CN105883420A - 一种基板传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基板传送装置，涉及传送设备技术领域，以在传送基板时，减少基板传送装置中的传送部对基板的磨损。该基板传送装置包括用于传送基板的传送部，该传送部设有磁悬浮装置，磁悬浮装置能够使基板受到与重力方向相反的悬浮力F_v。本发明提供的基板传送装置用于传送基板。

Description

一种基板传送装置

技术领域

本发明涉及传送设备技术领域，尤其涉及一种基板传送装置。

背景技术

随着显示技术的发展，显示装置的种类越来越多，现在主流的显示装置为平板显示装置，这类平板显示装置本身由于没有一般显示器中的电子束管，因此作为大屏幕显示时不存在投射距离问题，因此，平板显示装置是一种广受欢迎的显示装置。

而现有的平板显示装置在制作过程中，一般需要利用基板传送装置传送平板显示装置的基板，以进行不同制程之间的转换，但是由于基板在传送中不可避免的直接与基板传送装置的传送部接触，使得基板极易被传送部磨损，从而影响平板显示装置的显示效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板传送装置，以在传送基板时，减轻基板传送装置中的传送部对基板的磨损。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种基板传送装置，包括用于传送基板的传送部，所述传送部设有磁悬浮装置，所述磁悬浮装置能够使所述基板受到与重力方向相反的悬浮力F_v。

优选的，所述磁悬浮装置包括电场生成单元，以及使所述基板处在磁场中的磁场生成单元；所述基板中设有导电层，所述导电层的一侧与所述电场生成单元的正极电连接，所述导电层的另一侧与所述电场生成单元的负极电连接；所述基板在所述磁场生成单元产生的磁场中受到安培力F；

所述悬浮力F_v为所述安培力F或所述安培力F在基板重力方向所在直线的分力。

较佳的，当所述安培力F与悬浮力F_v的方向不同时，所述安培力F在所述基板的平面上的分力方向与所述基板的传送方向相同。

优选的，当所述悬浮力F_v大于等于所述基板的重力G时，所述磁场的磁场强度

当所述悬浮力F_v小于所述基板的重力G时，所述磁场的磁场强度

其中：

m为所述基板的质量；

g为所述基板的重力加速度；

I为面电流的电流大小；且所述面电流在所述电场生成单元的电流通过所述导电层时形成；

sin(I,B)为所述面电流的电流方向与所述基板所处的磁场方向之间夹角的正弦值；

θ为所述安培力F与所述基板的平面之间的夹角，0<θ≤90°；

L为所述导电层的一侧到另一侧的长度。

较佳的，所述电场生成单元的正极与所述传送部的一侧相连，所述电场生成单元与所述传送部的另一侧相连；

所述传送部与所述电场生成单元的正极相连的一侧，以及所述导电层与所述电场生成单元的正极电相连的一侧相对；

所述传送部与所述电场生成单元的负极相连的一侧，以及所述导电层与所述电场生成单元的负极电相连的一侧相对。

进一步的，所述传送部包括传送导轨，所述传送导轨的一侧设有第一传送滚轮，所述第一传送滚轮连接所述电场生成单元的正极，所述传送导轨的另一侧设有第二传送滚轮，所述第二传送滚轮连接所述电场生成单元的负极；

传送基板时，所述导电层的两侧对应与所述第一传送滚轮和第二传送滚轮接触。

更进一步的，所述第一传送滚轮上设有与所述电场生成单元的正极相连的第一导电膜，所述第二传送滚轮上设有与所述电场生成单元的负极相连的第二导电膜；

传送基板时，所述导电层的两侧对应与所述第一导电膜和第二导电膜接触。

优选的，所述磁场生成单元设在所述传送部的底部。

优选的，所述磁场生成单元包括至少一个导电螺线管，所述导电落线管设在所述传送部的底部。

与现有技术相比，本发明提供的基板传送装置具有以下有益效果：

本发明提供的基板传送装置中，传送部上设有磁悬浮装置，该磁悬浮装置能够产生与基板的重力方向相反的悬浮力F_v，这样就能减小基板在传送过程中对传送部的压力，而传送部与传送的基板之间的摩擦力又与传送的基板的对传送部的压力成正比，因此，当基板在传送过程中对传送部的压力减小，则传送部与传送的基板之间的摩擦力就会减小，从而减轻了基板传送装置中的传送部对基板的磨损。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供的基板传送装置在使用状态下的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的基板传送装置在第一种使用状态下，电流方向和磁场方向的示意图；

