A - 两端密封型短弧闪光灯 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种两端密封型短弧闪光灯，在发光管内具有一对主电极和启动辅助电极，在所述发光管的第1密封管中，第1主电极的芯线被密封并被导出至发光管外，在所述第2密封管中，熔敷有密封用玻璃管，在该密封用玻璃管中，第2主电极的芯线被密封并被导出至发光管外，在所述两端密封型短弧闪光灯中，能够在进行所述第2密封管与所述密封用玻璃管的熔敷作业时，防止所述密封用玻璃管的内周面由于软化而变形隆起。所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，在所述密封用玻璃管的与所述第2密封管的熔敷区域的内周面设置有防止玻璃变形的金属筒状体。

Description

两端密封型短弧闪光灯

技术领域

本发明涉及一种两端密封型短弧闪光灯，特别是涉及一侧的密封管部分形成为双重管构造的两端密封型短弧闪光灯。

背景技术

进行闪光点灯的放电灯被广泛地应用于以半导体制造工序中的闪光退火为首的产业用途，本发明的灯特别用于使用真空紫外线的曝光工序。

对于上述曝光工序，能够在短时间内对小区域照射高密度的光，要求使用在光的方向性以及分布方面不均匀较少的接近于平行光的光。

因此，优选将闪光灯通过凹面反射镜等进行聚光而形成平行光，为了提高聚光效率，密封部的直径较小的两端密封型短弧闪光灯是有用的。

这种两端密封型短弧闪光灯在日本专利第5360033号公报中进行了公开。

在图5中示出了其概略构造，在两端密封型短弧闪光灯中，在发光管1的两端连接设置有第1密封管2和第2密封管3。而且，在所述第2密封管3中插入有密封用玻璃管4，两者熔敷。

在发光管1内相对地配置有一对主电极即第1主电极5和第2主电极6。对于所述第1主电极5，通过分级玻璃等机构将其芯线7支撑并密封在第1密封管2中，并且导出至其外部，另一方面，对于所述第2主电极6，通过分级玻璃等部件将其芯线8支撑并密封在所述密封用玻璃管4中，并且导出至其外部。

在发光管1内的主电极5、6之间配设有一对启动辅助电极即第1启动辅助电极10和第2启动辅助电极11，各自的内部引线12、15与外部引线13、16在所述第2密封管3与密封用玻璃管4之间的熔敷区域中经由金属密封箔14、17电连接。

而且，在发光管1内作为发光气体封入有例如氙气。

该两端密封型短弧闪光灯成为下述结构：通过施加预定的电压，首先在启动辅助电极10、11之间预备放电，使在发光管1内产生辅助主电极5、6间的放电的带电粒子。

如上所述的两端密封型短弧闪光灯例如通过使灯的发光点(亮点)与抛物反射面镜的焦点一致地配置，构成将从灯放射出的光照射成平行光的光源装置。

此外，在采用这种双重管构造的第2密封部侧，如图6所示，在其熔敷工序中进行下述作业：在密封用玻璃管4的外周面配置启动辅助电极10、11的内部引线12、15、外部引线13、16以及金属密封箔14、17，并将其插入至第2密封管3内，使用燃烧器B从其外周进行加热，将密封用玻璃管4与第2密封管3熔敷。

而且，在该熔敷作业中，在金属密封箔14、17部分进行密封，因此，特别要加热并熔敷以该金属密封箔14、17为中心的区域。

因此，如图6所示，密封用玻璃管4的该区域的玻璃由于加热而软化，其内表面变形，成为朝向内部的隆起形状25，其结果是有时会导致隆起形状25与第2主电极6的芯线8接触的状况，存在成为裂纹的原因的问题。

此外，在上述的图5所示的现有例子中，在第2密封管3与密封用玻璃管4的熔敷作业中有时会产生下述问题：很难在将密封用玻璃管4的外周的内部引线12、15、外部引线13、16以及金属密封箔14、17保持在正确的位置的状态下进行熔敷，难以在熔敷之后得到在正确位置的组装构造。

能够通过形成下述构造来解决如上所述的问题点：如图7、8所示，在所述密封用玻璃管4的与所述第2密封管3的熔敷区域的外周面以覆盖所述内部引线12、15、外部引线13、16以及金属密封箔14、17的方式熔敷一次密封用玻璃部件20。

