CN105887105A - 一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法 - Google Patents

一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105887105A
CN105887105A CN201610214409.2A CN201610214409A CN105887105A CN 105887105 A CN105887105 A CN 105887105A CN 201610214409 A CN201610214409 A CN 201610214409A CN 105887105 A CN105887105 A CN 105887105A
Authority
CN
China
Prior art keywords
aperture plate
plate sheet
cleaning
cleanout fluid
concentration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610214409.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105887105B (zh
Inventor
靳英坤
冯云祥
刀丽纯
邓华兵
张昆林
杨文波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
North Night Vision Technology Co Ltd
Original Assignee
North Night Vision Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by North Night Vision Technology Co Ltd filed Critical North Night Vision Technology Co Ltd
Priority to CN201610214409.2A priority Critical patent/CN105887105B/zh
Publication of CN105887105A publication Critical patent/CN105887105A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105887105B publication Critical patent/CN105887105B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G1/00Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
    • C23G1/24Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with neutral solutions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/044Cleaning involving contact with liquid using agitated containers in which the liquid and articles or material are placed
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/045Cleaning involving contact with liquid using perforated containers, e.g. baskets, or racks immersed and agitated in a liquid bath
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/045Cleaning involving contact with liquid using perforated containers, e.g. baskets, or racks immersed and agitated in a liquid bath
    • B08B3/047Containers specially adapted therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G1/00Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