图3为本发明实施例提供的基板传送装置在第二种使用状态下，电流方向和磁场方向的示意图；

图4为本发明实施例提供的基板传送装置在第二种使用状态下，传送的基板的受力分析示意图；

附图标记：

1-传送部， 10-传送导轨

11-第一传送滚轮， 110-导电正极；

12-第二传送滚轮， 120-导电负极；

2-基板。

具体实施方式

为了进一步说明本发明实施例提供的基板传送装置，下面结合说明书附图进行详细描述。

请参阅图1，本发明实施例提供的基板传送装置，包括用于传送基板2的传送部1，传送部设有磁悬浮装置，磁悬浮装置能够使基板受到与重力方向相反的悬浮力F_v。

具体实施时，基板在传送部1受到磁悬浮装置施加的悬浮力F_v，该悬浮力F_v与重力方向相反的悬浮力F_v，以减小传送部1对基板的磨损。

通过上述具体实施过程可知，本实施例提供的基板传送装置中，传送部1上设有的磁悬浮装置能够产生与基板2的重力方向相反的悬浮力F_v，这样就能减小基板2在传送过程中对传送部1的压力，而传送部1与传送的基板2之间的摩擦力又与传送的基板2的对传送部1的压力成正比，因此，当基板2在传送过程中对传送部1的压力减小时，则传送部1与传送的基板2之间的摩擦力就会减小，这样就减少了基板传送装置中的传送部1对基板的磨损。

而上述实施例中，磁悬浮装置的具体实现方式比较多，下面结合图1详细描述磁悬浮装置的结构，但不仅限于此，也可以为其他现有的磁悬浮装置。

该磁悬浮装置包括电场生成单元和使基板2处在磁场中的磁场生成单元；基板2中设有导电层，导电层的一侧与电场生成单元的正极电连接，导电层的另一侧与电场生成单元的负极电连接；基板2在磁场生成单元产生的磁场中受到安培力F；其中，悬浮力F_v为安培力F或安培力F在传送的基板2重力方向所在直线的分力。而且，由于导电层的一侧与电场生成单元的正极电连接，导电层的另一侧与电场生成单元的负极相连，这样电场生成单元的电流在通过导电层时能够形成从正极到负极的面电流。

具体实施时，磁场生成单元生成磁场，使得基板2处在该磁场中，且利用电场生成单元的电流从正极出发从导电层的一侧进入导电层，然后从导电层的另一侧流入电场生成单元的负极，电场生成单元的电流在导电层上形成由正极指向负极的面电流；而根据左手定则，当导电层流过面电流时，基板2在磁场生成单元产生的磁场中受到安培力F，而上述实施例中的悬浮力F_v即为安培力F或安培力F在传送的基板2重力方向所在直线的分力。

通过上述具体实施过程可知，上述实施例中的磁悬浮装置是在基板2上设有导电层的前提下，利用电磁感应原理，使得基板2上的导电层的两侧与电场生成单元的正极和负极对应电连接，使得基板2的导电层上形成面电流，并利用磁场生成单元使基板2处在磁场中，这样基板2的导电层中的面电流就能够与磁场发生电磁感应，从而使得基板2受到安培力F，该安培力F即为安培力F或安培力F在传送的基板2重力方向所在直线的分力

而上述电场生成单元具体形式很多，电场生成单元可以为普通的直流电源，也可以为直流可调电源，以通过调整面电流的大小，从而达到调整基板2所受到的悬浮力的大小。另外，电场生成单元也可以以电极形式给出，例如在导电层的一侧电连接正极电极，在导电层的另一侧电连接负极电极。