即，形成在密封用玻璃管4的前端侧的与第2密封管3重叠的区域即熔敷区域，在其外周以覆盖所述内部引线12、15、外部引线13、16以及金属密封箔14、17的方式熔敷有一次密封用玻璃部件20的构造。

这样，将在前端区域的外周熔敷有一次密封用玻璃部件20的密封用玻璃管4插入至第2密封管3内，使该第2密封管3与一次密封用玻璃部件20熔敷，由此，第2密封管3与密封用玻璃管4熔敷。

能够通过采用这种构造来正确地保持内部引线12、15、外部引线13、16以及金属密封箔14、17的位置并进行熔敷。

但是，即使在采用如上所述的双重密封构造的情况下，如上述图6所示的加热熔敷时的密封用玻璃管4内表面的隆起形状的发生也会产生同样的问题。

如图9所示，在进行密封用玻璃管4与一次密封用玻璃部件20的加热熔敷时，密封用玻璃管4软化，其内表面成为隆起形状25，有时会与芯线8接触。对于该构造，在一次密封之后的二次密封时进行与第2密封管3的熔敷作业，因此，那时也会再次产生同样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5360033号公报

本发明所要解决的课题在于，鉴于上述现有技术的问题点而提供一种构造，使得在两端密封型短弧闪光灯中，即使在进行所述第2密封管与所述密封用玻璃管的加热熔敷时密封用玻璃管软化，也不会在其内表面产生隆起形状，其中，所述两端密封型短弧闪光灯形成为，在玻璃制的发光管的内部具备一对主电极和启动辅助电极，在所述发光管的两端具有第1密封管和第2密封管，在所述第1密封管中，第1主电极的芯线被密封并被导出至发光管外，在所述第2密封管中，熔敷有插入至该第2密封管的内部的密封用玻璃管，在该密封用玻璃管中，第2主电极的芯线被密封并被导出至发光管外，在所述第2密封管与所述密封用玻璃管之间，所述启动辅助电极的内部引线、外部引线以及将它们电连接的金属密封箔被密封。

发明内容

为了解决上述课题，本发明所涉及的两端密封型短弧闪光灯的特征在于，在所述密封用玻璃管的与所述第2密封管的熔敷区域的内周面设置有防止玻璃变形的金属筒状体。

另外，所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，所述金属筒状体是由高熔点金属构成的卷绕的金属箔。

另外，所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，所述金属筒状体配置为比设置于所述第2密封管与所述密封用玻璃管之间的所述金属密封箔的长度长且比该金属密封箔的两端部突出。

另外，所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，构成所述金属筒状体的所述金属箔在与所述密封用玻璃管的内周面接触的表面镀有铑。

另外，所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，在所述密封用玻璃管的内表面，与所述金属筒状体的端部相邻地形成有限制该金属筒状体在所述发光管的轴向上移动的突起部。

另外，所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，在所述密封用玻璃管的与所述第2密封管的熔敷区域的外周面，以覆盖主电极的内部引线、外部引线以及金属密封箔的方式熔敷有一次密封用玻璃部件，所述第2密封管与该一次密封用玻璃部件熔敷，在所述密封用玻璃管的与所述第2密封管的熔敷区域的内周面设置有防止玻璃变形的金属筒状体。

根据本发明的两端密封型短弧闪光灯，在密封用玻璃管的内周面设置有金属筒状体，因此，在进行第2密封管与密封用玻璃管的熔敷时，即使玻璃软化也可以通过该金属筒状体来防止变形，内周面不会隆起而与主电极的芯线接触。由此，不会在密封用玻璃管上引起裂纹而导致破损。

另外，在所述金属筒状体的端部形成有突起部，因此防止该金属筒状体在发光管的管轴方向上移动，不会损坏密封用玻璃管的内周面的隆起抑制作用。

附图说明

图1是本发明的第1实施例的局部剖视图。

图2是本发明的第2实施例的局部剖视图。

图3是本发明的第3实施例的局部剖视图。

图4是本发明的第4实施例的局部剖视图。

图5是现有的两端密封型短弧闪光灯的剖视图。

图6是现有例子的缺陷的说明剖视图。

图7是采用现有例子的改良构造的两端密封型短弧闪光灯。

图8是图7的分解局部放大图。

图9是图7的改良构造中的缺陷的说明剖视图。

具体实施方式

在图1中示出了本发明的两端密封型短弧闪光灯的第1实施例，在密封用玻璃管4的与第2密封管3的熔敷区域的内周面设置有防止玻璃隆起变形的金属筒状体30。该金属筒状体30由高熔点金属材料构成，例如可以是钼、钨以及钽等，特别优选为钼。