    • C23G1/14Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with alkaline solutions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Detergent Compositions (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,主要用于高速成像扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁处理。其主要技术方案是:包含工艺流程,装入栅网片→表面预处理→一表面超声清洁→纯水漂洗→脱水→烘干→检测。本发明试用证明:从根本上克服了原清洁方法对栅网片不能彻底去除表面污物和不能满足技术要求的缺陷,达到被清洁后的栅网片既彻底去除表面污物,又确保栅网片无小破损、变形、皱折,完全满足扫描条纹管的使用需求。

Description

一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法
技术领域
本发明涉及一种金属表面的清洁处理方法,具体是一种用于高速成像扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,也可用于其它光电器件类似零件的清洁处理。
背景技术
条纹分幅相机是一种纳秒或皮秒级的超高速光电成像装置,其核心部件—扫描条纹管,能同时给出一维连续的时间信息和一维连续的空间信息,具备超快读出时间信息的能力,从而对研究快速、不重复的瞬时现象提供空间和时间信息,在激光超短脉冲、激光核聚变、磁约束核聚变、光化学、光生物学中有着重要的应用。
扫描条纹管(见图 1 )由光电阴极 1 、单层多电极电子光学系统 2 、荧光屏 3 等组成。其中位于光电阴极附近的栅网片 1a (见图 2 ),作用是可提高光电阴极附近的电场强度,极大的减少电子渡越时间产生的弥散,是实现扫描条纹管高时间分辨率的关键零件。它的形态是超薄网状金属片,材料为表面镀镍的铜,厚度仅有 5 8 μ m ,直径一般为φ 40 mm,在扫描条纹管制备过程中,对栅网片的平整度、表面清洁度有极高的要求。
扫描条纹管所使用的栅网片,一般采用通过光刻等方法制作的大面积金属栅网,根据实际需要由激光切割成圆形或矩形等,使用前必须进行表面净化处理,去除加工和流转过程中产生和沾染的各种金属粉末、灰尘、游离的油脂分子,氧化物(层)等,保持栅网片的清洁,同时不允许存在微小破损、变形、皱折等缺陷,否则,扫描条纹管的分辨力会急剧下降甚至丧失。
由于栅网片的超薄尺寸和网状结构,采用通常的光电器件金属零件的清洁工艺及方法,如:机械刷洗→滚抛→喷砂→碱洗→酸洗→常规超声波清洗→纯水漂洗→烘烤→高温净化等,都无法有效地彻底去除其表面的污物和确保栅网片不发生微小破损、变形、皱折,很难达到使用要求。因此,对此类零件的表面洁净处理必须寻求新的清洁方法,才能达到使用要求。
发明内容
本发明要解决的主要技术问题和目的是:根据现有的光电器件金属零件清洁方法无法用于对栅网片进行清洁的缺陷,设计一种新的清洁方法,从根本上克服对栅网片不能彻底去除表面污物和不能满足技术要求的现象,达到被清洁后的栅网片既彻底去除表面污物,又确保栅网片无小破损、变形、皱折等,完全满足扫描条纹管的使用要求。
本发明的主要技术方案:本发明包含清洗筐、第一种清洗液、第二种清洗液、玻璃容器及工艺流程,所述的清洗筐,是采用直径为φ 0.3mm 不锈钢丝编制的网板焊接而成,上盖是活动的,连接一个提手;所述的第一种清洗液,由中性洗涤剂∶纯水( 5 8 95 92 )配制,其浓度为 5% 8% ;所述的第二种清洗液,由碱性洗涤剂∶纯水( 3 5 97 95 )配制,其浓度为 3% 5% ;所述的工艺流程的具体操作: A 、装入栅网片,将栅网片轻轻放置在清洗筐中,并盖上盖子; B 、表面预处理,把装有栅网片的清洗筐,浸入玻璃容器中,玻璃容器内盛有第一种清洗液,浓度为 6% ,第一种清洗液液面应高于清洗筐的三分之一,再把玻璃容器放入超声波清洗机内,在 30 ℃进行 3 分钟的超声波清洗,完毕后,用提手取出; C 、表面超声清洁,把经过表面预处理的带栅网片的清洗筐浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗 3 5 次,而后浸入玻璃容器中,玻璃容器内盛有第二种清洗液,浓度为 4% ,第二种清洗液液面应高于清洗筐的三分之一,把玻璃容器放入超声波清洗机内,在 30 ℃进行 10 分钟的超声波清洗,完毕后,用提手取出,将栅网片翻面,再进行 10 分钟的超声波清洗; D 、纯水漂洗,将经过 B C 步骤的带栅网片的清洗筐浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗 3 5 次,放入缓慢流动的纯水槽中冲洗 10 分钟,取出; E 、脱水,把带栅网片的清洗筐放置在脱水器中,喷洒乙醇,脱水 2 5 秒; F 、烘干,将经过脱水步骤的带栅网片的清洗筐,置于烘箱中,在 90 ℃下烘烤 15 分钟,从清洗筐中取出栅网片; G. 检测,在 40 倍体视显微镜下,观察清洗后的栅网片,无残留污物和无破损、变形、皱折的为合格,反之为不合格。