考虑到传送部一般为导电材料制成，而导电层是基板2的一部分，且在基板2传送过程中，基板2一直处在移动过程中，为了能够方便的实现电场生成单元的正极与导电层的一侧电连接，电场生成单元的负极与导电层的另一侧电连接，可以将电场生成单元的正极与传送部1的一侧相连，电场生成单元与传送部1的另一侧相连；且传送部1与电场生成单元的正极相连的一侧，以及导电层与电场生成单元的正极电相连的一侧相对，传送部1与电场生成单元的负极相连的一侧，以及导电层与电场生成单元的负极电相连的一侧相对；这样电场生成单元的正极和负极就能以间接的方式电连接导电层。而如果电场生成单元的正极和负极是分离的，则一般来说电场生成单元是由导电正极110和导电负极120组成，其中，导电正极110与传送部1的一侧相连，导电负极120与传送部1的另一侧相连，且导电正极110与传送部1相连的一侧，以及导电层与导电正极110电相连的一侧相对；导电负极120与传送部1的一侧，以及导电层与导电负极120电连接的一侧相对。

而且，上述实施例提供的基板传送装置中的传送部1一般为现有的，包括传送导轨10，传送导轨10的一侧设有第一传送滚轮11，第一传送滚轮11连接电场生成单元的正极，传送导轨10的另一侧设有第二传送滚轮12，第二传送滚轮12连接电场生成单元的负极；传送基板时，导电层的两侧对应与第一传送滚轮11和第二传送滚轮12接触，而由于第一传送滚轮11连接电场生成单元的正极，第二传送滚轮12连接电场生成单元的负极，因此，导电层的两侧能够通过第一传送滚轮11和第二传送滚轮12对应与电场生成单元的正极和负极相连。

为了减少第一传送滚轮11和第二传送滚轮12对基板2边缘的磨损，第一传送滚轮11和第二传送滚轮12会选择橡胶材料，且橡胶材料一般不导电，因此，在第一传送滚轮11上设置与电场生成单元的正极相连的第一导电膜，第二传送滚轮12上设置与电场生成单元的负极相连的第二导电膜，传送基板2时，导电层的两侧对应与第一导电膜和第二导电膜接触；这样基板2在传送过程中，导电层的一侧可以通过第一导电膜与电场生成单元的正极相连，导电层的另一侧可以通过第二导电膜与电场生成单元的负极相连。

另外，上述实施例中的磁场生成单元一般设在传送部1的底部，且其具体形式也很多的，例如常见的导电螺线管或电磁铁等，导电落线管或电磁铁设在传送部1的底部，而且磁场生成单元也可以包括多个导电螺线管或多个螺线管，以提高产生的磁场强度。

值得注意的是，上述实施例中的悬浮力F_v之所以有两种体现形式，主要是由于基板2所处的磁场方向与基板2的平面夹角决定的；下面结合图2-图4对两种状态下的磁场方向产生的安培力F进行详细说明。

请参阅图2，当基板2所处的磁场方向与基板2的平面之间的夹角为0°时，此时悬浮力F_v为安培力F。

至于基板2所处的磁场方向与上述面电流的电流方向的具体指向，可以根据本领域现有的电磁理论常识确定。例如，图2示出的基板2所处的磁场方向是由基板2的前方指向基板的后方，即基板2所处的磁场方向与传送方向相反，其中，传送方向如图2所示的虚线箭头，面电流的电流方向同样参照图2所示。

在图2所示的基板2所处的磁场方向和面电流的电流方向下，基板2所受到的安培力F与基板2的重力方向相反，即安培力F与基板2的表面夹角θ＝90°。

请参阅图3，当基板2所处的磁场方向与基板2的平面之间的夹角大于0小于90°时，此时请参阅图4，悬浮力F_v为安培力F在传送的基板2重力方向所在直线的分力F_p，即安培力F与基板2的表面夹角θ的范围为0<θ<90°。

至于基板2所处的磁场方向与上述面电流的电流方向的具体指向，可以根据本领域现有的电磁理论常识确定。例如，图3示出的基板2所处的磁场方向虽然也是由基板2的前方指向基板的后方，但是以如图3所示的斜向上的方向指向基板2的后方，而电流方向同样如图3所示。