该金属筒状体30可以是以管状的方式成型为圆筒形状的部件，也可以是将金属箔等卷成筒状的部件。其中，在使用金属箔的情况下，至少卷绕一周以上而形成筒状，能够通过向其半径方向的弹性恢复力而与密封用玻璃管4的内周面抵接。

主电极的芯线8与密封用玻璃管4的内周面的距离大约为2mm左右。构成金属筒状体30的金属箔的是0.01～0.04mm左右的厚度，例如，能够通过将0.015mm的钼箔卷绕几周而与密封用玻璃管4的内周面抵接来防止伴随着密封用玻璃管4的软化的内周面的变形以及与主电极的芯线8的粘连。

该金属筒状体30设置于密封用玻璃管4由于加热而最易软化变形的部位较为良好。第2密封管3与密封用玻璃管4熔敷时最被加热的部位是承担密封构造的金属密封箔14、17的周边，由此，金属筒状体30优选配置为比金属密封箔14、17长且比金属密封箔14、17的两端部突出。

另外，该金属筒状体30的外周面与密封用玻璃管4的内周面接触，因此，由于金属筒状体30与密封用玻璃管4粘连或者摩擦，可能会在在密封用玻璃管4的表面产生微小的裂纹。

为了防止该情况，优选在金属筒状体30的表面涂覆有铑。对于如上所述的铑的性质，在日本特公昭40-892号公报中也进行了公开，具有1750℃以上的熔点、氧化性较弱的铑不会与石英玻璃产生化学键，可以保持在与石英玻璃物理接触的状态。

在图2中示出了第2实施例。设置于密封用玻璃管4的内周面的金属筒状体30可能从预定位置在发光管4的管轴方向上移动，例如，如果在运输中等金属筒状体30移动，则导致最初配置于最佳位置的金属筒状体30偏离该位置，有时会减弱密封用玻璃管4的抑制玻璃向内侧隆起的效果。

另外，在极端的情况下，可能从密封用玻璃管4脱离而侵入至发光空间内，产生灯自身难以点灯的问题。

为了防止如上所述的现象，在该实施例中，在与设置于密封用玻璃管4内周面的金属筒状体30的两端部相邻的位置设置有突起部31、31。

该突起部31能够通过对密封用玻璃管4加热并使其内周面的一部分突出至内侧而形成。

由此，防止金属筒状体30在发光管的管轴方向上的移动，将金属筒状体30保持在适当的位置。

该突起部31需要至少设置在金属筒状体30的发光空间侧，更加优选的是设置在金属筒状体30的两侧。

在该实施例的构造中，首先，在密封用玻璃管4的相当于熔敷区域的内周面设置金属筒状体30，对该金属筒状体30的两端部附近加热而使玻璃软化，在内周面的一部分上形成突起部31、31。

这样，将在内周面设置有金属筒状体30、与金属筒状体30的两端部相邻地形成有突起部31、31的密封用玻璃管4插入至第2密封管3内，并加热熔敷。

在图3中示出了第3实施例，在该实施例中，表示了图7、8所示的现有例子的改良构造所涉及的两端密封型短弧闪光灯，根据前面记载的从“此外，在上述的图5所示的现有例子中，……”到“……能够通过采用这种构造来正确地保持内部引线12、15、外部引线13、16以及金属密封箔14、17的位置并进行熔敷”的内容，在密封用玻璃管4的前端侧即与第2密封管3的熔敷区域的外周熔敷有一次密封用玻璃部件20。在该构造中，也在所述密封用玻璃管4的内周面设置有金属筒状体30。因此，该实施例中的金属筒状体30与图1的第1实施例同样地配置为比金属密封箔14、17长且比金属密封箔14、17的两端部突出。