本发明通过实际应用证明:完全达到研制目的,采用该清洁方法,能够较好地完成对超薄金属栅网片的清洁,表面洁净度合格率达到 99.7% 以上;在保持栅网片完好无损的前提下,达到了彻底清洁栅网片表面的目的,满足了扫描条纹管对栅网片的洁净度要求;使扫描条纹管的成像分辨力由 8lp/mm 提高至 18lp/mm ,工作性能稳定,有效地提高了扫描条纹管的制造水平;该清洁方法可操作性强、生产成本低,易推广应用。
附图说明
下面结合附图,对本发明的具体实施方式作进一步详细地描述。
1 ,是扫描条纹管的结构示意图。
2 ,是栅网片的示意图。
3 ,是本发明的工艺流程示意图。
4 ,是本发明栅网片清洁状态下的示意图。
5 ,是本发明二次超声清洗栅网片状态的示意图。
具体实施方式
参照图 2 3 4 ,对本发明主要技术方案进行说明:本发明包含清洗筐 4 、第一种清洗液 5 、第二种清洗液 5-1 、玻璃容器 6 及工艺流程,所述的清洗筐 4 ,是采用直径为φ 0.3mm 不锈钢丝编制的网板焊接而成,(通常是 150 mm × 150 mm × 150mm ),上盖 8 是活动的,连接一个提手 7 ;所述的第一种清洗液 5 ,由中性洗涤剂∶纯水( 5 8 95 92 )配制,其浓度为 5% 8% ;所述的第二种清洗液 5-1 ,由碱性洗涤剂∶纯水( 3 5 97 95 )配制,其浓度为 3% 5% ;所述的工艺流程(见图 4 )的具体操作:
A 、装入栅网片(见图 2 4 ),将栅网片 1a 轻轻放置在清洗筐 4 中,并盖上盖子 8
B 、表面预处理(见图 4 ),把装有栅网片 1a 的清洗筐 4 ,浸入玻璃容器 6 中,玻璃容器内盛有第一种清洗液 5 ,浓度为 6% ,第一种清洗液 5 液面应高于清洗筐的三分之一,再把玻璃容器 6 放入超声波清洗机内,在 20 ℃~ 40 ℃范围进行 3 分钟的超声波清洗,完毕后,用提手 7 取出;
设备:普通超声波清洗机
工具:玻璃容器
C 、表面超声清洁(见图 5 ),把经过表面预处理的带栅网片 1a 的清洗筐 4 浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗 3 5 次,而后浸入玻璃容器 6 中,玻璃容器内盛有第二种清洗液 5-1 ,浓度为 4% ,第二种清洗液 5-1 液面应高于清洗筐 4 的三分之一,把玻璃容器 6 放入超声波清洗机内,在 20 ℃~ 40 ℃进行 10 分钟的超声波清洗,完毕后,用提手 7 取出,将栅网片 1a 翻面,再进行 10 分钟的超声波清洗;
D 、纯水漂洗,将经过 B C 步骤的带栅网片 1a 的清洗筐 4 浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗 3 5 次,放入缓慢流动的纯水槽中冲洗 10 分钟,取出;
E 、脱水,把带栅网片 1a 的清洗筐 4 放置在脱水器中,喷洒乙醇,脱水 2 5 秒;
设备:普通立式脱水机
辅料:乙醇(分析纯纯度 99.9% 以上)
F 、烘干,将经过脱水步骤的带栅网片 1a 的清洗筐 4 ,置于烘箱中,在 90 ℃下烘烤 15 分钟,从清洗筐 4 中取出栅网片 1a
设备:电真空行业普通烘箱
G. 检测,在 30 50 倍体视显微镜下,观察清洗后的栅网片 1a ,无残留污物和无破损、变形、皱折的为合格,反之为不合格。若有残留污物的重复上述 A F 步骤 1 2 次即可。(一般情况下都不会出现破损、变形、皱折的现象))。仪器:体视显微镜。
参照图 4 ,所述的中性洗涤剂,是云南光电辅料有限公司生产的,牌号 PGX-01 PH 6-8 ,比重 1.0-1.1 克/毫升,浅褐色液体;所述的碱性洗涤剂,是云南光电辅料有限公司生产的,牌号 MBX-01 PH 9-10 ,比重 1.0-1.1 克/毫升,淡黄色液体;所述的纯水,指标应达到或高于国标 GB/T11446.1-97 电子级纯水 EW-1 级的要求;所述的在 B 表面预处理工序中,第一种清洗液 5 的浓度可以是 5% 8% ,在 20 ℃或 40 ℃进行超声波清洗,效果相同;所述的在 C 表面超声清洁工序中,第二种清洗液 5-1 浓度可以是 3% 5% ,在 20 ℃或 40 ℃进行超声波清洗,效果相同;所述的在 F 烘干工序中,烘箱中 80 ℃或 100 ℃烘烤,效果相同。
本发明已在本公司投入实施,完全达到研制的目。

Claims (5)

1.一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:包含清洗筐(4)、第一种清洗液(5)、第二种清洗液(5-1)、玻璃容器(6)及工艺流程,所述的清洗筐(4),是采用直径为φ0.3mm不锈钢丝编制的网板焊接而成,上盖(8)是活动的,连接一个提手(7);所述的第一种清洗液(5),由中性洗涤剂∶纯水(5~8∶95~92)配制,其浓度为5%~8%;所述的第二种清洗液(5-1),由碱性洗涤剂∶纯水(3~5∶97~95)配制,其浓度为3%~5%;所述的工艺流程的具体操作:
A、装入栅网片,将栅网片(1a)轻轻放置在清洗筐(4)中,并盖上盖子(8);
B、表面预处理,把装有栅网片(1a)的清洗筐(4),浸入玻璃容器(6)中,玻璃容器内盛有第一种清洗液(5),浓度为6%,第一种清洗液(5)液面应高于清洗筐的三分之一,再把玻璃容器(6)放入超声波清洗机内,在30℃进行3分钟的超声波清洗,完毕后,用提手(7)取出;