在图3所示的基板2所处的磁场方向和面电流的电流方向下，基板2所受到的安培力F才会如图3所示。

进一步的，请参阅图4，当磁场方向与面电流的电流方向的夹角小于90°时，安培力F在基板2的平面上的分力方向与基板的传送方向(如图3和图4所示虚线箭头)相同，这样基板2不仅能够在传送部1的传送下移动，而且，还可以通过安培力F在基板2的平面的分力F_p的作用，进一步加快基板2的传送。

值得注意的是，上述实施例中的安培力F在基板2的平面上的分力方向也可以与基板的传送方向相反，但是这样会明显阻碍基板2的传送。

需要说明的是，上述实施例中导电层的一侧是指导电层与传送部1的一侧相对的位置，而导电层的另一侧是指导电层与传送部1的另一侧相对的位置，而传送部的一侧或另一侧是与传送方向平行的。

另外，根据悬浮力F_v与传送的基板2的重力G的大小关系，基板2的下表面可以和传送部1接触，也可以不接触。

当悬浮力F_v小于基板2的重力G时，磁场的磁场强度此时，基板2的下表面和传送部1(具体为传送部1中的传送导轨10)接触，但是基板2对传送部1(具体为传送部1中的传送导轨10)压力减小，从而缓解了传送部1(具体为传送部1中的传送导轨10)对基板2的磨损。

当悬浮力F_v大于等于基板2的重力G时，磁场的磁场强度此时，基板2的下表面和传送部1(具体为传送部1中的传送导轨10)不发生接触，依靠传送部1中与基板2的边缘接触的传送滚轮(第一传送滚轮11和第二传送滚轮12)驱动基板2继续传送。

其中：

m为基板2的质量；

g为基板2的重力加速度；

I为面电流的电流大小；且面电流在电场生成单元的电流通过导电层时形成；

sin(I,B)为面电流的电流方向与基板所处的磁场方向之间夹角的正弦值；

θ为安培力F与基板2的平面之间的夹角，0<θ≤90°；

L为导电层的一侧到另一侧的长度。

上述这些参数中，基板2的质量m，基板2的重力加速度g，以及导电层的一侧到另一侧的长度L均是固定的，因此，可以通过调整基板2所处的磁场强度B的大小、面电流I的大小，以及面电流的电流方向与基板2所处的磁场方向之间夹角，即可实现基板2的下表面和传送部1发生接触或不发生接触.

而且，由于基板2中的导电层自身电阻的关系，导电层所能承受的电压和电流也是有一定限度的，因此，电场生成单元的电压选择，以及面电流的大小也是因导电层的电阻而决定的，不能一概而论。

需要说明的是，上述实施例中的基板2可以为一切含有导电层的板状物，具体得显示领域，可以为显示基板或显示面板，当前基板2的质量一般在4kg-20kg。

以现有的ADS面板(Advanced Super Dimension Switch panel，简称ADS面板)为例，ADS面板在背面覆盖ITO膜(氧化铟锡膜)后，需要基板传送装置传送，而在ADS面板传送过程中，ADS面板的背面和传送部1(具体为传送部1中的传送导轨10)接触，其中，ADS面板的背面覆盖的ITO膜就相当于上述实施例中所说的导电层。

采用上述实施例提供的基板传送装置传送ADS基板时，由于ITO膜的一侧会与电场生成单元的正极电连接，而另一侧会与电场生成单元的负极电连接，而ITO膜又覆盖在ADS面板的背面，因此，ITO膜的尺寸与ADS面板相同，且当ADS面板的两条宽边与传送部的两侧相对时，电场生成单元向TIO膜加载电压时，ITO膜上可以形成从正极到负极的面电流，该面电流的电流方向如图2-4所示的电流方向，即从ITO膜的一侧到另一侧。

下面以ADS面板为基板，举例说明采用上述基板传送装置传送ADS面板时，ADS面板的背面是否与传送部1接触；其中，ADS面板的尺寸为：宽1.5m，长1.85m，厚度0.3mm，质量为5kg(通过换算可知ADS面板的重力G为49N)，ADS面板的背面覆盖有ITO膜，ITO膜的方阻为150Ω/_□，要求面电流大小为1A数量级。

实施例一：

传送ADS面板时，ITO膜通过的面电流大小为1A，磁场强度为10T，面电流方向和ADS面板所处的磁场方向如图2所示，基板2所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角等于0°，基板2所处的磁场方向与面电流方向的夹角为90°。