通过该构造，在进行一次密封用玻璃部件20与密封用玻璃管4的熔敷时，在密封用玻璃管4内表面抑制软化的玻璃向内部隆起。另外，在进行一次密封用玻璃部件20与第2密封管3的熔敷时，能够期待同样的隆起抑制效果。

在图4的第4实施例中，与图2的第2实施例同样地在与金属筒状体30的两端部相邻的位置形成有用于防止移动的突起部31、31。

在该实施例中，首先在密封用玻璃管4的相当于熔敷区域的内周面设置金属筒状体30，对该金属筒状体30的两端部附近加热而使玻璃软化，在内周面的一部分上形成突起部31、31。

这样，将在内周面设置有金属筒状体30、与金属筒状体30的两端部相邻地形成有突起部31、31的密封用玻璃管4嵌入一次密封用玻璃部件20，并从外周对它们加热，使它们熔敷。

此时，通过金属筒状体30，即使一次密封用玻璃部件20软化也可以抑制向内部发生隆起变形。

根据以上说明，在本发明所涉及的两端密封型短弧闪光灯中，在密封用玻璃管的与第2密封管的熔敷区域的内周面设置有防止玻璃变形的金属筒状体，因此，在进行第2密封管与密封用玻璃管的熔敷时，即使密封用玻璃管由于加热而软化，也能够抑制向内部发生隆起变形，防止与贯通密封用玻璃管的主电极的芯线接触的状况。

而且，通过与所述金属筒状体的端部相邻地形成突起部，可以抑制该金属筒状体在密封用玻璃管内在轴向上移动而保持在适当的位置。

标号说明

1 发光管

2 第1密封管

3 第2密封管

4 密封用玻璃管

5 第1主电极

6 第2主电极

7 第1主电极的芯线

8 第2主电极的芯线

10 第1启动辅助电极

11 第2启动辅助电极

12 第1启动辅助电极的内部引线

13 第1启动辅助电极的外部引线

14 金属密封箔

15 第2启动辅助电极的内部引线

16 第2启动辅助电极的外部引线

17 金属密封箔

20 一次密封用玻璃部件

30 (变形防止用)金属筒状体

31 (移动限制)突起部。

Claims (6)

1.一种两端密封型短弧闪光灯，在玻璃制的发光管的内部具备一对主电极和启动辅助电极，在所述发光管的两端具有第1密封管和第2密封管，

在所述第1密封管中，第1主电极的芯线被密封并被导出至发光管外，

在所述第2密封管中，熔敷有插入至所述第2密封管的内部的密封用玻璃管，在所述密封用玻璃管中，第2主电极的芯线被密封并被导出至发光管外，

在所述第2密封管与所述密封用玻璃管之间，所述启动辅助电极的内部引线、外部引线以及将所述内部引线和所述外部引线电连接的金属密封箔被密封，

所述两端密封型短弧闪光灯的特征在于，

在所述密封用玻璃管的与所述第2密封管的熔敷区域的内周面设置有防止玻璃变形的金属筒状体。

2.根据权利要求1所述的两端密封型短弧闪光灯，其特征在于，

所述金属筒状体是由高熔点金属构成的卷绕的金属箔。

3.根据权利要求1或2所述的两端密封型短弧闪光灯，其特征在于，

所述金属筒状体配置为比设置于所述第2密封管与所述密封用玻璃管之间的所述金属密封箔的长度长且比所述金属密封箔的两端部突出。

4.根据权利要求2所述的两端密封型短弧闪光灯，其特征在于，

构成所述金属筒状体的所述金属箔在与所述密封用玻璃管的内周面接触的表面镀有铑。

5.根据权利要求1或2所述的两端密封型短弧闪光灯，其特征在于，

在所述密封用玻璃管的内表面，与所述金属筒状体的端部相邻地形成有突起部，所述突出部限制所述金属筒状体在所述发光管的轴向上移动。

6.根据权利要求1或2所述的两端密封型短弧闪光灯，其特征在于，

在所述密封用玻璃管的与所述第2密封管的熔敷区域的外周面，以覆盖所述内部引线、外部引线以及金属密封箔的方式熔敷有一次密封用玻璃部件，所述第2密封管与所述一次密封用玻璃部件熔敷。