C、表面超声清洁,把经过表面预处理的带栅网片(1a)的清洗筐(4)浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3~5次,而后浸入玻璃容器(6)中,玻璃容器内盛有第二种清洗液(5-1),浓度为4%,第二种清洗液(5-1)液面应高于清洗筐(4)的三分之一,把玻璃容器(6)放入超声波清洗机内,在30℃进行10分钟的超声波清洗,完毕后,用提手(7)取出,将栅网片(1a)翻面,再进行10分钟的超声波清洗;
D、纯水漂洗,将经过B、C步骤的带栅网片(1a)的清洗筐(4)浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3~5次,放入缓慢流动的纯水槽中冲洗10分钟,取出;
E、脱水,把带栅网片(1a)的清洗筐(4)放置在脱水器中,喷洒乙醇,脱水2~5秒;
F、烘干,将经过脱水步骤的带栅网片(1a)的清洗筐(4),置于烘箱中,在90℃下烘烤15分钟,从清洗筐(4)中取出栅网片(1a);
G. 检测,在40倍体视显微镜下,观察清洗后的栅网片(1a),无残留污物和无破损、变形、皱折的为合格,反之为不合格。
2. 根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在B表面预处理工序中,第一种清洗液(5)的浓度可以是5%。
3.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在B表面预处理工序中,第一种清洗液(5)的浓度可以是8%。
4.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在C表面超声清洁工序中,第二种清洗液(5-1)的浓度可以是3%。
5.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在C表面超声清洁工序中,第二种清洗液(5-1)的浓度可以是5%。
CN201610214409.2A 2016-04-08 2016-04-08 一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法 Active CN105887105B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610214409.2A CN105887105B (zh) 2016-04-08 2016-04-08 一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610214409.2A CN105887105B (zh) 2016-04-08 2016-04-08 一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105887105A true CN105887105A (zh) 2016-08-24
CN105887105B CN105887105B (zh) 2018-10-09

Family

ID=57013446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610214409.2A Active CN105887105B (zh) 2016-04-08 2016-04-08 一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105887105B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108057687A (zh) * 2017-11-17 2018-05-22 深圳市瑞德丰精密制造有限公司 去除导电片表面金属屑的干冰除屑工艺
CN108382063A (zh) * 2017-01-10 2018-08-10 苏州国质信网络通讯有限公司 一种丝网版的清洗装置
CN109604242A (zh) * 2018-12-29 2019-04-12 辅创科技(宜昌)有限公司 一种工件清洗装置
CN110788061A (zh) * 2019-10-23 2020-02-14 金川集团股份有限公司 一种超纯铜片的表面清洗装置及清洗方法
CN112318220A (zh) * 2020-09-04 2021-02-05 山东国晶新材料有限公司 一种夹持杆表面清洗方法
CN113355678A (zh) * 2021-04-22 2021-09-07 上海天安轴承有限公司 一种薄壁黄铜轴承套圈的酸洗钝化方法
CN114622215A (zh) * 2022-03-20 2022-06-14 龚春龙 一种汽车刹车片生产用铁掌表面油液浸泡装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1339722A (zh) * 2000-08-23 2002-03-13 裘华见 蚀刻栅网的生产工艺