根据左手法则可以确定ADS面板受到与ADS面板重力方向相反的悬浮力F_v；其中，F_v＝IBL＝1A×10T×1.5＝15N。

通过上述计算可知，ADS面板受到的悬浮力F_v为15N，ADS面板的重力G为49N，二者方向相反，通过计算，ADS面板对传送部1的压力N＝G-F_v＝49N-15N＝34N，可见，ADS面板的背面此时仍然与传送部1接触，但ADS面板对传送部1的压力减小，即传送部1对ADS面板的磨损减小。

实施例二：

传送ADS面板时，ITO膜通过的面电流大小为1A，磁场强度为50T，面电流方向和ADS面板所处的磁场方向如图2所示，基板2所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角等于0°，基板2所处的磁场方向与面电流方向的夹角为90°。

根据左手法则可以确定ADS面板受到与ADS面板重力方向相反的安培力F，即悬浮力F_v；其中，F_v＝IBL＝1A×50T×1.5＝75N。

通过上述计算可知，ADS面板受到的悬浮力F_v为75N，ADS面板的重力G为49N，二者方向相反，通过计算，ADS面板对传送部1的压力N＝G-F_v＝49N-75N＝-26N，可见，ADS面板的背面此时与传送部1已经分离，且悬浮力F_v能够将ADS面板悬浮在传送部1的传送导轨10上，ADS面板的边缘通过与第一传送滚轮11和第二传送滚轮的接触，驱动ADS面板继续传送。

实施例三：

传送ADS面板时，ITO膜通过的面电流大小为1A，磁场强度为40T，面电流方向和ADS面板所处的磁场方向如图2所示，基板2所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角等于0°，基板2所处的磁场方向与面电流方向的夹角为90°。

根据左手法则可以确定ADS面板受到与ADS面板重力方向相反的安培力F，即悬浮力F_v；其中，F_v＝IBL＝1A×40T×1.5＝60N。

通过上述计算可知，ADS面板受到的悬浮力F_v为60N，ADS面板的重力G为49N，二者方向相反，通过计算，ADS面板对传送部1的压力N＝G-F_v＝49N-60N＝-11N，可见，ADS面板的背面此时与传送部1已经分离，且悬浮力F_v能够将ADS面板悬浮在传送部1的传送导轨10上，ADS面板的边缘分别与第一传送滚轮11和第二传送滚轮的接触，驱动ADS面板继续传送。

实施例四：

传送ADS面板时，ITO膜通过的面电流大小为1A，磁场强度为25T，面电流方向和ADS面板所处的磁场方向如图3所示：基板2所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角大于0°，基板2所处的磁场方向与面电流方向仍然为90°。

根据左手法则可以确定ADS面板受到如图4所示的安培力F，该安培力与ADS面板的平面之间的夹角为30°，安培力F在基板2重力方向所在直线的分力即为悬浮力F_v。

F_v＝Fsinθ＝IBLsinθ＝1A×25T×1.5×sin30°＝18.75N

通过上述计算可知，ADS面板受到的悬浮力F_v为18.75N，ADS面板的重力G为49N，二者方向相反，通过计算，ADS面板对传送部1的压力N＝G-F_v＝49N-18.75N＝30.25N，可见，ADS面板的背面此时仍然与传送部1接触，但ADS面板对传送部1的压力减小，即传送部1对ADS面板的磨损减小。

另外，如图4所示，安培力F在基板2的平面上的分力方向与基板2的传送方向相同，且安培力F在基板2的平面上的分力F_p＝Fcosθ＝IBLcosθ＝1A×25T×1.5m×cos30°＝32.475N，因此，除了传送部1对ADS面板进行传送，安培力F在基板2的平面上的分力F_p也可以促进ADS面板的传送。

实施例五：

传送ADS面板时，ITO膜通过的面电流大小为1A，磁场强度为80T，面电流方向和ADS面板所处的磁场方向如图3所示：基板2所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角大于0°，基板2所处的磁场方向与面电流方向仍然为90°。

根据左手法则可以确定ADS面板受到如图4所示的安培力F，该安培力与ADS面板的平面之间的夹角为60°，安培力F在基板2重力方向所在直线的分力即为悬浮力F_v。

F_v＝Fsinθ＝IBLsinθ＝1A×80T×1.5×sin60°＝103.92N

通过上述计算可知，ADS面板受到的悬浮力F_v为103.92N，ADS面板的重力G为49N，二者方向相反，通过计算，ADS面板对传送部1的压力N＝G-F_v＝49N-103.92N＝-54.92N，可见，ADS面板的背面此时与传送部1已经分离，且悬浮力F_v能够将ADS面板悬浮在传送部1的传送导轨10上，ADS面板的边缘通过与第一传送滚轮11和第二传送滚轮的接触，驱动ADS面板继续传送。

另外，如图4所示，安培力F在基板2的平面上的分力方向与基板2的传送方向相同，且安培力F在基板2的平面上的分力F_p＝Fcosθ＝IBLcosθ＝1A×80T×1.5m×cos60°＝60N，因此，除了传送部1对ADS面板进行传送，安培力F在基板2的平面上的分力F_p也可以促进ADS面板的传送。

需要说明的是，上述实施例四和实施例五中，悬浮力F_v与基板2的平面之间的夹角，是和基板所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角有关的，而上述实施例四和实施例五的重点在于体现安培力方向对悬浮力F_v的影响，因此，忽略基板所处的磁场方向与基板的平面之间的夹角，这个夹角是本领域技术人员根据常规的电磁学理论可以反推的，在此不做赘述。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种基板传送装置，包括用于传送基板的传送部，其特征在于，所述传送部设有磁悬浮装置，所述磁悬浮装置能够使所述基板受到与重力方向相反的悬浮力F_v。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述磁悬浮装置包括电场生成单元，以及使所述基板处在磁场中的磁场生成单元；所述基板中设有导电层，所述导电层的一侧与所述电场生成单元的正极电连接，所述导电层的另一侧与所述电场生成单元的负极电连接；所述基板在所述磁场生成单元产生的磁场中受到安培力F；

所述悬浮力F_v为所述安培力F或所述安培力F在基板重力方向所在直线的分力。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，当所述安培力F与悬浮力F_v的方向不同时，所述安培力F在所述基板的平面上的分力方向与所述基板的传送方向相同。

4.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，

当所述悬浮力F_v大于等于所述基板的重力G时，所述磁场的磁场强度

当所述悬浮力F_v小于所述基板的重力G时，所述磁场的磁场强度

其中：

m为所述基板的质量；

g为所述基板的重力加速度；

I为面电流的电流大小；且所述面电流在所述电场生成单元的电流通过所述导电层时形成；

sin(I,B)为所述面电流的电流方向与所述基板所处的磁场方向之间夹角的正弦值；

θ为所述安培力F与所述基板的平面之间的夹角，0<θ≤90°；

L为所述导电层的一侧到另一侧的长度。

5.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述电场生成单元的正极与所述传送部的一侧相连，所述电场生成单元与所述传送部的另一侧相连；

所述传送部与所述电场生成单元的正极相连的一侧，以及所述导电层与所述电场生成单元的正极电相连的一侧相对；

所述传送部与所述电场生成单元的负极相连的一侧，以及所述导电层与所述电场生成单元的负极电相连的一侧相对。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述传送部包括传送导轨，所述传送导轨的一侧设有第一传送滚轮，所述第一传送滚轮连接所述电场生成单元的正极，所述传送导轨的另一侧设有第二传送滚轮，所述第二传送滚轮连接所述电场生成单元的负极；

传送基板时，所述导电层的两侧对应与所述第一传送滚轮和第二传送滚轮接触。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一传送滚轮上设有与所述电场生成单元的正极相连的第一导电膜，所述第二传送滚轮上设有与所述电场生成单元的负极相连的第二导电膜；

传送基板时，所述导电层的两侧对应与所述第一导电膜和第二导电膜接触。

8.根据权利要求2～7中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，所述磁场生成单元设在所述传送部的底部。

9.根据权利要求2～7中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，所述磁场生成单元包括至少一个导电螺线管，所述导电落线管设在所述传送部的底部。