CN1950158A (zh) * 2004-05-11 2007-04-18 日本原野株式会社 被清洗物的清洗方法及其装置
CN103418584A (zh) * 2013-09-03 2013-12-04 安徽华东光电技术研究所 一种电火花加工栅网的清洗方法
CN103531414A (zh) * 2013-10-14 2014-01-22 南京三乐电子信息产业集团有限公司 一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1339722A (zh) * 2000-08-23 2002-03-13 裘华见 蚀刻栅网的生产工艺
CN1950158A (zh) * 2004-05-11 2007-04-18 日本原野株式会社 被清洗物的清洗方法及其装置
CN103418584A (zh) * 2013-09-03 2013-12-04 安徽华东光电技术研究所 一种电火花加工栅网的清洗方法
CN103531414A (zh) * 2013-10-14 2014-01-22 南京三乐电子信息产业集团有限公司 一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108382063A (zh) * 2017-01-10 2018-08-10 苏州国质信网络通讯有限公司 一种丝网版的清洗装置
CN108057687A (zh) * 2017-11-17 2018-05-22 深圳市瑞德丰精密制造有限公司 去除导电片表面金属屑的干冰除屑工艺
CN109604242A (zh) * 2018-12-29 2019-04-12 辅创科技(宜昌)有限公司 一种工件清洗装置
CN109604242B (zh) * 2018-12-29 2020-10-30 辅创科技(宜昌)有限公司 一种工件清洗装置
CN110788061A (zh) * 2019-10-23 2020-02-14 金川集团股份有限公司 一种超纯铜片的表面清洗装置及清洗方法
CN112318220A (zh) * 2020-09-04 2021-02-05 山东国晶新材料有限公司 一种夹持杆表面清洗方法
CN113355678A (zh) * 2021-04-22 2021-09-07 上海天安轴承有限公司 一种薄壁黄铜轴承套圈的酸洗钝化方法
CN114622215A (zh) * 2022-03-20 2022-06-14 龚春龙 一种汽车刹车片生产用铁掌表面油液浸泡装置
CN114622215B (zh) * 2022-03-20 2024-03-08 温州市罗以汽车部件有限公司 一种汽车刹车片生产用铁掌表面油液浸泡装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105887105B (zh) 2018-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105887105A (zh) 一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法
CN110449398B (zh) 一种掩膜版精密再生工艺及其系统
CN103934234B (zh) 一种抛光片载片盒的清洗工艺
CN105838507A (zh) 光罩清洗剂及清洗方法
WO2014101261A1 (zh) 一种超净擦拭布的生产方法
WO2014049877A1 (ja) ガラス繊維織物の洗浄方法
CN104841664A (zh) 一种医用超声波清洗装置
JP2008142637A (ja) 洗浄乾燥装置
CN107658246A (zh) 一种太阳能硅片清洗工艺
CN204523665U (zh) 清洗装置
JP2006324495A (ja) 超音波洗浄装置
CN106378334A (zh) 精密光学元件的超声清洗方法
CN108906830A (zh) 一种大口径精密光学元件表面洁净处理方法
CN105521958A (zh) 一种单晶硅片的清洗方法
CN204620551U (zh) 一种医用超声波清洗机
CN107354475B (zh) 一种防铜氧化碳氢清洗方法及其设备
CN205246421U (zh) 免疫组化漂洗盒
CN209424224U (zh) 10代线掩膜版箱子清洗系统
CN109127580A (zh) 一种金属板镀膜前的清洁系统
KR100467915B1 (ko) 기판보지구 및 그 세정·건조장치
TWI441692B (zh) 使用超音波震盪液體以清潔基板之方法
KR102393592B1 (ko) 핵연료봉 장 튜브 세척 장치의 슬라이딩 도어 체결 시스템
CN109719082A (zh) 导光板清洗方法
CN204685557U (zh) 蓝宝石的清洗装置
CN109047182A (zh) 一种Al-Mg合金表面氧化膜激光清洗工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant